JP5295931B2 - Circuit board manufacturing method and circuit board obtained by the manufacturing method - Google Patents

Circuit board manufacturing method and circuit board obtained by the manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP5295931B2
JP5295931B2 JP2009251378A JP2009251378A JP5295931B2 JP 5295931 B2 JP5295931 B2 JP 5295931B2 JP 2009251378 A JP2009251378 A JP 2009251378A JP 2009251378 A JP2009251378 A JP 2009251378A JP 5295931 B2 JP5295931 B2 JP 5295931B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
circuit board
film
resin film
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2009251378A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2011096946A (en
Inventor
愼悟 吉岡
弘明 藤原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2009251378A priority Critical patent/JP5295931B2/en
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to US13/504,281 priority patent/US8929092B2/en
Priority to PCT/JP2010/006378 priority patent/WO2011052211A1/en
Priority to CN2010800494868A priority patent/CN102598883A/en
Priority to EP10826347.6A priority patent/EP2496061A4/en
Priority to TW099137217A priority patent/TWI463930B/en
Publication of JP2011096946A publication Critical patent/JP2011096946A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5295931B2 publication Critical patent/JP5295931B2/en
Priority to US14/481,188 priority patent/US9332642B2/en
Priority to US14/554,334 priority patent/US9351402B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a circuit board wherein a high-precision electric circuit can be readily formed on an insulating substrate. <P>SOLUTION: The method of manufacturing a circuit board includes a coating step for applying a liquid material containing a resin, composing a resin film to a section on the surface of the insulating substrate 1, other than the section where a circuit pattern is formed; a circuit pattern formation step for forming a circuit pattern 3, by drying the liquid material thus applied, thereby forming the resin film 2, in a section other than the section where a circuit pattern is formed; a catalyst deposition step for depositing a plating catalyst or its precursor 5, on the surface of the circuit pattern 3 and the surface of the resin film 2; a film-removing step for removing the resin film 2 from the surface of the insulating substrate 1; and a plating step for performing electroless plating on the insulating substrate 1, from which the resin film 2 is exfoliated. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、回路基板の製造方法、及び前記製造方法により得られた回路基板に関する。   The present invention relates to a circuit board manufacturing method and a circuit board obtained by the manufacturing method.

携帯電話機等の携帯情報端末機器;コンピュータ及びその周辺機器;各種情報家電製品、等の電気機器において、高機能化が急速に進行している。それに伴って、これら電気機器に搭載される回路基板には、電気回路のさらなる高密度化が要求されている。このような回路の高密度化の要求を満たすために、線幅及び線間隔(隣り合う電気回路と電気回路との間の部分の幅)のより狭い電気回路の配線を正確に形成できる方法が求められている。高密度化された回路配線においては、配線間における短絡やマイグレーション等が発生しやすくなっている。   In the electronic devices such as portable information terminal devices such as mobile phones; computers and peripheral devices; Accordingly, circuit boards mounted on these electric devices are required to have higher density of electric circuits. In order to satisfy such a demand for higher circuit density, there is a method capable of accurately forming wiring of an electric circuit with a narrower line width and line interval (width of a portion between adjacent electric circuits). It has been demanded. In high-density circuit wiring, short-circuiting or migration between wirings is likely to occur.

回路基板の製造方法としては、サブトラクティブ法やアディティブ法等によって、絶縁基材上に電気回路を形成する方法等が知られている。サブトラクティブ法とは、金属箔張積層板の表面の電気回路を形成したい部分以外の金属箔を除去(サブトラクティブ)することにより、電気回路を形成する方法である。一方、アディティブ法とは、絶縁基材上の回路を形成したい部分にのみ無電解めっきを施すことにより、電気回路を形成する方法である。   As a method for manufacturing a circuit board, a method of forming an electric circuit on an insulating substrate by a subtractive method or an additive method is known. The subtractive method is a method of forming an electric circuit by removing (subtractive) a metal foil other than a portion where the electric circuit on the surface of the metal foil-clad laminate is desired to be formed. On the other hand, the additive method is a method of forming an electric circuit by performing electroless plating only on a portion where a circuit on an insulating substrate is to be formed.

サブトラクティブ法は、厚膜の金属箔をエッチングすることにより、電気回路を形成したい部分(回路形成部分)のみの金属箔を残し、その他の部分を除去する方法である。この方法によれば、除去される部分の金属を浪費することになるために製造コストの点等から不利である。一方、アディティブ法は、電気回路を形成したい部分にのみ、無電解めっきによって金属配線を形成することができる。このために、金属を浪費せず、資源の無駄が少ない。このような点からも、アディティブ法は、好ましい回路形成方法である。   The subtractive method is a method in which a thick metal foil is etched to leave only a portion where the electric circuit is to be formed (circuit formation portion), and the other portion is removed. This method is disadvantageous from the viewpoint of manufacturing cost because the portion of the metal to be removed is wasted. On the other hand, in the additive method, metal wiring can be formed by electroless plating only in a portion where an electric circuit is desired to be formed. For this reason, metal is not wasted and resources are not wasted. Also from such a point, the additive method is a preferable circuit forming method.

従来の代表的なアディティブ法の1つであるフルアディティブ法により、金属配線からなる電気回路を形成する方法について、図5を参照しながら説明する。なお、図5は、従来のフルアディティブ法による金属配線を形成する各工程を説明するための模式断面図である。   A method of forming an electric circuit made of metal wiring by a full additive method, which is one of conventional representative additive methods, will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view for explaining each step of forming a metal wiring by a conventional full additive method.

はじめに、図5(A)に示すように、スルーホール101が形成された絶縁基材100の表面にめっき触媒102を被着させる。なお、絶縁基材100の表面は、予め粗化されている。次に、図5(B)に示すように、めっき触媒102を被着させた絶縁基材100上に、フォトレジスト層103を形成させる。次に、図5(C)に示すように、所定の回路パターンが形成されたフォトマスク110を介して、前記フォトレジスト層103を露光させる。次に、図5(D)に示すように、露光したフォトレジスト層103を現像して、回路パターン104を形成させる。そして、図5(E)に示すように、無電解銅めっき等の無電解めっきを施すことによって、現像により形成された回路パターン104の表面及びスルーホール101の内壁面に金属配線105を形成させる。上記のような各工程を施すことにより、絶縁基材100上に金属配線105からなる回路が形成される。   First, as shown in FIG. 5A, a plating catalyst 102 is deposited on the surface of the insulating base material 100 on which the through holes 101 are formed. Note that the surface of the insulating substrate 100 is roughened in advance. Next, as shown in FIG. 5B, a photoresist layer 103 is formed on the insulating base material 100 on which the plating catalyst 102 is deposited. Next, as shown in FIG. 5C, the photoresist layer 103 is exposed through a photomask 110 on which a predetermined circuit pattern is formed. Next, as shown in FIG. 5D, the exposed photoresist layer 103 is developed to form a circuit pattern 104. Then, as shown in FIG. 5E, by performing electroless plating such as electroless copper plating, the metal wiring 105 is formed on the surface of the circuit pattern 104 and the inner wall surface of the through hole 101 formed by development. . By performing each process as described above, a circuit made of the metal wiring 105 is formed on the insulating base material 100.

上述した従来のアディティブ法においては、絶縁基材100の表面全体にめっき触媒102が被着される。そのために、次のような問題が生じていた。すなわち、フォトレジスト層103が高精度に現像された場合には、フォトレジストで保護されていない部分のみにめっきを形成させることができる。しかしながら、フォトレジスト層103が高精度に現像されなかった場合には、図6に示すように、本来めっきを形成したくない部分に不要なめっき部分106が残ることがある。これは、絶縁基材100の表面全体にめっき触媒102が被着されているために起こる。不要なめっき部分106は、隣接する回路間に短絡やマイグレーション等を引き起こす。このような短絡やマイグレーションは、線幅及び線間隔の狭い回路を形成する場合にはより生じやすくなる。なお、図6は、従来のフルアディティブ法により形成された回路の輪郭形状を説明するための模式断面図である。   In the conventional additive method described above, the plating catalyst 102 is deposited on the entire surface of the insulating substrate 100. As a result, the following problems have arisen. That is, when the photoresist layer 103 is developed with high accuracy, plating can be formed only on a portion that is not protected by the photoresist. However, when the photoresist layer 103 is not developed with high accuracy, an unnecessary plated portion 106 may remain in a portion where the plating is not originally formed as shown in FIG. This occurs because the plating catalyst 102 is deposited on the entire surface of the insulating substrate 100. The unnecessary plated portion 106 causes a short circuit or migration between adjacent circuits. Such a short circuit or migration is more likely to occur when a circuit having a narrow line width and line interval is formed. FIG. 6 is a schematic cross-sectional view for explaining the contour shape of a circuit formed by a conventional full additive method.

また、上記の回路基板の製造方法とは異なる製造方法としては、例えば、特許文献1及び特許文献2に記載の製造方法等が挙げられる。   Moreover, as a manufacturing method different from the manufacturing method of said circuit board, the manufacturing method of patent document 1 and patent document 2 etc. are mentioned, for example.

特許文献1には、別のアディティブ法として以下のような方法が開示されている。   Patent Document 1 discloses the following method as another additive method.

はじめに、絶縁基板(絶縁基材)に溶剤可溶性の第1の感光性樹脂層とアルカリ可溶性の第2の感光性樹脂層を形成する。そして、第1及び第2の感光性樹脂層を所定の回路パターンを有するフォトマスクを介して露光する。次に、第1及び第2の感光性樹脂層を現像する。次に、現像により生じた凹部を含む表面全体に触媒を吸着させた後、アルカリ可溶性の第2の感光性樹脂をアルカリ溶液で溶解させることにより不要な触媒のみを除去する。そして、その後、無電解めっきを施すことにより触媒が存在する部分にのみ正確に回路を形成する。   First, a solvent-soluble first photosensitive resin layer and an alkali-soluble second photosensitive resin layer are formed on an insulating substrate (insulating base material). Then, the first and second photosensitive resin layers are exposed through a photomask having a predetermined circuit pattern. Next, the first and second photosensitive resin layers are developed. Next, after the catalyst is adsorbed on the entire surface including the concave portions generated by development, only the unnecessary catalyst is removed by dissolving the alkali-soluble second photosensitive resin with an alkali solution. Then, after that, electroless plating is performed to accurately form a circuit only in a portion where the catalyst exists.

また、下記特許文献2には、以下のような方法が開示されている。   Patent Document 2 below discloses the following method.

はじめに、絶縁基板(絶縁基材)上に樹脂の保護膜をコーティングする(第1の工程)。次に、前記保護膜をコーティングした絶縁基板上に機械加工あるいはレーザービームの照射により配線パターンに対応した溝及びスルーホールを単独又は同時に描画形成する(第2の工程)。次に、前記絶縁基板全面に活性化層を形成する(第3の工程)。次に、前記保護膜を剥離して前記絶縁基板上の活性化層を除去し溝及びスルーホールの内壁面にのみ活性化層を残す(第4の工程)。次に、前記絶縁基板にめっき保護膜を用いないめっきを施し前記活性化された溝およびスルーホールの内壁面にのみ選択的に導電層を形成する(第5の工程)。   First, a protective film of resin is coated on an insulating substrate (insulating base material) (first step). Next, a groove and a through hole corresponding to the wiring pattern are drawn or formed on the insulating substrate coated with the protective film alone or simultaneously by machining or laser beam irradiation (second step). Next, an activation layer is formed on the entire surface of the insulating substrate (third step). Next, the protective film is peeled off, the activation layer on the insulating substrate is removed, and the activation layer is left only on the inner wall surface of the groove and the through hole (fourth step). Next, the insulating substrate is plated without using a plating protective film, and a conductive layer is selectively formed only on the inner surfaces of the activated grooves and through holes (fifth step).

特開昭57−134996号公報JP-A-57-134996 特開昭58−186994号公報JP 58-186994 A

しかしながら、特許文献1に記載の方法によれば、溶剤溶解性の異なる2種の感光性樹脂層を形成し、また、現像時においても2種の溶剤で現像し、触媒を吸着させた後に、さらに、アルカリ溶液で第2の感光性樹脂を溶解させる必要があるなど、製造工程が非常に煩雑であった。   However, according to the method described in Patent Document 1, two types of photosensitive resin layers having different solvent solubility are formed, and also during development, after developing with two types of solvent and adsorbing the catalyst, Furthermore, the manufacturing process is very complicated, such as the need to dissolve the second photosensitive resin with an alkaline solution.

また、特許文献2には、絶縁基板上に保護膜として熱硬化性樹脂をコーティングし加熱硬化させた後、所定の配線パターンに従って保護膜及び絶縁基板を切削加工することや、絶縁基板表面の熱硬化性樹脂を溶剤で除去することが記載されている(特許文献2の第2頁左下欄第16行〜右下欄第11行)。   Patent Document 2 describes that after a thermosetting resin is coated on an insulating substrate as a protective film and heated and cured, the protective film and the insulating substrate are cut according to a predetermined wiring pattern, or the surface of the insulating substrate is heated. It is described that the curable resin is removed with a solvent (Patent Document 2, page 2, lower left column, line 16 to lower right column, line 11).

特許文献2に記載された保護膜として用いられる熱硬化性樹脂については、その種類については特に記載されていない。一般的な熱硬化性樹脂は、耐溶剤性に優れているために単なる溶剤では除去しにくいという問題があった。また、このような熱硬化性樹脂は、樹脂基材との密着性が高すぎて、樹脂基材の表面に保護膜の断片を残すことなく、保護膜のみを正確に除去することは困難であった。また、充分に剥離するために強い溶剤を用いたり、長時間浸漬したりした場合には、基材表面のめっき触媒も除去されてしまう。この場合には、めっき触媒が除去された部分には導電層が形成されなくなる。また、強い溶剤を用いたり、長時間浸漬したりした場合には、熱硬化性樹脂からなる保護膜がバラバラになるように崩れ、保護膜中のめっき触媒が溶剤中に再分散されることがあった。このように溶剤中に再分散されためっき触媒は、樹脂基材表面に再付着してしまい、その部分に不要なめっき膜が形成されてしまうおそれもあった。そのために特許文献2に開示された方法のような方法によれば、正確な輪郭を有する回路を形成することが困難であった。   About the thermosetting resin used as a protective film described in patent document 2, the kind in particular is not described. Since general thermosetting resins have excellent solvent resistance, there is a problem that they are difficult to remove with a simple solvent. Also, such a thermosetting resin has too high adhesion to the resin substrate, and it is difficult to accurately remove only the protective film without leaving a fragment of the protective film on the surface of the resin substrate. there were. In addition, when a strong solvent is used for sufficient peeling or when the substrate is immersed for a long time, the plating catalyst on the surface of the substrate is also removed. In this case, the conductive layer is not formed in the portion where the plating catalyst is removed. In addition, if a strong solvent is used or if it is immersed for a long time, the protective film made of thermosetting resin may collapse so that the plating catalyst in the protective film is redispersed in the solvent. there were. Thus, the plating catalyst redispersed in the solvent may be reattached to the surface of the resin base material, and an unnecessary plating film may be formed in that portion. Therefore, according to a method such as the method disclosed in Patent Document 2, it is difficult to form a circuit having an accurate contour.

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、高精度な電気回路を絶縁基材上に容易に形成することができる回路基板の製造方法を提供することを目的とする。また、前記回路基板の製造方法により得られた回路基板を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of this situation, Comprising: It aims at providing the manufacturing method of the circuit board which can form a highly accurate electrical circuit on an insulating base material easily. Moreover, it aims at providing the circuit board obtained by the manufacturing method of the said circuit board.

