KR101061263B1 - 용기 내의 검사, 수리 및/또는 다른 작업을 수행하기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

용기 내의 검사, 수리 및/또는 다른 작업을 수행하기 위한 장치 및 방법 Download PDF

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KR101061263B1
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블라디미르 이리이 게르쉬테인
앤드류 제임스 토쓰
크리스토퍼 알. 버틀러
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에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
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Abstract

본 발명은 용기 내에 사람이 들어가지 않고 용기 내에 수용되는 재료의 순도를 미리결정된 최소 레벨 아래로 감소시키는 오염물을 유입시키지 않는 용기 내에서 검사, 수리, 및 다른 작업을 용이하게 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

Description

용기 내의 검사, 수리 및/또는 다른 작업을 수행하기 위한 장치 및 방법 {DEVICES AND METHODS FOR PERFORMING INSPECTIONS, REPAIRS, AND/OR OTHER OPERATIONS WITHIN VESSELS}
본 발명은 특수품 및 고순도(HP) 및 초 고순도(UHP) 유체와 같은 다른 재료를 수용하거나 선적하기 위해 이용되는 컨테이너 또는 용기(vessel)에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 사람이 용기 내로 들어가지 않고 이러한 용기의 내부 영역을 검사 및/또는 수리하기 위해 이용될 수 있는 장치 및 방법에 관한 것이다.
전자 산업에서 이용되는 새로운 개선 및 강화 기술은 제조 공정에서 이용되는 HP 및 UHP와 같은 특수품 재료의 양을 증가시키기 위한 요구를 초래한다. 특수 재료는 고순도 및 초 고순도와 같은 소정의 특성을 보여주는, 전자 부품의 제조와 같은, 제조 공정에서 이용되는 화학물이다. 특수 재료는 예를 들면, 분말, 유제, 현탁물, 및 증기일 수 있다. 본 명세서에서 이용되는 용어 " 유체 "는 가스, 액체 , 승화 고체, 및 이들의 조합물을 포함하는 것으로 의도된다.
제품 장비와 관련된 처리 및 상이한 공정의 특수 재료는 ppb 레벨에서 측정 된 불순물을 구비한 제품의 전달이 요구될 수 있다. 비록 특수 가스 및 화학물이 제품 경비의 약 0.01 내지 약 0.1 퍼센트만을 고려할 수 있지만, 이러한 재료의 부족은 예를 들면, 전자 제조 설비에서의 원하거나 요구되는 제품 용적을 유지하기 위한 능력을 위태롭게 한다. 일부의 경우 제조 공정에서 오염된 제품을 이용하는 것은 최종 제품 사양을 위태롭게 할 수 있으며, 이는 제조 공정의 바로 마지막 단계에서 결정될 수 있으며, 예를 들면 웨이퍼 제품의 경우 제품 품질 보증이다. 제조된 웨이퍼는 " 규격 외의 것(out of spec) "으로 고려될 수 있으며, 폐기되며 이는 수 백만 달러의 손실이 계산된다. 따라서, 전달 동안 특수 재료의 순도를 보존하는 것이 상당히 중요하다.
HP 또는 UHP 유체 또는 다른 특수 재료를 수용하기 위해 이용되는 용기의 오염은 용기 내로 특수 재료의 도입시 특수 재료의 미리 한정된 순도 레벨을 저하시킬 수 있는 물질의 존재, 또는 용기 내의 고순도 제품의 저장 및/또는 운반 동안 용기 내로 불순물의 통과로서 특정될 수 있다.
오염물은 고체, 액체, 및 가스의 형태를 취할 수 있다. 오염물은 예를 들면 용기 내에 미리 저장된 재료의 또 다른 타입으로부터의 잔류물에 의해 형성될 수 있다. 오염물은 또한 예를 들면 용기 내의 누출에 의한 용기의 내부 용적 내로 대기 공기의 침투에 의해 도입될 수 있다. 더욱 특별하게는, 대기 침투에 의해 도입된 산소는 일반적으로 HP 및 UHP 유체 및 일렉트로닉스의 제조에 이용되는 다른 특수 재료에 대한 오염물을 고려한다. 산소는 용기의 내부면 상의 오염 산화물을 형성할 수 있다. 더욱이, 산소 분자는 용기의 내부면 상에 포획될 수 있으며, 후속 적으로 용기에 배치되는 HP 또는 UHP 유체 또는 다른 특수 재료 내로 확산될 수 있다. HP 또는 UHP 유체가 용기 내에 잔류될 때, 산소 분자는 HP 또는 UHP 유체를 구비한 농도 구배 때문에 용기 내부면으로부터 취출될 수 있으며 제품 설비 내로 운반되어 최종 제품 사양에 역 영향을 미칠 수 있다.
특정 재료에 대한 오염물로서 특정화된 물질은 분야에 종속되고, 특정 타입의 특수 재료, 특수 재료의 제품 사양, 및 특수 재료의 의도된 이용와 같은 요소로 변화될 수 있다. 따라서, 하나의 적용 분야에서 오염물로 고려되는 물질은 다른 적용 분야에서는 오염물로 고려되지 않을 수 있다. 예를 들면, 산소, 탄화수소, 금속 입자, 물 및 질소는 초임계 이산화탄소(scCO2)의 오염물로 고려된다. 그러나, 질소는 NH3, NF3 및 Cl2와 같은 일렉트로닉스 등급 가스의 오염물로 고려되지 않는다.
일부의 경우, 적은 양의 HP 및 UHP 재료를 전달하기 위한 종래의 전달 방법은 더 이상 적용가능하지 않다. 예를 들면, 실린더 병 또는 다른 작은 패키지를 이용하는 전달은 이 같은 재료의 상대적으로 큰 양에 대한 요구에 의해 일부 제조 공정에서 더 이상 적용가능하지 않다. 예를 들면, 초 고순도 "화이트 암모니아(White Ammonia)(NH3) 및 및 고순도 3불화질소(nitrogen-triflouride)(NF3)에 대한 수요는 최근 몇 년동안 상당히 증가하였으며, 이러한 재료의 벌크 양이 이제는 다수의 상이한 제조 공정에서 요구된다.
HP 및 UHP 재료를 전달하기 위한 벌크 전달 용기 및 시스템은 최근에 알려지거나 이용되지 않았다. 단지 새로운 기술, 예를 들면, 다양한 전자 장치의 제조를 위한 기술의 최근 개선이 NF3, NH3, CL2, HCl, 및 다른 특수 가스 및 화학물과 같은 HP 및 UHP 제품의 많은 양에 대한 요구를 초래하였다. 병 실린더와 같은 소형 컨테이너는 HP 및 UHP 제품의 상대적으로 적은 양의 전달을 위해 이용되었다. 엄격하지만 소형 컨테이너의 준비를 위한 요구가 상대적으로 용이하게 충족되었다. 실제로, HP 및 UHP 제품을 운반하기 위해 이용되는 상대적으로 작은 컨테이너 및 용기에 대한 컨테이너 준비 절차가 널리 공개되어 있다. 예를 들면, " 베이킹 "과 같이, 오븐에서 간단한 컨테이너 가열 공정은 요구되는 순도의 컨테이너 내부면을 달성하는 것을 도와준다. 준비되거나 소위 "순도 처리된" 컨테이너는 UHP 제품을 오염시키는 처리 없이 UHP 제품을 수용할 수 있다. 컨테이너 가열을 위해 이용되는 "베이킹" 오븐은 크기 및 형상이 변화될 수 있지만, 통상적으로 실린더와 같은 상대적으로 작은 컨테이너의 제조를 제한한다.
산업 가스를 벌크량으로 공급하기 위해서 필요한 것과 같은 대형 컨테이너 또는 용기에는 비교적 작은 컨테이너를 제조하기 위한 방법이 이용될 수 없을 것이다. 벌크 HP 및 UHP 제품을 위한 컨테이너를 제조하는 새로운 방법이 개발되었고 컨테이너 산업계에 도입되었다. 예를 들어, 약 6,000-파운드 용량의 ISO 컨테이너의 제조가 "초 고순도 가스 벌크 컨테이너의 컨디셔닝을 위한 시스템 및 방법(Systems and Methods for conditioning Ultra High Purity Gas Bulk Containers)"이라는 명칭의 미국 특허 6,616,769 B2 및 6,814,092 B2에 기재되어 있다. 이러한 컨테이너의 제조는 작은 컨테이너의 제조 보다 복잡한데, 이는 대헝 컨테이너들은 너무 커서 현존하는 "베이킹" 오븐들 내로 도입될 수 없기 때문이고, 그리고 컨테이너의 최대 표면 온도가 국가 운반 단체(national transportation bodies), 협약, 및 컨벤션에 의해서 규제받기 때문이며, 그러한 규제는 미국 운수국(U.S. Department of Transportation; DOT), 유엔(UN), 국제 해상 위험물 규칙(International Maritime Dangerous Goods; IMDG), 위험물의 도로 운반에 관한 유럽 협의(European Agreement Concerning the Carriage of Dangerous Goods by Road; ADR), 안전 컨테이너에 대한 협의(Convention for Safe Containers ;CSC), 등에 의한 규제를 포함한다. 다시 말해, 이송 용기로서 이용되는 대형 컨테이너는 세계적으로 운송 기구에 의해서 규제되고 있다. 예를 들어, DOT 권장사항에 따르면, 열 응력 및 피로가 탱크로 도입되는 것을 방지하기 위해서, 이동가능한 ISO 탱크 T50 타입의 최대 외부 온도는 125℉를 초과하지 않아야 한다. 분명하게, "베이킹" 프로세스는 실시될 수 없는데, 이는 적절한 컨테이너 표면 제조를 위해서는 상당히 높은 온도의 베이킹이 요구되기 때문이다.
HP 및 UHP 제품의 공급을 위한 대형 용기를 제조 및 세정하기 위한 실용적인 방법이 산업계에 공지되어 있다. 이들 방법들은 매우 복잡하고, 상당한 노력 및 비용을 필요로 한다. 그에 따라, 컨테이너 순도를 유지하는 것은 필수적이고, 공급된 HP 및 UHP 제품 비용 및 공급된 HP 및 UHP 물질을 이용하여 생산된 장치의 품질 모두에 큰 영향을 미칠 것이다. 예를 들어, 반도체 웨이퍼를 위한 제조 프로세스의 여러 단계들은 NF3, NH3, CO2 등과 같이 공급되는 HP 및 UHP 물질의 이용에 의존할 것이다.
