JP5293989B2 - 少量液体の噴霧装置 - Google Patents
少量液体の噴霧装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5293989B2 JP5293989B2 JP2007214144A JP2007214144A JP5293989B2 JP 5293989 B2 JP5293989 B2 JP 5293989B2 JP 2007214144 A JP2007214144 A JP 2007214144A JP 2007214144 A JP2007214144 A JP 2007214144A JP 5293989 B2 JP5293989 B2 JP 5293989B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- needle
- liquid
- nozzle hole
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 148
- 239000007921 spray Substances 0.000 title abstract description 30
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 claims abstract description 81
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 21
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 41
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 37
- 239000010408 film Substances 0.000 description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 3
- 238000009688 liquid atomisation Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 2
- 238000009690 centrifugal atomisation Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
- B05B7/02—Spray pistols; Apparatus for discharge
- B05B7/06—Spray pistols; Apparatus for discharge with at least one outlet orifice surrounding another approximately in the same plane
- B05B7/062—Spray pistols; Apparatus for discharge with at least one outlet orifice surrounding another approximately in the same plane with only one liquid outlet and at least one gas outlet
- B05B7/066—Spray pistols; Apparatus for discharge with at least one outlet orifice surrounding another approximately in the same plane with only one liquid outlet and at least one gas outlet with an inner liquid outlet surrounded by at least one annular gas outlet
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
- B05B7/02—Spray pistols; Apparatus for discharge
- B05B7/08—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point
- B05B7/0807—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point to form intersecting jets
- B05B7/0861—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point to form intersecting jets with one single jet constituted by a liquid or a mixture containing a liquid and several gas jets
Landscapes
- Nozzles (AREA)
Description
即ち、小量の液体を微粒化して被塗物に塗布する噴霧装置であって、
液体供給通路と、
