JP5293443B2 - フィルム基板の移載装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る移載装置1が併設された薄膜太陽電池の型抜き加工ラインを示す平面図であり、図において、薄膜太陽電池の型抜き加工ラインには、型抜き加工部13を通って周回される無端ベルト状の下敷きシート14が配設されている。下敷きシート14は、PET樹脂などの可撓性シート材料で構成され、フィルム基板10の搬送経路両端部に配置された一対のガイドロール14a,14bを含む複数のガイドロールにエンドレスに巻き掛けられている。
なお、本実施形態では、移動体8の走行手段に車輪82を用いているが、これには限定されず、LMガイドなど、走行できるものであれば、様々な形態を利用できる。
2 吸着パッド
3 昇降枠
4,4a,4b 連結部(球状関節)
5,5a,5b 昇降部材
6,6a,6b エアシリンダ
7,70 支持体
8 移動体
9 送り機構
10 フィルム基板
11 製品部分(フィルム基板)
12 フィルム残部
13 型抜き加工部
14 下敷きシート(載置面)
17 製品吸着ステージ
18 移載ステーション
20 トレイ
61,61a,61b 出力ロッド
62a,62b,63a,63b 速度制御弁
Claims (5)
- 載置面に平置されたフィルム基板を吸着して持ち上げる移載装置であって、同一仮想平面上に配列された複数の吸着パッドと、それらを支持する共通の昇降枠と、該昇降枠を昇降させる昇降手段とを備えるものにおいて、
前記昇降手段が、前記載置面の拡がり方向に離れた2つの連結部にて、前記載置面に平行かつ相互に平行な軸線回りの回動を許容した状態で、前記昇降枠にそれぞれ連結された2つの昇降部材と、それらを相対的な速度差および/または時間差をもって上昇させる制御手段および駆動手段を含むことを特徴とするフィルム基板の移載装置。 - 前記駆動手段が、前記各連結部に配設された2つの流体圧シリンダであり、前記2つの昇降部材が、前記2つの流体圧シリンダの出力ロッドであるかまたは前記出力ロッドに固定されており、前記制御手段が、前記2つの流体圧シリンダに接続された流量制御弁を含むことを特徴とする請求項1に記載のフィルム基板の移載装置。
- 前記各連結部が、球状関節からなることを特徴とする請求項1または2に記載のフィルム基板の移載装置。
- 前記各連結部が、前記複数の吸着パッドが配列された前記仮想平面に対して上方に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のフィルム基板の移載装置。
- 前記昇降枠および前記昇降手段が、前記載置面に隣接して平置された複数のフィルム基板に対応して複数配設され、前記各昇降手段をそれぞれ支持する複数の支持体と、前記複数の支持体に共通の移動体と、前記移動体を前記各フィルム基板の移載位置との間で往復移動させる手段と、前記複数の支持体を前記フィルム基板の隣接方向に接離させる手段とをさらに備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のフィルム基板の移載装置。
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