HP 및 UHP 물질을 벌크량으로 공급하기 위한 시스템 및 수단을 개발하고 실행하기 위한 상당한 노력이 있어왔다. 이들 공급과 관련한 중요한 문제점들 중 하나는, 이들 컨테이너가 제품의 순도를 해치지 않고 필요한 순도의 제품을 이송 및 공급할 수 있도록 하는 방식으로 벌크 컨테이너를 디자인하고 제조하는 것이다. 일부 독특한 용기 디자인 및 제조 과정은 오늘날 공지되어 있다. 고순도 물질의 취급을 만족시키기 위한 컨테이너 디자인 및 제조 과제는 고정형 컨테이너의 경우에 다소 덜 복잡하다. 그러나, 이동형 컨테이너의 경우에, 제품 순도를 유지하고 달성하는 과제는 보다 어려운 문제이다. 이동형 컨테이너는 컨테이너 재질, 디자인 및 기계적 특성을 규정하는 표준에 의해서 뿐만 아니라 예를 들어, DOT, UN, IMDG, ADR, CSC 등을 포함하는 세계적의 여러 국가들의 운송 단체들에 의해서도 부가되는 여러 규정도 충족시켜야 한다. 이들 단체들의 업무 및 규정들은, 여러 가지 물질을 벌크량으로 이송하는 이동형 컨테이너들은 이송 과정 중에 주변 환경을 위험하게 하지 않도록 하는 것이다. 컨테이너 디자인, 검사, 운반, 및 기타 취급 과정들이 엄격하게 규정되고, 현재의 규정들을 충족시키지 못하는 모든 컨테이너들은 위험 물질의 운반에 이용되지 않게 하여야 한다. 동시에, 일부 컨테이너 디자인, 제조, 및 검사 과정은 고순도 제품 요건에 맞지 않는다.
표준 컨테이너 디자인, 규정된 컨테이너 제조 프로세스, 검사 과정 등에 대해서 무엇을 해야하고 또 무엇을 하지 말아야 하는가를 이해하기 위해서는, 이동형 컨테이너에서 요구되는 요건들을 이해할 필요가 있을 것이다. 새로운 또는 개선된 컨테이너 디자인, 그리고 새로운 또는 개선된 제조 과정 및 검사 과정은 국제 운송 단체에 의해서 사용 승인을 받을 필요가 있을 것이다. 컨테이너에서 요구되는 검사와 관련된 요건의 일부 예가 ITCO ACC 매뉴얼 발행(MANUAL issue) 제 3 호: 2003년 1월의 "ISO 검사 규정(ISO Inspection Requirements)"에 기재되어 있으며: 여기에는 "탱크가 사람의 출입에 안전하다는 보장은 감독관의 책임이다. 이는 저산소 가스 오염에 대한 검사를 필요로 할 수 있다"고 기재되어 있다. 컨테이너 검사 매뉴얼로부터 취해진 이러한 내용은, 탱크(컨테이너)내로 사람이 들어가는 경우에, 유해 가스 잔류물이 컨테이너 내부에 남아 있지 않다는 것을 보장하기 위해서, 그리고 산소 부족 분위기가 해소되었다는 것을 보장하기 위해서 적절한 조건들이 요구된다는 것을 의미한다. 주요 컨테이너 오염물질의 공급원이 될 수 있는 컨테이너가 예를 들어, 금속 산화물 및 기타 바람직하지 못한 잔류물를 형성한다면, 상기 산소 부족 분위기 해소 요건은 공기 정화(purge)를 필요로 할 수도 있을 것이다. 또한, 컨테이너를 불활성 가스로 정화한 후에도 잔류 산소를 제거하기 위해서 전체적인 컨테이너 준비(오염물질 제거) 과정이 필요할 수 있을 것이다. 컨테이너 표면은 컨테이너 내로 후속하여 도입되는 초고순도 제품을 충분히 오염시킬 수 있는 상당량의 산소를 가질 수 있다. 매우 복잡한 컨테이너 준비 방법의 일 예는 미국 특허 6,616,769 B2에 개시되어 있다. 그에 따라, 가능한 경우에 컨테이너 준비과정에 대한 필요성을 제거함으로써, 상당량의 시간, 에너지 및 비용이 절감될 수 있을 것이다.
규정화된 컨테이너 검사 요건의 다른 예를, ITCO ACC 매뉴얼 발행(MANUAL issue) 제 3 호: 2003년 1월의 "허용될 수 없는 압력 용기 조건(Pressure Vessel Not Acceptable Conditions)"에서 찾아 볼 수 있다. 예를 들어, 검사 동안에 발견되는 이하의 용기 조건들에 해당하는 검사 용기는 추가적인 사용을 위해서 허용될 수 없는 것으로 평가될 것이다. 즉:
ㆍ 모 재료(parent materials) 또는 용접에 대한 결함
ㆍ 0.1 mm(0.004 인치) 보다 깊은 본체 실행 연마(body executed grinding)
ㆍ 셀(shell) 두께를 최소치 보다 얇게 감소시키는 과다한 연마 또는 다른 금속 제거(depletion)
ㆍ 셀 두께를 필요한 최소치 미만으로 감소시키거나 오염물질 트랩(traps)을 생성하는 부식 또는 피팅(pitting)
ㆍ 응력 부식
ㆍ 날카로운 만입부(indentation), 주름, 또는 오목부(dent)...
ㆍ 탱크 셀의 상부 1/3까지 6 mm(0.25 인치) 보다 큰 오목부
ㆍ 탱크 셀의 바닥 2/3까지 10 mm(0.4 인치) 보다 큰 오목부
위에서 나열한 조건들을 충족시키기 위해서, 보다 엄격한 내부 컨테이너 검사가 요구된다. 그러한 검사는 컨테이너 내측 표면의 육안 품질 분석뿐만 아니라, 발생될 수 있는 표면 불연속부, 입자 크기, 내부 구조물의 크기 등의 실제 측정도 포함할 것이다. 오늘날의 표준 실무하에서, 원하는 검사 품질을 달성하기 위해서, 감소되는 용기 내로 사람이 들어가는 것은 실질적으로 필수적이라 할 것이다. 이는, 산업적으로 수용되고 확립된 표준들이 왜 내부 컨테이너 검사와 관련하여 맨웨이(manway)를 통해서 검사 작업자가 컨테이너로 들어갈 수 있도록 하는 것을 요구 하는 지에 대한 이유가 될 것이다. 그에 따라, 검사 작업자가 규정된 공간의 내외로 안전하게 출입할 수 있게 보장하기 위해서, 맨웨이의 크기, 그리고 종종 그 위치가 규정된다.
세계적으로 선적된 컨테이너에 대한 요건을 규정하고 있는 다른 문서가 예를 들어 UN에 의해서 제공되고 있다. 예를 들어, UN 타입 T50 휴대용 ISO 탱크가 무수물 암모니아(anhydrous Ammonia) UN 1005의 운반 및 이용을 위한 국제적인 운송에 이용된다. 이들은 1972년에 수정된 컨테이너에 대한 국제 안전 협약(CSC)의 컨테이너 규정을 충족시키며, UN 모델 규정(Model Regulations) 6.7.3.15 등 그리고 CSC에 따라 검사되고 테스트된다. 상기 서류는 컨테이너 검사에 대한 엄격한 요건을 부여하고 있고, 이들 검사의 실시에 대한 엄격한 시간 요건을 규정하고 있다. 예를 들어, 상기 서류에는, "... 이동형 탱크는 최근 2.5 또는 5년의 테스트 날짜의 만료 후에는 충전되지 않아야 한다. 상기 테스트 날짜 내에 충전된 탱크는 마지막의 주기적인 테스트 날짜의 만료 일자를 지나서 3개월 이내까지 이송될 수 있다...". 분명하게, 정해진 시간내에 검사를 완료하지 않았거나 검사를 통과하지 못한 컨테이너는 국제적으로 상품을 공급하는데 이용될 수 없을 것이다. 미국에서, 유사한 규정들이 DOT에 의해서 작성되어 있다. 컨테이너 검사 및 유지보수에 관한 CSC 규정은 CSC 규정 #2에 기재되어 있다. 예를 들어, "... 최초 검사는 제조일로부터 5년 이내에 이루어져야 하고 그로부터 적어도 매 2.5년 마다 이루어져야 한다...". 또한, CSC와 같이 이러한 검사 규정은 누가 이들 검사를 실행하는지에 대해서도 특정하고 있다. 자격을 갖추고 면허를 가진 대표자가 필수적으로 있어야 하고, 이들 대표는 추가적인 사용에 대한 컨테이너의 검사를 실시하고 최종적으로는 합격 또는 불합격 판정을 내릴 것이다. 또한, 이하에서는 CSC 서류의 다른 섹션에 기재된 내용으로서, "... 여기에 규정된 검사 및 테스트는 권한을 가진 기관 또는 그 기관의 승인된 단체에 의해서 승인되고 자격을 부여 받은 검사자/대행자에 의해서 실시되거나 감리되어야 한다. CSC 및 UN 탱크 테스트 및 검사는, 적절하게 자격을 가진 경우에, 동일한 검사자에 의해서 실시되어야 한다. 이러한 작업의 승인을 받은 통상적인 대행자로는, ABS, Burea Veritas, Lloyds Register 등이 있다...". 실질적으로, 마지막 검사에 대한 요건은, 자격을 갖춘 검사자가 컨테이너 내로 들어가야 하고 또 검사를 실시하여야 할 것을 요구한다. 컨테이너가 계속적으로 사용될 수 있는지에 대한 최종 판정은 검사의 완료시에만 내려질 수 있을 것이다. 불행하게도, 자격을 갖춘 검사 기관들 중 어느 곳도 HP 및 UHP 제품을 이송하고 공급하는 컨테이너 및 시스템에 대한 요건을 잘 알지 못하고 있다. 그에 따라, 검사자는 컨테이너의 검사를 실시하기 위한 자격을 갖추어야 할 것이나, 그들은 HP 및 UHP 상품을 운반하는 컨테이너로 들어가 자격을 가지고 있지 못할 것이다.