先端部が針状で先端まで一様な勾配で長細く尖った極細のニードルと、
該ニードルの該先端部との間で弁機構を構成し、該ニードル先端部に対応した形状の極細の第1ノズル孔を有し、該ニードル先端部が該第1ノズル孔に対して挿抜自在に嵌合可能である第1ノズルと、
該第1ノズルの周囲を取り囲んで第1ノズルとの間で環状の第1霧化用圧縮気体通路を形成し、下端に小口径の第2ノズル孔を形成した第2ノズルと、
該第2ノズル下端部に、該第2ノズルの第2ノズル孔を取り囲むようにして、かつ、下端部が該第2ノズルの下面よりも所定距離突出して形成された第3ノズルの第3ノズル孔が形成され、該第3ノズル孔の周囲に、外側壁である逆円錐状の傾斜面に沿って第2霧化用兼渦巻流形成用の圧縮気体が流れるように、該第2霧化用兼渦巻流形成用の複数の圧縮気体供給通路を形成した第3ノズルと、
該ニードルの後端部と当接可能に設けられ、該針状ニードル先端部と該第1ノズルの第1ノズル孔との開き間隙を極微小量調整可能なニードル移動量調整装置と、
を備え、
該ニードルの先端部は弁機構が開いた状態で第3ノズルの第3ノズル孔の内部まで突き出して位置するようにして、液体が、第1ノズル孔とニードル先端部との間の先端に行くほど環状隙間が小さくなる極小間隙を通りつつ極細ニードル先端部に沿ってにじみ出る構成にし、
液体吐出時に第1ノズルの第1ノズル孔から該ニードル先端部に沿って液体を滲み出させながら該第1霧化用圧縮気体通路を流れる第1霧化用圧縮気体によって微粒化させつつ第2ノズルの第2ノズル孔から噴出させ、つぎに該噴出流を第3ノズルの第3ノズル孔を通して噴出させつつ第2霧化用兼渦巻流形成用圧縮気体を該噴出流に衝突させることにより、該噴出流をさらに微粒化させると共に旋回かつ拡散せしめ、被塗物に塗布することを特徴とする少量液体の噴霧装置とした。
このとき、該第2ノズル下端部に、該第2ノズルの第2ノズル孔を取り囲むようにして、かつ、下端部が該第2ノズルの下面よりも所定距離突出して形成された第3ノズルの第3ノズル孔が形成されているので、該第2ノズル孔から噴出された噴出流は、該第3ノズル孔の該突出した内部空間では第2霧化用兼渦巻形成用圧縮空気の流れに影響されることがないので、下方の被塗物方向に安定して噴出すると共に、第1ノズルと第2ノズルとで間で行なわれる第一段の液体霧化作用が安定して行なわれる。
さらに、該第3ノズルには、第3ノズル孔の周囲に、外側壁である逆円錐状の傾斜面に沿って第2霧化用兼渦巻流形成用の圧縮気体が流れるように、該第2霧化用兼渦巻流形成用の複数の圧縮気体供給通路が形成されているので、該圧縮空気供給通路から噴出された第2霧化用兼渦巻流形成用圧縮空気流は該傾斜面に沿って流れ、全周で整流された安定した渦巻流を形成し、この渦巻流が第3ノズル孔を噴出する噴出流に衝突し、安定した乱れがない旋回噴出流を形成する。これにより噴出流は安定して幅広く微細霧化されたものとなる。
図1は、本発明の少量液体の噴霧装置としての低吐出量用液体自動噴射ヘッドの使用系統図、図2は、本発明の少量液体の噴霧装置としての低吐出量用液体自動噴射ヘッドの縦断面図、図3は、図2のA部拡大図であり第1〜第3ノズルの拡大詳細図、図4は、図3の底面図であり第3ノズルの底面図である。
図5は、低吐出量用液体噴射ヘッド1を1直線上に移動した時の膜厚測定結果のパターン流量分布を表している。図5で分かるように、▲3▼、▲4▼の塗布条件である第一段霧化用圧縮空気圧力、第二段霧化用圧縮空気圧力がそれぞれ0.1Mpa〜0.15Mpaあたりが、霧化パターンの流量分布15は全パターンのほぼ2/3がフラット状の台形分布である。第二段霧化用圧縮空気圧力を上げていけばパターン幅は広がる傾向にあるが膜厚は予定した数字より低下した。それは塗着効率が下がるためと考えられる。第二段霧化用圧縮空気圧力は余り上げない方が塗着効率が維持でき、比較的安定した台形分布ができる。塗着効率を測定すると、▲1▼が88%、▲2▼が86%、▲3▼82%で▲4▼が79%、▲5▼、▲6▼76%以下であった。
霧化パターンの流量分布15の測定。
(1)液体粘度 20CPSとした。
即ち、原液AZ P4330(NV値30%)を重量比1に対し希釈溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを重量比1を加えて、固形分比率15%(体積NV値0.11%)で粘度20CPSの液体を得た。
(2)液体の比重は、1.33。
(3)液体供給定量ポンプ6bは、ギヤポンプであり液圧0.01Mpaで吐出量1.5cc/分(min)。
(4)ノズルと被塗物間の距離は、40mm。
(6)二段霧化用圧縮空気圧力を0.02Mpa〜0.25Mpaそれぞれ変化。
(7)低吐出量用液体噴射ヘッド1を1直線上に移動した時の速度は、900mmm/分。
(8)低吐出量用液体噴射ヘッド1を1直線上に移動した時の膜厚測定実施。
その際の膜厚測定を図5に示し、液体をスプレイした後の粘度アップ測定を図6に示す。図5中の▲1▼〜▲6▼の塗布条件を表1に示す。
第1ノズル7は塗布材(液体)を吐出する穴径が小径であればあるほど吐出流量は絞れる。本実験でより効果があったのは第1ノズル孔7aの出口開口径D1が0.3mmφの小口径の第1ノズル7と、ニードル8は先端から5°(度)の傾斜がついた針状テーパーニードルであった。低吐出量用液体噴射ヘッドをX、Y軸及びZ軸方向に動作する直交型マニュプレーターに搭載し、スプレイパターンの両端をラップさせて塗布する方法をとった。