本発明の一態様に係る回路基板の製造方法は、絶縁基材表面の、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を構成する樹脂を含有する液状材料を塗布する塗布工程と、塗布された液状材料を乾燥させて、前記回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を形成することにより、回路パターン部を形成する回路パターン形成工程と、前記回路パターン部の表面及び前記樹脂被膜の表面にめっき触媒又はその前駆体を被着させる触媒被着工程と、前記絶縁基材表面から前記樹脂被膜を除去する被膜除去工程と、前記樹脂被膜が剥離された絶縁基材に無電解めっきを施すめっき処理工程とを備えることを特徴とする。   A method for manufacturing a circuit board according to an aspect of the present invention includes an application step of applying a liquid material containing a resin constituting a resin film to a portion other than a portion where a circuit pattern portion is formed on the surface of an insulating base. The applied liquid material is dried, and a resin pattern is formed at a location other than the location where the circuit pattern portion is formed, thereby forming a circuit pattern portion, a surface of the circuit pattern portion, A catalyst deposition step of depositing a plating catalyst or a precursor thereof on the surface of the resin coating; a coating removal step of removing the resin coating from the surface of the insulating substrate; and an insulating substrate from which the resin coating has been peeled off And a plating treatment step for performing electroless plating.

このような製造方法によれば、絶縁基材表面の、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を構成する樹脂を含有する液状材料を塗布した後、塗布された液状材料を乾燥させることによって、前記回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を形成することにより、回路パターン部を形成することができる。すなわち、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、前記液状材料を塗布した後に乾燥させることによって、回路パターン部を形成できるので、レーザ加工、及びダイシング加工等の切削加工や型押加工等の機械加工等を用いることなく、回路パターン部を形成させることができる。そして、前記樹脂被膜でめっき膜を形成させない部分を保護した状態で、前記回路溝の表面及び前記樹脂被膜の表面にめっき触媒又はその前駆体を被着させる。その後に、前記絶縁基材から前記樹脂被膜を除去することによって、容易に、めっき膜を形成したい部分にのみめっき触媒又はその前駆体を残し、その他の部分からは、めっき触媒又はその前駆体を除去することができる。よって、無電解めっき膜を形成するめっき処理工程を施すことによって、前記めっき触媒又はその前駆体が残留する部位である、めっき膜を形成したい部分にのみ無電解めっき膜を容易に形成することができる。   According to such a manufacturing method, after the liquid material containing the resin constituting the resin film is applied to a portion other than the portion where the circuit pattern portion is formed on the surface of the insulating substrate, the applied liquid material is dried. By doing so, the circuit pattern portion can be formed by forming the resin film at a location other than the location where the circuit pattern portion is formed. That is, since the circuit pattern part can be formed by applying the liquid material to a part other than the part where the circuit pattern part is to be formed and then drying it, such as laser processing and dicing processing such as cutting and embossing The circuit pattern portion can be formed without using machining or the like. Then, a plating catalyst or a precursor thereof is deposited on the surface of the circuit groove and the surface of the resin film in a state where a portion where the plating film is not formed is protected by the resin film. Thereafter, by removing the resin film from the insulating substrate, the plating catalyst or its precursor is easily left only in the portion where the plating film is to be formed, and the plating catalyst or its precursor is removed from other portions. Can be removed. Therefore, by performing a plating treatment step for forming an electroless plating film, it is possible to easily form an electroless plating film only on a portion where the plating catalyst or its precursor remains, that is, where a plating film is to be formed. it can.

したがって、高精度な電気回路を絶縁基材上に容易に形成することができる。すなわち、形成される回路の輪郭を高精度に維持することができる。その結果、例えば、一定の間隔をあけて複数の回路を形成する場合においても、回路間に無電解めっき膜の断片等が残留することを抑制し、よって、短絡やマイグレーション等の発生を抑制できる。   Therefore, a highly accurate electric circuit can be easily formed on the insulating substrate. That is, the outline of the formed circuit can be maintained with high accuracy. As a result, for example, even when a plurality of circuits are formed at regular intervals, it is possible to suppress the remaining pieces of the electroless plating film between the circuits, and thus suppress the occurrence of short circuits and migration. .

また、前記塗布工程が、インクジェット印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、グラビア印刷法、又はオフセット印刷法を用いる工程であることが好ましい。このような製造方法によれば、絶縁基材表面の、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を構成する樹脂を含有する液状材料を容易に塗布することができる。よって、高精度な電気回路を絶縁基材上により容易に形成することができる。   Moreover, it is preferable that the said application | coating process is a process using the inkjet printing method, the screen printing method, the flexographic printing method, the gravure printing method, or the offset printing method. According to such a manufacturing method, it is possible to easily apply the liquid material containing the resin constituting the resin coating to a portion other than the portion where the circuit pattern portion is formed on the surface of the insulating substrate. Therefore, a highly accurate electric circuit can be more easily formed on the insulating substrate.

また、前記被膜除去工程が、所定の液体で前記樹脂被膜を膨潤させた後、又は所定の液体で前記樹脂被膜の一部を溶解させた後に、前記絶縁基材から前記樹脂被膜を剥離する工程であることが好ましい。このような製造方法によれば、前記絶縁基材から前記樹脂被膜を容易に剥離させることができる。よって、高精度な電気回路を絶縁基材上により容易に形成することができる。   Further, the step of removing the resin film from the insulating substrate after the film removal step swells the resin film with a predetermined liquid or dissolves a part of the resin film with a predetermined liquid. It is preferable that According to such a manufacturing method, the resin film can be easily peeled from the insulating base material. Therefore, a highly accurate electric circuit can be more easily formed on the insulating substrate.

また、前記樹脂被膜の前記液体に対する膨潤度が50%以上であることが好ましい。このような膨潤度の樹脂被膜を用いることによって、前記絶縁基材から前記樹脂被膜を容易に剥離させることができる。よって、高精度な電気回路を絶縁基材上により容易に形成することができる。なお、前記樹脂被膜は、前記液体に対する膨潤度が大きく、前記液体に対して溶解するものも含まれる。   Moreover, it is preferable that the swelling degree with respect to the said liquid of the said resin film is 50% or more. By using a resin film having such a swelling degree, the resin film can be easily peeled from the insulating substrate. Therefore, a highly accurate electric circuit can be more easily formed on the insulating substrate. In addition, the said resin film has a large degree of swelling with respect to the said liquid, and what melt | dissolves with respect to the said liquid is also contained.

また、前記触媒被着工程が、酸性触媒金属コロイド溶液中で処理する工程を備え、前記被膜除去工程における所定の液体が、アルカリ性溶液であり、前記樹脂被膜が、前記酸性触媒金属コロイド溶液に対する膨潤度は50%未満であり、前記アルカリ性溶液に対する膨潤度が50%以上であることが好ましい。   Further, the catalyst deposition step includes a step of treating in an acidic catalyst metal colloid solution, the predetermined liquid in the coating removal step is an alkaline solution, and the resin coating swells with respect to the acidic catalyst metal colloid solution. The degree is preferably less than 50%, and the degree of swelling with respect to the alkaline solution is preferably 50% or more.

このような製造方法によれば、前記樹脂被膜は酸性条件で処理される触媒被着工程では剥離されにくく、前記触媒被着工程の後のアルカリ性溶液で処理される被膜除去工程では剥離されやすい。よって、前記樹脂被膜は、前記被膜除去工程において選択的に剥離される。したがって、触媒被着工程においては無電解めっき膜を形成させない部分を正確に保護し、めっき触媒又はその前駆体の被着後の被膜除去工程においては樹脂被膜を容易に剥離させることができる。このため、より正確な回路形成が可能になる。   According to such a manufacturing method, the resin film is hardly peeled off in the catalyst deposition process treated under acidic conditions, and is easily peeled off in the film removal process treated with an alkaline solution after the catalyst deposition process. Therefore, the resin coating is selectively peeled off in the coating removal step. Accordingly, the portion where the electroless plating film is not formed can be accurately protected in the catalyst deposition step, and the resin coating can be easily peeled off in the coating removal step after deposition of the plating catalyst or its precursor. For this reason, more accurate circuit formation becomes possible.

また、前記被膜除去工程が、所定の液体で前記樹脂被膜を溶解させて除去する工程であることが好ましい。このような製造方法によれば、前記絶縁基材から前記樹脂被膜を容易に除去させることができる。よって、高精度な電気回路を絶縁基材上により容易に形成することができる。   Moreover, it is preferable that the said film removal process is a process of dissolving and removing the said resin film with a predetermined | prescribed liquid. According to such a manufacturing method, the resin film can be easily removed from the insulating base material. Therefore, a highly accurate electric circuit can be more easily formed on the insulating substrate.

また、前記液状材料が、エラストマーのサスペンジョン又はエマルジョンであることが好ましい。このような液状材料を用いれば、絶縁基材表面の、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を容易に形成することができる。すなわち、絶縁基材表面に回路パターン部を容易に形成することができる。よって、高精度な電気回路を絶縁基材上により容易に形成することができる。   The liquid material is preferably an elastomer suspension or emulsion. If such a liquid material is used, a resin film can be easily formed at a location other than the location where the circuit pattern portion is formed on the surface of the insulating substrate. That is, the circuit pattern portion can be easily formed on the surface of the insulating substrate. Therefore, a highly accurate electric circuit can be more easily formed on the insulating substrate.

また、前記エラストマーとしては、カルボキシル基を有する、ジエン系エラストマー,アクリル系エラストマー,及びポリエステル系エラストマーからなる群から選ばれるものであることが好ましい。また、前記ジエン系エラストマーとしては、スチレン−ブタジエン系共重合体であることがより好ましい。このようなエラストマーによれば、架橋度又はゲル化度を調整することにより所望の膨潤度の樹脂被膜を容易に形成することができる。また、前記被膜除去工程において用いる前記液体に対する膨潤度をより大きくでき、前記液体に対して溶解する樹脂被膜も容易に形成することができる。   The elastomer is preferably selected from the group consisting of a diene elastomer, an acrylic elastomer, and a polyester elastomer having a carboxyl group. The diene elastomer is more preferably a styrene-butadiene copolymer. According to such an elastomer, it is possible to easily form a resin film having a desired degree of swelling by adjusting the degree of crosslinking or the degree of gelation. In addition, the degree of swelling of the liquid used in the film removal step can be increased, and a resin film that dissolves in the liquid can be easily formed.

また、前記樹脂としては、酸当量100〜800のカルボキシル基を有するアクリル系樹脂からなる樹脂を主成分とするものも好ましく用いられる。   Further, as the resin, a resin mainly composed of a resin composed of an acrylic resin having a carboxyl group with an acid equivalent of 100 to 800 is also preferably used.

また、前記液状材料に含有される樹脂としては、(a)分子中に重合性不飽和基を少なくとも1個有するカルボン酸又は酸無水物の少なくとも1種類以上の単量体と、(b)前記(a)単量体と重合しうる少なくとも1種類以上の単量体とを重合させることで得られる重合体樹脂又は前記重合体樹脂を含む樹脂組成物からなるものであることが好ましい。このような樹脂を用いれば、絶縁基材表面に樹脂被膜を容易に形成することができる。よって、高精度な電気回路を絶縁基材上により容易に形成することができる。また、このようにして得られた樹脂被膜は、前記被膜除去工程で用いる液体で溶解させることができるものが多く、剥離除去だけでなく、溶解除去も有効に用いることができる。   The resin contained in the liquid material includes (a) at least one monomer of carboxylic acid or acid anhydride having at least one polymerizable unsaturated group in the molecule; (A) It is preferable that it consists of a polymer resin obtained by polymerizing a monomer and at least 1 or more types of monomer which can superpose | polymerize, or the resin composition containing the said polymer resin. If such a resin is used, a resin film can be easily formed on the surface of the insulating substrate. Therefore, a highly accurate electric circuit can be more easily formed on the insulating substrate. In addition, many of the resin films obtained in this way can be dissolved by the liquid used in the film removal step, and not only peeling and removal but also dissolution and removal can be used effectively.

また、前記重合体樹脂の酸当量が、100〜800であることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the acid equivalent of the said polymer resin is 100-800.

また、前記樹脂被膜の厚みが、10μm以下であることが、微細な回路を高精度に形成することができる点から好ましい。   The thickness of the resin coating is preferably 10 μm or less from the viewpoint that a fine circuit can be formed with high accuracy.

また、前記回路パターン部の幅が、20μm以下の部分を有することが、微細な加工が要求されるアンテナ回路等の形成ができる点から好ましい。   Further, it is preferable that the width of the circuit pattern portion has a portion of 20 μm or less because an antenna circuit or the like requiring fine processing can be formed.

また、前記絶縁基材が段差状に形成された段差面を有し、前記絶縁基材表面が前記段差面であることも好ましい形態である。すなわち、前記絶縁基材が段差状に形成された段差面を有し、前記段差面に、前記塗布工程、前記回路パターン形成工程、前記触媒被着工程、前記被膜除去工程、及び前記めっき処理工程を施すことも好ましい形態である。このような製造方法によれば、段差を乗り越えるような回路が容易に形成できる。   Moreover, it is also a preferable embodiment that the insulating base material has a step surface formed in a step shape, and the surface of the insulating base material is the step surface. That is, the insulating substrate has a step surface formed in a step shape, and the coating step, the circuit pattern formation step, the catalyst deposition step, the coating removal step, and the plating treatment step are provided on the step surface. It is also a preferable form to apply. According to such a manufacturing method, a circuit that can overcome a step can be easily formed.

また、前記樹脂被膜が蛍光性物質を含有するものであり、前記被膜除去工程の後、前記蛍光性物質からの発光を用いて被膜除去不良を検査するための検査工程をさらに備えることが好ましい。上記のような製造方法においては、線幅及び線間隔が極端に狭くなった場合には、隣り合う回路パターン部と回路パターン部との間に、本来除去すべきであった樹脂被膜が完全に除去しきれず、わずかに残留することも懸念される。また、回路パターン部の形成の際に除去された樹脂被膜の断片が、形成された回路パターン部に入り込み残留することも懸念される。回路パターン部間に樹脂被膜が残留した場合には、その部分に無電解めっき膜が形成されてしまい、マイグレーションや短絡等の原因になりうる。また、形成された回路パターン部に樹脂被膜の断片が残留した場合には、電気回路の耐熱性不良や伝搬損失の原因にもなる。このような場合において、上記のように樹脂被膜に蛍光性物質を含有させ、被膜除去工程の後、被膜を除去した面に所定の発光源を照射して樹脂被膜が残留している部分のみを蛍光性物質により発光させることにより、被膜除去不良の有無や被膜除去不良の箇所を検査することができる。   Moreover, it is preferable that the said resin film contains a fluorescent substance, and after the said film removal process, it further has the test process for test | inspecting a film removal defect using the light emission from the said fluorescent substance. In the manufacturing method as described above, when the line width and the line interval are extremely narrow, the resin film that should originally be removed is completely between the adjacent circuit pattern portions. There is also a concern that it cannot be removed and remains slightly. There is also a concern that the resin film fragments removed during the formation of the circuit pattern portion may enter and remain in the formed circuit pattern portion. When the resin film remains between the circuit pattern portions, an electroless plating film is formed in the portion, which may cause migration or short circuit. Further, if a resin film fragment remains in the formed circuit pattern portion, it may cause a heat resistance failure or propagation loss of the electric circuit. In such a case, the resin film is made to contain a fluorescent substance as described above, and after the film removal step, only a portion where the resin film remains by irradiating a predetermined light source on the surface from which the film has been removed. By emitting light with the fluorescent substance, it is possible to inspect the presence or absence of the film removal failure or the location of the film removal failure.

また、本発明の他の一態様に係る回路基板は、前記回路基板の製造方法により得られたものである。このような構成によれば、高精度な電気回路が絶縁基材上に形成されている回路基板が得られる。   A circuit board according to another embodiment of the present invention is obtained by the method for manufacturing a circuit board. According to such a configuration, a circuit board on which a highly accurate electric circuit is formed on the insulating base material can be obtained.

本発明によれば、高精度な電気回路を絶縁基材上に容易に形成することができる回路基板の製造方法を提供することができる。また、前記回路基板の製造方法により得られた回路基板が提供される。すなわち、無電解めっき膜により形成される電気回路の輪郭を高精度に維持することができる。これにより、回路形成部分以外の部分に、不要な無電解めっき膜の断片等が残留することを抑制することができ、それにより短絡やマイグレーション等の発生を抑制することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the circuit board which can form a highly accurate electrical circuit on an insulating base material easily can be provided. Moreover, the circuit board obtained by the manufacturing method of the said circuit board is provided. That is, the outline of the electric circuit formed by the electroless plating film can be maintained with high accuracy. Thereby, it can suppress that the fragment | piece etc. of an unnecessary electroless plating film | membrane remain in parts other than a circuit formation part, and, thereby, generation | occurrence | production of a short circuit, migration, etc. can be suppressed.

第1実施形態に係る回路基板の製造方法における各工程を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for explaining each process in a manufacturing method of a circuit board concerning a 1st embodiment. 第1実施形態において、前記塗布工程の例示を説明するための図面である。In 1st Embodiment, it is drawing for demonstrating the illustration of the said application | coating process. 樹脂被膜に蛍光性物質を含有させて、蛍光性物質からの発光を用いて被膜除去不良を検査するための検査工程を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the test | inspection process for making a resin film contain a fluorescent substance and test | inspecting a film removal defect using the light emission from a fluorescent substance. 第2実施形態に係る立体回路基板を製造する各工程を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for explaining each process of manufacturing a three-dimensional circuit board concerning a 2nd embodiment. 従来のフルアディティブ法による金属配線を形成する各工程を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for demonstrating each process of forming the metal wiring by the conventional full additive method. 従来のフルアディティブ法により形成された回路の輪郭形状を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for demonstrating the outline shape of the circuit formed by the conventional full additive method.

以下、本発明に係る実施形態について説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。   Hereinafter, although the embodiment concerning the present invention is described, the present invention is not limited to these.

[第1実施形態]
本実施形態に係る回路基板の製造方法は、絶縁基材表面の、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を構成する樹脂を含有する液状材料を塗布する塗布工程と、塗布された液状材料を乾燥させて、前記回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を形成することにより、回路パターン部を形成する回路パターン形成工程と、前記回路パターン部の表面及び前記樹脂被膜の表面にめっき触媒又はその前駆体を被着させる触媒被着工程と、前記絶縁基材表面から前記樹脂被膜を除去する被膜除去工程と、前記樹脂被膜が剥離された絶縁基材に無電解めっきを施すめっき処理工程とを備えることを特徴とする。
[First Embodiment]
The method for manufacturing a circuit board according to the present embodiment includes a coating step of coating a liquid material containing a resin that forms a resin film on a portion of the insulating base material surface other than a portion where the circuit pattern portion is formed. The circuit pattern forming step of forming the circuit pattern portion by drying the liquid material and forming a resin film in a portion other than the portion where the circuit pattern portion is formed, and the surface of the circuit pattern portion and the resin A catalyst deposition step for depositing a plating catalyst or its precursor on the surface of the coating; a coating removal step for removing the resin coating from the surface of the insulating substrate; And a plating treatment step for performing plating.

まず、本発明の第1実施形態に係る回路基板の製造方法について説明する。図1は、第1実施形態に係る回路基板の製造方法における各工程を説明するための模式断面図である。   First, a method for manufacturing a circuit board according to the first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view for explaining each step in the circuit board manufacturing method according to the first embodiment.

はじめに、図1(A)に示すような絶縁基材1の表面の、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を構成する樹脂を含有する液状材料を塗布した後に、塗布された液状材料を乾燥させる。そうすることによって、図1(B)に示すように、前記回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜2を形成して回路パターン部3を形成させる。なお、この工程は、塗布工程及び回路パターン形成工程に相当する。そして、前記液状材料を塗布する前の絶縁基材1は、貫通孔4が形成されていてもよい。   First, a liquid material containing a resin constituting a resin film was applied to a portion of the surface of the insulating base material 1 as shown in FIG. Dry the liquid material. By doing so, as shown in FIG. 1 (B), the resin film 2 is formed at a location other than the location where the circuit pattern portion is to be formed to form the circuit pattern portion 3. This step corresponds to a coating step and a circuit pattern forming step. And the through-hole 4 may be formed in the insulating base material 1 before apply | coating the said liquid material.

次に、図1(C)に示すように、前記回路パターン部3の表面及び前記樹脂被膜2の表面にめっき触媒又はその前駆体5を被着させる。なお、この工程は、触媒被着工程に相当する。   Next, as shown in FIG. 1C, a plating catalyst or its precursor 5 is deposited on the surface of the circuit pattern portion 3 and the surface of the resin coating 2. This step corresponds to a catalyst deposition step.

次に、図1(D)に示すように、前記絶縁基材1から前記樹脂被膜2を除去させる。そうすることによって、前記絶縁基材1の、前記回路パターン部3が形成された部分の表面にのみめっき触媒又はその前駆体5を残留させることができる。一方、前記樹脂被膜2の表面に被着されためっき触媒又はその前駆体5は、前記樹脂被膜2に担持された状態で、前記樹脂被膜2とともに除去される。なお、この工程は、被膜除去工程に相当する。   Next, as shown in FIG. 1D, the resin film 2 is removed from the insulating base material 1. By doing so, a plating catalyst or its precursor 5 can be made to remain only on the surface of the insulating substrate 1 where the circuit pattern portion 3 is formed. On the other hand, the plating catalyst or its precursor 5 deposited on the surface of the resin film 2 is removed together with the resin film 2 while being supported on the resin film 2. This process corresponds to a film removal process.

次に、前記樹脂被膜2が除去された絶縁基材1に無電解めっきを施す。そうすることによって、前記めっき触媒又はその前駆体5が残存する部分にのみ無電解めっき膜6が形成される。すなわち、図1(E)に示すように、前記回路パターン部3が形成された部分に、電気回路6となる無電解めっき膜が形成される。そして、この電気回路6は、この無電解めっき膜からなるものであってもよいし、前記無電解めっき膜にさらに無電解めっき(フィルアップめっき)を施して、さらに厚膜化させたものであってもよい。なお、この工程は、めっき処理工程に相当する。   Next, electroless plating is performed on the insulating substrate 1 from which the resin coating 2 has been removed. By doing so, the electroless plating film 6 is formed only in the portion where the plating catalyst or its precursor 5 remains. That is, as shown in FIG. 1E, an electroless plating film to be an electric circuit 6 is formed in the portion where the circuit pattern portion 3 is formed. And this electric circuit 6 may consist of this electroless-plated film, or the electroless-plated film is further thickened by further electroless plating (fill-up plating). There may be. This process corresponds to a plating process.

上記各工程によって、図1(E)に示すような回路基板10が形成される。このように形成された回路基板10は、前記絶縁基材1上に高精度に前記電気回路6が形成されたものである。   Through the above steps, a circuit board 10 as shown in FIG. 1E is formed. The circuit board 10 thus formed is obtained by forming the electric circuit 6 on the insulating base material 1 with high accuracy.

以下、本実施形態の各構成について、説明する。   Hereinafter, each configuration of the present embodiment will be described.

<塗布工程>
塗布工程は、上述したように、絶縁基材表面の、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を構成する樹脂を含有する液状材料を塗布する工程である。前記塗布工程は、絶縁基材表面の、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に前記液状材料を塗布することができれば、特に限定されない。具体的には、例えば、インクジェット印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、グラビア印刷法、又はオフセット印刷法を用いる方法等が挙げられ、より具体的には、例えば、図2に示すような方法等が挙げられる。図2は、前記塗布工程の例示を説明するための図面である。なお、図2(A)には、インクジェット印刷法を示し、図2(B)には、スクリーン印刷法を示し、図2(C)には、グラビア印刷法を示す。
<Application process>
As described above, the application step is a step of applying a liquid material containing a resin constituting the resin coating to a portion other than the portion where the circuit pattern portion is formed on the surface of the insulating base. The said application | coating process will not be specifically limited if the said liquid material can be apply | coated to locations other than the location which forms a circuit pattern part on the surface of an insulating base material. Specific examples include a method using an inkjet printing method, a screen printing method, a flexographic printing method, a gravure printing method, or an offset printing method, and more specifically, for example, a method as shown in FIG. Etc. FIG. 2 is a drawing for explaining an example of the coating process. 2A shows an inkjet printing method, FIG. 2B shows a screen printing method, and FIG. 2C shows a gravure printing method.

インクジェット印刷法を用いた塗布工程は、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に前記液状材料を塗布することができれば、特に限定されない。具体的には、例えば、公知のインクジェット装置を用いることができる。インクジェット装置は、絶縁基材1の搬送速度に応じて、前記液状材料の吐出量を変化させることによって、形成される樹脂被膜の厚さを変化させることができる点からも好ましい。インクジェット印刷法を用いた塗布工程は、より具体的には、例えば、図2(A)に示すように、インクジェット装置の吐出部31から、前記絶縁基材1に液状材料を吐出することによって、所定の形状(回路パターン部を形成する箇所以外の箇所)に、前記液状材料からなる液状層32を形成する工程である。この液状層32は、後述の回路パターン形成工程で乾燥させることによって、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に形成される樹脂被膜2となるものである。   The application process using the inkjet printing method is not particularly limited as long as the liquid material can be applied to a location other than the location where the circuit pattern portion is formed. Specifically, for example, a known inkjet device can be used. The ink jet apparatus is also preferable in that the thickness of the resin film to be formed can be changed by changing the discharge amount of the liquid material according to the conveyance speed of the insulating substrate 1. More specifically, the application process using the ink jet printing method, for example, by discharging a liquid material from the discharge unit 31 of the ink jet apparatus to the insulating base material 1 as shown in FIG. In this step, the liquid layer 32 made of the liquid material is formed in a predetermined shape (location other than the location where the circuit pattern portion is formed). This liquid layer 32 becomes the resin film 2 formed in places other than the place which forms a circuit pattern part by making it dry in the circuit pattern formation process mentioned later.

また、スクリーン印刷法を用いた塗布工程は、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に前記液状材料を塗布することができれば、特に限定されない。具体的には、図2(B)に示すように、回路パターンを形成する箇所以外の箇所の部分に応じたメッシュ部33が形成されているスクリーン34上に、液状材料35を載置し、スキージ36をスクリーン34の内面を加圧しながら移動させることによって、絶縁基材1上に所定の形状(回路パターン部を形成する箇所以外の箇所)に、前記液状材料からなる液状層32を形成する工程である。この液状層32は、後述の回路パターン形成工程で乾燥させることによって、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に形成される樹脂被膜2となるものである。   Moreover, the application | coating process using a screen printing method will not be specifically limited if the said liquid material can be apply | coated to locations other than the location which forms a circuit pattern part. Specifically, as shown in FIG. 2B, a liquid material 35 is placed on a screen 34 on which a mesh portion 33 corresponding to a portion other than a portion where a circuit pattern is formed is formed, By moving the squeegee 36 while pressing the inner surface of the screen 34, the liquid layer 32 made of the liquid material is formed on the insulating substrate 1 in a predetermined shape (location other than the location where the circuit pattern portion is formed). It is a process. This liquid layer 32 becomes the resin film 2 formed in places other than the place which forms a circuit pattern part by making it dry in the circuit pattern formation process mentioned later.

また、グラビア印刷法を用いた塗布工程は、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に前記液状材料を塗布することができれば、特に限定されない。具体的には、図2(C)に示すように、回路パターンを形成する箇所以外の箇所の部分に応じた穴37が形成されているグラビア版38上に、液状材料35を塗布して、グラビア版38の穴37に、液状材料35を埋める。そして、液状材料35が埋められたグラビア版38を絶縁基材1に接触させることによって、絶縁基材1上に所定の形状(回路パターン部を形成する箇所以外の箇所)に、前記液状材料からなる液状層32を形成する工程である。この液状層32は、後述の回路パターン形成工程で乾燥させることによって、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に形成される樹脂被膜2となるものである。   Moreover, the application | coating process using the gravure printing method will not be specifically limited if the said liquid material can be apply | coated to locations other than the location which forms a circuit pattern part. Specifically, as shown in FIG. 2C, a liquid material 35 is applied onto a gravure plate 38 in which holes 37 corresponding to portions other than the portion where the circuit pattern is formed are formed, The liquid material 35 is filled in the holes 37 of the gravure plate 38. Then, by bringing the gravure plate 38 filled with the liquid material 35 into contact with the insulating base material 1, the liquid material is made into a predetermined shape (a place other than the place where the circuit pattern portion is formed) on the insulating base material 1. This is a process for forming the liquid layer 32. This liquid layer 32 becomes the resin film 2 formed in places other than the place which forms a circuit pattern part by making it dry in the circuit pattern formation process mentioned later.

(液状材料)
前記液状材料は、前記回路パターン形成工程によって、前記被膜除去工程で除去可能な樹脂被膜2を形成できるものであれば、特に限定されない。前記被膜除去工程で除去可能な樹脂被膜とは、具体的には、例えば、有機溶剤やアルカリ溶液により容易に溶解しうる可溶型樹脂や、後述する所定の液体(膨潤液)で膨潤しうる樹脂からなる膨潤性樹脂被膜等が挙げられる。これらの中では、正確な除去が容易である点から膨潤性樹脂被膜が特に好ましい。また、前記膨潤性樹脂被膜としては、例えば、前記液体(膨潤液)に対する膨潤度が50%以上であることが好ましい。なお、前記膨潤性樹脂被膜には、前記液体(膨潤液)に対して実質的に溶解せず、膨潤により前記絶縁基材1表面から容易に剥離するような樹脂被膜だけではなく、前記液体(膨潤液)に対して膨潤し、さらに少なくとも一部が溶解し、その膨潤や溶解により前記絶縁基材1表面から容易に剥離するような樹脂被膜や、前記液体(膨潤液)に対して溶解し、その溶解により前記絶縁基材1表面から容易に剥離するような樹脂被膜も含まれる。
(Liquid material)
The liquid material is not particularly limited as long as the resin film 2 that can be removed in the film removal step can be formed by the circuit pattern formation step. Specifically, the resin film that can be removed in the film removing step can be swollen by, for example, a soluble resin that can be easily dissolved in an organic solvent or an alkaline solution, or a predetermined liquid (swelling liquid) described later. Examples thereof include a swellable resin film made of a resin. Among these, a swellable resin film is particularly preferable because accurate removal is easy. Moreover, as said swelling resin film, it is preferable that the swelling degree with respect to the said liquid (swelling liquid) is 50% or more, for example. The swellable resin film is not limited to the resin film that does not substantially dissolve in the liquid (swelling liquid) and easily peels off from the surface of the insulating substrate 1 due to swelling. A resin film that swells with respect to the swelling liquid), dissolves at least partly and easily peels off from the surface of the insulating substrate 1 due to the swelling or dissolution, or dissolves in the liquid (swelling liquid). Moreover, the resin film which peels from the said insulating base material 1 surface easily by the melt | dissolution is also contained.

前記膨潤性樹脂被膜を形成しうる液状材料としては、例えば、エラストマーのサスペンジョン又はエマルジョン等が挙げられる。前記エラストマーの具体例としては、例えば、スチレン−ブタジエン系共重合体等のジエン系エラストマー、アクリル酸エステル系共重合体等のアクリル系エラストマー、及びポリエステル系エラストマー等が挙げられる。このようなエラストマーによれば、サスペンジョン又はエマルジョンとして分散されたエラストマー樹脂粒子の架橋度又はゲル化度等を調整することにより所望の膨潤度の膨潤性樹脂被膜を容易に形成することができる。   Examples of the liquid material that can form the swellable resin film include an elastomer suspension or emulsion. Specific examples of the elastomer include a diene elastomer such as a styrene-butadiene copolymer, an acrylic elastomer such as an acrylate ester copolymer, and a polyester elastomer. According to such an elastomer, it is possible to easily form a swellable resin film having a desired degree of swelling by adjusting the degree of crosslinking or gelation of the elastomer resin particles dispersed as a suspension or emulsion.

カルボキシル基を有するエラストマーの具体例としては、カルボキシル基を有するモノマー単位を共重合成分として含有することにより、分子中にカルボキシル基を有する、スチレン−ブタジエン系共重合体等のジエン系エラストマー;アクリル酸エステル系共重合体等のアクリル系エラストマー;及びポリエステル系エラストマー等が挙げられる。このようなエラストマーによれば、サスペンジョン又はエマルジョンとして分散されたエラストマーの、酸当量,架橋度またはゲル化度等を調整することにより所望のアルカリ膨潤度を有する膨潤性樹脂被膜を形成することができる。エラストマー中のカルボキシル基はアルカリ水溶液に対して膨潤性樹脂被膜を膨潤させて、絶縁基材表面から膨潤性樹脂被膜を剥離する作用をする。また、酸当量とは、1当量のカルボキシル基当たりのポリマー重量である。   Specific examples of the elastomer having a carboxyl group include a diene elastomer such as a styrene-butadiene copolymer having a carboxyl group in the molecule by containing a monomer unit having a carboxyl group as a copolymerization component; acrylic acid Examples include acrylic elastomers such as ester copolymers; and polyester elastomers. According to such an elastomer, a swellable resin film having a desired alkali swelling degree can be formed by adjusting the acid equivalent, the degree of crosslinking or the degree of gelation of the elastomer dispersed as a suspension or emulsion. . The carboxyl group in the elastomer swells the swellable resin film with respect to the alkaline aqueous solution and acts to peel the swellable resin film from the surface of the insulating substrate. The acid equivalent is the polymer weight per equivalent of carboxyl groups.

カルボキシル基を有するモノマー単位の具体例としては、(メタ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、及びマレイン酸無水物等が挙げられる。   Specific examples of the monomer unit having a carboxyl group include (meth) acrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic anhydride, and the like.

このようなカルボキシル基を有するエラストマー中のカルボキシル基の含有割合としては、酸当量で100〜2000、さらには100〜800であることが好ましい。酸当量が小さすぎる場合には、溶媒または他の組成物との相溶性が低下することにより、めっき前処理液に対する耐性が低下する傾向がある。また、酸当量が大きすぎる場合には、アルカリ水溶液に対する剥離性が低下する傾向がある。   The content ratio of the carboxyl group in the elastomer having such a carboxyl group is preferably 100 to 2000, more preferably 100 to 800 in terms of acid equivalent. When the acid equivalent is too small, the compatibility with the solvent or other composition tends to decrease, whereby the resistance to the plating pretreatment liquid tends to decrease. Moreover, when an acid equivalent is too large, there exists a tendency for the peelability with respect to aqueous alkali solution to fall.

また、エラストマーの分子量としては、1万〜100万、さらには、2万〜6万であることが好ましい。エラストマーの分子量が大きすぎる場合には剥離性が低下する傾向があり、小さすぎる場合には粘度が低下するために膨潤性樹脂被膜の厚みを均一に維持することが困難になるとともに、めっき前処理液に対する耐性も悪化する傾向がある。   The molecular weight of the elastomer is preferably 10,000 to 1,000,000, more preferably 20,000 to 60,000. When the molecular weight of the elastomer is too large, the releasability tends to decrease, and when it is too small, the viscosity decreases, so that it is difficult to maintain a uniform thickness of the swellable resin film, and plating pretreatment The resistance to the liquid also tends to deteriorate.

また、前記液状材料としては、上記のものに加えて、以下のようなものが挙げられる。例えば、前記液状材料に含有される樹脂としては、以下のようなものが挙げられる。   In addition to the above, the liquid material includes the following. For example, examples of the resin contained in the liquid material include the following.

また、前記樹脂としては、(a)分子中に重合性不飽和基を少なくとも1個有するカルボン酸又は酸無水物の少なくとも1種類以上の単量体と(b)前記(a)単量体と重合しうる少なくとも1種類以上の単量体を重合させることで得られる重合体樹脂又は前記重合体樹脂を含む樹脂組成物からなるものが挙げられる。   The resin includes (a) at least one monomer of carboxylic acid or acid anhydride having at least one polymerizable unsaturated group in the molecule, and (b) the monomer (a). Examples thereof include a polymer resin obtained by polymerizing at least one monomer that can be polymerized or a resin composition containing the polymer resin.

前記樹脂組成物としては、メイン樹脂として前記重合体樹脂を必須成分とし、オリゴマー、モノマー、フィラーやその他添加剤の少なくとも1種類を添加してもよい。メイン樹脂は、熱可塑的性質を持ったリニア型のポリマーが良い。流動性、結晶性等をコントロールするためにグラフトさせて枝分かれさせることもある。その分子量としては、重量平均分子量で1000〜500000程度であり、5000〜50000が好ましい。分子量が小さすぎると、膜の屈曲性やめっき核付け薬液耐性(耐酸性)が低下する傾向がある。また、分子量が大きすぎると、アルカリ剥離性やドライフィルムにした場合の貼り付け性が悪くなる傾向がある。さらに、めっき核付け薬液耐性向上やレーザ加工時の熱変形抑制、流動制御のために架橋点を導入してもよい。   As the resin composition, the polymer resin may be an essential component as a main resin, and at least one of oligomers, monomers, fillers, and other additives may be added. The main resin is preferably a linear polymer having thermoplastic properties. In order to control fluidity, crystallinity, etc., it may be grafted and branched. As the molecular weight, it is about 1000-500000 in a weight average molecular weight, and 5000-50000 are preferable. If the molecular weight is too small, the flexibility of the film and the resistance to the plating nucleation solution (acid resistance) tend to decrease. Moreover, when molecular weight is too large, there exists a tendency for the sticking property at the time of using alkali peelability or a dry film to worsen. Furthermore, a cross-linking point may be introduced for improving the resistance to plating nucleus chemicals, suppressing thermal deformation during laser processing, and controlling flow.

メイン樹脂としての前記重合体樹脂の組成としては、上述したように、(a)分子中に重合性不飽和基を少なくとも1個有するカルボン酸又は酸無水物の単量体と(b)前記(a)単量体と重合しうる単量体を重合させることで得られる。公知技術としては、例えば、特開平7−281437号公報や特開2000−231190号公報、特開2001−201851号公報に記載のもの等が挙げられる。   As described above, the composition of the polymer resin as the main resin includes (a) a carboxylic acid or acid anhydride monomer having at least one polymerizable unsaturated group in the molecule, and (b) the above ( a) It is obtained by polymerizing a monomer that can be polymerized with the monomer. Examples of known techniques include those described in JP-A-7-281437, JP-A-2000-231190, and JP-A-2001-201851.

(a)の一例として、(メタ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステル、アクリル酸ブチル等が挙げられ、単独、もしくは2種類以上を組み合わせても良い。   Examples of (a) include (meth) acrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic anhydride, maleic acid half ester, butyl acrylate, etc., alone or in combination of two or more May be combined.

(b)の例としては、非酸性で分子中に重合性不飽和基を(一個)有するものが一般的であり、その限りではない。めっき工程での耐性、硬化膜の可とう性等の種々の特性を保持するように選ばれる。具体的には、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、iso−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、tert.−ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシルエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシルプロピル(メタ)アクリレート類がある。また酢酸ビニル等のビニルアルコールのエステル類や(メタ)アクリロニトリル、スチレンまたは重合可能なスチレン誘導体等がある。また上記の重合性不飽和基を分子中に一個有するカルボン酸または酸無水物のみの重合によっても得ることが出来る。さらには、3次元架橋できるように、重合体に用いる単量体に複数の不飽和基を持つ単量体を選定する、分子骨格にエポキシ基、水酸基、アミノ基、アミド基、ビニル基などの反応性官能基を導入することができる。樹脂中に含まれるカルボキシル基の量は酸当量で100〜2000が良く、100〜800が好ましい。ここで酸当量とはその中に1当量のカルボキシル基を有するポリマーの重量をいう。その酸当量が低すぎる場合、溶媒または他の組成物との相溶性の低下やめっき前処理液耐性が低下する傾向がある。また、酸当量が高すぎる場合、剥離性が低下する傾向がある。また(a)単量体の組成比率は5〜70質量%である。   Examples of (b) are generally non-acidic and have (one) polymerizable unsaturated group in the molecule, but are not limited thereto. It is selected so as to maintain various properties such as resistance in the plating process and flexibility of the cured film. Specifically, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, iso-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert. -Butyl (meth) acrylate, 2-hydroxylethyl (meth) acrylate, 2-hydroxylpropyl (meth) acrylates. Further, there are esters of vinyl alcohol such as vinyl acetate, (meth) acrylonitrile, styrene or polymerizable styrene derivatives. It can also be obtained by polymerization of only a carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule. Furthermore, a monomer having a plurality of unsaturated groups is selected as a monomer used in the polymer so that it can be three-dimensionally cross-linked, such as an epoxy group, a hydroxyl group, an amino group, an amide group, a vinyl group in the molecular skeleton. Reactive functional groups can be introduced. The amount of the carboxyl group contained in the resin is preferably 100 to 2000, preferably 100 to 800, as an acid equivalent. Here, the acid equivalent means the weight of the polymer having 1 equivalent of a carboxyl group therein. When the acid equivalent is too low, there is a tendency that compatibility with a solvent or other composition is lowered or plating pretreatment solution resistance is lowered. Moreover, when an acid equivalent is too high, there exists a tendency for peelability to fall. Moreover, the composition ratio of (a) monomer is 5-70 mass%.

モノマーやオリゴマーとしては、めっき核付け薬液への耐性やアルカリで容易に除去できるようなものであれば何でも良い。また、絶縁基材との密着性を向上させるために粘着性付与材として可塑剤的に用いることが考えられる。さらに各種耐性をあげるために架橋剤を添加する。具体的には、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、iso−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、tert.−ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシルエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシルプロピル(メタ)アクリレート類がある。また酢酸ビニル等のビニルアルコールのエステル類や(メタ)アクリロニトリル、スチレンまたは重合可能なスチレン誘導体等がある。また上記の重合性不飽和基を分子中に一個有するカルボン酸または酸無水物のみの重合によっても得ることが出来る。さらに、多官能性不飽和化合物を含んでも良い。上記のモノマーもしくはモノマーを反応させたオリゴマーのいずれでも良い。上記のモノマー以外に他の光重合性モノマーを二種類以上含むことも可能である。モノマーの例としては、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、またポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート等のポリオキシアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ジ(p−ヒドロキシフェニル)プロパンジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−メタクリロキシペンタエトキシフェニル)プロパン、ウレタン基を含有する多官能(メタ)アクリレート等がある。上記のモノマーもしくはモノマーを反応させたオリゴマーのいずれでも良い。   Any monomer or oligomer may be used as long as it is resistant to plating nucleation chemicals and can be easily removed with alkali. Moreover, in order to improve adhesiveness with an insulating base material, using as a plasticizer as a tackifier is considered. Further, a crosslinking agent is added to increase various resistances. Specifically, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, iso-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert. -Butyl (meth) acrylate, 2-hydroxylethyl (meth) acrylate, 2-hydroxylpropyl (meth) acrylates. Further, there are esters of vinyl alcohol such as vinyl acetate, (meth) acrylonitrile, styrene or polymerizable styrene derivatives. It can also be obtained by polymerization of only a carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule. Furthermore, a polyfunctional unsaturated compound may be included. Any of the above monomers or oligomers obtained by reacting the monomers may be used. In addition to the above monomers, it is possible to include two or more other photopolymerizable monomers. Examples of monomers include 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polyoxyethylene Polyoxyalkylene glycol di (meth) acrylate such as polyoxypropylene glycol di (meth) acrylate, 2-di (p-hydroxyphenyl) propane di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) Acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate, bisphenol A diglycidyl ether tri (meth) acrylate, 2,2-bis (4-methacryloxy) Pointer ethoxyphenyl) propane, there is a polyfunctional (meth) acrylate containing urethane groups. Any of the above monomers or oligomers obtained by reacting the monomers may be used.

さらに、フィラーを含有してもよい。フィラーは特に限定されないが、シリカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、クレー、カオリン、酸化チタン、硫酸バリウム、アルミナ、酸化亜鉛、タルク、マイカ、ガラス、チタン酸カリウム、ワラストナイト、硫酸マグネシウム、ホウ酸アルミニウム、有機フィラー等が挙げられる。またレジストの厚みは、一般的に1〜10μmと薄いため、フィラーサイズも小さいものが好ましい。平均粒径が小さく、粗粒をカットしたものを用いることが良いが、分散時に砕いたり、ろ過で粗粒を除去することもできる。   Furthermore, you may contain a filler. The filler is not particularly limited, but silica, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, clay, kaolin, titanium oxide, barium sulfate, alumina, zinc oxide, talc, mica, glass, potassium titanate, wollastonite, sulfuric acid Magnesium, aluminum borate, an organic filler, etc. are mentioned. Moreover, since the resist thickness is generally as thin as 1 to 10 μm, a small filler size is preferable. Although it is preferable to use a material having a small average particle size and cut coarse particles, the coarse particles can be crushed during dispersion or removed by filtration.

その他の添加剤としては、例えば、光重合性樹脂(光重合開始剤)、重合禁止剤、着色剤(染料、顔料、発色系顔料)、熱重合開始剤、エポキシやウレタンなどの架橋剤等が挙げられる。   Other additives include, for example, photopolymerizable resins (photopolymerization initiators), polymerization inhibitors, colorants (dyes, pigments, coloring pigments), thermal polymerization initiators, and crosslinking agents such as epoxies and urethanes. Can be mentioned.

(絶縁基材)
前記被膜形成工程において用いる絶縁基材1は、回路基板の製造に用いることができるものであれば、特に限定されない。具体的には、例えば、樹脂を含む樹脂基材等が挙げられる。
(Insulating base material)
The insulating base material 1 used in the film forming step is not particularly limited as long as it can be used for manufacturing a circuit board. Specifically, for example, a resin substrate containing a resin can be used.

前記樹脂基材としては、回路基板、例えば、多層回路基板の製造に用いられうる各種有機基板が特に限定なく採用可能である。有機基板の具体例としては、従来から多層回路基板の製造に使用される、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、シアネート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ビスマレイミド樹脂等からなる基板が挙げられる。   As the resin substrate, various organic substrates that can be used for manufacturing a circuit board, for example, a multilayer circuit board, can be used without any particular limitation. Specific examples of organic substrates include those conventionally used in the manufacture of multilayer circuit boards, such as epoxy resins, acrylic resins, polycarbonate resins, polyimide resins, polyphenylene sulfide resins, polyphenylene ether resins, cyanate resins, benzoxazine resins, bis Examples include a substrate made of maleimide resin or the like.

前記エポキシ樹脂としては、回路基板の製造に用いられうる各種有機基板を構成するエポキシ樹脂であれば、特に限定されない。具体的には、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、アラルキルエポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、アルキルフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、フェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化物、トリグリシジルイソシアヌレート、脂環式エポキシ樹脂等が挙げられる。さらに、難燃性を付与するために、臭素化又はリン変性した、上記エポキシ樹脂、窒素含有樹脂、シリコーン含有樹脂等も挙げられる。また、前記エポキシ樹脂及び樹脂としては、上記各エポキシ樹脂および樹脂を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The epoxy resin is not particularly limited as long as it is an epoxy resin constituting various organic substrates that can be used for manufacturing a circuit board. Specifically, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, aralkyl epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, alkylphenol novolac type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin , Dicyclopentadiene type epoxy resins, epoxidized products of condensates of phenols and aromatic aldehydes having a phenolic hydroxyl group, triglycidyl isocyanurate, alicyclic epoxy resins, and the like. Furthermore, the epoxy resin, nitrogen-containing resin, and silicone-containing resin that are brominated or phosphorus-modified to impart flame retardancy are also included. Moreover, as said epoxy resin and resin, said each epoxy resin and resin may be used independently, and may be used in combination of 2 or more type.

また、上記各樹脂で基材を構成する場合、一般的に、硬化させるために、硬化剤を含有させる。前記硬化剤としては、硬化剤として用いることができるものであれば、特に限定されない。具体的には、例えば、ジシアンジアミド、フェノール系硬化剤、酸無水物系硬化剤、アミノトリアジンノボラック系硬化剤、シアネート樹脂等が挙げられる。前記フェノール系硬化剤としては、例えば、ノボラック型、アラルキル型、テルペン型等が挙げられる。更に難燃性を付与するためリン変性したフェノール樹脂または、リン変性したシアネート樹脂等もあげられる。また、前記硬化剤としては、上記各硬化剤を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Moreover, when comprising a base material with said each resin, in order to make it harden | cure, a hardening | curing agent is generally contained. The curing agent is not particularly limited as long as it can be used as a curing agent. Specific examples include dicyandiamide, phenolic curing agents, acid anhydride curing agents, aminotriazine novolac curing agents, and cyanate resins. As said phenol type hardening | curing agent, a novolak type, an aralkyl type, a terpene type etc. are mentioned, for example. Further examples include phosphorus-modified phenolic resins or phosphorus-modified cyanate resins for imparting flame retardancy. Moreover, as said hardening | curing agent, said each hardening | curing agent may be used independently, and may be used in combination of 2 or more type.

また、前記絶縁基材(絶縁層)には、フィラーを含有していてもよい。前記フィラーとしては、無機微粒子であっても、有機微粒子であってもよく、特に限定されない。フィラーを含有することで、フィラーが露出した場合、フィラーの凹凸によるメッキと樹脂との密着をあげることが可能である。   The insulating base material (insulating layer) may contain a filler. The filler may be inorganic fine particles or organic fine particles, and is not particularly limited. By containing the filler, when the filler is exposed, it is possible to increase the adhesion between the plating due to the unevenness of the filler and the resin.

前記無機微粒子を構成する材料としては、具体的には、例えば、酸化アルミニウム(Al)、酸化マグネシウム(MgO)、窒化ホウ素(BN)、窒化アルミニウム(AlN)、シリカ(SiO)、チタン酸バリウム(BaTiO)、酸化チタン(TiO)等の高誘電率充填材;ハードフェライト等の磁性充填材;水酸化マグネシウム(Mg(OH))、水酸化アルミニウム(Al(OH))、三酸化アンチモン(Sb)、五酸化アンチモン(Sb)、グアニジン塩、ホウ酸亜鉛、モリブテン化合物、スズ酸亜鉛等の無機系難燃剤;タルク(Mg(Si10)(OH))、硫酸バリウム(BaSO)、炭酸カルシウム(CaCO)、雲母等が挙げられる。前記無機微粒子としては、上記無機微粒子を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの無機微粒子は、熱伝導性、比誘電率、難燃性、粒度分布、色調の自由度等が高いことから、所望の機能を選択的に発揮させる場合には、適宜配合及び粒度設計を行って、容易に高充填化を行うことができる。また特に限定はされないが、絶縁層の厚み以下の平均粒径のフィラーを用いるのが好ましく、更には0.01〜10μm、更に好ましくは、0.05μm〜5μmの平均粒径のフィラーを用いるのがよい。 Specific examples of the material constituting the inorganic fine particles include aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), boron nitride (BN), aluminum nitride (AlN), silica (SiO 2 ), High dielectric constant fillers such as barium titanate (BaTiO 3 ) and titanium oxide (TiO 2 ); magnetic fillers such as hard ferrite; magnesium hydroxide (Mg (OH) 2 ), aluminum hydroxide (Al (OH) 2 ), Antimony trioxide (Sb 2 O 3 ), antimony pentoxide (Sb 2 O 5 ), guanidine salts, zinc borate, molybdate compounds, zinc stannate, and other inorganic flame retardants; talc (Mg 3 (Si 4 O 10) (OH) 2), barium sulfate (BaSO 4), calcium carbonate (CaCO 3), mica, and the like. As said inorganic fine particle, the said inorganic fine particle may be used independently, and may be used in combination of 2 or more type. Since these inorganic fine particles have high thermal conductivity, relative dielectric constant, flame retardancy, particle size distribution, color tone freedom, etc., when selectively exerting a desired function, appropriate blending and particle size design should be performed. And high filling can be easily performed. Although not particularly limited, it is preferable to use a filler having an average particle diameter equal to or smaller than the thickness of the insulating layer, more preferably 0.01 to 10 μm, and still more preferably a filler having an average particle diameter of 0.05 μm to 5 μm. Is good.

また、前記無機微粒子は、前記絶縁基材中での分散性を高めるために、シランカップリング剤で表面処理してもよい。また、前記絶縁基材は、前記無機微粒子の、前記絶縁基材中での分散性を高めるために、シランカップリング剤を含有してもよい。前記シランカップリング剤としては、特に限定されない。具体的には、例えば、エポキシシラン系、メルカプトシラン系、アミノシラン系、ビニルシラン系、スチリルシラン系、メタクリロキシシラン系、アクリロキシシラン系、チタネート系等のシランカップリング剤等が挙げられる。前記シランカップリング剤としては、上記シランカップリング剤を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The inorganic fine particles may be surface-treated with a silane coupling agent in order to improve dispersibility in the insulating base material. The insulating base material may contain a silane coupling agent in order to increase the dispersibility of the inorganic fine particles in the insulating base material. The silane coupling agent is not particularly limited. Specific examples include silane coupling agents such as epoxy silane, mercapto silane, amino silane, vinyl silane, styryl silane, methacryloxy silane, acryloxy silane, and titanate. As said silane coupling agent, the said silane coupling agent may be used independently, and may be used in combination of 2 or more type.

また、前記絶縁基材は、前記無機微粒子の、前記絶縁基材中での分散性を高めるために、分散剤を含有してもよい。前記分散剤としては、特に限定されない。具体的には、例えば、アルキルエーテル系、ソルビタンエステル系、アルキルポリエーテルアミン系、高分子系等の分散剤等が挙げられる。前記分散剤としては、上記分散剤を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   The insulating base material may contain a dispersant in order to enhance the dispersibility of the inorganic fine particles in the insulating base material. The dispersant is not particularly limited. Specific examples include dispersants such as alkyl ether, sorbitan ester, alkyl polyether amine, and polymer. As said dispersing agent, the said dispersing agent may be used independently, and may be used in combination of 2 or more type.

<回路パターン形成工程>
回路パターン工程は、上述したように、塗布された液状材料を乾燥させて、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、前記樹脂被膜2を形成して回路パターン部3を形成する工程である。前記回路パターン形成工程は、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に樹脂被膜2を形成することができれば、特に限定されない。
<Circuit pattern formation process>
As described above, the circuit pattern process is a process in which the applied liquid material is dried to form the resin film 2 at a location other than the location where the circuit pattern portion is formed to form the circuit pattern portion 3. . The circuit pattern forming step is not particularly limited as long as the resin coating 2 can be formed at a location other than the location where the circuit pattern portion is formed.

前記乾燥時の温度は、前記液状材料から樹脂被膜が形成できる温度であれば、特に限定されない。前記液状材料の組成等によっても異なるが、例えば、50〜100℃で5〜60分間乾燥させることが好ましい。   The temperature at the time of drying is not particularly limited as long as the resin film can be formed from the liquid material. For example, it is preferable to dry at 50 to 100 ° C. for 5 to 60 minutes, depending on the composition of the liquid material.

前記樹脂被膜2の厚みとしては、10μm以下であることが好ましく、5μm以下であることがより好ましい。一方、前記樹脂被膜2の厚みとしては、0.1μm以上であることが好ましく、1μm以上であることがより好ましい。前記樹脂被膜2の厚みが薄すぎる場合は、均一な膜厚の樹脂被膜を形成しにくくなる傾向がある。また、前記樹脂被膜2の厚みが厚すぎる場合には、前記被膜除去工程で、前記樹脂被膜2が除去しにくくなる傾向がある。特に溶解除去の場合、前記樹脂被膜2が除去しにくくなる傾向がある。   The thickness of the resin coating 2 is preferably 10 μm or less, and more preferably 5 μm or less. On the other hand, the thickness of the resin coating 2 is preferably 0.1 μm or more, and more preferably 1 μm or more. When the thickness of the resin film 2 is too thin, it tends to be difficult to form a resin film having a uniform film thickness. Moreover, when the thickness of the resin coating 2 is too thick, the resin coating 2 tends to be difficult to remove in the coating removal step. In particular, in the case of dissolution removal, the resin coating 2 tends to be difficult to remove.

次に、前記樹脂被膜2として好適な膨潤性樹脂被膜を例に挙げて説明する。   Next, a swellable resin film suitable as the resin film 2 will be described as an example.

前記膨潤性樹脂被膜としては、膨潤液に対する膨潤度が50%以上である樹脂被膜が好ましく用いられうる。さらに、膨潤液に対する膨潤度が100%以上である樹脂被膜がより好ましい。なお、前記膨潤度が低すぎる場合には、前記被膜除去工程において膨潤性樹脂被膜が剥離しにくくなる傾向がある。   As the swellable resin film, a resin film having a swelling degree with respect to the swelling liquid of 50% or more can be preferably used. Furthermore, a resin film having a swelling degree with respect to the swelling liquid of 100% or more is more preferable. In addition, when the said swelling degree is too low, there exists a tendency for a swelling resin film to become difficult to peel in the said film removal process.

また、前記膨潤性樹脂被膜としては、特に、膨潤度が膨潤液のpHに依存して変化するような被膜であることが好ましい。このような被膜を用いた場合には、前記触媒被着工程における液性条件と、前記被膜除去工程における液性条件とを異なるものにすることにより、触媒被着工程におけるpHにおいては膨潤性樹脂被膜は絶縁基材に対する高い密着力を維持し、被膜除去工程におけるpHにおいては容易に膨潤性樹脂被膜を剥離させることができる。   The swellable resin film is particularly preferably a film whose degree of swelling changes depending on the pH of the swelling liquid. When such a coating is used, the liquid condition in the catalyst deposition step is different from the liquid condition in the coating removal step, so that the swellable resin can be obtained at the pH in the catalyst deposition step. The coating maintains high adhesion to the insulating substrate, and the swellable resin coating can be easily peeled off at the pH in the coating removal step.

さらに具体的には、例えば、前記触媒被着工程が、例えば、pH1〜3の範囲の酸性めっき触媒コロイド溶液(酸性触媒金属コロイド溶液)中で処理する工程を備え、前記被膜除去工程がpH12〜14の範囲のアルカリ性溶液中で膨潤性樹脂被膜を膨潤させる工程を備える場合には、前記膨潤性樹脂被膜は、前記酸性めっき触媒コロイド溶液に対する膨潤度が50%未満、さらには40%以下であり、前記アルカリ性溶液に対する膨潤度が50%以上、さらには100%以上、さらには500%以上であるような樹脂被膜であることが好ましい。   More specifically, for example, the catalyst deposition step includes a step of treating in an acidic plating catalyst colloid solution (acid catalytic metal colloid solution) having a pH in the range of 1-3, for example, and the coating removal step has a pH of 12-12. When the step of swelling the swellable resin film in an alkaline solution in the range of 14 is provided, the swelling degree of the swellable resin film with respect to the acidic plating catalyst colloid solution is less than 50%, and further 40% or less. The resin film preferably has a degree of swelling with respect to the alkaline solution of 50% or more, more preferably 100% or more, and even more preferably 500% or more.

この回路パターン形成工程により、前記回路パターン部3の形状や位置等が規定される。また、前記回路パターン形成工程で形成される回路パターン部3の幅は、特に限定されない。具体的には、例えば、回路パターン部3としては、幅が20μm以下の部分を有することが、微細な加工が要求されるアンテナ回路等の形成ができる点から好ましい。   By this circuit pattern forming step, the shape and position of the circuit pattern portion 3 are defined. Further, the width of the circuit pattern portion 3 formed in the circuit pattern forming step is not particularly limited. Specifically, for example, it is preferable that the circuit pattern portion 3 has a portion having a width of 20 μm or less because an antenna circuit or the like that requires fine processing can be formed.

<触媒被着工程>
触媒被着工程は、前記回路パターン部3の表面及び前記樹脂被膜2の表面にめっき触媒又はその前駆体を被着させる工程である。このとき、絶縁基材1に貫通孔4が形成されている場合、貫通孔4内壁表面にもめっき触媒又はその前駆体を被着される。
<Catalyst deposition process>
The catalyst deposition step is a step of depositing a plating catalyst or a precursor thereof on the surface of the circuit pattern portion 3 and the surface of the resin coating 2. At this time, when the through hole 4 is formed in the insulating base material 1, the plating catalyst or its precursor is also applied to the inner wall surface of the through hole 4.

前記めっき触媒又はその前駆体5は、前記めっき処理工程において無電解めっきにより無電解めっき膜を形成したい部分にのみ無電解めっき膜を形成させるために付与される触媒である。めっき触媒としては、無電解めっき用の触媒として知られたものであれば特に限定なく用いられうる。また、予めめっき触媒の前駆体を被着させ、樹脂被膜の除去後にめっき触媒を生成させてもよい。めっき触媒の具体例としては、例えば、金属パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)等、または、これらを生成させるような前駆体等が挙げられる。   The plating catalyst or its precursor 5 is a catalyst that is applied to form an electroless plating film only in a portion where it is desired to form an electroless plating film by electroless plating in the plating treatment step. Any plating catalyst can be used without particular limitation as long as it is known as a catalyst for electroless plating. Alternatively, a plating catalyst precursor may be deposited in advance, and the plating catalyst may be generated after removing the resin film. Specific examples of the plating catalyst include, for example, metal palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), etc., or a precursor that generates these.

めっき触媒又はその前駆体5を被着させる方法としては、例えば、pH1〜3の酸性条件下で処理される酸性Pd−Snコロイド溶液で処理した後、酸溶液で処理するような方法等が挙げられる。具体的には、例えば、次のような方法が挙げられる。   Examples of the method of depositing the plating catalyst or its precursor 5 include a method of treating with an acidic Pd—Sn colloidal solution treated under acidic conditions of pH 1 to 3 and then treating with an acid solution. It is done. Specific examples include the following methods.

はじめに、回路パターン部3及び貫通孔4が形成された絶縁基材1の表面に付着している油分等を界面活性剤の溶液(クリーナー・コンディショナー)中で所定の時間湯洗する。次に、必要に応じて、過硫酸ナトリウム−硫酸系のソフトエッチング剤でソフトエッチング処理する。そして、pH1〜2の硫酸水溶液や塩酸水溶液等の酸性溶液中でさらに酸洗する。次に、濃度0.1%程度の塩化第一錫水溶液等を主成分とするプリディップ液に浸漬して絶縁基材1表面に塩化物イオンを吸着させるプリディップ処理を行う。その後、塩化第一錫と塩化パラジウムを含む、pH1〜3の酸性Pd−Snコロイド等の酸性めっき触媒コロイド溶液にさらに浸漬することによりPd及びSnを凝集させて吸着させる。そして、吸着した塩化第一錫と塩化パラジウムとの間で、酸化還元反応(SnCl+PdCl→SnCl+Pd↓)を起こさせる。これにより、めっき触媒である金属パラジウムが析出する。 First, oil or the like adhering to the surface of the insulating substrate 1 in which the circuit pattern portion 3 and the through-holes 4 are formed is washed with hot water in a surfactant solution (cleaner / conditioner) for a predetermined time. Next, if necessary, a soft etching treatment is performed with a sodium persulfate-sulfuric acid based soft etching agent. And it pickles further in acidic solutions, such as sulfuric acid aqueous solution of pH 1-2, and aqueous hydrochloric acid. Next, a pre-dip treatment is performed in which a chloride ion is adsorbed on the surface of the insulating base material 1 by being immersed in a pre-dip solution mainly composed of a stannous chloride aqueous solution having a concentration of about 0.1%. Then, Pd and Sn are aggregated and adsorbed by further immersing in an acidic plating catalyst colloid solution such as acidic Pd—Sn colloid having pH 1 to 3 containing stannous chloride and palladium chloride. Then, an oxidation-reduction reaction (SnCl 2 + PdCl 2 → SnCl 4 + Pd ↓) is caused between the adsorbed stannous chloride and palladium chloride. Thereby, the metal palladium which is a plating catalyst precipitates.

なお、酸性めっき触媒コロイド溶液としては、公知の酸性Pd−Snコロイドキャタリスト溶液等が使用でき、酸性めっき触媒コロイド溶液を用いた市販のめっきプロセスを用いてもよい。このようなプロセスは、例えば、ローム・アンド・ハース電子材料株式会社からシステム化されて販売されている。   In addition, as an acidic plating catalyst colloid solution, a well-known acidic Pd-Sn colloid catalyst solution etc. can be used, and the commercially available plating process using an acidic plating catalyst colloid solution may be used. Such a process is systematized and sold by Rohm & Haas Electronic Materials Co., Ltd., for example.

このような触媒被着処理によって、前記回路パターン部3の表面、前記貫通孔4の内壁表面、及び前記樹脂被膜2の表面にめっき触媒又はその前駆体5を被着させることができる。   By such a catalyst deposition process, the plating catalyst or its precursor 5 can be deposited on the surface of the circuit pattern portion 3, the inner wall surface of the through-hole 4, and the surface of the resin coating 2.

<被膜除去工程>
被膜除去工程は、前記触媒被着工程を施した絶縁基材1から前記樹脂被膜2を除去する工程である。
<Film removal process>
The coating removal step is a step of removing the resin coating 2 from the insulating base material 1 subjected to the catalyst deposition step.

前記樹脂被膜2を除去する方法としては、特に限定されない。具体的には、例えば、所定の溶液(膨潤液)で前記樹脂被膜2を膨潤させた後に、前記絶縁基材1から前記樹脂被膜2を剥離させる方法、所定の溶液(膨潤液)で前記樹脂被膜2を膨潤させ、さらに一部を溶解させた後に、前記絶縁基材1から前記樹脂被膜2を剥離させる方法、及び所定の溶液(膨潤液)で前記樹脂被膜2を溶解させて除去する方法等が挙げられる。前記膨潤液としては、前記樹脂被膜2を膨潤させることができるものであれば、特に限定されない。また、前記膨潤又は溶解は、前記樹脂被膜2で被覆された前記絶縁基材1を前記膨潤液に所定時間浸漬させること等によって行う。そして、その浸漬中に超音波照射することにより除去効率を高めてもよい。なお、膨潤させて剥離するときには、軽い力で引き剥がしてもよい。   The method for removing the resin coating 2 is not particularly limited. Specifically, for example, after the resin film 2 is swollen with a predetermined solution (swelling liquid), the resin film 2 is peeled off from the insulating substrate 1, or the resin with a predetermined solution (swelling liquid). A method of removing the resin film 2 from the insulating substrate 1 after the film 2 is swollen and further partially dissolved, and a method of removing the resin film 2 by dissolving it with a predetermined solution (swelling liquid) Etc. The swelling liquid is not particularly limited as long as it can swell the resin film 2. The swelling or dissolution is performed by immersing the insulating base material 1 covered with the resin coating 2 in the swelling liquid for a predetermined time. And removal efficiency may be improved by irradiating with ultrasonic waves during the immersion. In addition, when it swells and peels, you may peel off with a light force.

また、前記樹脂被膜2として、前記膨潤性樹脂被膜を用いた場合について、説明する。   The case where the swellable resin film is used as the resin film 2 will be described.

前記膨潤性樹脂被膜2を膨潤させる液体(膨潤液)としては、前記絶縁基材1、及び前記めっき触媒又はその前駆体5を実質的に分解又は溶解させることなく、前記膨潤性樹脂被膜2を膨潤又は溶解させることができる液体であれば特に限定なく用いられうる。また、前記膨潤性樹脂被膜2を容易に剥離される程度に膨潤させうる液体が好ましい。このような膨潤液は、膨潤性樹脂被膜2の種類や厚みにより適宜選択されうる。具体的には、例えば、膨潤性樹脂被膜がジエン系エラストマー、アクリル系エラストマー、及びポリエステル系エラストマーのようなエラストマーや、(a)分子中に重合性不飽和基を少なくとも1個有するカルボン酸又は酸無水物の少なくとも1種類以上の単量体と(b)前記(a)単量体と重合しうる少なくとも1種類以上の単量体を重合させることで得られる重合体樹脂又は前記重合体樹脂を含む樹脂組成物、カルボキシル基含有アクリル系樹脂から形成されている場合には、例えば、1〜10%程度の濃度の水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液が好ましく用いられうる。   As the liquid (swelling liquid) for swelling the swellable resin film 2, the swellable resin film 2 can be used without substantially decomposing or dissolving the insulating substrate 1 and the plating catalyst or its precursor 5. Any liquid that can be swollen or dissolved can be used without particular limitation. Moreover, the liquid which can swell so that the said swellable resin film 2 can be peeled easily is preferable. Such a swelling liquid can be appropriately selected depending on the type and thickness of the swellable resin film 2. Specifically, for example, the swelling resin film is an elastomer such as a diene elastomer, an acrylic elastomer, and a polyester elastomer, or (a) a carboxylic acid or an acid having at least one polymerizable unsaturated group in the molecule. A polymer resin obtained by polymerizing at least one monomer of an anhydride and (b) at least one monomer that can be polymerized with the monomer (a) or the polymer resin In the case where the resin composition is formed from a carboxyl group-containing acrylic resin, an alkaline aqueous solution such as a sodium hydroxide aqueous solution having a concentration of about 1 to 10% can be preferably used.

なお、触媒被着工程において上述したような酸性条件で処理するめっきプロセスを用いた場合には、膨潤性樹脂被膜2が、酸性条件下においては膨潤度が50%未満、好ましくは40%以下であり、アルカリ性条件下では膨潤度が50%以上であるような、例えば、ジエン系エラストマー、アクリル系エラストマー、及びポリエステル系エラストマーのようなエラストマー、(a)分子中に重合性不飽和基を少なくとも1個有するカルボン酸又は酸無水物の少なくとも1種類以上の単量体と(b)前記(a)単量体と重合しうる少なくとも1種類以上の単量体を重合させることで得られる重合体樹脂又は前記重合体樹脂を含む樹脂組成物、カルボキシル基含有アクリル系樹脂から形成されていることが好ましい。このような膨潤性樹脂被膜は、pH12〜14であるようなアルカリ水溶液、例えば、1〜10%程度の濃度の水酸化ナトリウム水溶液等により容易に膨潤し、剥離する。なお、剥離性を高めるために、浸漬中に超音波照射してもよい。また、必要に応じて軽い力で引き剥がすことにより剥離してもよい。   In the case of using a plating process that is performed under acidic conditions as described above in the catalyst deposition step, the swelling resin film 2 has a degree of swelling of less than 50%, preferably 40% or less under acidic conditions. Yes, such that the degree of swelling is 50% or more under alkaline conditions, for example, elastomers such as diene elastomers, acrylic elastomers, and polyester elastomers, (a) at least one polymerizable unsaturated group in the molecule Polymer resin obtained by polymerizing at least one monomer of carboxylic acid or acid anhydride having at least one monomer and (b) at least one monomer that can be polymerized with monomer (a) Alternatively, it is preferably formed from a resin composition containing the polymer resin and a carboxyl group-containing acrylic resin. Such a swellable resin film easily swells and peels off with an alkaline aqueous solution having a pH of 12 to 14, for example, a sodium hydroxide aqueous solution having a concentration of about 1 to 10%. In addition, in order to improve peelability, you may irradiate with an ultrasonic wave during immersion. Moreover, you may peel by peeling with a light force as needed.

膨潤性樹脂被膜2を膨潤させる方法としては、膨潤液に、膨潤性樹脂被膜2で被覆された絶縁基材1を所定の時間浸漬する方法が挙げる。また、剥離性を高めるために、浸漬中に超音波照射することが特に好ましい。なお、膨潤のみにより剥離しない場合には、必要に応じて軽い力で引き剥がしてもよい。   Examples of the method for swelling the swellable resin film 2 include a method of immersing the insulating base material 1 coated with the swellable resin film 2 in a swelling liquid for a predetermined time. Moreover, in order to improve peelability, it is particularly preferable to irradiate with ultrasonic waves during immersion. In addition, when not peeling only by swelling, you may peel off with a light force as needed.

<めっき処理工程>
めっき処理工程は、前記樹脂被膜2を除去した後の前記絶縁基材1に無電解めっき処理を施す工程である。
<Plating process>
The plating process is a process of performing an electroless plating process on the insulating substrate 1 after the resin film 2 is removed.

前記無電解めっき処理の方法としては、部分的にめっき触媒又はその前駆体5が被着された絶縁基材1を無電解めっき液に浸漬して、めっき触媒又はその前駆体5が被着された部分のみに無電解めっき膜(めっき層)を析出させるような方法等が用いられうる。   As a method of the electroless plating treatment, the insulating base material 1 partially coated with the plating catalyst or its precursor 5 is immersed in an electroless plating solution, and the plating catalyst or its precursor 5 is applied. For example, a method of depositing an electroless plating film (plating layer) only on the portion may be used.

無電解めっきに用いられる金属としては、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)、アルミニウム(Al)等が挙げられる。これらの中では、Cuを主成分とするメッキが導電性に優れている点から好ましい。また、Niを含む場合には、耐食性や、はんだとの密着性に優れる点から好ましい。   Examples of the metal used for electroless plating include copper (Cu), nickel (Ni), cobalt (Co), and aluminum (Al). In these, the plating which has Cu as a main component is preferable from the point which is excellent in electroconductivity. Moreover, when Ni is included, it is preferable from the point which is excellent in corrosion resistance and adhesiveness with a solder.

めっき処理工程により、絶縁基材1表面のめっき触媒又はその前駆体5が残留する部分のみに無電解めっき膜が析出する。そのために、回路溝を形成したい部分のみに正確に導電層を形成することができる。一方、回路溝を形成していない部分に対する無電解めっき膜の析出を抑制することができる。従って、狭いピッチ間隔で線幅が狭いような微細な回路を複数本形成するような場合でも、隣接する回路間に不要なめっき膜が残らない。そのために、短絡の発生やマイグレーションの発生を抑制することができる。   By the plating process, an electroless plating film is deposited only on the portion where the plating catalyst or its precursor 5 remains on the surface of the insulating substrate 1. Therefore, it is possible to accurately form the conductive layer only in the portion where the circuit groove is to be formed. On the other hand, the deposition of the electroless plating film on the portion where the circuit groove is not formed can be suppressed. Therefore, even when a plurality of fine circuits having a narrow line width with a narrow pitch interval are formed, an unnecessary plating film does not remain between adjacent circuits. Therefore, the occurrence of a short circuit and the occurrence of migration can be suppressed.

<検査工程>
本実施形態に係る回路基板の製造方法において、前記樹脂被膜2が蛍光性物質を含有するものであり、前記被膜除去工程の後、前記蛍光性物質からの発光を用いて被膜除去不良を検査するための検査工程をさらに備えていてもよい。すなわち、前記樹脂被膜2に蛍光性物質を含有させることにより、被膜除去工程の後、検査対象面に紫外光や近紫外光を照射することによる蛍光性物質からの発光を用いて、被膜除去不良の有無や被膜除去不良の箇所を検査することができる。本実施形態の製造方法においては、線幅及び線間隔が極端に狭い電気回路を形成することができる。
<Inspection process>
In the method for manufacturing a circuit board according to the present embodiment, the resin coating 2 contains a fluorescent material, and after the coating removal step, the coating removal failure is inspected using light emitted from the fluorescent material. An inspection process may be further included. That is, by including a fluorescent substance in the resin film 2, the film removal failure is caused by using light emitted from the fluorescent substance by irradiating the surface to be inspected with ultraviolet light or near ultraviolet light after the film removal step. It is possible to inspect the presence or absence of the film and the location where the film removal is defective. In the manufacturing method of the present embodiment, an electric circuit having an extremely narrow line width and line interval can be formed.

線幅及び線間隔が極端に狭い電気回路を形成するような場合、例えば、図3に示すように、絶縁基材1表面に形成された、隣り合う電気回路8の間に、樹脂被膜が完全に除去されずに残留することが懸念される。このような場合には、その部分に無電解めっき膜が形成されてしまい、マイグレーションや短絡等の原因になりうる。このような場合であっても、上記検査工程を備えていれば、被膜除去不良の有無や被膜除去不良の箇所を検査することができる。なお、図3は、樹脂被膜に蛍光性物質を含有させて、蛍光性物質からの発光を用いて被膜除去不良を検査するための検査工程を説明するための説明図である。   In the case where an electric circuit having an extremely narrow line width and line interval is formed, for example, as shown in FIG. 3, a resin film is completely formed between adjacent electric circuits 8 formed on the surface of the insulating base 1. There is a concern that it will remain without being removed. In such a case, an electroless plating film is formed in that portion, which may cause migration or short circuit. Even in such a case, if the inspection step is provided, it is possible to inspect the presence / absence of a film removal failure and the location of the film removal failure. FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining an inspection process for inspecting defective film removal by using a light emission from the fluorescent substance by adding a fluorescent substance to the resin film.

前記検査工程に用いられる、樹脂被膜2に含有させうる蛍光性物質は、所定の光源により光を照射することにより発光特性を示すものであれば、特に限定されない。その具体例としては、例えば、Fluoresceine、Eosine、Pyronine G等が挙げられる。   The fluorescent substance that can be contained in the resin coating 2 used in the inspection step is not particularly limited as long as it exhibits light emission characteristics when irradiated with light from a predetermined light source. Specific examples thereof include Fluoresceine, Eosine, Pyroline G, and the like.

本検査工程により蛍光性物質からの発光が検出された部分は、樹脂被膜2の残渣2aが残留する部分である。従って、発光が検出された部分を除去することにより、その部分に無電解めっき膜が形成されることを抑制できる。これにより、マイグレーションや短絡等の発生を未然に抑制することができる。   The portion where light emission from the fluorescent substance is detected by this inspection process is a portion where the residue 2a of the resin coating 2 remains. Therefore, by removing the portion where luminescence is detected, it is possible to suppress the formation of an electroless plating film on that portion. Thereby, generation | occurrence | production of a migration, a short circuit, etc. can be suppressed beforehand.

<デスミア処理工程>
また、本実施形態に係る回路基板の製造方法において、前記めっき処理工程を施した後、具体的には、フィルアップめっきを施す前又は施した後に、デスミア処理を施すデスミア処理工程をさらに備えていてもよい。デスミア処理を施すことによって、無電解めっき膜に付着してしまった不要な樹脂を除去することができる。また、得られた回路基板を備える多層回路基板を想定した場合、前記絶縁基材の、無電解めっき膜が形成されていない部分の表面を粗し、前記回路基板の上層等との密着性を向上させることができる。さらに、ビア底にデスミア処理を施してもよい。そうすることによって、ビア底に付着してしまった不要な樹脂を除去することができる。また、前記デスミア処理としては、特に限定されず、公知のデスミア処理を用いることができる。具体的には、例えば、過マンガン酸溶液等に浸漬する処理等が挙げられる。
<Desmear treatment process>
The circuit board manufacturing method according to the present embodiment further includes a desmear treatment step of performing a desmear treatment after the plating treatment step, specifically, before or after the fill-up plating. May be. By applying desmear treatment, unnecessary resin adhered to the electroless plating film can be removed. Further, when assuming a multilayer circuit board provided with the obtained circuit board, the surface of the insulating base material where the electroless plating film is not formed is roughened, and the adhesion with the upper layer of the circuit board is improved. Can be improved. Further, a desmear process may be performed on the via bottom. By doing so, unnecessary resin adhered to the via bottom can be removed. Moreover, it does not specifically limit as said desmear process, A well-known desmear process can be used. Specifically, the process etc. which are immersed in a permanganic acid solution etc. are mentioned, for example.

上記のような工程を経て、図1(E)に示すような回路基板10が形成される。   Through the steps as described above, a circuit board 10 as shown in FIG. 1E is formed.

[第2実施形態]
前記第1実施形態では、平面の絶縁基材上に電気回路を形成して得られる回路基板について説明したが、本発明は、特に、それに限定されない。具体的には、絶縁基材として、段差状の立体面を有するような三次元形状の絶縁基材を用いても、正確な配線の電気回路を備える回路基板(立体回路基板)が得られる。
[Second Embodiment]
In the first embodiment, the circuit board obtained by forming an electric circuit on a flat insulating base material has been described, but the present invention is not particularly limited thereto. Specifically, even when a three-dimensional insulating base material having a stepped three-dimensional surface is used as the insulating base material, a circuit board (stereoscopic circuit board) having an accurate electric circuit of wiring can be obtained.

以下、第2実施形態に係る立体回路基板の製造方法について説明する。   Hereinafter, a method for manufacturing a molded circuit board according to the second embodiment will be described.

図4は、第2実施形態に係る立体回路基板を製造する各工程を説明するための模式断面図である。   FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for explaining each step of manufacturing the three-dimensional circuit board according to the second embodiment.

はじめに、図4(A)に示すような立体絶縁基材51の表面の、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を構成する樹脂を含有する液状材料を塗布した後に、塗布された液状材料を乾燥させる。そうすることによって、図4(B)に示すように、前記回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜12を形成して回路パターン部3を形成させる。なお、この工程は、塗布工程及び回路パターン形成工程に相当する。   First, it is applied after applying a liquid material containing a resin constituting the resin film to a portion of the surface of the three-dimensional insulating substrate 51 as shown in FIG. Dry the liquid material. By doing so, as shown in FIG. 4 (B), the resin film 12 is formed at a location other than the location where the circuit pattern portion is formed, thereby forming the circuit pattern portion 3. This step corresponds to a coating step and a circuit pattern forming step.

前記立体絶縁基材51としては、従来から知られた立体回路基板の製造に用いられうるような各種樹脂成形体が特に限定なく用いられうる。このような成形体は射出成形により得ることが、生産効率の点から好ましい。樹脂成形体を得るための樹脂材料の具体例としては、例えば、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、各種ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂等が挙げられる。   As the three-dimensional insulating base 51, various resin molded bodies that can be used for manufacturing a three-dimensional circuit board known in the art can be used without any particular limitation. It is preferable from the viewpoint of production efficiency that such a molded body is obtained by injection molding. Specific examples of the resin material for obtaining the resin molding include polycarbonate resin, polyamide resin, various polyester resins, polyimide resin, polyphenylene sulfide resin, and the like.

前記液状材料の塗布方法や前記液状材料の乾燥方法は、特に限定されない。具体的には、例えば、前記第1実施形態の場合と同様の方法等が挙げられる。   The method for applying the liquid material and the method for drying the liquid material are not particularly limited. Specifically, for example, the same method as in the first embodiment can be used.

次に、図4(C)に示すように、前記回路パターン部3の表面及び前記樹脂被膜2の表面にめっき触媒又はその前駆体5を被着させる。めっき触媒又はその前駆体5を被着させる方法は、特に限定されない。具体的には、例えば、前記第1実施形態の場合と同様の方法等が挙げられる。なお、この工程は、触媒被着工程に相当する。このような触媒被着処理により、図4(C)に示すように、回路パターン部3の表面、及び樹脂被膜2の表面にめっき触媒又はその前駆体5を被着させることができる。   Next, as shown in FIG. 4C, a plating catalyst or its precursor 5 is deposited on the surface of the circuit pattern portion 3 and the surface of the resin coating 2. The method for depositing the plating catalyst or its precursor 5 is not particularly limited. Specifically, for example, the same method as in the first embodiment can be used. This step corresponds to a catalyst deposition step. By such a catalyst deposition process, the plating catalyst or its precursor 5 can be deposited on the surface of the circuit pattern portion 3 and the surface of the resin coating 2 as shown in FIG.

次に、図4(D)に示すように、前記立体絶縁基材51から前記樹脂被膜2を除去させる。そうすることによって、前記立体絶縁基材51の前記回路パターン部3が形成された部分の表面にのみめっき触媒又はその前駆体5を残留させることができる。一方、前記樹脂被膜2の表面に被着されためっき触媒又はその前駆体5は、前記樹脂被膜2に担持された状態で、前記樹脂被膜2とともに除去される。また、前記樹脂被膜2を除去する方法は、特に限定されない。具体的には、例えば、前記第1実施形態の場合と同様の方法等が挙げられる。なお、この工程は、被膜除去工程に相当する。   Next, as shown in FIG. 4D, the resin coating 2 is removed from the three-dimensional insulating base material 51. By doing so, a plating catalyst or its precursor 5 can be made to remain only on the surface of the portion of the three-dimensional insulating substrate 51 where the circuit pattern portion 3 is formed. On the other hand, the plating catalyst or its precursor 5 deposited on the surface of the resin film 2 is removed together with the resin film 2 while being supported on the resin film 2. The method for removing the resin film 2 is not particularly limited. Specifically, for example, the same method as in the first embodiment can be used. This process corresponds to a film removal process.

次に、図4(E)に示すように、前記樹脂被膜2が除去された立体絶縁基材51に無電解めっきを施す。そうすることによって、前記めっき触媒又はその前駆体5が残存する部分にのみ無電解めっき膜6が形成される。すなわち、前記回路パターン部3や前記貫通孔4が形成された部分に、電気回路となる無電解めっき膜6が形成される。無電解めっき膜6の形成方法は、特に限定されない。具体的には、例えば、前記第1実施形態の場合と同様の形成方法等が挙げられる。なお、この工程は、めっき処理工程に相当する。   Next, as shown in FIG. 4E, electroless plating is performed on the three-dimensional insulating base material 51 from which the resin film 2 has been removed. By doing so, the electroless plating film 6 is formed only in the portion where the plating catalyst or its precursor 5 remains. That is, an electroless plating film 6 that becomes an electric circuit is formed in a portion where the circuit pattern portion 3 and the through hole 4 are formed. The formation method of the electroless plating film 6 is not particularly limited. Specifically, for example, the same formation method as in the first embodiment can be used. This process corresponds to a plating process.

上記各工程によって、図4(E)に示すような、三次元形状の立体絶縁基材51に電気回路6が形成された回路基板60が形成される。このように形成された回路基板60は、絶縁基材上に形成される電気回路の線幅及び線間隔が狭くても、電気回路を高精度に形成できる。また、本実施形態に係る回路基板は、立体回路基板の段差部を有する面にも、正確且つ容易に回路形成されている。   Through the above steps, a circuit board 60 in which the electric circuit 6 is formed on the three-dimensional solid insulating base 51 as shown in FIG. 4E is formed. The circuit board 60 formed in this way can form an electric circuit with high accuracy even if the line width and line interval of the electric circuit formed on the insulating base material are narrow. In addition, the circuit board according to the present embodiment is accurately and easily formed on the surface of the three-dimensional circuit board having the stepped portion.

以下、本実施形態の製造方法を実施例により、さらに具体的に説明する。なお、本発明の範囲は、以下の実施例により何ら限定されて解釈されるものではない。   Hereinafter, the manufacturing method of the present embodiment will be described more specifically with reference to examples. The scope of the present invention is not construed as being limited in any way by the following examples.

(実施例1)
厚み100μmのエポキシ樹脂基材(パナソニック電工(株)製のR1766)の表面に、スチレン−ブタジエン共重合体(SBR)のメチルエチルケトン(MEK)サスペンジョン(日本ゼオン(株)製、酸当量600、粒子径200nm、固形分15%)を、インクジェット印刷法によって、所定の形状(回路パターン部を形成する箇所以外の箇所)に塗布した。その後、80℃で30分間乾燥させた。そうすることによって、所定の形状(回路パターン部を形成する箇所以外の箇所)に、2μm厚のスチレン−ブタジエン共重合体(SBR)の被膜が形成された。なお、前記回路パターン部は、幅20μmであった。
Example 1
Methyl ethyl ketone (MEK) suspension of styrene-butadiene copolymer (SBR) (manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd., acid equivalent 600, particle diameter) 200 nm, solid content 15%) was applied to a predetermined shape (location other than the location where the circuit pattern portion was formed) by an inkjet printing method. Then, it was dried at 80 ° C. for 30 minutes. By doing so, a 2 μm-thick styrene-butadiene copolymer (SBR) film was formed in a predetermined shape (location other than the location where the circuit pattern portion was formed). The circuit pattern portion had a width of 20 μm.

次に、回路バターン部が形成されたエポキシ樹脂基材をクリーナーコンディショナー(界面活性剤溶液、pH<1:ローム&ハース電子材料(株)製C/N3320)中に浸漬し、その後、水洗した。そして、過硫酸ナトリウム−硫酸系のpH<1のソフトエッチング剤でソフトエッチング処理した。そして、PD404(シプレイ・ファーイースト(株)製、pH<1)を用いてプリディップ工程を行った。そして、塩化第一錫と塩化パラジウムを含むpH1の酸性Pd−Snコロイド溶液(CAT44、シプレイ・ファーイースト(株)製)に浸漬することにより、無電解銅めっきの核となるパラジウムをスズ−パラジウムコロイドの状態でエポキシ樹脂基材に吸着させた。   Next, the epoxy resin base material on which the circuit pattern portion was formed was immersed in a cleaner conditioner (surfactant solution, pH <1: C / N 3320 manufactured by Rohm & Haas Electronic Materials Co., Ltd.), and then washed with water. Then, soft etching treatment was performed with a sodium persulfate-sulfuric acid-based soft etchant having a pH <1. And the pre-dip process was performed using PD404 (Shipley Far East Co., Ltd. product, pH <1). Then, by immersing in an acidic Pd-Sn colloidal solution (CAT44, manufactured by Shipley Far East Co., Ltd.) having a pH of 1 containing stannous chloride and palladium chloride, the palladium serving as the core of electroless copper plating is tin-palladium. It was made to adsorb | suck to an epoxy resin base material in the state of a colloid.

次に、pH<1のアクセラレータ薬液(ACC19E、シプレイ・ファーイースト(株)製)に浸漬することにより、パラジウム核を発生させた。そして、エポキシ樹脂基材を、pH14の5%水酸化ナトリウム水溶液中に超音波処理しながら10分間浸漬した。これにより、表面のSBR被膜は膨潤し、きれいに剥離された。このとき、エポキシ樹脂基材表面にSBR被膜の断片等が残っていなかった。そして、エポキシ樹脂基材を無電解めっき液(CM328A,CM328L、CM328C、シプレイ・ファーイースト(株)製)に浸漬させて無電解銅めっき処理を行った。   Next, palladium nuclei were generated by immersing in an accelerator chemical solution (ACC19E, manufactured by Shipley Far East Co., Ltd.) having pH <1. Then, the epoxy resin substrate was immersed for 10 minutes in a pH 14 5% aqueous sodium hydroxide solution while being ultrasonically treated. As a result, the SBR coating on the surface swelled and peeled cleanly. At this time, no SBR coating fragments remained on the epoxy resin substrate surface. Then, the epoxy resin base material was immersed in an electroless plating solution (CM328A, CM328L, CM328C, manufactured by Shipley Far East Co., Ltd.) to perform electroless copper plating.

無電解銅めっき処理により、厚み3〜5μmの無電解銅めっき膜が析出した。な無電解銅めっき処理されたエポキシ基材表面をSEM(走査型顕微鏡)により観察したところ、切削加工された部分のみに、正確に無電解めっき膜が形成されていた。   An electroless copper plating film having a thickness of 3 to 5 μm was deposited by the electroless copper plating treatment. When the surface of the epoxy base material treated with electroless copper plating was observed with an SEM (scanning microscope), an electroless plating film was accurately formed only on the cut portion.

なお、膨潤性樹脂被膜の膨潤度は、以下のように求めた。   The swelling degree of the swellable resin film was determined as follows.

離型紙上に膨潤性樹脂被膜を形成するために塗布したSBRサスペンジョンを塗布し、80℃で30分間乾燥した。これにより2μm厚の樹脂被膜を形成した。そして、形成された被膜を強制的に剥離することにより、試料を得た。   The SBR suspension applied to form a swellable resin film on the release paper was applied and dried at 80 ° C. for 30 minutes. Thereby, a 2 μm thick resin film was formed. And the sample was obtained by forcibly peeling the formed film.

そして、得られた試料0.02g程度を秤量した。このときの試料重量を膨潤前重量m(b)とする。そして、秤量された試料を20±2℃の水酸化ナトリウム5%水溶液10ml中に15分間浸漬した。また、別の試料を同様にして、20±2℃の塩酸5%水溶液(pH1)10ml中に15分間浸漬した。   And about 0.02 g of the obtained sample was weighed. The weight of the sample at this time is defined as the weight m (b) before swelling. The weighed sample was immersed in 10 ml of 5% aqueous sodium hydroxide solution at 20 ± 2 ° C. for 15 minutes. Similarly, another sample was immersed in 10 ml of a 5% aqueous hydrochloric acid solution (pH 1) at 20 ± 2 ° C. for 15 minutes.

そして、遠心分離器を用いて1000Gで約10分間遠心分離処理を行い、試料に付着した水分等を除去した。そして、遠心分離後の膨潤した試料の重量を測定し、膨潤後重量m(a)とした。得られた、膨潤前重量m(b)及び膨潤後重量m(a)から、「膨潤度SW=(m(a)−m(b))/m(b)×100(%)」の式から、膨潤度を算出した。なお、その他の条件は、JIS L1015 8.27(アルカリ膨潤度の測定方法)に準じて行った。   Then, centrifugation was performed at 1000 G for about 10 minutes using a centrifuge to remove moisture and the like attached to the sample. Then, the weight of the swollen sample after centrifugation was measured and set as the weight m (a) after swelling. From the obtained weight m (b) before swelling and weight m (a) after swelling, the formula “swelling degree SW = (m (a) −m (b)) / m (b) × 100 (%)” From this, the degree of swelling was calculated. Other conditions were performed in accordance with JIS L1015 8.27 (measurement method of alkali swelling degree).

このとき、pH14の水酸化ナトリウム5%水溶液に対する膨潤度は750%であった。一方、pH1の塩酸5%水溶液に対する膨潤度は3%であった。   At this time, the degree of swelling with respect to a sodium hydroxide 5% aqueous solution at pH 14 was 750%. On the other hand, the degree of swelling with respect to a 5% hydrochloric acid aqueous solution at pH 1 was 3%.

(実施例2)
スチレン−ブタジエン共重合体(SBR)のメチルエチルケトン(MEK)サスペンジョン(日本ゼオン(株)製、酸当量600、粒子径200nm、固形分15%)の代わりに、カルボキシル基含有重合体(日本ゼオン(株)製、酸当量500、重量平均分子量25000、固形分20%)を用いた以外、実施例1と同様に行った。
(Example 2)
Instead of methyl ethyl ketone (MEK) suspension (manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd., acid equivalent 600, particle size 200 nm, solid content 15%) of styrene-butadiene copolymer (SBR), a carboxyl group-containing polymer (Nippon Zeon Co., Ltd.) ), Acid equivalent 500, weight average molecular weight 25000, solid content 20%).

このとき、pH14の水酸化ナトリウム5%水溶液に対する膨潤度は1000%であった。一方、pH1の塩酸5%水溶液に対する膨潤度は30%であった。   At this time, the degree of swelling with respect to a 5% aqueous solution of sodium hydroxide at pH 14 was 1000%. On the other hand, the degree of swelling with respect to a 5% hydrochloric acid aqueous solution at pH 1 was 30%.

以上のように、本実施形態に係る製造方法を用いれば、膨潤性樹脂被膜を剥離することにより、基材表面の回路形成したい部分のみにめっき触媒を被着させることができる。従って、めっき触媒を被着させた部分のみに正確に無電解めっき膜が形成される。また、膨潤性樹脂被膜は膨潤作用により容易に剥離させることができるために、被膜除去工程も容易かつ正確に行うことができる。   As described above, when the manufacturing method according to the present embodiment is used, the plating catalyst can be deposited only on the portion of the substrate surface where the circuit is to be formed by peeling the swellable resin film. Therefore, an electroless plating film is accurately formed only on the portion where the plating catalyst is deposited. Further, since the swellable resin film can be easily peeled off by the swelling action, the film removal step can be easily and accurately performed.

1 絶縁基材
2 樹脂被膜
3 回路パターン部
4 貫通孔
5 めっき触媒又はその前駆体
6 無電解めっき膜(電気回路)
10,60 回路基板
12 樹脂被膜
31 吐出部
32 液状層
33 メッシュ部
34 スクリーン
35 液状材料
36 スキージ
37 穴
38 グラビア版
51 立体絶縁基材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulation base material 2 Resin film 3 Circuit pattern part 4 Through-hole 5 Plating catalyst or its precursor 6 Electroless plating film (electric circuit)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10,60 Circuit board 12 Resin coating film 31 Discharge part 32 Liquid layer 33 Mesh part 34 Screen 35 Liquid material 36 Squeegee 37 Hole 38 Gravure plate 51 Three-dimensional insulation base material

Claims (17)

絶縁基材表面の、回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を構成する樹脂を含有する液状材料を塗布する塗布工程と、
塗布された液状材料を乾燥させて、前記回路パターン部を形成する箇所以外の箇所に、樹脂被膜を形成することにより、回路パターン部を形成する回路パターン形成工程と、
前記回路パターン部の表面及び前記樹脂被膜の表面にめっき触媒又はその前駆体を被着させる触媒被着工程と、
前記絶縁基材表面から前記樹脂被膜を除去する被膜除去工程と、
前記樹脂被膜が剥離された絶縁基材に無電解めっきを施すめっき処理工程とを備えることを特徴とする回路基板の製造方法。
An application step of applying a liquid material containing a resin constituting the resin film to a portion other than the portion where the circuit pattern portion is formed on the surface of the insulating substrate,
A circuit pattern forming step for forming a circuit pattern part by drying the applied liquid material and forming a resin film in a place other than the place for forming the circuit pattern part,
A catalyst deposition step of depositing a plating catalyst or a precursor thereof on the surface of the circuit pattern portion and the surface of the resin coating;
A film removing step for removing the resin film from the surface of the insulating substrate;
And a plating process step of performing electroless plating on the insulating base material from which the resin film has been peeled off.
前記塗布工程が、インクジェット印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、グラビア印刷法、又はオフセット印刷法を用いる工程である請求項1に記載の回路基板の製造方法。   The method for manufacturing a circuit board according to claim 1, wherein the coating step is a step using an inkjet printing method, a screen printing method, a flexographic printing method, a gravure printing method, or an offset printing method. 前記被膜除去工程が、所定の液体で前記樹脂被膜を膨潤させた後、又は所定の液体で前記樹脂被膜の一部を溶解させた後に、前記絶縁基材から前記樹脂被膜を剥離する工程である請求項1又は請求項2に記載の回路基板の製造方法。   The film removal step is a step of peeling the resin film from the insulating substrate after the resin film is swollen with a predetermined liquid or after a part of the resin film is dissolved with a predetermined liquid. A method for manufacturing a circuit board according to claim 1. 前記樹脂被膜の前記液体に対する膨潤度が50%以上である請求項3に記載の回路基板の製造方法。   The method for producing a circuit board according to claim 3, wherein the degree of swelling of the resin film with respect to the liquid is 50% or more. 前記触媒被着工程が、酸性触媒金属コロイド溶液中で処理する工程を備え、
前記被膜除去工程における所定の液体が、アルカリ性溶液であり、
前記樹脂被膜が、前記酸性触媒金属コロイド溶液に対する膨潤度は50%未満であり、前記アルカリ性溶液に対する膨潤度が50%以上である請求項3に記載の回路基板の製造方法。
The catalyst deposition step comprises a step of treating in an acidic catalyst metal colloid solution,
The predetermined liquid in the film removal step is an alkaline solution,
The method for producing a circuit board according to claim 3, wherein the resin film has a degree of swelling with respect to the acidic catalyst metal colloid solution of less than 50% and a degree of swelling with respect to the alkaline solution of 50% or more.
前記被膜除去工程が、所定の液体で前記樹脂被膜を溶解させて除去する工程である請求項1又は請求項2に記載の回路基板の製造方法。   The method for manufacturing a circuit board according to claim 1, wherein the coating removal step is a step of dissolving and removing the resin coating with a predetermined liquid. 前記液状材料が、エラストマーのサスペンジョン又はエマルジョンである請求項1〜6のいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。   The method of manufacturing a circuit board according to claim 1, wherein the liquid material is an elastomer suspension or an emulsion. 前記エラストマーが、カルボキシル基を有する、ジエン系エラストマー,アクリル系エラストマー,及びポリエステル系エラストマーからなる群から選ばれる請求項7に記載の回路基板の製造方法。   The method for producing a circuit board according to claim 7, wherein the elastomer is selected from the group consisting of a diene elastomer, an acrylic elastomer, and a polyester elastomer having a carboxyl group. 前記ジエン系エラストマーが、スチレン−ブタジエン系共重合体である請求項8に記載の回路基板の製造方法。   The method for producing a circuit board according to claim 8, wherein the diene elastomer is a styrene-butadiene copolymer. 前記樹脂が、酸当量100〜800のカルボキシル基を有するアクリル系樹脂からなる樹脂を主成分とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。   The method for manufacturing a circuit board according to any one of claims 1 to 9, wherein the resin contains a resin composed of an acrylic resin having a carboxyl group with an acid equivalent of 100 to 800 as a main component. 前記液状材料に含有される樹脂が、(a)分子中に重合性不飽和基を少なくとも1個有するカルボン酸又は酸無水物の少なくとも1種類以上の単量体と、(b)前記(a)単量体と重合しうる少なくとも1種類以上の単量体とを重合させることで得られる重合体樹脂又は前記重合体樹脂を含む樹脂組成物からなる請求項1〜6のいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。   The resin contained in the liquid material includes (a) at least one monomer of carboxylic acid or acid anhydride having at least one polymerizable unsaturated group in the molecule, and (b) the above (a). The polymer resin obtained by polymerizing at least one kind of monomer that can be polymerized with the monomer, or a resin composition containing the polymer resin. Circuit board manufacturing method. 前記重合体樹脂の酸当量が、100〜800である請求項11に記載の回路基板の製造方法。   The method for producing a circuit board according to claim 11, wherein an acid equivalent of the polymer resin is 100 to 800. 前記樹脂被膜の厚みが、10μm以下である請求項1〜12のいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。   The thickness of the said resin film is 10 micrometers or less, The manufacturing method of the circuit board of any one of Claims 1-12. 前記回路パターン部の幅が、20μm以下の部分を有する請求項1〜13のいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。   The method for manufacturing a circuit board according to any one of claims 1 to 13, wherein a width of the circuit pattern portion has a portion of 20 µm or less. 前記絶縁基材が段差状に形成された段差面を有し、前記絶縁基材表面が前記段差面である請求項1〜14のいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。   The method for manufacturing a circuit board according to claim 1, wherein the insulating base material has a stepped surface formed in a step shape, and the surface of the insulating base material is the stepped surface. 前記樹脂被膜が蛍光性物質を含有するものであり、
前記被膜除去工程の後、前記蛍光性物質からの発光を用いて被膜除去不良を検査するための検査工程をさらに備える請求項1〜15のいずれか1項に記載の回路基板の製造方法。
The resin coating contains a fluorescent substance,
The method for manufacturing a circuit board according to claim 1, further comprising an inspection step for inspecting defective film removal using light emission from the fluorescent substance after the film removal step.
請求項1〜16のいずれか1項に記載の回路基板の製造方法により得られた回路基板。   The circuit board obtained by the manufacturing method of the circuit board of any one of Claims 1-16.
JP2009251378A 2009-10-30 2009-10-30 Circuit board manufacturing method and circuit board obtained by the manufacturing method Expired - Fee Related JP5295931B2 (en)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009251378A JP5295931B2 (en) 2009-10-30 2009-10-30 Circuit board manufacturing method and circuit board obtained by the manufacturing method
PCT/JP2010/006378 WO2011052211A1 (en) 2009-10-30 2010-10-28 Circuit board, and semiconductor device having component mounted on circuit board
CN2010800494868A CN102598883A (en) 2009-10-30 2010-10-28 Circuit board, and semiconductor device having component mounted on circuit board
EP10826347.6A EP2496061A4 (en) 2009-10-30 2010-10-28 Circuit board, and semiconductor device having component mounted on circuit board
US13/504,281 US8929092B2 (en) 2009-10-30 2010-10-28 Circuit board, and semiconductor device having component mounted on circuit board
TW099137217A TWI463930B (en) 2009-10-30 2010-10-29 Circuit board and semiconductor device including circuit board mounted with components
US14/481,188 US9332642B2 (en) 2009-10-30 2014-09-09 Circuit board
US14/554,334 US9351402B2 (en) 2009-10-30 2014-11-26 Circuit board, and semiconductor device having component mounted on circuit board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009251378A JP5295931B2 (en) 2009-10-30 2009-10-30 Circuit board manufacturing method and circuit board obtained by the manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011096946A JP2011096946A (en) 2011-05-12
JP5295931B2 true JP5295931B2 (en) 2013-09-18

Family

ID=44113542

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009251378A Expired - Fee Related JP5295931B2 (en) 2009-10-30 2009-10-30 Circuit board manufacturing method and circuit board obtained by the manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5295931B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013051391A (en) * 2011-07-29 2013-03-14 Fujifilm Corp Multilayer substrate manufacturing method

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3539234B2 (en) * 1998-10-22 2004-07-07 信越化学工業株式会社 Polysilane composition for forming metal pattern coating and metal pattern forming method
JP4108538B2 (en) * 2003-05-28 2008-06-25 太陽インキ製造株式会社 Electroless plating pattern forming composition, electroless plating pattern and method for forming the same
JP2007088288A (en) * 2005-09-22 2007-04-05 Sumitomo Electric Ind Ltd Circuit board, manufacturing method thereof, and multilayer circuit board
JP2009081212A (en) * 2007-09-25 2009-04-16 Panasonic Electric Works Co Ltd Method for manufacturing printed wiring board
JP5060250B2 (en) * 2007-11-13 2012-10-31 セーレン株式会社 Method for forming conductive thin wire
JP5465512B2 (en) * 2009-10-30 2014-04-09 パナソニック株式会社 Circuit board manufacturing method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2011096946A (en) 2011-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5583384B2 (en) Circuit board manufacturing method and circuit board obtained by the manufacturing method
WO2011052211A1 (en) Circuit board, and semiconductor device having component mounted on circuit board
US8698003B2 (en) Method of producing circuit board, and circuit board obtained using the manufacturing method
US9332642B2 (en) Circuit board
US6190834B1 (en) Photosensitive resin composition, and multilayer printed circuit board using the same
TWI441879B (en) Resin composition and method of manufacturing circuit board
JP5432672B2 (en) Circuit board
WO2011052207A1 (en) Circuit board and manufacturing method thereof
WO2012157249A1 (en) Circuit board production method, and circuit board obtained by production method
KR101238966B1 (en) Method for manufacturing circuit board, and circuit board obtained using the manufacturing method
JP5465512B2 (en) Circuit board manufacturing method
JP5399803B2 (en) Circuit board manufacturing method
JP5075157B2 (en) Wiring substrate manufacturing method and wiring substrate obtained by the manufacturing method
JP5330156B2 (en) Circuit board manufacturing method and circuit board obtained by the manufacturing method
JP5295931B2 (en) Circuit board manufacturing method and circuit board obtained by the manufacturing method
JPH06148877A (en) Manufacture of photosensitive element and multilayered wiring board for forming photoviewer
JP5374321B2 (en) Circuit board
JP5350184B2 (en) Multilayer circuit board manufacturing method and multilayer circuit board manufactured by the manufacturing method
JP5411829B2 (en) Multilayer circuit board manufacturing method and multilayer circuit board manufactured by the manufacturing method
WO2010064602A1 (en) Method for manufacturing circuit board, and circuit board obtained using the manufacturing method
JP2011100796A (en) Circuit board
JP2011100798A (en) Circuit board
JP5055659B2 (en) Insulating resin composition, use thereof and method for producing wiring board
JP2017117906A (en) Multilayer circuit board manufacturing method
JP2011116988A (en) Insulating resin composition and method for producing multilayer wiring board using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20120116

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120831

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20120927

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130604

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130612

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees