JP2005114168A - 製品の輸送及び貯蔵のためのシステム並びに製品の輸送方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 製品の輸送及び貯蔵のためのシステムを提供すること。
【解決手段】 製品の輸送及び貯蔵のためのシステムであって、
(a)円筒形壁部と2つの端部を含むタンクと;
(b)1つ又は複数の側壁と、底壁と、該1つ又は複数の側壁に取り付けてバルブボックスを封止することができる取り外し可能で封止可能な上蓋とを含むバルブボックスと;
(c)該バルブボックス内に配置された1つ又は複数のプロセスバルブと;
(d)該バルブボックスと流体連絡しているパージバルブ及び圧力測定手段と;
を含んで成り、該バルブボックスが封止されている場合、該タンク内の製品が、該タンク周囲の大気から隔離されている、製品の輸送及び貯蔵のためのシステム。
【選択図】 図1

Description

エレクトロニクス及びその関連産業における特殊コンポーネントの製造では、有害な、高純度及び超高純度製品の安全な輸送及び貯蔵が重要である。これらの輸送及び貯蔵手順は、関与する国及び管轄区域内の政府機関によって設定される全ての安全及び環境規則を満たさなければならない。さらに、輸送及び貯蔵方法は、これらの製品を利用する製造業者の高純度及び超高純度要件を維持しなければならない。
これらの製品のいくつかは適度な量で使用され、例えば、圧縮液化ガスとして標準的なボンベにおいて輸送し貯蔵することができる。このような高純度及び超音純度製品に対する需要が増大するにつれて、トラック、鉄道、船、及び航空機を介した標準的なモジュール式出荷方法により取扱うことのできる、より大きなバルクコンテナに入れて製品を出荷することが望ましくなっている。このようなコンテナが大きくなるにつれて、漏洩及び偶発的な放出の予防がそれに対応してより重要になる。
これらの製品の大量モジュール式輸送は、標準的なクレーン及びリフトを用いて荷積み及び荷卸しでき、かつ標準的なモジュール式出荷方法によって出荷できる標準サイズの構造フレーム内に貯蔵タンクを搭載することによって容易にすることができる。これらの出荷方法に付随する安全性、環境及び製品純度の要件を満たしながら、これら標準サイズの構造フレーム内に搭載されるタンク内の製品の量を最大限にすることが望ましい。同様に、充填場所からエンドユーザーの場所までの輸送中、タンク内の製品の潜在的汚染を監視する必要がある。これらのニーズは、以下で説明されかつ特許請求の範囲により規定される本発明の輸送及び貯蔵システムによって満たされる。
本発明の1実施態様は、円筒形壁部と2つの端部を含むタンクを含んで成る製品の輸送及び貯蔵のためのシステムであって、該円筒形壁部と該2つの端部が円筒形タンク周囲を画定し、該タンク周囲が内部と外部を有する、製品の輸送及び貯蔵のためのシステムに関する。このシステムは、1つ又は複数の側壁と、底壁と、該1つ又は複数の側壁に取り付けてバルブボックスを封止することができる取り外し可能で封止可能な上蓋とを含んで成るバルブボックスであって、その側壁が円筒形壁に対し封止可能な形で接合されているバルブボックスを含む。1つ又は複数のプロセスバルブであって、各バルブが第1及び第2端部を有し、各第1端部が、タンク内に製品を導入するか又はタンクから製品を回収するため、バルブボックスの壁を貫通するパイプに接続されている1つ又は複数のプロセスバルブが該バルブボックス内に配置される。このシステムはまた、バルブボックスと流体連絡しているパージバルブ及び圧力測定手段を含む。バルブボックスが封止されている場合には、タンク内の製品は、タンク周囲の大気から隔離されている。
バルブボックスは、少なくとも部分的に奥まった所に配置することができ、タンク周囲の内部に少なくとも部分的に配置することができる。バルブボックスの蓋は、バルブボックスの1つ又は複数の側壁に取り付けて封止されたバルブボックスを形成する場合、タンク周囲に配置することができるか又はタンク周囲の外側にあることができる。
封止されたバルブボックスは、好ましくはタンク周囲の大気から隔離されており、バルブボックス内の温度を測定するための温度測定手段を含むことができる。
典型的には、バルブボックスは円筒形であり、円形底壁と、円形上蓋と、単一の側壁を形成する円筒形中心部とを有する。パージバルブは、パージガスをバルブボックス内に導入するため充填ラインに接続できる封止可能なクロージャーに接続することができる。封止されている場合のバルブボックスの最大許容使用圧力は、タンクの最大許容使用圧力以上であることができる。
1つ又は複数のプロセスバルブの各第2端部は、封止可能なクロージャーに接続することができ、該クロージャーは、外部供給源からタンク内に製品を導入するため充填ラインに接続できるか、外部用途に関してタンクから製品を回収するため回収ラインに接続できるか、又はタンク内の製品の輸送若しくは貯蔵のため密閉できる。各封止可能なクロージャーは、バルブボックス内でかつタンク周囲の内部に配置することができる。タンクは、共存する液相及び蒸気相において製品を収容することができ、充填ラインはタンクへの液体の導入に適合でき、回収ラインはタンクからの蒸気の回収に適合している。
タンクは、アンモニア、塩素、塩化水素、トリクロロシラン、四塩化ケイ素、及びメチルトリクロロシランから成る群より選択された製品を収容することができる。あるいはまた、タンクは、固体粒状成分とガスを収容することができ、充填ラインはタンク内に固体粒状成分とガスの混合物を導入するよう適合しており、かつ回収ラインはタンクから固体粒状成分とガスの混合物を回収するよう適合している。別の変形態様では、タンクは、固体粒状成分と液体成分のスラリーを収容することができ、充填ラインはタンク内に固体粒状成分と液体成分のスラリーを導入するよう適合しており、かつ回収ラインはタンクから固体粒状成分と液体のスラリーを回収するよう適合している。
タンクの軸は一般に水平であることができ、タンクは上部と底部を有し、バルブボックスはタンクの上部に配置することができ、バルブの第1端部にパイプを接続させて、バルブボックスを通ってバルブボックスから下向きにタンクの底部付近の場所まで及ぶディップチューブを形成することができる。
システムは、タンク及びバルブボックスを囲む硬質枠組であって、タンクに取り付けられこれを支持し、タンク周囲を取り囲む周囲を画定する硬質枠組をさらに含んで成ることができる。バルブボックスは、硬質枠組の周囲内に配置することができる。
システムは、バルブボックスが封止されている場合にバルブボックスから回収された流体を分析するための、又はバルブボックスが封止されている場合にバルブボックスのその場の流体を分析するための分析手段をさらに含んで成ることができる。
別の実施態様においては、本発明は、製品の輸送方法であって、
(a)システムを提供すること、即ち、
(1)円筒形壁部と2つの端部を含むタンクであって、該円筒形壁部と該2つの端部が円筒形タンク周囲を画定し、該周囲が内部と外部を有するタンク;
(2)1つ又は複数の側壁と、底壁と、該1つ又は複数の側壁に取り付けて封止されたバルブボックスを形成できる取り外し可能で封止可能な上蓋とを含むバルブボックスであって、その側壁が該円筒形壁部に対し封止可能な形で接合されているバルブボックス;
(3)該バルブボックス内に配置された1つ又は複数のプロセスバルブであって、各バルブが第1及び第2端部を有し、各第1端部が、該タンク内に製品を導入するか又は該タンクから製品を回収するため、該バルブボックスの壁を貫通するパイプに接続され、該バルブボックスが封止されている場合に、該タンク内の製品が該タンク周囲の大気から隔離されている1つ又は複数のプロセスバルブ;並びに
(4)該バルブボックスと流体が連絡しているパージバルブ及び圧力測定手段;
を含んで成るシステムを提供すること;
(b)該1つ又は複数のプロセスバルブのうち少なくとも1つに通し、該プロセスバルブの第1端部に接続されかつ該バルブボックスの壁を通過して該タンク内に進むパイプに通して、製品を該タンク内に導入すること;
(c)該1つ又は複数のプロセスバルブを閉じて、それにより製品圧力で該タンク内に製品を隔離し、該封止可能な上蓋を該バルブボックスの該1つ又は複数の側壁に取り付けること;
(d)第1の時点で、パージガスによって該バルブボックスをパージし、製品圧力と大気圧の間の圧力まで該バルブボックスを加圧して該パージバルブを閉じ、該バルブボックス内の圧力を測定し記録すること;並びに
(e)該第1の時点より後の第2の時点で、該バルブボックス内の圧力を測定し、該第2の時点での圧力を該第1の時点で(d)において測定した該バルブボックス内の圧力と比較すること;
を含んで成る、製品の輸送方法を含む。
この方法において使用されるシステムは、タンク及びバルブボックスを囲む硬質枠組であって、タンクに取り付けられこれを支持し、タンク周囲を取り囲む周囲を画定する硬質枠組をさらに含んで成ることができる。バルブボックスは、硬質枠組の周囲内に配置することができる。
この方法は、第1の時点と第2の時点との間の期間中に、第1の場所から第2の場所までシステムを輸送することをさらに含んで成ることができる。この方法は、第1の場所と第2の場所でバルブボックス内の温度を測定すること、第2の場所での圧力を補正して第2の場所での温度補正済み圧力を得ること、及び第1の場所で測定された圧力と第2の場所での温度補正済み圧力を比較することをさらに含むことができる。
第2の場所におけるバルブボックス内の温度補正済み圧力が、第1の場所でのバルブボックス内で測定された圧力よりも大きい場合、システムは、第2の場所から第1の場所まで輸送することができる。第2の場所におけるバルブボックス内の温度補正済み圧力が、第1の場所でのバルブボックス内で測定された圧力よりも小さい場合、バルブボックス内の流体を分析し、バルブボックス内の流体が製品を含有する場合には、第2の場所から第1の場所までシステムを輸送することができる。第2の場所におけるバルブボックス内の温度補正済み圧力が、第1の場所でのバルブボックス内で測定された圧力と本質的に等しい場合、バルブボックス内の流体を分析し、バルブボックス内の流体が製品を含有する場合には、第2の場所から第1の場所までシステムを輸送することができる。
本発明は、大気から隔離して高純度又は超高純度の状態に維持しなければならない製品の輸送のためのシステム及び方法に関する。これらの製品は環境的に有害な場合があり、このような場合、大気からの隔離は特に重要である。このシステムは、標準サイズの構造フレーム内に貯蔵タンクを搭載することにより、これら製品の大量モジュール式輸送に適合させることができる。このシステムは、トラック、鉄道及び船を介した標準的なモジュール式出荷方法を用いて荷積み、出荷及び荷卸しすることのできるバルクコンテナとして説明することができる。
本発明の例示的な実施態様の概略等角図を図1及び図2に与える。モジュール式タンク及びフレームシステム1は、タンクアセンブリを支持して標準的な産業方法による安全な荷積み、出荷及び荷卸しを可能にするよう設計された構造枠組5(図1)の内部に搭載され固定されたタンクアセンブリ3を含んで成る。構造枠組5は、荷積み及び荷卸しの際にシステム1全体を吊り上げ、移動させ、並びに貨物トレーラー又は鉄道車両などの輸送手段に取り付けることを可能にする吊り金具又は他の取り付け具(図示せず)を備えることができる。
取り外し可能な上蓋7が、枠組5の周囲内部に配置されかつ部分的に又は完全にタンクアセンブリ3の周囲内に配置されたバルブボックスを封止する。製品の充填及び回収に利用されるバルブ及び封止可能な接続は、後述するようにバルブボックス内にある。枠組5は、上蓋7にアクセスするためのキャットウォーク9及び梯子11を備えることができる。モジュール式タンク及びフレームシステム1は、米国運輸省(DOT)及び国際標準化機構(ISO)などの政府及び海運業機関により要求される仕様及び標準寸法を用いて建造されることが好ましい。例えば、枠組5の周囲により画定されるモジュール式タンク及びフレームシステム1の寸法は、20フィート×8フィート×8フィート6インチ高さというISO標準出荷用コンテナ寸法に従ったものであることができる。
枠組5の周囲内に配置されたバルブボックス及び上蓋7を使用することで、モジュール式タンク及びフレームシステム1は、関与する国及び管轄区域内の政府機関により設定される全ての安全及び環境規則を満たすことができる。加えて、これにより、高純度及び超高純度製品の要件は、モジュール式タンク及びフレームシステム1の輸送及び貯蔵の際に確実に満たされる。
モジュール式タンク及びフレームシステム1は、該当する政府及び海運業機関によって特定される方法及び材料を用いて製作されるべきである。タンク3は、耐腐食性及び製品純度両方の要件を保証するよう適切な公知の合金で製作されるべきであり、任意選択で、適切な材料によりライニングしてこれらの要件を満たすことができる。米国機械学会(ASME)又は米国運輸省(DOT)によって規定されるタンク3の最大許容使用圧力は、500psiaぐらいの高さであることができる。
上蓋7は、適切なガスケット材料及び円形蓋周囲の複数のネジ込みボルト13を用いて設置される。これにより、バルブボックスは輸送及び貯蔵の際に封止して、充填及び製品回収作業の際に開放することが可能となる。取っ手14(図2)により、タンクの開放及び閉鎖作業の際に、蓋7を持ち上げて移動させることができる。好ましくは、上蓋7を設置して封止した状態のバルブボックスの最大許容使用圧力は、タンク3の最大許容使用圧力以上である。こうして、タンク及びフレームシステム1を修理のため安全な場所に輸送できるようになるまで、輸送及び貯蔵中のバルブボックス内のバルブ又は封止可能な接続部の如何なる漏れも確実に封じ込められる。充填又は製品回収作業の際、バルブ又は封止可能な接続部に何らかの損傷が発生した場合には、上蓋7を直ちに取り付けて封止することができる。上蓋7により封止されたバルブボックスの最大許容使用圧力がタンク3の最大許容使用圧力以上である場合には、タンク及びフレームシステム1は、DOTなどの運輸当局に適用除外を申請することなく、修理のため安全な場所まで直ちに輸送することが可能である。
タンク及びフレームシステム1は、様々な製品を輸送及び貯蔵するのに利用することができ、ここで、製品とは、2つ以上の共存相において存在する1つ又は複数の成分を含んで成る流体又は流動性材料と規定できる。1つの実施態様においては、このシステムは、アンモニア、塩素、塩化水素、トリクロロシラン、四塩化ケイ素、及びメチルトリクロロシランなどの加圧液化ガスに使用することができる。この適用において、製品は液体としてタンク3内に装填し、その後、タンク内で液体を気化させながら蒸気として回収することができる。あるいはまた、トランスフィル(transfill)作業の圧力下で液体を別のタンクに移すこともできる。
別の実施態様においては、タンクは、気体−固体懸濁液としてタンク内に導入されかつタンクから回収される固体粒状成分に使用することができる。このような固体微粒子の例は、黒鉛、炭素、及び粉末金属を含むことができ、気体は、空気、窒素、アルゴン及び天然ガスから選択することができる。さらに別の実施態様においては、タンクは、液体成分中の固体粒状成分のスラリーに使用することができる。
上蓋7を取り外した状態のバルブボックスの上面図が、図3に示す1つの実施態様において図示される。フランジ又はフランジ部15は、典型的にはタンク3の上部壁領域に溶接されて、タンクアセンブリの必要不可欠な一部を形成する。複数のネジ込みボルト用穴17をフランジに形成して、バルブボックスを封止する際に上蓋7をフランジに対して封止するネジ込みボルト13(図1及び図2)を収容することができる。他のタイプのクロージャーは、それらが枠組5の周囲内にある限り使用することができる。
バルブボックスの内部は、図4に示される通り、円筒形側壁19及び底壁21によって画定される。底壁21は、複数のボルト23(図3)により、側壁19の一部である円形ブラケット又はリング(以下で記述する)に取り付けることができる。バルブ25は、(この上面図に見られる)ハンドホイールと、ハンドホイールの下にある(この上面図では見られない)バルブ本体と、バルブステム、ネジ山、パッキン及びシートを含む通常のバルブ内部品とを典型的に含んで成る。あるいはまた、バルブは、ハンドホイールではなく空気圧操作器により作動させることもできる。このバルブは、2つの入口/出口ポートが90度の夾角を画定しているアングルバルブとして記載される周知タイプのバルブであることができる。この実施態様においては、一方のバルブポートが下向きに配向され、もう一方が、以下でより詳細に説明されるように水平方向に配向される。水平方向に配向されたバルブポートは、一般に90度のベンドを有するパイプのショートピースであるパイプ部27の一方の端部に接続される。パイプ部27のもう一方の端部は上向きに配向され、フランジアセンブリ又は封止可能なクロージャー29に接続される。バルブ25の下向きに配向したポートは、典型的には底壁21を貫通してタンク3の内部に進むパイプ部に接続される。パイプのこの部分は、底壁21に溶接又はフランジ留めすることができる。
あるいはまた、バルブ25はベローズタイプのバルブであることができ、空気圧で作動させることができる。上述のアングル構成以外のバルブ構成も、適切な配管を伴って使用することができる。
示されるように、フランジボルト31によって取り付けられたフランジ及びガスケットにより、封止可能なクロージャー29が封止される。封止されると、封止可能なクロージャー29は、タンク3の最大許容使用圧力以上の最大許容使用圧力に耐えることができる。バルブ25及び封止可能なクロージャー29が開放している場合には、封止可能なクロージャー29に適切な充填及び回収ラインを取り付けることにより、それを通して製品をタンク3内に導入することができるか、又はそれを通して製品をタンク3から回収することができる。追加及び任意選択のバルブ33、パイプ部35及び封止可能なクロージャー37は、それぞれバルブ25、パイプ部35及び封止可能なクロージャー29と類似又は同一であることができるが、同様に製品充填又は製品回収の何れかに使用することができる。追加及び任意選択のバルブ39、パイプ部41及び封止可能なクロージャー43は、それぞれバルブ25、パイプ部35及び封止可能なクロージャー29と類似又は同一であることができるが、同様に製品充填又は製品回収の何れかに使用することができる。典型的には、追加のバルブ33及び39はそれぞれ、底壁21を貫通してタンク3の内部に進むパイプ部に接続される下向きに配向したポートを有し、パイプのこの部分は底壁21に溶接される。
タンク3への製品充填及びタンク3からの製品回収には少なくとも1つのバルブが必要であるが、典型的には2つ以上のバルブが使用される。1つの実施態様においては、バルブ33の下向きに配向したポートは、底壁21を下向きに貫通してタンク3内部の底部付近の点に進むパイプ部に接続することができる。ディップチューブとして知られるこのパイプ部は、タンク内に液体を導入するか又は液体をそこから回収するのに使用することができる。バルブ25及び39の下向きに配向したポートのそれぞれは、底壁21を下向きに貫通してタンク3の上部に進む配管アセンブリに接続することができる。この実施態様は、例えば、製品が加圧液化ガスである場合に使用できる。この例では、タンクは、封止可能なクロージャー37、パイプセグメント35、バルブ33、及び底壁21を下向きに貫通してタンク3内部の底部付近の点に進むパイプ部を通して液体で充填される。蒸気製品は、封止可能なクロージャー31及び43の何れか又はその両方、パイプセグメント27及び41、バルブ25及び39、並びに底壁21を下向きに貫通してタンク3の上部に進む配管アセンブリを通してタンクから回収される。
図1〜4を参照して上で説明したバルブボックスは円形断面であるが、他の形状も使用することができる。例えば、バルブボックスの断面は、いくつかの配管及びバルブ設計の要件を満たすよう必要に応じて正方形又は長方形とすることができる。
バルブボックス内の例示的なバルブ、パイプセグメント及び封止可能なクロージャーの配向は、図4の2−2断面によって図示されている。この断面は、バルブ33、パイプセグメント35及び封止可能なクロージャー37を含む図4において示されている。バルブ39、パイプセグメント41及びクロージャー43が、バルブ33、パイプセグメント35及び封止可能なクロージャー37の後方にあるが、明確にするため図4では示されていない。バルブ33は、ハンドホイール45、ステム47及びバルブ本体49を含む。上で説明した通り、1つの実施態様においては、これは、バルブボックス53の底壁21を貫通してこれに溶接又はフランジ留めされたパイプセグメント51に一方のポートを接続したアングルバルブである。もう一方のポートは、前述のパイプセグメント35に接続されている。封止可能なクロージャー37は、パイプセグメント35に溶接されたフランジ53と、フランジ55と、ボルト57と、フランジ間のガスケット(図示せず)とを含んで成る。パイプセグメント51は、ディップチューブとしてタンク3の底部に下向きに延びることができるか、あるいはまた任意の所望の配管構成を介してタンク3の上部領域59(図4)に延びることができる。
図3を参照して上述した通り、前述の追加及び任意選択のバルブ25、パイプ部27及び封止可能なクロージャー29は、バルブ33、パイプセグメント35及び封止可能なクロージャー37に類似であることができる。同様に、追加及び任意選択のバルブ39、パイプ部41及び封止可能なクロージャー43は、バルブ33、パイプセグメント35及び封止可能なクロージャー37に類似であることができる。バルブ、パイプセグメント及び封止可能なクロージャーのアセンブリは、図4に示すように底壁21に関して一般に設置されるが、側壁19に関して任意の方向に配向することができる。例えば、図3に示すように、バルブ33、パイプ部35及び封止可能なクロージャー37によって形成されたアセンブリは一方の方向に配向され、一方で、バルブ25及び39、パイプ部27及び41並びに封止可能なクロージャー31及び43によって形成されたアセンブリは反対の方向に配向される。
上記実施態様においては、パイプセグメント51(図4)は、ディップチューブとしてタンク3の底部まで下向きに延び、バルブ25及び39の下向きに配向したポートに接続されたパイプセグメントは、任意の所望の配管構成を介してタンク3の上部領域59に延びている。この実施態様においては、パイプセグメント51は、液体製品の充填操作に使用することができ、バルブ25及び39の下向きに配向したポート(図3)に接続されたパイプセグメントは、任意の所望の配管構成を介してタンク3の上部領域59に延びているが、蒸気回収操作に使用することができる。
バルブ49は、典型的には、バルブボックス53の底蓋21及びバルブに溶接又はフランジ留めされているパイプセグメント51により所定の位置に固定される。前述のように、円筒形側壁19の一部であるリング63に対しボルト61を用いることにより、底蓋21をタンク3の内部構造に接続することができる。底壁21とリング33の間には、適切なガスケット(図示せず)を設置することができる。側壁19がフランジ部15を介してタンク3の上壁67に接合され、前述の通りフランジ部15にネジ込みボルト用穴17が配置されている。
間にガスケット(図示せず)を伴ってフランジ部15に上蓋7を取り付け、ネジ込みボルト13をネジ込みボルト用穴17に設置することにより、バルブボックス53を封止することができる。封止されている場合には、バルブボックス53は、上記のバルブ、パイプセグメント及び封止可能なクロージャーを閉じ込めている。したがって、封止されている場合のバルブボックス53は、3つの目的、即ち、外因の機械的損傷からバルブ、パイプセグメント及び封止可能なクロージャーを保護すること;バルブ、パイプセグメント及び封止可能なクロージャーに発生し得る如何なる漏れも大気から隔離すること;及び大気汚染物質の逆拡散によるタンク内製品の汚染の可能性を防止することに役立つ。
このように、上記のバルブ、封止可能なクロージャー及び封止された上蓋の組み合せにより、タンク3内の製品と外部大気との間に3つのレベルの機能的な隔離が得られる。こうして、輸送又は貯蔵の際、機械的な故障により大気へ製品が放出される統計的確率は相当に低下する。さらに、タンク3内の製品と外部大気との間の3つのレベルの機能的な隔離により、汚染物質、例えば、水又は他の大気成分の逆拡散による製品の汚染の可能性が相当に減少する。
好ましくは、バルブボックス53をタンク3の周囲内に配置して、全てのバルブ、パイプセグメント及び封止可能なクロージャーがその周囲内に配置されるようにする。タンク3の周囲は枠組5の周囲内にあるので、全てのバルブ、パイプセグメント、及び封止可能なクロージャーは枠組5の周囲内に配置されることになる。
様々な封止部材を通ってタンク3内に汚染物質、例えば、水又は他の大気成分が逆拡散することにより汚染される如何なる可能性も無くするよう、輸送及び貯蔵作業の際、選択された不活性ガスを用いて閉鎖後にバルブボックス53を加圧又はパージすることができる(図示せず)。
1つの実施態様においては、上記の輸送及び貯蔵システムは、高純度(最高ppmvレベルの汚染物質)又は超高純度(最高ppbvレベルの不純物)液化圧縮ガスに使用することができる。従来、超高純度ガスは、0.4〜500リットルの範囲の容量を有するボンベを用いて輸送及び貯蔵されていた。本明細書で記載される輸送及び貯蔵システムの独創的な設計のため、このシステムは、より大量に超高純度ガスを輸送及び貯蔵するのに使用できる。例えば、20フィート×8フィート×8フィート6インチの標準的なISOフレームサイズを有する上記のシステムを使用した場合、最高710立方フィートの製品を出荷し貯蔵することができる。これは、例えば、約20,000ポンドの超高純度アンモニアに相当する。これとは対照的に、この操作のために利用可能な最大のボンベは、16立方フィートの容量を有することになる。
本発明の別の実施態様は、充填場所からエンドユーザーの場所までの輸送の際又は所与の場所での貯蔵の際に、タンク内の製品の潜在的汚染を監視し検出するための方法を提供する。製品をエンドユーザーの場所に輸送する典型的なプロセスにおいては、製品はバルブ49及び任意選択の封止可能なクロージャー37を介してタンク3の内部59に導入される。封止可能なクロージャー37及びバルブ49が閉鎖され、上蓋7が設置されて、ネジ込みボルト13をネジ込みボルト用穴17に挿入することによりバルブボックス53に対してシールされる。タンクは、エンドユーザーの場所まで輸送され、これらのステップが逆の順番で繰り返される。輸送の際、封止可能なクロージャー37、閉鎖されたバルブ49、パイプセグメント51が底壁21に取り付けられている点、及び底壁21がリング63に対してシールされている点に漏れが発生する可能性がある。漏れは、上蓋7がフランジ部15に対してシールされている場所でも発生し得る。
上蓋7がエンドユーザーの場所で取り外されると、バルブボックス53内に漏洩した製品により作業員が危険にさらされる可能性があることから、このような漏れは望ましくない。さらに、製品が大気中に漏洩して付加的な潜在的危険を引き起こす可能性がある。その上、このような漏洩は、大気からバルブボックス53内へ、そしてバルブボックスからタンク3の内部59へ少量のガスの逆拡散を可能にし、それによりタンク内の製品を汚染する可能性がある。このような潜在的漏洩について監視するため、図4のシステムは、図5の実施態様で示すように改良することができる。この実施態様においては、任意選択の封止可能なクロージャー71を有する追加のバルブ69を上蓋7の上又は代替的な場所に取り付けて、それにより封止可能なクロージャー及びバルブが開放している場合にバルブボックス53の内部と大気との間の流れの連絡を可能にする。
バルブ69及び封止可能なクロージャー71が閉鎖されているときのバルブボックス53内の圧力を監視するため、上蓋7上又は代替的場所に圧力計73が取り付けられる。圧力計73に代わるものとして、圧力変換器又は他の圧力監視装置(図示せず)を使用することができる。任意選択で、温度計、熱電対又は他の装置を伴うサーモウェルなどの温度測定装置(図示せず)をバルブボックス53の蓋又は壁に設置することができる。任意選択で、熱伝導率プローブ(図示せず)などの分析装置を、バルブボックス内の流体組成を現場測定するためにバルブボックス53の蓋又は壁に設置することができる。任意選択で、任意の公知方法により外部分析用の気体サンプルを回収するため、バルブボックス53の上蓋7又は壁に小さなサンプル用ポート(図示せず)を設置することができる。
図5の実施態様においては、バルブボックス53は、タンク3の壁周囲の中に完全に凹んでいる。あるいはまた、バルブボックス53は、タンク3の壁内に部分的にのみ凹んでいることもできる。別の変形態様では、バルブボックス53は、タンク3の壁周囲の完全に外側にあって、バルブボックスの底壁21がタンクの上壁67付近にあるか又は上壁67の一部であるようにすることができる。図5の実施態様では完全に凹んだバルブボックスが好ましいものの、それが必要条件であるわけではない。この実施態様においては、封止可能なクロージャー37は任意選択である。
製品がタンク3の内部59に導入された後、バルブ49及び任意選択の封止可能なクロージャー37が閉鎖される。バルブボックス53上にゆるく上蓋7を設置でき、バルブボックスをパージして、その中にもともと存在する気体と置換させるため、バルブ69を通してパージガスを導入することができる。あるいはまた、バルブボックスを封止し、パージバルブ69及びパージベントバルブ(図示せず)を介してこれをパージすることができる。パージガスは、例えば、ヘリウム又は他の任意の不活性ガスなど、製品中に存在する場合に汚染物質とみなされない任意のガスであることができる。バルブボックス53がパージされ封止された後、追加のパージガスを加えてバルブボックス53を、典型的には大気圧より高くかつタンク3の内部59に封止された製品の圧力より低い圧力に加圧することができる。次いで、パージバルブ69及び任意選択の封止可能なクロージャー71が閉鎖される。
この実施態様においては、第1の時点(即ち、バルブボックスが最初に加圧されたとき)と第2のさらに後の時点との間にバルブボックス内で漏れが発生したか否かを見極めるために、図5のシステムを利用することができる。例示的な手順は、製品、例えば、超高純度アンモニアを封止可能なクロージャー37及びバルブ49を通してタンク3に充填することを含んで成る。充填が完了した後、封止可能なクロージャー37及びバルブ49が閉じられ、蓋7がバルブボックス53上にゆるく設置される。パージガス、例えば、ヘリウムが、封止可能なクロージャー71及び開放したバルブ69を通して導入され、バルブボックス53から大気をパージする。パージが完了すると、蓋7が封止され、一方で、バルブボックスがタンク3内の圧力より低くかつタンク外部の圧力、例えば、大気圧より高い所定の圧力に達するまで、遅い速度でパージガスの導入が継続される。次いで、バルブ69が閉じられる。バルブボックス53の温度が測定され、バルブボックスの初期圧力及び温度が記録される。任意選択で、バルブボックス内のガスが、例えば、その熱伝導率を測定すること、又は他の分析手段によりサンプリング及び分析することによって分析され、組成データが記録される。
典型的には数時間又は数日であるが必要に応じてそれよりも長い一定の期間の後、バルブボックス53の温度及び圧力が測定され記録される。任意選択で、バルブボックス内のガスが、例えば、その熱伝導率を測定すること、又は他の分析手段によりサンプリング及び分析することによって分析され、組成データが記録される。この期間の間に、タンクアセンブリ全体は、例えば、タンク3に貯蔵される製品のエンドユーザーの場所など、別の場所に輸送することができる。あるいはまた、一定の期間、移動することなくタンクアセンブリを貯蔵することができる。
この期間の間に、以下のような複数の代替的なシナリオが可能である:
(1)(必要であれば温度補償の後)この期間の最後でバルブボックス53内の圧力は、タンクからバルブボックス内への漏洩の結果として、この期間の最初に記録された圧力よりも高い。このシナリオでは、タンクとバルブボックスとの間の圧力勾配による漏洩のため、バルブボックス内に幾らかの製品が見出される。さらに、バルブボックスとタンク内部との間の濃度勾配による逆拡散の結果として、タンク3内に少量のパージガスを見出す場合がある。このシナリオでは、バルブボックスと周囲大気との間で漏洩が生じた可能性もあるが、これは製品タンクからバルブボックス内への漏洩よりも低い速度である。これが生じた場合には、周囲大気からの少量のガスが、バルブボックス内にそしてバルブボックスから製品タンク内に逆拡散した可能性がある。しかしながら、逆拡散の量は、バルブボックスが大気汚染物質に完全に露呈された場合に起こる逆拡散よりもはるかに少ない。大気の逆拡散による製品汚染の可能性は、バルブボックス53内に緩衝液又はパージガスを導入することにより相当に低下する。
(2)(必要であれば温度補償の後)この期間の最後でバルブボックス53内の圧力は、バルブボックスから大気への漏洩の結果として、この期間の最初に記録された圧力よりも低い。このシナリオでは、バルブボックスの蓋7がしっかり封止されなかったため、バルブボックス53内のパージガスの一部が周囲大気に漏洩した可能性がある。タンク3とバルブボックス53の間で漏洩が全く生じなかった場合には、バルブボックス内には全く製品が存在せず、タンク3内の製品への逆拡散も全く生じないであろう。しかしながら、このシナリオでは、タンクとバルブボックスの間で漏洩が発生した可能性もあるが、それはバルブボックスから周囲大気への漏洩よりも低い速度である。この可能性は、バルブボックス内のガスを分析してその中に製品が存在するか否かを見極めることによって点検できる。これが生じた場合には、周囲大気からの少量のガスが、バルブボックス内に逆拡散し、そしてバルブボックスから製品タンク内に逆拡散した可能性がある。しかしながら、バルブボックスは最終的にタンク3内に収容される製品で一杯になり大気圧に近づくことになるため、タンク3内への大気汚染物質の逆拡散は小さくなる。バルブボックス内の気体を分析することによって、タンク3とバルブボックス53の間に漏洩が発生したか否かが見極められる。
(3)(必要であれば温度補償の後)この期間の最後でバルブボックス53内の圧力は、タンクからバルブボックス内への漏洩の結果として、この期間の最初に記録された圧力に等しい。このシナリオでは、漏洩は全く生じず、それゆえ、タンク3内の製品を汚染する逆拡散も全く生じなかったという可能性が最も高い。しかしながら、バルブボックスの蓋7がしっかりと封止されていなかったために、バルブボックス53内のパージガスの一部が周囲大気に漏洩した可能性と同様に、バルブボックスから周囲大気への漏洩に等しい速度でタンクとバルブボックスの間に漏洩が生じた可能性も、限定的であるが極わずかに存在する。この可能性は、起こりそうにないことではあるものの、バルブボックス内のガスを分析してその中に製品が存在するか否かを見極めることによって点検できる。これが生じた場合には、周囲大気からの幾らかのガスが、場合によってバルブボックス内に逆拡散し、そしてバルブボックスから製品タンク内に逆拡散している可能性がある。バルブボックスに製品又は製品とパージガスの混合物が充填されている場合、バルブボックス53を介した逆拡散によってタンク3内の製品を汚染する可能性は、相当に減少することになる。
バルブボックスの最初と最後の温度が異なる場合には温度補償が必要となり、これは、最終圧力に初期絶対温度/最終絶対温度の比を乗じることにより達成できる。本明細書で使用される「温度補償済み圧力」という語は、記載されるように温度差について補正された圧力を意味する。上記シナリオにおいて漏洩を直ちに確認できるようにするため、リアルタイムのパージガス分析に関して、低コストの熱伝導率計を使用することができる。代替的又は付加的には、バルブボックスのサンプル用ポートを介して有限のガスサンプルを採取し、任意の適切な分析方法により外部的に分析することができる。
上記のシナリオは、図5のバルブボックスアセンブリを備えたモジュール式タンク及びフレームシステム1を利用した製品充填場所からエンドユーザーの場所までの超高純度製品の納入において運転上の決定を下すのに使用できる。例えば、超高純度製品を販売する売り手と超高純度製品を購入するエンドユーザーは、エンドユーザーが超高純度製品を受け取り、バルブボックスの蓋7を取り外したときに超高純度製品との潜在的に危険な接触にさらされないようにするために、運転上の手順を考案することができる。このような手順は、以下の例示的なステップを含むことができる:
[シナリオ(1)]
超純粋製品は、図5のバルブボックスアセンブリを備えたモジュール式タンク及びフレームシステム1においてエンドユーザーに納入される。エンドユーザーは、受領時点でバルブボックス53内の圧力を測定し、(必要であれば温度補償の後)それを製品が出荷された時点で売り手により記録された圧力と比較する。受領したときのバルブボックス内の圧力が、出荷された時点のバルブボックス内の圧力よりも高いことがわかり、このことはタンクからバルブボックス内への漏洩を示す。このシナリオでは、問題のさらなる調査と適切な修理のため、モジュール式タンク及びフレームシステムは売り手の施設に返送される。
[シナリオ(2)]
超純粋製品は、図5のバルブボックスアセンブリを備えたモジュール式タンク及びフレームシステム1においてエンドユーザーに納入される。エンドユーザーは、受領時点でバルブボックス53内の圧力を測定し、(必要であれば温度補償の後)受領したときのバルブボックス内の圧力が、出荷された時点のバルブボックス内の圧力よりも低いことがわかり、このことはバルブボックスの蓋7がしっかり封止されていなかったために周囲大気にバルブボックス53内のパージガスの一部が漏洩した可能性があることを示している。漏洩がタンク3とバルブボックス53の間で生じたか否かを見極めるため、バルブボックス3内の蒸気を分析して製品が存在するか否かを見極める。バルブボックス内に製品が全く存在しない場合には、エンドユーザーは、バルブボックスの蓋7を取り外し、エンドユーザーの製品回収システムを封止可能なクロージャー37に接続してバルブ49を開く。バルブボックス53内に製品が存在する場合には、問題のさらなる調査と適切な修理のため、モジュール式タンク及びフレームシステムは売り手の施設に返送することができる。
[シナリオ(3)]
超純粋製品は、図5のバルブボックスアセンブリを備えたモジュール式タンク及びフレームシステム1においてエンドユーザーに納入される。エンドユーザーは、受領時点でバルブボックス53内の圧力を測定し、(必要であれば温度補償の後)受領したときのバルブボックス内の圧力が出荷時点のバルブボックス内の圧力に本質的に等しい(即ち、圧力測定装置の公知変動性以下の変動に過ぎない)ことを見出す。このことは、バルブボックス53内への製品の漏洩が全く生じなかった可能性が最も高いことを意味している。しかしながら、バルブボックス53内のパージガスの一部が周囲に漏洩した可能性と同様、製品がタンクからバルブボックス内へ、バルブボックスから周囲大気への漏洩と等しい速度で漏洩した可能性も限定的であるが極わずかに存在している。自らの危険許容限度に応じて、エンドユーザーは(a)問題無しと結論づけ、バルブボックスを開き、自らの製品回収システムを封止可能なクロージャー37に接続してバルブ49を開放するか、又は(b)バルブボックス3内の蒸気を分析して製品が存在するか否かを見極めることができる。バルブボックス内に製品が全く存在しない場合には、エンドユーザーはバルブボックスの蓋7を取り外し、自らの製品回収システムを封止可能なクロージャー37に接続してバルブ49を開放することができる。バルブボックス53内に製品が存在する場合には、問題のさらなる調査と適切な修理のため、モジュール式タンク及びフレームシステムは売り手の施設に返送することができる。
上記実施態様の何れかで使用された機器の材料は、収容される製品に適合しているべきであり、公知の耐腐食性材料から選択することができる。アンモニア、塩素、塩化水素、四塩化ケイ素及びトリクロロシランなどの超純粋製品を取り扱うのに好ましい材料は、ステンレス鋼、Hastelloy(登録商標)(Haynes International,Inc.)、炭素鋼、及びMonel(登録商標)(Inco Alloys International,Inc.)を含む。
図1〜5に図示するシステムは、高純度アンモニアの輸送及び貯蔵のために建造されている。バルブ33、パイプセグメント35及び封止可能なクロージャー37は、最大水濃度が1ppmvの高純度液体アンモニアをタンク3に充填するよう設計されている。この適用においては、パイプセグメント51(図4)はタンク3の底部まで延びている。バルブ25、パイプセグメント27及び封止可能なクロージャー31(図3)は、蒸気回収操作用に設計されており、バルブ25の下向きのポートに取り付けたパイプセグメントは、底壁21を貫通して延び、タンク3の上部領域59内の蒸気ヘッドスペースと直接流れが連絡した状態に置かれる。同様に、バルブ39、パイプセグメント41及び封止可能なクロージャー43(図3)は、蒸気回収作業用に設計されており、バルブ39の下向きのポートに取り付けたパイプセグメントは、底壁21を貫通して延び、タンク3の上部領域59内の蒸気ヘッドスペースと直接流れが連絡した状態に置かれる。
上蓋7と封止可能なクロージャー29、37及び43の上部フランジが取り外され、バルブ25、33及び39が開放されて、タンクが、液体装填に備えて清浄されパージされる。液体充填ラインがクロージャー37に取り付けられ、液体製品がタンク3内に、タンクが25,000ポンドの製品を収容する所望のレベルまで導入される。バルブ25、33及び39が閉じられ、充填ラインが外されて、封止可能なクロージャー29、37及び43の上部フランジが設置され封止される。上蓋7が設置され封止される。
このシステムは消費者まで輸送され、消費者の場所で一定の期間保管される。システムからの製品に対する需要が始まると、上蓋7と封止可能なクロージャー29の上部フランジが取り外され、製品回収ラインがクロージャー29に取り付けられ、ラインがパージされて残留空気が除去される。バルブ25が開放されて製品回収ラインを介して最終用途まで蒸気製品を送る。バルブ39、パイプセグメント41及び封止可能なクロージャー43は、製品需要がバルブ25により供給されるものを超えて増大した場合に又はパルブ25及び付随する配管内で漏洩若しくは故障が発生した場合に使用するための予備として保持される。
本発明の例示的なモジュール式輸送及び貯蔵システムの等角図である。 図1のシステムに関する上部部分図である。 図1のシステムに取り付けることができる例示的な奥まった所に配置されたバルブボックスの上面図である。 例示的なバルブ及び封止可能なクロージャーアセンブリの設置を示す図3の断面図である。 バルブと圧力計を奥まった所に配置されたバルブボックスの蓋の上に取り付けた図4のシステムの改良である。
符号の説明
1 モジュール式タンク及びフレームシステム
3 タンクアセンブリ
5 構造枠組
7 上蓋
9 キャットウォーク
11 梯子
13 ネジ込みボルト

Claims (25)

  1. 製品の輸送及び貯蔵のためのシステムであって、
    (a)円筒形壁部と2つの端部を含むタンクであって、該円筒形壁部と該2つの端部が円筒形タンク周囲を画定し、該タンク周囲が内部と外部を有するタンクと;
    (b)1つ又は複数の側壁と、底壁と、該1つ又は複数の側壁に取り付けてバルブボックスを封止することができる取り外し可能で封止可能な上蓋とを含むバルブボックスであって、その側壁が該円筒形壁に対し封止可能な形で接合されているバルブボックスと;
    (c)該バルブボックス内に配置された1つ又は複数のプロセスバルブであって、各バルブが第1及び第2端部を有し、各第1端部が、該タンク内に製品を導入するか又は該タンクから製品を回収するため、該バルブボックスの壁を貫通するパイプに接続されている1つ又は複数のプロセスバルブと;
    (d)該バルブボックスと流体連絡しているパージバルブ及び圧力測定手段と;
    を含んで成り、該バルブボックスが封止されている場合、該タンク内の製品が、該タンク周囲の大気から隔離されている、製品の輸送及び貯蔵のためのシステム。
  2. 前記バルブボックスが、少なくとも部分的に奥まった所に配置され、前記タンク周囲の内部に少なくとも部分的に配置され、該バルブボックスの蓋が、該バルブボックスの1つ又は複数の側壁に取り付けて封止されたバルブボックスを形成する場合、該タンク周囲に配置されるか又は該タンク周囲の外側にある、請求項1に記載のシステム。
  3. 前記封止されたバルブボックスが、前記タンク周囲の大気から隔離されている、請求項2に記載のシステム。
  4. 前記バルブボックス内の温度を測定するための温度測定手段をさらに含んで成る、請求項1に記載のシステム。
  5. 前記バルブボックスが円筒形であり、円形底壁と、円形上蓋と、単一の側壁を形成する円筒形中心部とを有する、請求項1に記載のシステム。
  6. 前記パージバルブが、パージガスを前記バルブボックス内に導入するため充填ラインに接続できる封止可能なクロージャーに接続される、請求項1に記載のシステム。
  7. 封止されている場合の前記バルブボックスの最大許容使用圧力が、前記タンクの最大許容使用圧力以上である、請求項6に記載のシステム。
  8. 前記1つ又は複数のプロセスバルブの各第2端部が、封止可能なクロージャーに接続され、該クロージャーが、外部供給源から前記タンク内に製品を導入するため充填ラインに接続できるか、外部用途に関して該タンクから製品を回収するため回収ラインに接続できるか、又は該タンク内の製品の輸送若しくは貯蔵のため密閉できる、請求項1に記載のシステム。
  9. 各封止可能なクロージャーが、前記バルブボックス内でかつ前記タンク周囲の内部に配置される、請求項8に記載のシステム。
  10. 前記タンクが、共存する液相及び蒸気相において製品を収容し、充填ラインが前記タンクへの液体の導入に適合しており、回収ラインが該タンクからの蒸気の回収に適合している、請求項8に記載のシステム。
  11. 前記タンクが、アンモニア、塩素、塩化水素、トリクロロシラン、四塩化ケイ素、及びメチルトリクロロシランから成る群より選択された製品を収容する、請求項10に記載のシステム。
  12. 前記タンクが固体粒状成分とガスを収容し、前記充填ラインが該タンク内に該固体粒状成分と該ガスの混合物を導入するよう適合しており、かつ前記回収ラインが該タンクから該固体粒状成分と該ガスの混合物を回収するよう適合している、請求項8に記載のシステム。
  13. 前記タンクが固体粒状成分と液体成分のスラリーを収容し、前記充填ラインが該タンク内に該固体粒状成分と該液体成分のスラリーを導入するよう適合しており、かつ前記回収ラインが該タンクから該固体粒状成分と該液体のスラリーを回収するよう適合している、請求項8に記載のシステム。
  14. 前記タンクの軸が一般に水平であり、該タンクが上部と底部を有し、前記バルブボックスが該タンクの上部に配置され、バルブの第1端部に接続されたパイプが、該バルブボックスを通って該バルブボックスから下向きに該タンクの底部付近の場所まで及ぶディップチューブを形成する、請求項1に記載のシステム。
  15. 前記タンク及びバルブボックスを囲む硬質枠組であって、該タンクに取り付けられこれを支持し、該タンク周囲を取り囲む周囲を画定する硬質枠組をさらに含んで成る、請求項1に記載のシステム。
  16. 前記バルブボックスが、前記硬質枠組の周囲内に配置された、請求項11に記載のシステム。
  17. 前記バルブボックスが封止されている場合に該バルブボックスから回収された流体を分析するための、又は該バルブボックスが封止されている場合に該バルブボックスのその場の流体を分析するための分析手段をさらに含んで成る、請求項1に記載のシステム。
  18. 製品の輸送方法であって、
    (a)システムを提供すること、即ち、
    (1)円筒形壁部と2つの端部を含むタンクであって、該円筒形壁部と該2つの端部が円筒形タンク周囲を画定し、該周囲が内部と外部を有するタンク;
    (2)1つ又は複数の側壁と、底壁と、該1つ又は複数の側壁に取り付けて封止されたバルブボックスを形成できる取り外し可能で封止可能な上蓋とを含むバルブボックスであって、その側壁が該円筒形壁部に対し封止可能な形で接合されているバルブボックス;
    (3)該バルブボックス内に配置された1つ又は複数のプロセスバルブであって、各バルブが第1及び第2端部を有し、各第1端部が、該タンク内に製品を導入するか又は該タンクから製品を回収するため、該バルブボックスの壁を貫通するパイプに接続され、該バルブボックスが封止されている場合に、該タンク内の製品が該タンク周囲の大気から隔離されている1つ又は複数のプロセスバルブ;並びに
    (4)該バルブボックスと流体が連絡しているパージバルブ及び圧力測定手段;
    を含んで成るシステムを提供すること;
    (b)該1つ又は複数のプロセスバルブのうち少なくとも1つに通し、該プロセスバルブの第1端部に接続されかつ該バルブボックスの壁を通過して該タンク内に進むパイプに通して、製品を該タンク内に導入すること;
    (c)該1つ又は複数のプロセスバルブを閉じて、それにより製品圧力で該タンク内に製品を隔離し、該封止可能な上蓋を該バルブボックスの該1つ又は複数の側壁に取り付けること;
    (d)第1の時点で、パージガスによって該バルブボックスをパージし、製品圧力と大気圧の間の圧力まで該バルブボックスを加圧して該パージバルブを閉じ、該バルブボックス内の圧力を測定し記録すること;並びに
    (e)該第1の時点より後の第2の時点で、該バルブボックス内の圧力を測定し、該第2の時点での圧力を該第1の時点で(d)において測定した該バルブボックス内の圧力と比較すること;
    を含んで成る、製品の輸送方法。
  19. 前記システムが、前記タンク及びバルブボックスを囲む硬質枠組であって、該タンクに取り付けられこれを支持し、該タンク周囲を取り囲む周囲を画定する硬質枠組をさらに含んで成る、請求項18に記載の方法。
  20. 前記バルブボックスが前記硬質枠組の周囲内に配置される、請求項19に記載の方法。
  21. 前記第1の時点と前記第2の時点との間の期間中に、第1の場所から第2の場所まで前記システムを輸送することをさらに含んで成る、請求項18に記載の方法。
  22. 前記第1の場所と前記第2の場所で前記バルブボックス内の温度を測定すること、該第2の場所での圧力を補正して該第2の場所での温度補正済み圧力を得ること、及び該第1の場所で測定された圧力と該第2の場所での温度補正済み圧力を比較することをさらに含んで成る、請求項21に記載の方法。
  23. 前記第2の場所における前記バルブボックス内の温度補正済み圧力が、前記第1の場所での該バルブボックス内で測定された圧力よりも大きい場合、該第2の場所から該第1の場所まで前記システムを輸送する、請求項22に記載の方法。
  24. 前記第2の場所における前記バルブボックス内の温度補正済み圧力が、前記第1の場所での該バルブボックス内で測定された圧力よりも小さい場合、該バルブボックス内の流体を分析し、該バルブボックス内の流体が製品を含有する場合には、該第2の場所から該第1の場所まで前記システムを輸送する、請求項22に記載の方法。
  25. 前記第2の場所における前記バルブボックス内の温度補正済み圧力が、前記第1の場所での該バルブボックス内で測定された圧力と本質的に等しい場合、該バルブボックス内の流体を分析し、該バルブボックス内の流体が製品を含有する場合には、該第2の場所から該第1の場所まで前記システムを輸送する、請求項22に記載の方法。
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