液状レジスト剤として、クライアントジャパン(株)製の原液AZ P4330 (NV値30%)を重量比1に対し希釈溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを重量比1を加えた固形分比率15%で粘度20CPSが最適であった。その他の粘度30〜50CPSでも結果は良好であった。
0.015MPa
(4)塗布室温及び相対湿度
20℃ 65%
(5)被塗物
200mm角サイズのフラットガラス板、
及び幅25μ、高さ50μ段差のパターンを搭載した6インチウェハー。
(6)目標塗布膜厚さ
フラットガラス面に対し3μ±5%以内(3σ)。
段差のパターンを搭載した6インチウェハーに対し各面及び角隅部6μ〜10μ目標。
ノズル移動速度(X軸) 300mm/min
ノズルと被塗物間距離 40mm
吐出量 1.5cc/min
塗布回数 1回
被塗物塗布時表面温度 30℃
第二段霧化用圧縮空気圧力 0.1MPa(以下パターンエア圧力と呼ぶ)
塗布ピッチ 10mm
塗布後乾燥条件 100℃
乾燥時間 3分
上記の諸条件による実験の結果は、所望する良い塗布状態が得られた。その塗布状態の結果を表2に示す。
このときのフラットガラス板200角で塗布使用量3cc。
この場合目標精度を5%とすると、
USL=31,500、LSL=28,500、UCL=30,330、LCL=29,773、#of excp.=0.0、#of samp=96、平均膜厚=30051.5、Min膜厚=30,002、Max膜厚=30,810、diff.=0.17%、Cp=5.391、Cpk=5.206、Stdev.=92.8、3Sigma=278.3、3 Sigma%=0.93%。
このときの粒径分布測定結果を図7に示す。
1a 噴射ヘッド本体
2 バルブエアピストン部
2A エアピストンカバー
2B エアピストン
2C マイクロアジャスト(ニードル移動量調整装置)
2D マイクロアジャストエンド
2E ピストンシール用Oリング
2F ばね
3 ヘッド駆動用圧縮空気配管
3a ヘッド駆動用電磁弁
3b ヘッド駆動用エアレギュレーター
4 液体タンク
5 第一段霧化用圧縮空気供給配管
5a 第一段霧化用電磁弁
5b 第一段霧化用エアレギュレーター
5A ヘッド内第一段霧化用圧縮空気供給通路
6 液体供給配管
6a 液体供給切替バルブ
6b 液体供給用定量供給ポンプ
6c 液体戻り配管
6A ヘッド内液体供給通路
7 第1ノズル
7a 第1ノズル孔
8 ニードル本体
8A ニードル先端部
8B 液体シール用Oリング
9 第2ノズル
9a 第2ノズル孔
10 第3ノズル
10a 第3ノズル孔
10b 第二霧化用兼渦巻流形成用圧縮空気通路
10c 傾斜面
11 第二段霧化用圧縮空気供給配管
11a 第二段霧化用電磁弁
11b 第二段霧化用エアレギュレーター
11A ヘッド内第二段霧化用圧縮空気通路
11B 第3ノズル押え用ナット
12 第一段霧化パターン
13 第二段霧化パターン
14 被塗物
15 霧化パターンの流量分布
D1 第1ノズル孔の出口開口径
D2 第2ノズル孔の開口径
D3 第3ノズル孔の開口径
Claims (2)
- 小量の液体を微粒化して被塗物に塗布する噴霧装置であって、
液体供給通路と、
先端部が針状で先端まで一様な勾配で長細く尖った極細のニードルと、
該ニードルの該先端部との間で弁機構を構成し、該ニードル先端部に対応した形状の極細の第1ノズル孔を有し、該ニードル先端部が該第1ノズル孔に対して挿抜自在に嵌合可能である第1ノズルと、
該第1ノズルの周囲を取り囲んで第1ノズルとの間で環状の第1霧化用圧縮気体通路を形成し、下端に小口径の第2ノズル孔を形成した第2ノズルと、
該第2ノズル下端部に、該第2ノズルの第2ノズル孔を取り囲むようにして、かつ、下端部が該第2ノズルの下面よりも所定距離突出して形成された第3ノズルの第3ノズル孔が形成され、該第3ノズル孔の周囲に、外側壁である逆円錐状の傾斜面に沿って第2霧化用兼渦巻流形成用の圧縮気体が流れるように、該第2霧化用兼渦巻流形成用の複数の圧縮気体供給通路を形成した第3ノズルと、
該ニードルの後端部と当接可能に設けられ、該針状ニードル先端部と該第1ノズルの第1ノズル孔との開き間隙を極微小量調整可能なニードル移動量調整装置と、
を備え、
該ニードルの先端部は弁機構が開いた状態で第3ノズルの第3ノズル孔の内部まで突き出して位置するようにして、液体が、第1ノズル孔とニードル先端部との間の先端に行くほど環状隙間が小さくなる極小間隙を通りつつ極細ニードル先端部に沿ってにじみ出る構成にし、