따라서, 용기 내로 사람이 출입하지 않고, HP 및 UHP 유체 및 다른 특수 제품을 수용하기 위해 이용되는 용기상의 내부 검사 및 수리를 수행하기 위한 장치 및 방법에 대한 요구가 존재하였다.
삭제
장치 및 방법은 용기 내로 사람이 출입하지 않고, 그리고 용기 내에 수용되어 있는 재료의 순도를 미리결정된 최소 레벨 아래로 감소시키는 오염물을 도입시키지 않고 용기내의 검사, 수리, 및 다른 작업을 용이하게 한다.
장치의 실시예들은 미리결정된 최소 순도를 가지는 제 1 재료를 수용하기 위해 이용되는 용기 내에서 작업을 수행하기 위해 제공된다. 장치는 바디, 바디에 가동되게 연결되고 장치가 용기 내에서 작업을 수행하는 동안 용기의 표면상에 장치를 지지하는 휠 및/또는 트랙, 및 장치가 용기 내에 작업을 수행하는 동안 용기의 표면과 바디 상의 적어도 일 부분에 위치하고 바디에 장착되는 셀을 포함한다. 셀 및 휠 및/또는 트랙은 제 1 재료가 하나 또는 그 이상의 재료에 노출될 때 제 1 재료의 순도를 미리결정된 최소치 아래로 감소시키지 않는 하나 또는 그 이상의 재료로 형성된다.
시스템의 실시예들은 용기의 내부에 관련된 정보를 얻기 위해 제공된다. 시스템은 용기의 내부에 들어갈 수 있는 장치를 포함한다. 장치는 바디, 바디에 장착되는 센서, 장치로부터 정보를 전달하기 위한 하나 이상의 트랜스미터 및 정보를 저장하기 위한 메모리-저장 장치, 및 바디를 적어도 부분적으로 둘러싸고 장치의 다른 부분으로부터 부스러기 및 미립자 물질이 수집될 수 있는 셀을 포함한다.
방법은 미리결정된 최소치를 갖는 제 1 재료의 존재시 제 1 재료의 순도를 미리결정된 최소치 아래로 감소시키지 않도록 작동하도록 구성되는 장치를 제공하는 단계, 제 1 재료를 수용하도록 구성된 용기의 내부 용적 내로 장치를 삽입하는 단계, 및 상기 장치를 이용하여 용기를 검사 및/또는 수리하는 단계를 포함한다.
내부 용적을 가지는 용기를 검사하는 방법은 센서를 포함하는 장치를 제공하는 단계, 용기의 셀 내에 형성되는 개구로부터 밸브를 제거하는 단계, 개구에 의해 내부 용적 내로 장치를 도입하는 단계, 및 센서로부터 용기와 관련된 정보를 얻는 단계를 포함한다.
상기 발명의 내용, 및 이하의 바람직한 실시예에 대한 구체적인 설명은, 첨부 도면들을 참조할 때 보다 잘 이해될 수 있을 것이다. 상기 도면들은 단지 설명만을 위한 것이며, 그에 따라 특허청구범위의 권리범위는 도면에 도시된 특정 실시예들로 제한되지 않는다.
도 1 내지 4, 8 및 10은 장치(10)의 일 실시예를 설명한다. 장치(10)는 컨테이너 또는 용기(200)의 내부를 검사 및/또는 수리하기 위해 이용될 수 있다. 용기(200)는 99.999 퍼센트 또는 그 이상의 순도의 암모니아(NH3)(UHP 암모니아로서 지칭됨)와 같은 UHP 유체를 수용하기 위해 이용될 수 있다. 용기(200) 및 내부 용적(202)은 도 4에 도시되어 있다. 상술된 바와 같은, 장치(10)는 용기(200)가 UHP 암모니아를 저장하기에 부적절하게 하는 오염물을 도입하지 않고 내부 용적(202) 내에서 작동하도록 구성된다.
UHP 암모니아를 수용하기 위해 이용되는 용기(200)와 연결되는 장치(10)의 이용은 단지 예시적인 목적을 위해 설명된다. 장치(10)는 또한 초 고순도 가스가 가스가 아닌 재료를 수용하기 위해 이용되는 용기의 내부를 검사하기 위해 이용될 수 있다.
장치(10)는 용기(200) 내부에 조립되어 조종될 수 있는 크기를 가진다. 예를 들면, 용기(200)는 이들의 외부 셀(208)에 개구(206)를 가진다. 각각의 개구(206)는 압력 해제 밸브(209)를 수용한다(도 4에서 점선으로 도시됨). 용기(200)는 또한 내부 용적(202)이 구획으로 분리되는 내부 배플(210)을 포함한다. 배플(210)은 각각 예를 들면 도 5에 도시된 바와 같이 V형 개구(212)를 포함한다. 장치(10)는 하나 이상의 개구(206)(관련 압력 해제 밸브(209)가 제거될 때) 및 V형 개구(212) 내에 조립하기에 충분하도록 작아야 할 것이 필요하여, 장치(10)는 내부 용적(202) 내의 구획 모두에 접근할 수 있다.
장치(10)는 도 3에 도시된 바와 같이 바디(20) 및 각각 바디(20)에 장착되는 두 개의 모터(24), 예를 들면 전기 모터를 포함한다. 장치(10)는 또한 두 개의 구동 액슬(28), 및 각각 구동 액슬(28) 중 각각 하나에 장착되는 두 개의 휠(30a)을 포함한다. 명세서 및 청구범위를 통하여 이용되는 바와 같이 용어 " 휠 "은 롤러, 디스크, 드럼, 원형 프레임, 등을 포함하는 것으로 의도된다.
각각의 구동 액슬(28)은 전기 모터(24)들 중 각각의 하나에 연결되어 각각의 전기 모터(24)가 휠(30a)들 중 하나를 구동하거나 회전시킨다. 다른 실시예는 휠(30a) 모두 구동하는 하나의 모터를 구비할 수 있다. 다른 선택적인 실시예는 두 개 이상의 구동 액슬(28), 두 개의 전기 모터(24), 및 두 개의 휠(30a)을 포함할 수 있다. 더욱이, 선택적인 실시예는 휠(30a) 대신 또는 이에 부가하여 트랙(31)이 구비될 수 있다. 장치(10)의 다른 실시예에 이용될 수 있는 트랙(31)은 도 1에 점선으로 도시되며, 도면부호 "31"로 표시된다.
전기 모터(24)는 탄화수소, 수증기, 미립자 물질 등과 같은 배기 관련 오염물이 용적(202) 내로 도입하는 것을 회피하도록, 전기 모터일 수 있다. 장치(10)는 장치(10)의 다른 전기 부품 및 전기 모터(24)에 전력을 인가하기 위한 배터리(34)를 포함할 수 있다.
장치(10a)의 형태의 다른 실시예가 도 6에 도시된다. 장치(10a)는 후술되는 것을 제외하고 본 명세서에서 표시된 다른 것을 제외하고 장치(10)와 실질적으로 동일하다. 장치(10a)는 용기(200)의 외부에 위치하는 전력원으로부터 장치(10a)로 전력을 전달하기 위해 이용될 수 있는 케이블(29)을 포함한다.
UHP 암모니아가 재료와 접촉하는 경우 휠(30a)은 용기(200) 내에 저장되도록 UHP 암모니아(또는 다른 특수 재료)를 오염시키기 않는 재료, 즉 휠(30a)이 결정된 최소치 아래의 UHP 신축 암모아의 순도를 낮추지 않는 재료로 형성될 수 있다. 재료의 입자가 휠(30a)로부터 자유롭게 되고 장치(10)가 내부 용적(202)에 있거나 그 후 내부 용적(202) 내에 남아 있는 동안 이러한 피쳐는 용기(200) 내의 가스의 오염을 회피하는 것을 도울 수 있다. 더욱이, 휠(30a)이 형성되는 재료의 경도가 용기(200)가 형성되는 재료의 경도보다 작을 수 있다. 이러한 특징은 휠(30a)과 용기(200) 사이의 접촉에 의해 진동될 수 있는 소정의 재료가 실질적으로 용기(200)가 아닌 휠(30a)로 이루어지는 것을 보장할 수 있도록 한다.
예를 들면, 휠(30a)은 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE), 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 재료로 형성될 수 있으며, 이는 PTFE 및 화이트 실리카 재료는 이러한 UHP 암모니아를 오염시키지 않는다. 더욱이, PTFE 및 화이트 실리카는 각각 용기(200)와 같은 용기를 형성하기 위해 통상적으로 이용되는 금속 재료의 경도 보다 작은 경도를 가진다.
각각의 구동 액슬(28)은 구동 액슬(28) 및 부착된 휠(30a)이 도 3에 도시된 바와 같이, 바디(20)에 대해 회전하도록 하는 각각의 부싱(38)에 의해 바디(20)에 결합될 수 있다. 베어링은 다른 실시예에서 부싱(38) 대신 이용될 수 있다.
장치(10)는 또한 액슬(40), 및 액슬(40)의 각각의 단부에 각각 장착될 수 있는 두 개의 휠(30b)을 포함할 수 있다. 휠(30b)은 구동 휠(30a)과 실질적으로 동일할 수 있다. 두 개의 부가 부싱(38)은 바디(20)에 액슬(40)을 결합하기 위하여 이용될 수 있어 액슬(40)은 바디(20)에 대해 회전할 수 있다.
장치(10)는 또한 도 3에 도시된 바와 같이 프르세서(48)를 포함할 수 있다. 프로세서(48)는 예를 들면 마이크로프로세서일 수 있고, 다른 타입의 프로세서는 이와 달리 이용될 수 있다.
장치(10)는 또한 장치(10)와 용기(14)의 외부에 위치하는 조작자 모듈(54) 사이의 정보를 전달하기 위해 원격 계측 시스템(50)을 포함할 수 있다. 조작자 모듈이 도 7에 도시되어 있다. 원격 계측 시스템(50)은 바디에 장착되고 도 3에 도시된 바와 같이 프로세서(48)에 소통되게 결합되는 제 1 트랜스미터(50a)를 포함한다. 원격 계측 시스템(50)은 또한 조작자 모듈(54)의 부분을 형성하는 제 2 트랜스미터(50b)를 포함할 수 있다. 제 1 및 제 2 트랜스미터는 예를 들면 무선 주파수(RF) 발신에 의해 소통될 수 있고, 다른 타입의 소통 프로토콜이 이와 달리 이용될 수 있다.
정보는 다른 장치(10a) 내에 있는 케이블(29)에 의해 조작자 모듈(54)과 장치(10) 사이로 전달될 수 있어, 원격 계측 시스템에 대한 요구를 제거한다.
프로세서(48)는 원하는 방향으로 장치(10)의 이동을 유효하게 하기 위하여 전기 모터(24)의 작동을 제어할 수 있다. 더욱 특별하게는, 각각의 전기 모터(24)는 프로세서(48)에 의해 배터리(34)에 전기적으로 연결될 수 있어, 프로세서(48)는 선택적으로, 원격 제어 시스템(52)에 의해 조작자로부터 수용되는 입력에 반응하여 각각의 전기 모터(24)를 작동, 비작동, 및 역전할 수 있다. 조작자 입력은 조작자 모듈(54)의 부분을 형성하는 조이스틱 제어기(56) 또는 다른 적절한 장치를 이용하여 발생될 수 있다.
전기 모터(24)는 전방 또는 후방 방향으로 장치(10)의 선형 운동을 용이하게 하도록, 조작자로부터의 입력에 반응하여 동일한 방향으로 동시에 작동될 수 없다.
장치(10)는 휠(30a)들 사이의 상이한 운동을 이용하여 조종될 수 있다. 더욱 특별하게는, 장치(10)는 전기 모터(24)들 중 하나를 작동시킴으로써 조정될 수 있고, 다른 전기 모터(24)는 전기 모터(24)를 반대방향으로 작동시킴으로써, 또는 동일한 방향으로 상이한 속도로 전기 모터(24)를 조작함으로써 비작동된다.
다른 실시예들은 휠(30b)을 회전시키기 위해 조종 기구가 구비될 수 있다. 다른 실시예들은 또한 휠(30b)을 구동하도록 부가적인 두개의 전기 모터(24)를 구비할 수 있다.
장치(10)는 또한 바디(20)에 장착되어 마이크로프로세서(48)에 소통적으로 결합되는 하나 또는 그 이상의 센서를 포함할 수 있다. 센서 또는 센서들은 특별한 분야에 요구되는 특정 검사 작업 또는 작업들을 수행하기에 적절한 소정의 장치(10) 또는 장치들일 수 있다. 예를 들면, 장치(10)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 비디오 카메라(70)가 구비된다. 적절한 디스플레이와 관련하여 이용되는 비디오 카메라(70)는 3차원 이미지를 발생하도록 할 수 있다. 장치(10)는 따라서 배관 및 다른 부품의 부스러기, 균열, 가우지(gouge), 부적절한 조립을 위한 용기(200)의 내부를 시각적으로 검사하기 위해 이용될 수 있다. 비디오 카메라(70)는 또한 도 1 및 도 2에 도시된 미립자 물질(214)과 같은, 용기(200) 내의 부스러기의 존재를 확인하기 위해 이용될 수 있다.
장치(10)는 결함 또는 다른 문제가 확인되는 용기(200) 내의 특정 위치를 매핑(map)하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 장치(10)는 적외선 거리 측정 기구(도시안됨)가 구비될 수 있으며, 프로세서(48)는 장치(10)가 용기(200) 내의 미리한정된 표면 또는 다른 피쳐에 대해 결함 또는 다른 문제점의 좌표를 매핑하도록 하는 매핑 소프트웨어로 프로그래밍될 수 있다.
다른 타입의 센서는 특별한 분야에 요구되는 정보를 얻기 위하여 비디오 카메라(70) 대신 또는 비디오 카메라에 부가하여 이용될 수 있다. 예를 들면, 다른 실시예에서, 장치(10)는 음향학적, 적외선, X-레이, 자외선, 또는 다른 타입의 센서를 구비할 수 있다.
비디오 카메라(70)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 모터형 장착부(72) 및 신축 암(73)을 이용하여 바디(20) 상에 장착될 수 있다. 장착부(72)는 원격 계측 시스템(50)에 의해 조작자 모듈(54)로부터 릴레이되는 조작자 입력에 반응하여, 비디오 카메라(70)가 바디(20)에 대해 팬(pan)되어 경사질 수 있도록 한다. 신축 암(73)은 비디오 카메라(70)가 원격 계측 시스템(50)에 의해 릴레이되는 부가 조작자 입력에 반응하여 장착부(72)를 향하여 또는 장착부로부터 이격하여 이동할 수 있도록 한다. 다른 실시예는 비디오 카메라(70)를 위한 고정 장착부 및/또는 비 신축 암을 구비하도록 구성될 수 있다.
비디오 카메라(70)는 제 1 트랜스미터(50a)에 소통가능하게 결합될 수 있어, 비디오 카메라(70)의 출력은 조작자 모듈(54)에 전달되어 비디오 모니터(74) 또는 다른 적절한 장치를 이용하여 실시간 원리로 디스플레이될 수 있다. 조작자 모듈(54)은 또한 장치(10) 상의 소정의 다른 센서 및 비디오 카메라(70)의 출력을 기록하기 위하여 메모리-저장 장치(75)를 포함할 수 있다.
장치(10)의 이와 다른 실시예는 비디오 카메라(70)에 소통가능하게 결합되는 탑재 메모리-저장 장치 및 장치(10) 상의 다른 센서를 포함할 수 있어, 장치(10)가 비디오 카메라(70) 또는 다른 센서의 출력이 용기(200)로부터 회수된 후 저장되어 후속적으로 다운로드되는 것을 허용하도록 한다.
장치(10)는 용기(200)의 내부로부터 재료를 수집하기 위한 수단이 구비될 수 있다. 이러한 피쳐는 예를 들면, 검사 공정 동안 용기(200) 내에서 발견되는 미립자 물질 일부 또는 모두를 제거하는 것이 바람직한 분야에 이용될 수 있다. 재료의 샘플은 후속적으로 재료가 용기(200) 내에 저장되는 UHP 암모니아 또는 다른 특수 재료에 대해 오염물인지를 결정하기 위하여 분석될 수 있다.
수집 수단은 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 진공원(76), 진공원(76)과 유체 소통되는 수집 챔버(78), 및 진공 라인(79)을 경유하여 수집 챔버(78)와 유체 소통되는 진공 픽업(80)을 포함할 수 있다.
진공 픽업(80)은 모터형 장착부(81) 및 신축 암(82)을 이용하여 바디(20)에 장착될 수 있다. 모터형 장착부(81)는 진공 픽업(80)이 원격 계측 시스템(50)에 의해 조작자 모듈(54)로부터 릴레이되는 조작자 입력에 반응하여, 바디(20)에 대해 휩쓸려서 경사지도록 할 수 있다. 신축 암(82)은 진공 픽업(80)이 원격 계측 시스템(50)에 의해 릴레이되는 부가 조작자 입력에 반응하여 모터형 장착부(81)를 향하여 또는 장착부로부터 이격하여 이동하도록 할 수 있다. 다른 실시예는 진공 픽업(80)을 위한 비 신축 암 및/또는 고정 장착부로 구성될 수 있다.
용기(200) 내에 위치하고 비디오 카메라(70) 또는 다른 감지 장치를 이용하여 확인되는 미립자 물질(214)은 장치(10)를 위치설정함으로써 수집될 수 있어 진공 픽업(80)의 단부는 도 1에 도시된 바와 같이, 미립자 물질(214) 근방에 위치된다. 진공원(76)은 이어서 결과적인 진공에 의해 미립자 물질(214)이 진공 픽업(80) 내로 흡입되어 수집 챔버(78)에 증착되도록 작동될 수 있다. 미립자 물질(214)은 장치(10)가 용기(200)로부터 회수된 후, 검사 및 분석을 위해 수집 챔버로부터 회수될 수 있다.
진공원(76) 및 진공 픽업(80)은 또한 비디오 카메라(70) 또는 다른 센서에 의해 확인되는 의심이 가는 미립자 물질 또는 다른 센서가 의심이 가는 미립자 물질을 실제로 수집하지 않고 실제로 미립자 물질이고 균열, 가우지, 또는 다른 결함이 아닌 것을 확인하게 위해 이용된다. 더욱 특별하게는, 장치(10)는 진공 픽업(80)이 의심이 가는 미립자 물질 근처에 위치한다. 진공원(76)은 작동될 수 있고, 조작자는 의심이 가는 미립자 물질이 진공에 반응하여 이동하는 것인지를 비디오 카메라(70)를 경유하여 모니터링할 수 있다. 진공에 반응하는 소정의 운동의 부존재는 의심이 가는 미립자 물질이 실제로 미립자 물질이 아닌 용기(200) 내의 결함이 되는 것의 표시로서 해석될 수 있다.
장치(10)는 의심이 가는 미립자 물질을 이동시키기 위한 고정 또는 가동 신축 암(도시안됨) 또는 다른 적절한 수단이 구비될 수 있다. 이러한 기술은 진공원(76) 및 진공 픽업(80)을 이용하여 의심이 가는 미립자 물질을 이동시키기 위해 시도하는 대신 이용될 수 있다.
다른 장치(10a)의 케이블(29)은 용기(200) 외부에 위치하는 진공원과 유체 소통되는 장치(10a) 상에 진공 픽업(80)을 배치하는 진공 라인을 포함할 수 있다. 이러한 특징은 장치(10a) 상에 위치하는 수집 챔버와 진공원에 대한 요구를 제거할 수 있다.
장치(10)는 또한 용기(200) 내의 수리를 수행하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 소정의 분야에서, 용기(200)는 용기(200)에 수용되는 재료에 의해 발생할 수 있는 부식 또는 다른 부작용으로부터 표면을 보호하기 위해 내부 표면 상에 코팅부를 가질 수 있다. 장치(10)는 예를 들면 코팅이 스크래칭, 미싱 또는 그렇지 않으면 손상되는 재-코팅 영역에 이용될 수 있다. 장치(10)는 코팅 재료의 가압 저장부(90)가 구비될 수 있다. 저장부(90)는 도 8에 도시된 바와 같이, 진공원(76) 및 수집 챔버(78) 대신 바디(20)에 장착될 수 있다. 분무 노즐(94)은 진공 픽업(80) 대신 신축 암(82) 상에 장착될 수 있다.
신축 암(82) 및 모터형 장착부(81)는 분무 노즐(94)이 코팅이 손상되는 영역 근처에 위치된다. 코팅 재료는 라인(79) 및 신축 암(82)에 의해 저장부(90)로부터 분무 노즐(94)로 공급될 수 있어 상기 영역을 재-코팅하도록 손상된 영역으로 분무될 수 있다.
상술된 재-코팅 작업은 예시적인 목적을 위해 공개되며, 장치(10)는 다른 타입의 수리 작업을 수행하도록 형성될 수 있다.
장치(10)는 셀(98)을 포함할 수도 있다. 셀(98)은 바디(20) 상에 장착되어 셀(98)이 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 용기(200)의 하부면과 바디(20) 사이에 위치설정된다. 셀(98)은 미립자 물질, 그리이스, 오일, 및 작동 동안 장치(10)에 의해 방사될 수 있는 다른 잠재적 오염물을 걸러 낼 수 있다. 셀(98)에 의해 포획될 수 있는 잠재적 오염물은 도 2에 도면번호 "99"에 의해 표시되고 점선으로 표시된다. 오염물(99)은 예를 들면 장치(10)의 다양한 가동 및 비 가동 부품들 사이의 마찰, 진동 또는 장치(10)가 경험할 수 있는 기계적 쇼크, 장치(10) 내에 이용되는 윤활유 등으로부터 초래될 수 있다. 셀(98)에 의해 포획되는 오염물(99)은 장치(10)가 회수될 때 용기(200)의 내부 용적(202)으로부터 제거된다.
셀(98)은 용기(200) 내에 저장되도록 하는 UHP 암모니아(또는 다른 특수 재료)와 양립할 수 있는 재료로 제조될 수 있다, 즉 UHP 암모니아가 재료와 접촉하게 되는 경우 셀(98)은 UHP 암모니아의 순도가 미리결정된 최소값 아래로 낮추어지지 않는 재료로 형성될 수 있다. 이러한 피쳐는 장치(10)가 내부 용적(202) 내에서 작동하는 경우 셀(98)의 피스가 분리(liberate)되는 경우 UHP 암모니아용 포텐셜이 감소되어 오염될 수 있다.
더욱이, 셀(98)이 형성되는 재료의 경도가 용기(200)가 형성되는 재료의 경도 보다 작을 수 있다. 이러한 특징은 셀(98)과 용기(200) 사이의 우연한 접촉에 의해 분리되는 소정의 재료가 실질적으로 용기(200)가 아닌 셀(98)로부터의 재료로 이루어진다는 것을 보장할 수 있다.
또한, 셀(98)이 형성되는 재료의 경도가 장치(10)의 액슬(28, 40)이 형성되는 재료의 경도보다 작을 수 있다. 이러한 특징은 셀(98)과 액슬(28, 40) 사이의 다른 접촉 또는 러빙(rubbing)에 의해 분리되는 소정의 재료가 실질적으로 액슬(28, 40)이 아닌 셀(98)로부터의 재료로 이루어지는 것을 보장할 수 있다.
다른 실시예는 바디(20)를 완전히 둘러싸는 셀(98a)이 구비될 수 있다. 셀(98a)은 도 2에 부분적으로 점선으로 도시된다. 더욱이, 셀(98, 98a)은 단지 예시적인 목적을 위해 실질적으로 곡선 형상으로 도시되고, 다른 실시예는 다른 형상의 셀을 가질 수 있다.
장치(10)가 작동되지 않거나 그렇지 않으면 정상 구동을 이용하여 성능을 조종하는 내부 용적(202)으로부터 배출되지 않는 경우 장치(10)는 용기(200)의 내부 용적(202)으로부터 장치(10)를 회수하기 위하여 설비(provision)가 구비될 수 있다. 예를 들면, 장치(10)는 밧줄(tether; 60)을 구비할 수 있다. 장치(10)가 용기(200) 내로 들어가기 전에 밧줄(tether; 60)은 바디(20) 또는 장치(10)의 다른 부품에 부착될 수 있다. 밧줄(60)은 하우징(62) 내에 보관될 수 있어, 하우징(62) 내에 장착되는 릴 또는 스풀(64) 상에 감겨질 수 있다. 하우징(62)의 반부는 스풀(64)을 노출시키기 위해, 도 9에서 제거된다.
하우징(62) 및 스풀(64)은 용기(200)의 외부에 남아 있다. 장치(10)가 용기(200)를 통하여 용기 내로 이동할 때 밧줄(60)은 스풀(64)로부터 풀린다. 스풀(64) 및 하우징(62)으로부터 장치(10)의 이동은 밧줄(60)이 스풀(64)로부터 풀리도록 한다.
스풀(64)은 스풀(64) 상에 밧줄(60)을 다시 감기 위한 설비가 구비될 수 있다. 이러한 특징은 장치(10)가 용기(200) 내에서 부작동되는 경우, 장치(10)를 회수하기 위하여 또는 장치(10)가 정상 방식으로 용기(200)로부터 배출될 때 밧줄(60)을 보관하기 위하여 이용될 수 있다. 예를 들면, 핸들(65)은 스풀(64)에 부착될 수 있어 스풀(64)을 회전시킨다. 스풀(64)은 또한 하우징(62) 상에 장착된 모터(도시안됨)에 의해 회전할 수 있다. 모터는 핸들(65) 대신 또는 부가하여 이용될 수 있다. 더욱이, 장치(10)가 정상 방식으로, 즉 자체 동력 및 조종 하에서 용기(200) 에 존재할 때 스프링(도시안됨)은 하우징(62) 및 스풀(64)에 연결될 수 있어 권선 방향으로 스풀(64)을 바이어싱하도록 하여 밧줄(60)이 작동적으로 재권선된다.
하우징(62)의 내부는 헬륨 또는 질소와 같은 적절한 불활성 가스로 정화될 수 있어, 용기(200) 내로 오염물을 도입하기 위하여 밧줄(60)에 대한 포텐셜을 감소시키도록 한다. 정화 가스의 공급원은 하우징(62)의 내부 또는 외부에 위치할 수 있다. 필요한 경우, 밧줄(60)의 표면은 밧줄(60)이 초기에 스풀(64)에 감겨지지 전에 용매 또는 다른 적절한 수단을 이용하여 세정될 수 있어, 표면으로부터 오일 잔류물 및 다른 잠재적인 오염물을 제거하도록 한다. 또한, 밧줄(60)은 감겨지거나 그렇지 않으면 용기(200) 내에 저장되어지는 UHP 암모니아(또는 다른 특수 재료)와 양립될 수 있는 재료로 피복될 수 있다.
다른 장치(10a)의 케이블(29)은 장치(10)가 용기(200) 내에서 부작동되는 경우 장치(10)를 회수하기 위한 밧줄로서 이용될 수 있다. 케이블(29)은 하우징(62), 스풀(64), 핸들(65), 및 선택적인 모터 및 스프링과 실질적으로 동일한 배열체를 이용하여 저장 및 회수될 수 있다.
부적합한 장치(10)는 또한 도 10에 도시된 인출 장치(제 2 장치; 100)를 이용하여 용기(200)의 내부 용적(202)으로부터 회수될 수 있다. 인출 장치(100)는 또 다른 장치, 용기(200) 내에 이용하기에 적절한 또 다른 타입의 장치일 수 있다, 즉 인출 장치(100)는 내부에 저장되는 UHP 암모니아 또는 다른 특수 재료를 오염시키지 않고 용기(200) 내에서 작동될 수 있어야 한다.
장치(10) 및 인출 장치(100)는 장치(10) 및 인출 장치(100)가 정합되도록 하는 특징을 포함할 수 있다. 일단 부적합한 장치(10)와 정합되는 인출 장치(100)는 도 10에 도시된 바와 같이, 용기(200)로부터 장치(10)를 끌어 당기거나 밀 수 있다.
예를 들면, 장치(10)는 도 1 내지 3 및 도 10에 도시된 바와 같이, 하나 또는 그 이상의 자석(102)을 포함할 수 있다. 자석(102)은 셀(98) 상에 또는 장치(10) 상의 또 다른 적절한 위치에 장착될 수 있다. 인출 장치(100)는 또한 하나 또는 그 이상의 자석(102)을 포함할 수 있다. 인출 장치(100)는 장치(10)의 자석들(102) 중 하나에 근접한 자석(102)들 중 하나를 배치하기 위하여 조종될 수 있어, 자석들(102) 사이의 상호 인력이 자석(102)을 서로 고정하여 인출 장치(100)가 도 10에 도시된 바와 같이 용기(200)의 내부 용적(202)으로부터 부적합한 장치(10)를 끌어당기거나 밀 수 있을 때 장치(10)가 인출 장치(100)에 부착되어 있도록 한다.
장치(10)는 도 1 내지 3 및 도 10에 도시된 바와 같이, 후크 또는 래치와 같은 하나 또는 그 이상의 기계적 커플러(106)를 포함할 수 있다. 커플러(106)는 자석(102) 대신 이용될 수 있다. 장치(10)는 도시된 목적을 위해 커플러(106) 및 자석(106) 둘다 구비한 것으로 도시된다.
커플러(106)는 셀(98) 또는 장치(10) 상의 또 다른 적절한 위치에 장착될 수 있다. 인출 장치(100)는 또한 장치(10) 상의 커플러(106)와 정합되는 하나 또는 그 이상의 커플러(106)를 포함할 수 있다. 인출 장치(100)는 커플러(106)들 중 하나가 장치(10) 상의 커플러(106)들 중 하나와 정합하도록 조종될 수 있다. 정합된 커플러(106)는 인출 장치(100)가 도 10에 도시된 바와 같이 용기(200)의 내부 용적으로부터 부적합한 장치(10)를 끌어당기거나 밀 때 장치(10)가 인출 장치(100)에 부착되어 있도록 한다.
부적합한 장치(10)는 인출 장치(100) 대신 조종 성능을 가진 케이블을 이용하여 용기(200)의 내부 용적(202)으로부터 제거될 수 있다. 조종가능한 케이블은 케이블의 단부 근처 또는 단부 상에 장착되는 커플러들(106) 중 하나 또는 자석들(102) 중 하나를 구비할 수 있다. 케이블의 단부는 내부 용적(202) 내로 삽입되어 조종 될 수 있어 케이블 상의 자석(102)이 부적합한 장치(10) 상의 자석들(102) 중 하나와 결합하거나 케이블 상의 커플러(106)가 내부 용적(202) 내로 삽입될 수 있고 장치(10) 상의 커플러(106)들 중 하나와 결합하도록 한다. 이어서 케이블은 용기(200)로부터 부적합한 장치(10)를 당기도록 용기로부터 회수될 수 있다.
장치(10)가 용기(200) 내에서 부적합하게 되는 경우 다른 장치(10a)의 케이블(29)은 용기(200)의 내부 용적(202)으로부터 장치(10)를 당기기 위해 이용될 수 있어, 인출 장치(100) 또는 조종가능한 케이블에 대한 요구를 제거한다.
장치(10)의 다른 실시예는 비-자체-추진형일 수 있다, 즉 비 모터형이다. 비 모터형 장치는 상술된 조종가능한 케이블과 같은 케이블을 이용하여 용기(200)의 내부 용적(202)을 통하여 당겨질 수 있다. 더욱 특별하게는, 케이블의 제 1 단부는 개구(206)에 의해 용기(200)를 통하여 루팅될 수 있다. 제 1 단부는 상술된 자석(102) 또는 커플러(106) 또는 다른 적절한 수단을 이용하여 장치(10)에 고정될 수 있다. 케이블의 말단부, 즉 제 1 단부로부터 용기(200)의 마주하는 측부 상에 위치하는 케이블(12)의 부분은 이어서 용기(200)를 통하여 장치(10)를 취출하기 위하여 당겨질 수 있다.
다른 선택적인 실시예에서, 비디오 카메라(70)와 같은 적절한 센서는 도 11에 도시된 바와 같이 조종가능한 케이블(112)과 같은 케이블의 단부에 부착될 수 있다. 용기(200)의 내부의 검사는 개구(206)들 중 하나에 의해 케이블(112)의 단부 및 부착된 비디오 카메라(70)를 용기(200)의 내부 용적(202) 내로 삽입하고 이어서 케이블(112)을 이용하여 비디오 카메라(70)의 위치를 조종함으로써 수행될 수 있다.
커버 또는 래핑(wrapping)(113)은 케이블(112) 위에 배치될 수 있어, 필요한 경우 케이블(112)에 의해 발생되는 부스러기 및 다른 잠재적 오염물이 용기(200)의 내부 용적(202)에 놓이는 것을 방지한다. 커버 또는 래핑은 용기(200) 내에 저장되기 위하여 UHP 암모니아 또는 다른 특수 제품이 오염되지 않도록 하는 재료를 위해 형성될 수 있다.
상대적으로 컴팩트한 크기의 장치(10) 및 조작자 모듈(54)은 장치(10) 및 조작자 모듈(54)의 상대적으로 용이한 선적을 용이하게 한다. 따라서 장치(10)는 필드(field) 내, 즉 용기의 이용 지점 또는 용기가 충전, 유지, 정비 등을 하는 창고 또는 다른 설비로부터 이격된 다른 장소에서 용기(200)와 같은 용기를 검사 및 수리하기 위하여 이용될 수 있다. 장치(10)는 장치(10) 주위의 비 오염 가스의 블랭킷을 유지하는 케이스 또는 컨테이너 내에 선적될 수 있다.
장치(10)는 상술된 바와 같이, 용기(200) 상의 압력 해제 밸브(209)를 수용하는 개구(206) 내에 조립되도록 하는 크기일 수 있다. 따라서, 용기(200)는 장치(10)를 수용하도록 부가 접근 개구가 제공될 필요가 없다. 접근 개구는 용기(200)의 잠재적인 누출 소스를 제공하기 때문에, 장치(10)의 이용은 용기(200) 내로 부가적이고 잠재적인 누출 소스의 도입을 요구하지 않는다.
장치(10)가 실질적으로 조종 성능에 의해 용기(200)의 전체 내부 용적(202)에 도달할 수 있기 때문에, 장치(10)는 개구(206)와 같은 단일 접근 개구에 의해 수용될 수 있다.
그러나, 조작자에 의해 원하는 경우, 두 개의 개구(206)는 장치(10)를 수용하기 위하여 이용될 수 있다. 예를 들면, 장치(10)는 용기(200)의 제 1 단부 근처 에 위치하는 제 1 개구(206)에 의해 내부 용적(202) 내로 삽입되고, 용기(200)의 제 2 단부 근처에 위치하는 제 2 개구(206)에 의해 내부 용적(202)으로부터 제거될 수 있어, 장치(10)가 내부 용적(202) 내에서 역행될 필요가 없도록 한다.
이와 달리, 두 개의 개구(206)는 각각 장치(10)에 대한 입구 및 출구 지점 둘다로서 이용될 수 있다, 즉 용기(200)의 내부 용적(202)의 일 부분은 개구(206) 둘 중 첫번째 개구에 의해 장치(10)로 접근할 수 있으며, 내부 용적(202)의 나머지는 다른 개구(206)에 의해 접근할 수 있다. 이 절차는 예를 들면 장애가 두 개의 개구(206)들 사이의 동일한 지점에서 내부 용적(202) 내에 존재하는 경우 이용될 수 있다.
내부 용적(202)은 비 오염 가스 또는 가스들의 혼합물로 정화될 수 있으며 압력 해제 밸브(209)는 장치(10)를 수용하도록 용기(200)로부터 제거되어 내부 용적(202) 내로 대기의 침입을 방지하도록 한다. 예를 들면, 용기(200)가 UHP 암모니아를 수용하기 위하여 이용되는 분야에서, 질소 정화는 내부 용적(202) 내에 유지될 수 있으며 이는 질소가 일반적으로 UHP 암모니아에 대해 비 오염을 고려하기 때문이다.
질소 정화 또는 소정의 다른 타입의 산소 결핍 분위기의 이용은 정화된 용적 내로 사람의 출입이 요구될 때 질식 위험이 있다. 더욱이, 산소 결핍 환경에서 이용하기 위해 요구되는 호흡 장비는 일반적으로 HP 또는 UHP 재료를 수용하는 용적 내에서 이용하기에 부적절하다. 장치(10)의 이용은 내부 용적(202) 내로 사람 출입을 위한 요구가 제거될 수 있어, 이 같은 출입과 관련된 안전 및 오염 문제가 제거될 수 있다.
더욱이, 위험한 재료를 수용하기 위해 이용되는 용기는 항상 사람이 검사 또는 다른 목적을 위해 용기 내로 들어가기 전에 오염물 제거 공정으로 처리되어야 한다. 이 같은 용기 내로 사람의 출입에 대한 요구를 제거함으로써, 장치(10)는 이 같은 오염물 제거에 대한 요구가 제거될 수 있다.
용기(200) 내로 인간을 보내기 위한 요구를 제거함으로써 용기(200) 내의 맨웨이에 대한 요구를 제거할 수 있다(용기(200)는 도면의 명료성을 위해, 맨웨이 없이 도시되었다). 통상적인 맨웨이는 상대적으로 크다, 예를 들면 직경이 2.5 피트여서 사람이 이를 통한 통과를 용이하게 하며, 또한 대응하는 맨웨이 뚜껑이 상대적으로 크다. 상대적으로 큰 대형 맨웨이 커버를 제거함으로써 용기(200)의 중량의 상당한 감소를 초래할 수 있다. 예를 들면, 맨웨이 커버는 약 2.0 인치의 두께 "S1" 및 약 2.5 피트의 직경 " D1 "을 가질 수 있으며, 용기(200)의 셀은 약 0.5 인치의 두께를 가질 수 있다. 맨웨이 커버가 형성되는 재료의 밀도는 약 500 평방 피트 당 파운드(pounds per cubic feet)의 밀도를 가질 수 있다. 맨웨이의 중량은 π x ((D12)/4) x S1 x 밀도 = 약 409 파운드로서 계산될 수 있다.
맨웨이 커버를 제거함으로써, 사실상, 2.0 인치 두께 맨웨이 커버가 0.5 인치 두께 셀의 섹션으로 대체된다. 셀 섹션의 중량은 상기 공식을 이용하여 계산될 수 있으며, 맨웨이의 2.0 인치 두께를 0.5 인치 두께의 셀로 치환한다. 셀 섹션의 결과적인 중량은 약 307 파운드이거나 맨웨이 보다 약 102 파운드 가볍다. 부가적인 중량 절감은 패스너, 플랜지, 및 맨웨이 커버를 고정 및 밀봉하기 위해 이용되는 다른 하드웨어의 제거에 의해 달성될 수 있다. 더욱이, 용기(200)의 내부 용적(202)은 맨웨이 및 이와 관련된 하드웨어르 제거함으로써 잠재적으로 증가될 수 있다.
중량을 감소시키고 용기(200)의 내부 용적(202)을 증가시킴으로써 용기(200) 내에 지지될 수 있는 재료의 전체 양을 증가시킬 수 있어, 차례로 재료의 제공자에 대해 증가된 수익을 초래할 수 있다. 제조 비용은 또한 잠재적으로 맨웨이를 제거함으로써 감소될 수 있다.
더욱이, 일반적으로 용기(200)와 같은 용기 내의 소형 개구 보다 상대적으로 큰 개구를 밀봉하는 것이 더욱 어렵다. 더욱이, 밀봉은 운반 공정과 관련된 진동, 범프(bump), 및 온도 스윙에 의한 운반가능한 용기 내에서 악화될 수 있다. 따라서, 상대적으로 큰 맨웨이 및 관련된 커버를 제거함으로써 실질적으로 용기(200) 내의 누출에 대한 잠재성을 감소시킬 수 있다.
내부 용적(202)으로의 사람 접근에 대한 요구를 제거함으로써 용기(200) 상의 다른 피쳐의 제거 또는 변형을 초래할 수 있다. 예를 들면, 만약 내부 용적(202)으로의 사람 접근이 요구되지 않는 경우 용기(200)의 밸브 박스(요구되는 장소에서) 상의 응급 반응 리드의 크기 및 두께가 감소될 수 있으며, 밸브 박스의 구조적 강도는 완화될 수 있어, 용기(200) 내의 추가의 전체 중량 감소를 초래한다.
중량을 감소하고 용기(200)의 내부 용적을 증가함으로써 용기(200) 내에서 운반될 수 있는 전체 재료 양이 증가할 수 있어 차례로 재료의 선적자 및/또는 판매인의 수익이 증가된다.
장치(10)는 용기(200)의 내부 용적(202) 내에 도입되어 작동될 수 있고 내부 용적(200)은 용기(200) 내에 수용되는 UHP 암모니아 또는 다른 재료의 정적 증기 압력으로 유지된다. 이러한 방식의 작동은 질소 또는 또 다른 비 오염 재료로 내부 용적(202)을 정화하는 것과 관련된 비용 및 설정 시간을 제거할 수 있다.
예를 들면, 도 12는 장치(10)가 용기(200a)의 내부 용적으로 도입되어 제거되는 것을 허용하는 반면, 변하지 않는 증기 압력으로 용기(200a) 내의 HP, UHP, 또는 다른 재료를 유지한다. 용기(200a)는 밸브 시스템(180)을 제외하고, 용기(200)와 실질적으로 동일할 수 있다.
밸브 시스템(180)은 제 1 밸브(182) 및 제 2 밸브(184)를 포함한다. 밸브 시스템(180)은 또한 제 1 및 제 2 밸브(182, 184)를 연결하는 제 1 도관(186), 및 제 1 밸브(182)와 용기(200a)를 연결하는 제 2 도관(188)을 포함한다. 밸브 시스템(180)은 또한 제 2 밸브(184)에 연결하는 제 3 도관(190)을 포함한다. 밸브 시스템(180)은 또한 제 1 도관(186)으로 연결하는 정화 장치(192)를 포함한다.
장치(10)는 제 1 밸브(182)는 폐쇄 위치에 있는 동안 제 2 밸브(184)를 개방하고 도 13에 도시된 바와 같이, 제 3 도관(190) 및 제 2 밸브(184)에 의해 제 1 도관(186) 내로 장치(10)를 삽입함으로써 밸브 시스템(180)에 의해 용기(200a)의 내부 용적 내로 도입될 수 있다.
이어서 제 2 밸브(184)는 페쇄될 수 있으며, 정화 장치(192)는 장치(10)가 내부로 도입될 때 제 1 도관(186) 내로 침투할 수 있는 소정의 대기의 제 1 도관(186) 내의 용적을 정화하기 위해 작동될 수 있다. 정화 장치(192)는 예를 들면 진공을 이용하여 제 1 도관(186) 내의 용적을 비우고, 이어서 용기(200a)의 내부 용적 내의 UHP 암모니아 또는 다른 특수 재료를 오염시키지 않는 가스로 용적을 충전시킴으로써 정화를 할 수 있다.
제 1 밸브(182)는 정화가 완료될 때 개방될 수 있으며, 장치(10)는 제 1 밸브(182) 및 제 2 도관(188)에 의해 자체 동력 하에서 용기(200a)의 내부 용적 내로 조종될 수 있다. 제 1 밸브(182)는 내부 용적 내로 또는 이로부터 누출에 대한 잠재성을 감소키기 위해 후속적으로 폐쇄될 수 있다.
장치(10)는 제 1 밸브(182)를 개방하고, 장치(10)를 제 2 도관(188) 및 제 1 밸브(182)에 의해 제 1 도관(186) 내로 조종함으로써 용기(200a)의 내부 용적으로부터 제거될 수 있다. 제 1 밸브(182)는 이어서 페쇄될 수 있다. 원하는 경우, 제 1 도관(186) 내의 용적은 용적(200a) 내부로부터 재료를 정화할 수 있고 정화 장치(192)를 이용하여 대기로 채울 수 있다. 이러한 단계는 용기(200a) 내부의 재료가 위험한 재료인 경우 요구될 수 있다.
제 2 밸브(184)는 후속적으로 개방될 수 있고, 장치(10)는 제 2 밸브(184) 및 제 3 도관(190)에 의해 밸브 시스템(180)으로부터 조종될 수 있다.
전술한 설명은 본 발명을 설명하기 위한 것이지 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 바람직한 실시예나 바람직한 방법을 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 본 명세서에서 사용된 용어들은 설명 또는 묘사를 위한 단어들이지 제한하는 단어가 아니라는 것을 이해할 것이다. 또한, 특정 구조, 방법 및 실시예를 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명은 상세한 설명에 개시된 특정사항으로 제한되는 것이 아니며, 본 발명은 특허청구범위의 권리범위 내의 모든 구조, 방법 및 용도까지 포함한다. 소위 당업자는 본 명세서의 기재 내용을 통해서 본 발명의 다양한 개량 실시예를 착안해낼 수 있을 것이고, 특허청구범위에 의해서 규정된 본 발명의 사상 및 범위 내에서 변형 실시예들을 착안해낼 수 있을 것이다.
도 1은 검사, 수리, 및/또는 용기 내에 다른 작동을 수행하기 위한 장치의 일 실시예의 측면도이며,
도 2는 도 1에 도시된 장치의 정면도이며,
도 3은 도 1의 라인 " A-A "를 통하여 도시한, 도 1 및 도 2에 도시된 장치의 단면도이며,
도 4는 용기의 내부 용적 내의 장치를 도시하고 상기 용기를 종방향 단면으로 도시하는, 도 1 내지 도 4에 도시된 장치의 측면도이며,
도 5는 도 4의 사시도로부터 약 90도 회전한 사시도로부터, 도 4에 표시된 "B" 영역의 확대도이며,
도 6은 도 1 내지 도 4에 도시된 장치의 다른 실시예의 측면도이며,
도 7은 도 1 내지 도 4에 도시된 장치와 관련하여 이용될 수 있는 조작자 모듈의 사시도이며,
도 8은 도 4에 도시된 용기 내에서의 수리 작업을 수행하도록 구성된 도 1 내지 도 4에 도시된 장치의 측면도이며,
도 9는 도 4에 도시된 용기로부터 도 1 내지 4 및 8에 도시된 장치를 회수하기 위해 이용될 수 있는 밧줄, 및 상기 밧줄을 보관하기 위해 이용될 수 있는 스풀 및 하우징의 측면도로서, 하우징의 절반이 제거된 도면이며,
도 10은 인출 장치와 정합되고 도 4에 도시된 용기로부터 인출 장치에 의해 회수되는 도 1 내지 4 및 8에 도시되는 장치의 측면도이며,
도 11은 도 4에 도시된 용기 내의 검사 및 다른 작업을 수행하기 위해 단부 상에 장착되는 카메라를 가지는 케이블의 측면도이며,
도 12는 도 4에 도시된 장치의 다른 일 실시예의 측면도로서, 다른 실시예는 도 1 내지 도 4 및 도 8에 도시된 장치가 내부 용적으로 삽입 및 이로부터 회수될 때 주위 환경으로부터 용기의 내부 용적을 격리하는 밸브 시스템을 가지는, 도면이며,
도 13은 도 12의 표시된 " C " 영역의 확대로서 도관 내부에 도 1 내지 4 및 8에 도시된 장치를 나타내도록 단면으로 밸브 시스템의 도관을 도시하는 도면이다.

Claims (31)

  1. 미리결정된 최소 순도를 가지는 제 1 유체를 수용하기 위해 이용되는 용기(200) 내에서 작업을 수행하기 위한 장치(10)로서,
    바디(20),
    상기 장치(10)가 상기 용기(200) 내에서 작업을 수행하는 동안 상기 바디(20)에 가동되게 연결되고 상기 용기(200)의 표면 상에 상기 장치(10)를 지지하는 휠(30a), 트랙(31), 또는 휠(30a) 및 트랙(31), 및
    상기 장치(10)가 상기 용기(200) 내에서 작업을 수행하는 동안 상기 바디(20)에 장착되고 상기 용기(200)의 표면과 상기 바디(20) 사이에 적어도 부분적으로 위치하는 셀(98)을 포함하며,
    상기 휠(30a) 및 상기 트랙(31) 중 하나 이상과 상기 셀(98)은 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene), 화이트 실리카(white silica) 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 형성되며 상기 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료는 제 1 유체가 상기 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료에 노출될 때 상기 제 1 유체의 순도를 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소시키지 않으며,
    상기 바디(20)에 부착되는 밧줄(tether; 60)을 더 포함하며,
    상기 장치(10)는 상기 밧줄(60)을 보관하는 하우징(62), 및 상기 하우징(62)에 장착되는 스풀(64)을 더 포함하여 상기 스풀(64)이 상기 하우징(62)에 대해 회전할 수 있도록 하고, 상기 밧줄(60)이 상기 스풀(64)에 부착되어 상기 밧줄(60)이 상기 스풀(64) 상으로 감겨질 수 있도록 하며,
    상기 하우징(62)은 가스로 정화(purge)되고, 상기 가스는 상기 제 1 유체가 가스에 노출될 때, 상기 제 1 유체의 순도를 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소시키지 않는,
    용기 내에서 작업을 수행하기 위한 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 휠(30a) 및 상기 트랙(31) 중 하나 이상과 상기 셀(98)을 형성하는 상기 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene), 화이트 실리카(white silica) 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료는 각각 상기 용기(200)를 형성하는 재료의 경도보다 작은 경도를 가지는,
    용기 내에서 작업을 수행하기 위한 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 휠(30a) 및 상기 트랙(31) 중 하나 이상을 구동하기 위한 전기 모터(24)를 더 포함하는,
    용기 내에서 작업을 수행하기 위한 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 바디(20) 상에 장착되는 감지 장치를 더 포함하는,
    용기 내에서 작업을 수행하기 위한 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 감지 장치는 비디오 카메라(70)인,
    용기 내에서 작업을 수행하기 위한 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 장치(10)는 상기 용기(200)의 개구(206; 212)의 치수에 맞추어지는 크기를 가지며, 상기 개구(206; 212)는 압력 해제 밸브(209)를 수용하는,
    용기 내에서 작업을 수행하기 위한 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 바디(20)에 가동되게 연결하는 진공 픽업(80), 및 상기 진공 픽업(80)과 유체 소통되는 진공원(76)을 더 포함하는,
    용기 내에서 작업을 수행하기 위한 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 바디(20)에 가동되게 연결되는 노즐(94), 및 상기 노즐(94)과 유체 소통되는 코팅 재료의 저장부(90)를 더 포함하는,
    용기 내에서 작업을 수행하기 위한 장치.
  13. 용기(200)의 내부에 관련된 정보를 얻기 위한 시스템으로서,
    상기 용기(200)의 내부로 들어갈 수 있는 장치(10)를 포함하며,
    상기 장치(10)는 바디(20), 상기 바디(20)에 장착되는 센서, 상기 장치(10)로부터 정보를 전달하기 위한 트랜스미터(50a) 및 상기 정보를 저장하기 위한 메모리-저장 장치(75) 중 하나 이상, 및 상기 바디(20)를 적어도 부분적으로 둘러싸고 상기 장치의 다른 부분으로부터 부스러기 및 미립자 재료를 수집하는 셀(98)을 포함하며,
    상기 용기(200)는 미리결정된 최소 순도를 가지는 제 1 유체를 수용하기 위해 이용되며, 상기 셀(98)은 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 형성되며, 상기 제 1 유체가 상기 셀(98)을 형성하는 상기 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료에 노출될 때 상기 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료가 상기 제 1 유체의 순도를 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소시키지 않는,
    용기의 내부에 관련된 정보를 얻기 위한 시스템.
  14. 삭제
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 장치에 소통가능하게 결합되는 조작자 모듈(54)을 더 포함하며 상기 장치(10)에 명령 입력을 발생하기 위한 제어기(56)를 포함하는,
    용기의 내부에 관련된 정보를 얻기 위한 시스템.
  16. 미리결정된 최소 순도를 가지는 제 1 유체의 존재시 상기 제 1 유체의 순도를 미리결정된 최소 순도 아래로 감소시키지 않게 작동하도록 구성되는 장치(10)를 제공하는 단계,
    상기 제 1 유체를 수용하도록 구성된 용기(200)의 내부 용적(202) 내로 상기 장치(10)를 삽입하는 단계, 및
    상기 장치(10)를 이용하여 상기 용기(200)를 검사, 수리, 또는 검사 및 수리하는 단계를 포함하며,
    상기 제 1 유체를 수용하도록 구성된 용기(200)의 내부 용적(202) 내로 상기 장치(10)를 삽입하는 단계는,
    제 1 밸브(182), 제 2 밸브(184), 상기 제 1 밸브(182) 및 상기 제 2 밸브(184)를 연결하는 제 1 도관(186) 및 상기 제 1 밸브(182) 및 상기 용기(200)를 연결하는 제 2 도관(188)을 포함하는 밸브 시스템(180)을 제공하는 단계,
    상기 용기(200)의 밸브 시스템(180)의 제 2 밸브(184)를 개방하는 단계,
    상기 제 2 밸브(184)에 의해 상기 밸브 시스템(180)의 상기 제 1 밸브(182)와 상기 제 2 밸브(184) 사이에 위치하는 상기 제 1 도관(186) 내로 상기 장치(10)를 조종하는 단계,
    상기 제 2 밸브(184)를 폐쇄하는 단계,
    상기 제 1 밸브(182)를 개방하는 단계, 및
    상기 제 1 밸브(182) 및 상기 용기(200)로 연결되는 상기 제 2 도관(188) 및 상기 제 1 밸브(182)에 의해 상기 내부 용적(202) 내로 상기 장치(10)를 조종하는 단계를 포함하며,
    상기 미리 결정된 최소 순도를 가지는 제 1 유체의 존재시 상기 제 1 유체의 순도를 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소되지 않게 작동하도록 구성되는 장치(10)를 제공하는 단계는, 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 형성되는 휠(30a), 트랙(31), 또는 상기 휠(30a) 및 상기 트랙(31)을 가지는 장치(10)를 제공하는 단계를 포함하며, 상기 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료가 상기 제 1 유체와 접촉할 때 상기 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료는 상기 제 1 유체의 순도가 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소하지 않도록 하는,
    방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 장치(10)를 이용하여 상기 용기(200)를 검사, 수리 또는 검사 및 수리하는 단계는, 상기 장치(10)의 센서를 이용하여 상기 용기(200)에 관련된 정보를 얻는 단계를 포함하는,
    방법.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 장치(10)를 이용하여 상기 용기(200)를 검사, 수리, 또는 검사 및 수리하는 단계는 상기 내부 용적으로부터 부스러기 및 미립자 물질(214) 중 하나 이상을 수집하는 단계를 포함하는,
    방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 부스러기 및 미립자 물질(214) 중 하나 이상의 정체(identity), 원인(origin), 또는 정체 및 원인을 결정하기 위하여 상기 부스러기 및 미립자 물질(214) 중 하나 이상을 분석하는 단계를 더 포함하는,
    방법.
  20. 제 16 항에 있어서,
    상기 장치(10)를 이용하여 상기 용기(200)를 검사, 수리 또는 검사 및 수리하는 단계는 상기 용기(200)의 표면을 재-코팅하는 단계를 포함하는,
    방법.
  21. 제 17 항에 있어서,
    상기 장치(10)의 센서를 이용하여 상기 용기(200)에 관련된 정보를 얻는 단계는 탱크 내의 균열, 오목부(dent), 용접 결함, 모재 결함, 부식, 만입부, 및 주름부 중 하나 이상을 감지, 측정 또는 감지 및 측정하는 단계를 포함하는,
    방법.
  22. 제 17 항에 있어서,
    상기 장치의 센서를 이용하여 상기 용기(200)에 관련된 정보를 얻는 단계는 상기 용기(200)의 내부 배관의 구성에 관련된 정보를 얻는 단계를 포함하는,
    방법.
  23. 삭제
  24. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 유체를 수용하도록 구성된 용기(200)의 내부 용적(202) 내로 상기 장치(10)를 삽입하는 단계는 상기 제 1 밸브(182)를 폐쇄한 후 그리고 상기 제 2 밸브(184)를 개방하기 전 상기 제 1 도관(186) 내의 용적을 정화하는 단계를 더 포함하는,
    방법.
  25. 제 16 항에 있어서,
    미리결정된 최소 순도를 가지는 제 1 유체의 존재시 상기 제 1 유체의 순도를 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소시키지 않게 작동하도록 구성되는 장치(10)를 제공하는 단계는 (i) 상기 장치(10)에 의해 발생된 부스러기 및 미립자 물질(214)이 수집되도록 구성되고 (ii) 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 형성되는 셀(98)을 가지는 장치(10)를 제공하는 단계를 포함하며,
    상기 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료가 상기 제 1 유체와 접촉할 때 상기 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료가 상기 제 1 유체의 순도를 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소하지 않는,
    방법.
  26. 삭제
  27. 제 16 항에 있어서,
    가스로 상기 내부 용적(202)을 정화하는 단계를 더 포함하며,
    상기 가스가 상기 제 1 유체와 접촉할 때 상기 가스가 상기 제 1 유체의 순도를 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소하지 않는,
    방법.
  28. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 유체의 존재시 상기 제 1 유체의 순도를 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소하지 않도록 작동하게 구성되는 제 2 장치(100)를 이용하여 상기 장치(10)를 끌어당기거나, 밀어내거나 또는 끌어당기고 밀어냄으로써 상기 내부 용적(202)으로부터 상기 장치(10)를 제거하는 단계를 더 포함하는,
    방법.
  29. 내부 용적(202) 및 셀(98)을 가지며 상기 셀(98) 내에는 밸브를 수용하는 개구(206)를 구비하는, 용기(200)를 검사하는 방법으로서,
    센서를 포함하는 장치(10)를 제공하는 단계,
    상기 용기(200)의 셀(98)에 형성되는 상기 개구(206)로부터 상기 밸브를 제거하는 단계,
    상기 개구(206)에 의해 상기 내부 용적(202) 내로 상기 장치(10)를 도입하는 단계, 및
    상기 센서로부터 상기 용기(200)에 관한 정보를 얻는 단계(200)를 포함하며,
    상기 센서를 포함하는 장치(10)를 제공하는 단계는 미리결정된 최소 순도를 가지는 제 1 유체의 존재시 상기 제 1 유체의 순도를 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소하지 않고 상기 용기(200) 내에서 작동하도록 구성되는 장치(10)를 제공하는 단계를 포함하며,
    상기 미리 결정된 최소 순도를 가지는 제 1 유체의 존재시 상기 제 1 유체의 순도를 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소하지 않고 상기 용기(200) 내에서 작동하도록 구성되는 장치(10)를 제공하는 단계는, 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 형성되는 휠(30a), 트랙(31), 또는 상기 휠(30a) 및 상기 트랙(31)을 가지는 장치(10)를 제공하는 단계를 포함하며, 상기 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료가 상기 제 1 유체와 접촉할 때 상기 폴리테트라플루오로에틸렌, 화이트 실리카 및 이들의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료는 상기 제 1 유체의 순도가 상기 미리결정된 최소 순도 아래로 감소하지 않도록 하는,
    내부 용적을 가지는 용기를 검사하는 방법.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 밸브는 압력 해제 밸브(209)인,
    내부 용적을 가지는 용기를 검사하는 방법.
  31. 삭제
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