液体吐出時に第1ノズルの第1ノズル孔から該ニードル先端部に沿って液体を滲み出させながら該第1霧化用圧縮気体通路を流れる第1霧化用圧縮気体によって微粒化させつつ第2ノズルの第2ノズル孔から噴出させ、つぎに該噴出流を第3ノズルの第3ノズル孔を通して噴出させつつ第2霧化用兼渦巻流形成用圧縮気体を該噴出流に衝突させることにより、該噴出流をさらに微粒化させると共に旋回かつ拡散せしめ、被塗物に塗布することを特徴とする少量液体の噴霧装置。 - 該液体供給通路へ供給される液体の粘度は10〜100CPSの低粘度であり、該第1ノズルの第1ノズル孔の出口開口径は0.2〜0.6mmであり、該針状のニードル先端部の角度は3〜10度であり、該第2ノズルの第2ノズル孔の開口内径は0.8〜1.5mmであり、該第3ノズルの第3ノズル孔の開口径は1.0〜2.0mmであり、該ニードル移動量調整装置による該針状ニードル先端部と該第1ノズルの第1ノズル孔との開き間隙を極微小量調整するためのニードルの移動距離を、8〜15μ(ミクロン)毎に調整可能とし、液体吐出量を0.1〜10.0cm3/minとすることにより少量の液体を微粒化し塗布することを特徴とする請求項1の少量液体の噴霧装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007214144A JP5293989B2 (ja) | 2007-07-24 | 2007-07-24 | 少量液体の噴霧装置 |
DE102008033732A DE102008033732A1 (de) | 2007-07-24 | 2008-07-18 | Sprühvorrichtung für kleine Flüssigkeitsmengen |
US12/177,429 US7681808B2 (en) | 2007-07-24 | 2008-07-22 | Spray device for small amount of liquid |
KR1020080071578A KR20090010923A (ko) | 2007-07-24 | 2008-07-23 | 소량 액체의 분무장치 |
TW097128180A TWI494168B (zh) | 2007-07-24 | 2008-07-24 | 少量液體噴霧裝置 |
CN2008101343215A CN101352705B (zh) | 2007-07-24 | 2008-07-24 | 用于少量液体的喷射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007214144A JP5293989B2 (ja) | 2007-07-24 | 2007-07-24 | 少量液体の噴霧装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009028701A JP2009028701A (ja) | 2009-02-12 |
JP5293989B2 true JP5293989B2 (ja) | 2013-09-18 |
Family
ID=40157616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007214144A Active JP5293989B2 (ja) | 2007-07-24 | 2007-07-24 | 少量液体の噴霧装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7681808B2 (ja) |
JP (1) | JP5293989B2 (ja) |
KR (1) | KR20090010923A (ja) |
CN (1) | CN101352705B (ja) |
DE (1) | DE102008033732A1 (ja) |
TW (1) | TWI494168B (ja) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7564564B2 (en) * | 2006-08-22 | 2009-07-21 | Artium Technologies, Inc. | Automatic set-up for instrument functions |
US9221075B2 (en) * | 2009-11-09 | 2015-12-29 | Ethicon, Inc. | Surgical needle coatings and methods |
US9332982B2 (en) * | 2009-11-09 | 2016-05-10 | Ethicon, Llc | Surgical needle coatings and methods |
US9259219B2 (en) | 2009-11-09 | 2016-02-16 | Ethicon, Llc | Surgical needle coatings and methods |
CN102019241B (zh) * | 2010-10-22 | 2012-08-01 | 山东大学 | 一种超临界流体纳微米材料制备用组合喷嘴 |
CN102133558B (zh) * | 2010-12-10 | 2012-10-03 | 山东大学 | 超临界流体纳微米材料制备用精调环隙组合喷嘴 |
JP5732376B2 (ja) * | 2011-06-21 | 2015-06-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 2流体ノズル及び基板液処理装置並びに基板液処理方法 |
JP2013169486A (ja) * | 2012-02-17 | 2013-09-02 | Hitachi Koki Co Ltd | 高圧洗浄装置 |
KR101347262B1 (ko) * | 2012-04-25 | 2014-01-06 | 한국항공대학교산학협력단 | 3유체 분리분사형 동축전단 미립화 분사기 |
KR101406089B1 (ko) * | 2012-05-25 | 2014-07-15 | 주식회사 티에스디벨로프먼트 | 휴대기기의 코팅을 위한 나선 분사노즐 |
KR101415620B1 (ko) * | 2013-03-26 | 2014-07-04 | 주식회사 은일 | 실장회로기판에 대한 수성 방습절연재료의 도포방법 및 그 도포장치 |
KR101397384B1 (ko) * | 2013-03-28 | 2014-05-20 | 엔젯 주식회사 | 스프레이 노즐 및 이를 이용한 코팅 시스템 |
CN104174549B (zh) * | 2013-05-20 | 2017-08-22 | 日本电产增成株式会社 | 液剂吐出装置 |
JP3191270U (ja) * | 2013-12-12 | 2014-06-19 | 島田 ▲隆▼治 | 中高粘度液体材料を塗布する低吐出量用液体材料噴射バルブ |
JP6494983B2 (ja) * | 2014-11-21 | 2019-04-03 | ニッタ株式会社 | 分散装置及び分散方法 |
CN104747579A (zh) * | 2015-03-19 | 2015-07-01 | 谭建忠 | 带自控喷雾通道的软轴系统 |
JP6496186B2 (ja) * | 2015-05-26 | 2019-04-03 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
WO2017019769A1 (en) * | 2015-07-27 | 2017-02-02 | Dmg Mori Seiki Usa | Powder delivery systems and methods for additive manufacturing apparatus |
JP6395690B2 (ja) * | 2015-11-05 | 2018-09-26 | Shimada Appli合同会社 | スプレイ塗布装置および方法 |
KR102033313B1 (ko) * | 2016-03-02 | 2019-10-18 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 카메라 모듈 제조 설비 |
JP6270896B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2018-01-31 | 本田技研工業株式会社 | 塗装ノズル及び塗装装置並びにそれらを用いた塗装方法 |
CN105935634A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-09-14 | 深圳贵之族生科技有限公司 | 粘稠液体雾化喷涂装置 |
JP6524594B2 (ja) * | 2016-07-07 | 2019-06-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 素子チップの製造方法 |
CN107096677B (zh) * | 2017-04-18 | 2019-06-28 | 江苏大学 | 一种大雾化量的低频超声雾化装置 |
US11433418B2 (en) * | 2017-04-21 | 2022-09-06 | Nordson Corporation | Dispensing system |
CN107185765B (zh) | 2017-05-04 | 2019-04-30 | 江苏大学 | 一种带可旋涡流叶轮的阶梯腔式低频超声雾化喷头 |
CN107214007A (zh) * | 2017-07-04 | 2017-09-29 | 深圳市德瑞茵精密科技有限公司 | 一种喷涂粘性涂料的空气喷枪及其雾化喷嘴 |
CN107253296B (zh) * | 2017-08-10 | 2023-06-02 | 青岛科技大学 | 一种高压雾化喷射装置 |
CN107685934A (zh) * | 2017-08-18 | 2018-02-13 | 深圳市弗雷德电子有限公司 | 雾化喷射装置 |
US11197666B2 (en) | 2017-09-15 | 2021-12-14 | Cilag Gmbh International | Surgical coated needles |
CN107470049B (zh) * | 2017-09-30 | 2023-04-18 | 江西远达环保有限公司 | 具有防汽化作用的脱硫脱硝用喷枪管 |
CN107470050B (zh) * | 2017-09-30 | 2023-04-18 | 江西远达环保有限公司 | 具冷却效果的脱硫脱硝用喷枪 |
JP7101787B2 (ja) * | 2018-01-23 | 2022-07-15 | エスエイチエル・メディカル・アーゲー | エアロゾル発生器 |
EP3868480B1 (en) * | 2019-12-27 | 2024-04-03 | Sunstar Engineering Inc. | Dispenser and nozzle for discharging mixture of gas and paste material, and mechanical foaming device |
WO2022054146A1 (ja) * | 2020-09-08 | 2022-03-17 | 株式会社デンソーテン | 塗布装置および塗布方法 |
KR102649715B1 (ko) * | 2020-10-30 | 2024-03-21 | 세메스 주식회사 | 표면 처리 장치 및 표면 처리 방법 |
JP2022086568A (ja) * | 2020-11-30 | 2022-06-09 | 新東工業株式会社 | ノズル、現像装置及び被処理体の加工方法 |
CN114887339A (zh) * | 2022-04-27 | 2022-08-12 | 江苏宇通干燥工程有限公司 | 一种喷雾干燥机 |
CN118142430B (zh) * | 2024-05-11 | 2024-07-30 | 杭州嘉悦智能设备有限公司 | 溢流结构及熔盐造粒设备 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5189307U (ja) * | 1975-01-16 | 1976-07-16 | ||
JPS62161829U (ja) * | 1986-04-04 | 1987-10-14 | ||
US4785996A (en) * | 1987-04-23 | 1988-11-22 | Nordson Corporation | Adhesive spray gun and nozzle attachment |
CN2034876U (zh) * | 1988-05-03 | 1989-03-29 | 贾杰臣 | 一种喷洒枪 |
JPH0615203A (ja) * | 1992-02-17 | 1994-01-25 | P C G Tekunika:Kk | 塗料噴射弁 |
WO1993020948A1 (en) * | 1992-04-20 | 1993-10-28 | Spraying Systems Co. | Air assisted atomizing spray nozzle |
US5800867A (en) * | 1992-08-13 | 1998-09-01 | Nordson Corporation | Deflection control of liquid or powder stream during dispensing |
JP3655005B2 (ja) * | 1995-05-02 | 2005-06-02 | 科研製薬株式会社 | スプレーガンおよびこれを用いた造粒コーティング方法 |
US5590815A (en) * | 1995-07-13 | 1997-01-07 | Monturas S.A. | Minature pump sprayer |
US6149076A (en) * | 1998-08-05 | 2000-11-21 | Nordson Corporation | Dispensing apparatus having nozzle for controlling heated liquid discharge with unheated pressurized air |
US6745948B1 (en) * | 1999-03-29 | 2004-06-08 | Kabushiki Kaisha Santuuru | Method and device for spiral spray coating |
US7762476B2 (en) * | 2002-08-19 | 2010-07-27 | Illinois Tool Works Inc. | Spray gun with improved atomization |
JP4437272B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2010-03-24 | ノードソン株式会社 | 液体のスプレイ方法 |
JP2004167397A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Toyota Auto Body Co Ltd | 塗装ガン |
FR2859650B1 (fr) * | 2003-09-12 | 2006-02-24 | Gloster Sante Europ | Appareil de brumisation d'une composition liquide |
TWM250715U (en) * | 2003-12-22 | 2004-11-21 | Visiontac Ltd | Spraying structure |
-
2007
- 2007-07-24 JP JP2007214144A patent/JP5293989B2/ja active Active
-
2008
- 2008-07-18 DE DE102008033732A patent/DE102008033732A1/de not_active Withdrawn
- 2008-07-22 US US12/177,429 patent/US7681808B2/en active Active
- 2008-07-23 KR KR1020080071578A patent/KR20090010923A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-07-24 TW TW097128180A patent/TWI494168B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-07-24 CN CN2008101343215A patent/CN101352705B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7681808B2 (en) | 2010-03-23 |
US20090026291A1 (en) | 2009-01-29 |
DE102008033732A1 (de) | 2009-01-29 |
CN101352705B (zh) | 2012-02-22 |
KR20090010923A (ko) | 2009-01-30 |
TWI494168B (zh) | 2015-08-01 |
TW200909066A (en) | 2009-03-01 |
CN101352705A (zh) | 2009-01-28 |
JP2009028701A (ja) | 2009-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5293989B2 (ja) | 少量液体の噴霧装置 | |
JP4014693B2 (ja) | 改良型スプレー・ノズルで液体被覆を塗布する方法および装置 | |
EP1108476B1 (en) | Low-pressure atomizing spray gun | |
US5165605A (en) | Low pressure air atomizing spray gun | |
US8113445B2 (en) | Spray gun having air cap with unique spray shaping features | |
KR101250678B1 (ko) | 스프레이 건의 에어 무화 공기 캡 | |
TW200406259A (en) | Spray gun with improved pre-atomization fluid mixing and breakup | |
KR101751941B1 (ko) | 공구없이 분해조립가능한 저토출량용 액체재료 분사밸브 | |
AU2016252285A1 (en) | Low pressure spray tip configurations | |
KR101949915B1 (ko) | 스프레이 도포 장치 및 스프레이 도포에서의 코브웨빙 방지 방법 | |
US20170173600A1 (en) | Air cap and nozzle assembly for a spray gun, and spray gun | |
JP6404513B2 (ja) | スプレー塗布装置 | |
JP5336763B2 (ja) | 内面塗装用スプレーガン。 | |
JP3191270U (ja) | 中高粘度液体材料を塗布する低吐出量用液体材料噴射バルブ | |
EP0411830B1 (en) | Low pressure air atomizing spray gun | |
JP2000167446A (ja) | 塗装ヘッド | |
TW202419158A (zh) | 中高黏度液體的塗佈方法、裝置及噴嘴 | |
US20240058827A1 (en) | Two-fluid nozzle with an arcuate opening | |
JP2005028204A (ja) | スプレーガンの補助装置 | |
JP2558243Y2 (ja) | 内部混合式エアスプレーガン | |
JPH0330853A (ja) | 噴霧装置 | |
JPS635141B2 (ja) | ||
JPH01203066A (ja) | 液体吹付方法およびその装置 | |
JPH09173918A (ja) | 塗装用スプレ−ガン構造 | |
JPS635148B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100623 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121002 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130521 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130529 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5293989 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |