JP5293443B2

JP5293443B2 - フィルム基板の移載装置

Info

Publication number: JP5293443B2
Application number: JP2009145101A
Authority: JP
Inventors: 慎司岩崎
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2009-06-18
Filing date: 2009-06-18
Publication date: 2013-09-18
Anticipated expiration: 2029-06-18
Also published as: JP2011003701A

Description

本発明は、載置面上に平置された薄膜太陽電池などのフィルム基板を吸着して持ち上げ他所に移載する装置に関する。

光電変換層を構成する半導体膜としてアモルファスシリコン系薄膜を用いた薄膜太陽電池は、気相成長法で形成でき容易に大面積化できるとともに、形成温度が低いためにプラスチックフィルムのような可撓性基板に形成でき、さらに集積型の直列接続構造、即ち、フィルム基板の表面側に多数の太陽電池単位セルが並設され、それらが基板背面側の接続用電極層と、基板を貫通する孔を介して直列接続された構造により、１枚の基板で高電圧を取り出すこともでき、また、低電圧／大電流型の太陽電池モジュールを構成するのにも適している（特許文献１参照）。

上記直列接続構造をなす薄膜太陽電池は、所定の配列で貫通孔を穿設した長尺のフィルム基板の両面に電極層を形成する一次成膜工程、およびその表面側の電極層上に光電変換層および透明電極層を積層形成する二次成膜工程を経た後、フィルム基板を各太陽電池単位セルに分割するレーザ加工工程、フィルム基板の各面を封止する封止材のラミネート工程を経て、製品部分の裁断工程に送られる。

裁断工程では、薄いフィルム基板の製品部分（太陽電池モジュール）を型抜き加工部に正確に位置決めしかつ確実に裁断するために、供給ロールから巻出された長尺フィルム基板を樹脂製の下敷きシート上に重ね、それらをグリップフィーダで一体的に前進させて型抜き加工部に位置決めし、トムソン刃などの裁断刃で型抜きする。型抜き加工部を通過したフィルム基板は、下敷きシートに載置された状態で製品搬出部に送られ、移載装置の吸着部によって製品部分のみが吸着され、フィルム基板の残余の部分から分離して持ち上げられて、トレイなどに移載されて次工程に移送される。

フィルム基板の移載装置としては、例えば、特許文献２に記載されるような全面吸着式の吸着部を備えたものが公知であるが、樹脂製の下敷きシート上に重ねて型抜きされたフィルム基板の製品部分は、下敷きシートの表面に密着しているため、下敷きシートから剥がれ難く、フィルム基板が軽量であるにも拘わらず、大きな吸着力を必要とする問題があった。しかも、過大な吸着力は、製品部分に悪影響を及ぼすことも懸念されるので、製品毎に適正な吸着力に調整するのが困難であった。

特開平６−３４２９２４号公報特開２０００−１１８７１４号公報

本発明はこのような実状に鑑みてなされたものであって、その目的は、フィルム基板を小さい吸着力で確実に吸着して移載できる装置を提供することにある。

上記従来技術の有する課題を解決するため、本発明は、載置面に平置されたフィルム基板を吸着して持ち上げる移載装置であって、同一仮想平面上に配列された複数の吸着パッドと、それらを支持する共通の昇降枠と、該昇降枠を昇降させる昇降手段とを備えるものにおいて、前記昇降手段が、前記載置面の拡がり方向に離れた２つの連結部にて、前記載置面に平行かつ相互に平行な軸線回りの回動を許容した状態で、前記昇降枠にそれぞれ連結された２つの昇降部材と、それらを相対的な速度差および／または時間差をもって上昇させる制御手段および駆動手段を含むことを特徴とする。

本発明において、前記駆動手段が、前記各連結部に配設された２つの流体圧シリンダであり、前記２つの昇降部材が、前記２つの流体圧シリンダの出力ロッドであるかまたは前記出力ロッドに固定されており、前記制御手段が、前記２つの流体圧シリンダに接続された流量制御弁を含むことが好適である。また、前記各連結部が、球状関節からなることが好ましい。さらに、前記各連結部が、前記複数の吸着パッドが配列された前記仮想平面に対して上方に配置されていることが好適である。

上記本発明において、前記昇降枠および前記昇降手段が、前記載置面に隣接して平置された複数のフィルム基板に対応して複数配設され、前記各昇降手段をそれぞれ支持する複数の支持体と、前記複数の支持体に共通の移動体と、前記移動体を前記各フィルム基板の移載位置との間で往復移動させる手段と、前記複数の支持体を前記フィルム基板の隣接方向に接離させる手段とをさらに備えることが好適である。

本発明に係る移載装置は、上述の通り構成されているので、以下に記載されるような作用および効果を有する。

載置面に平置されたフィルム基板を、共通の昇降枠により同一仮想平面上に配列された複数の吸着パッドで吸着し、前記昇降枠に連結された２つの昇降部材を相対的な速度差および／または時間差をもって上昇させることにより、上昇開始時に、フィルム基板の一方の縁端部に持ち上げ力が集中的に付与され、それにより、前記一方の縁端部において、載置面（または別のフィルム基板）からの剥離が比較的容易に開始され、一度剥離が開始された後には、載置面との間に生じた隙間への空気の流入によって、フィルム基板全体が載置面から容易に離脱可能となる。

したがって、フィルム基板を吸着して持ち上げるのに大きな吸着力を必要とせず、過大な吸着力による製品部分への影響もない。また、吸着力の適用範囲が拡大され、吸着エラーが起こり難くなり、フィルム基板表面の平坦度やパターンなどに応じた厳密な吸着力の調整が不要になる利点もある。

さらに、吸着されたフィルム基板が上昇する際に、上記速度差および／または時間差に伴い、フィルム基板全体が傾斜姿勢となり、それにより、フィルム基板上面の空気が傾斜に沿って低位側に誘導されるので、上昇初期の空気抵抗を軽減でき、空気抵抗によるバタツキや吸着エラーを抑制できる。

上記のような傾斜姿勢を伴う上昇動作を行いながらも、フィルム基板は常に平面に維持されており、吸着動作により皺や曲げが発生することがない。また、２つの昇降部材を相対的な速度差および／または時間差をもって上昇させるのみであるため、２つの昇降部材の基本構造や昇降ストロークを同一または対称に構成可能であり、装置の構造が複雑化することもない。

また、前記駆動手段が、前記各連結部に配設された２つの流体圧シリンダであり、前記２つの昇降部材が、前記２つの流体圧シリンダの出力ロッドであるかまたは前記出力ロッドに固定されており、前記制御手段が、前記２つの流体圧シリンダに接続された流量制御弁を含む態様では、流量制御弁により、２つの流体圧シリンダの作動流体の流量を調整するのみで、各出力ロッドの上昇動作に速度差および／または時間差を容易に設定でき、かつ、低コストで実施できる。

さらに、前記各連結部が球状関節からなる態様では、上記のような傾斜姿勢を伴う昇降枠の上昇動作を、各連結部に拗れなど生じることなく円滑に行うことができ、かつ、昇降枠および各吸着パッドの載置面上での位置を正確に規定できる利点もある。

さらに、前記各連結部が、前記複数の吸着パッドが配列された前記仮想平面に対して上方に配置されている態様では、上記昇降枠の傾斜姿勢を伴った上昇動作の開始時に、各吸着パッドと各連結部との上下方向のオフセットによって、フィルム基板の一方の縁端部の上昇に伴い、遅れて上昇する他方の縁端部側では、載置面の拡がり方向への微小変位が生じ、この微小変位によって、フィルム基板の他方の縁端部側が、載置面や裁断されたフィルム残部から確実に分離される利点がある。

さらに、前記昇降枠および前記昇降手段が、前記載置面に隣接して平置された複数のフィルム基板に対応して複数配設され、前記各昇降手段をそれぞれ支持する複数の支持体と、前記複数の支持体に共通の移動体と、前記移動体を前記各フィルム基板の移載位置との間で往復移動させる手段と、前記複数の支持体を前記フィルム基板の隣接方向に接離させる手段とをさらに備える態様では、載置面に隣接して平置された複数のフィルム基板を一斉に吸着して移載でき、移載効率を向上可能であるとともに、各フィルム基板を共通の移動体によって移載位置まで搬送する際に、支持体を相互に離隔させることで、各フィルム基板の間に適宜間隔を有して移載でき、移載後における各フィルム基板の分配など取扱いを容易に行える。

本発明実施形態に係る移載装置が併設されたフィルム基板の型抜き加工ラインを示す平面図である。本発明実施形態の移載装置を示す図１のＡ−Ａ断面図である。本発明実施形態の移載装置を示す図１のＢ−Ｂ断面図である。本発明実施形態の移載装置によるフィルム基板の吸着状態を示す図１のＢ−Ｂ断面図である。本発明実施形態の移載装置によるフィルム基板の持ち上げ動作を示す図１のＢ−Ｂ断面図である。本発明実施形態の移載装置によるフィルム基板の搬送動作を示す図１のＢ−Ｂ断面図である。本発明実施形態の移載装置によるフィルム基板の移載動作を示す図１のＣ−Ｃ断面図である。本発明実施形態の移載装置によるフィルム基板の持ち上げ動作を示す図５の拡大図である。（ａ）は本発明実施形態に係る連結部のレイアウトを示す平面図、（ｂ）は別の実施形態に係る連結部のレイアウトを示す平面図である。

以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明に係る移載装置１が併設された薄膜太陽電池の型抜き加工ラインを示す平面図であり、図において、薄膜太陽電池の型抜き加工ラインには、型抜き加工部１３を通って周回される無端ベルト状の下敷きシート１４が配設されている。下敷きシート１４は、ＰＥＴ樹脂などの可撓性シート材料で構成され、フィルム基板１０の搬送経路両端部に配置された一対のガイドロール１４ａ，１４ｂを含む複数のガイドロールにエンドレスに巻き掛けられている。

成膜工程、レーザ加工工程、および封止材のラミネート工程を経た薄膜太陽電池のフィルム基板１０は、図示しない供給ロールから巻出され、型抜き加工部１３の搬送方向上流側で下敷きシート１４上に供給され、下敷きシート１４に載置された状態で、型抜き加工部１３において、トムソン刃などの裁断刃により太陽電池モジュールを構成する製品部分１１が型抜きされる。本実施形態におけるフィルム基板１０は、その幅方向に列設されかつ相互に直列接続された多数の太陽電池単位セルで構成された単位モジュールが、フィルム基板１０の長手方向に間欠的に配置された矩形の加工領域毎に６列並設されており、型抜き加工部３では、各加工領域が単位モジュールの２列を１組にした３つの製品部分１１に型抜きされる。

型抜き加工部１３の搬送方向下流側には、型抜き加工部１３に位置決めされたフィルム基板１０を下敷きシート１４と共に把持する固定グリップ１５が設けられ、さらにその搬送方向下流側には、型抜き加工されたフィルム基板１０を下敷きシート４と共に把持して一体的に前進させるグリップフィーダ１６が設置されている。グリップフィーダ１６の間欠的な搬送動作の休止期間中に、型抜き加工部１３で製品部分１１が型抜きされ、型抜き加工されたフィルム基板１０は、下敷きシート１４に載置された状態で、順次、搬送方向下流側の製品吸着ステージ１７に搬送される。

上述した型抜き加工ライン（１３〜１７）の側方には、製品部分１１をトレイ２０に積載して次工程に移送するトレイ搬送コンベア１８１，１８２が平行に延設されており、移載装置１は、製品吸着ステージ１７にてフィルム基板１０の製品部分１１のみを吸着して持ち上げ、トレイ搬送コンベアの移載ステーション１８（１８１）に移載するものである。

移載装置１は、図２および図３に示すように、フィルム基板の３つの製品部分１１に割り当てられた複数の吸着パッド２、各吸着パッド２を３つの製品部分１１毎に支持する共通の昇降枠３、該各昇降枠３を昇降させるエアシリンダ６（６ａ，６ｂ）、各エアシリンダ６を支持する支持体７，７０、これら支持体７，７０に共通の移動体８、該移動体８を製品吸着ステージ１７と移載ステーション１８との間で往復移動させる送り機構９を備えている。

各吸着パッド２は、支持プレート３１に固定された吸引管の下端部に下向きに取付けられており、フィルム基板の製品部分１１を平坦に維持した状態で吸着するために、例えば図９（ａ）に示すような格子状のレイアウトで同一仮想平面上に配列されている。各吸引管の上端部は図示しない配管および電磁弁を介して真空エジェクタや真空ポンプなどの真空発生装置に接続されている。図示例では、１つの支持プレート３１に７つの吸着パッド２が支持されており、４列の支持プレート３１が支持枠３２の下面に固定されることで１つの昇降枠３を構成している。

各昇降枠３（支持枠３２）は、フィルム基板１０および下敷きシート１４の幅方向に相当する長手方向の各端部において、それぞれ２つの球状関節からなる連結部４を介して昇降部材５ａ，５ｂに連結されている。各昇降部材５ａ，５ｂは、エアシリンダ６ａ，６ｂの出力ロッド６１の先端に固定されるとともに、エアシリンダ６ａ，６ｂのハウジングで直動案内されている各一対のガイドロッド５１，５１の下端に固定され、さらに各ガイドロッド５１，５１の上端が端板５２で剛接合されることで、各昇降部材５ａ，５ｂに連結された各２つの球状関節（連結部４）が水平に保持されるようにしてある。

エアシリンダ６ａ，６ｂは、図３に示すように、支持体７，７０の側板７ａ，７ｂの外面側に固定されており、その内面側において、側板７ａ，７ｂは梁７ｄを介して互いに剛接合されている。３つの支持体７，７０，７のうち、中央の支持体７０（側板７ａ，７ｂ）は、その上端部において移動体８に固定されている。一方、両側の支持体７，７は、側板７ａ，７ｂの上端部に剛接合された天板７ｃが、移動体８の上面に設けたガイドレール８０，８０に摺動可能に支持され、図示しない送り手段により移動可能であり、中央の支持体７０に対して接離可能となっている。この送り手段には、エアシリンダなどのリニアアクチュエータ、送りねじ機構やラックピニオン機構を介したロータリーアクチュエータ、直動カムなど周知の送り手段を用いることができる。

移動体８は、製品吸着ステージ１７の上方から移載ステーション１８の上方にかけて平行に延設された一対のガイドビーム９０，９０に架設され、かつ、移動体８の端部に、ガイドビーム９０，９０の上面に転接する車輪８２，８２を備えるとともに、移動体８の上面に設けたナット部材８１に螺合する送りねじ軸９１を、その一端に連結されたモータ９２で正逆回転させることで、ガイドビーム９０，９０に沿って往復移動可能である。
なお、本実施形態では、移動体８の走行手段に車輪８２を用いているが、これには限定されず、ＬＭガイドなど、走行できるものであれば、様々な形態を利用できる。

移載ステーション１８（１８１）に空トレイを供給する空トレイ供給装置１８０は、駆動ロールを用いた供給コンベア（ローラコンベア）と、その上方に複数のトレイ２０を段積み状態で支持するとともに、最下段のトレイ２０のみを供給コンベア上に投下する分離供給機構を備えている。また、移載ステーション１８に設置されたトレイ搬送コンベア１８１，１８２は、何れも製品を積載したトレイを下流に移動するための駆動ロールを用いたローラコンベアである。

搬送コンベア１８１は、図示しない高さ調整機構（昇降手段）を備えており、製品部分１１を積載するトレイ位置（高さ）を積載枚数に応じて調整することで、積載時に製品部分１１との垂直距離が常に一定に保たれるようにしてある。さらに、搬送コンベア１８１は、水平姿勢から搬送方向に向かう下り傾斜を有するように傾動可能に構成されている。また、図示を省略するが、搬送コンベア１８２の下流側には、製品部分１１を収容したトレイ２０を複数段のローラコンベアに収納可能な収納ラックが設置されている。搬送コンベア１８２は、前記各段のローラコンベアに合わせて昇降可能なスタッカーとして構成され、位置決めされたローラコンベアに対してトレイ２０を押送するためのトレイ押出し機構を備えている。

次に、上記実施形態に基づく作用について説明する。

型抜き加工されたフィルム基板１０が下敷きシート１４に載置されて製品吸着ステージ１７に搬送されるのと並行して、移載装置１の移動体８は、移載ステーション１８から製品吸着ステージ１７の上方に復帰している。製品吸着ステージ１７には、図２に示すように、フィルム残部１２の間に３つの製品部分１１が隣接配置されている。これに合わせて、移載装置１の両側の支持体７，７は、中央の支持体７０寄りに移動しており、この状態から、図４に矢印ｚ，ｚで示すように、両側のエアシリンダ６ａ，６ｂの出力ロッド６１ａ，６１ｂが一斉に突出して昇降枠３を水平姿勢のまま降下させ、各吸着パッド２で製品部分１１を吸着する。

次いで、図５に矢印ｚａ，ｚｂで示すように、一方のエアシリンダ６ａを他方のエアシリンダ６ｂに先行してかつ相対的に高速度で作動させることにより、昇降枠３の昇降部材５ａ側が先に上昇し、同一平面上に配列された各吸着パッド２に吸着された製品部分１１は、平坦に維持されつつも前記一方の昇降部材ａ側からめくるように持ち上げられる。このようなめくる動作により、昇降枠３の上昇開始時に、製品部分１１の一方の縁端部に吸着パッド２を介した持ち上げ力が集中的に付与され、この縁端部において下敷きシート１４からの剥離がより少ない力で開始されることになり、一旦剥離が始まれば、下敷きシート１４との間に生じた隙間への空気の流入により、製品部分１１全体の下敷きシート１４からの離脱が促進されことになる。

さらに、実施形態の移載装置１では、図８に示すように、球状関節による連結部４ａ，４ｂが、下敷きシート１４上の載置面に対して上方に高さｈだけオフセットして配置されているので、各側の昇降部材４ａ，５ｂの速度差および時間差を伴った上昇動作ｚａ，ｚｂにより昇降枠３全体が僅かに傾斜姿勢となる際に、遅れて上昇する連結部４ｂの下方の載置面上では、矢印βに示されるような微小変位を生じ、この僅かにずらす動作によって下敷きシート１４からの剥離やフィルム残部１２からの分離が促進される。

上述したエアシリンダ６ａ，６ｂの速度差および時間差もった動作は、流量制御弁（速度制御弁）による圧縮空気の流量調整によって設定可能である。例えば、図８に示すように、エアシリンダ６ａ，６ｂの上昇時に排気側となる速度制御弁６３ａ，６３ｂの開度に差を持たせ、一方の速度制御弁６３ａの開度を相対的に大きくし、他方の速度制御弁６３ｂの開度を相対的に小さくすることで、一方のエアシリンダ６ａを他方のエアシリンダ６ｂより速く上昇させることができる。

当然ながら、各エアシリンダ６ａ，６ｂに同回路の圧縮空気を用いることができ、各エアシリンダ６ａ，６ｂの電磁弁は同タイミングで作動させる。各エアシリンダ６ａ，６ｂは上昇速度のみが異なり、ストロークは一定であるので、上昇動作の完了後には昇降枠３は再び水平姿勢となる。各速度制御弁６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂはチェック弁を備えており、エアシリンダ６ａ，６ｂの下降時には、速度制御弁６２ａ，６２ｂの開度を同設定にすることで同速度かつ同タイミングで降下させることができる。

また、速度制御弁６３ａ，６３ｂおよび／または速度制御弁６２ａ，６２ｂの開度設定により、あるいは、速度制御弁６２ｂのチェック弁のクラッキング圧を大きくするか、チェック弁を電磁開閉弁とすることにより、他方のエアシリンダ６ｂの上昇時の始動を遅らせることもできる。電磁弁の開閉タイミングなどで時間差を設定することもできるが、実施形態のように速度制御弁６３ａ，６３ｂの設定のみで速度差や時間差を設定する方が、既存の部品を利用して安価に装置を構成できる。

上記のように各吸着パッド２で吸着され、各昇降枠３と共に載置面（１４）から持ち上げられた各製品部分１１は、図６に示すように、送りねじ機構（８１，９１，９２）により移動体８と共に水平ｙ方向に搬送され、移載ステーション１８へと移送される。この搬送過程で、図７に示すように、両側の支持体７，７が、移載ステーション１８におけるトレイ２０の配列ピッチに対応すべく、ガイドレール８０，８０に沿って中央の支持体７０から離れるｘ方向に移動するので、移載ステーション１８に停止した時点で、直ちに昇降枠３を下降させ、３つの製品部分１１をトレイ２０に移載可能である。

以上、本発明の実施形態につき述べたが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいてさらに各種の変形および変更が可能である。

例えば、上記実施形態では、図９（ａ）に示すように、製品部分１１の両側に各２箇所の連結部４ａ，４ｂが設置される場合について述べたが、連結部が他の方向、例えば、図９（ｂ）に示すように、製品部分１１の対角線２ｃ方向に連結部４ａ′，４ｂ′が設置されていても良く、その場合、対角線２ｃ方向の一側に位置した角部に吸着力を集中して製品部分１１をめくり上げるような動作で持ち上げ可能となる。昇降枠３によって各吸着パッド２の配列が固定されているので、一方の連結部４ａ′は一箇所のみでも良い。このような非対称の連結部４ａ′，４ｂ′の配置であっても、球状関節は相互の位置関係のみ考慮すればよく、エアシリンダなどの取付け部は、回動軸線方向とは無関係に搬送方向や移送方向を基準とした機器配置の通りに設置可能である。また、吸着パッドは格子状以外の配列であっても良い。

また、上記実施形態では、昇降部材５を昇降動作させる駆動手段としてエアシリンダを用いる場合について述べたが、油圧シリンダやエアハイドロシリンダなど、他の流体圧シリンダを用いることもでき、流量制御弁の種類や配置なども、速度差または時間差を設定可能な他の構成とすることができる。さらに、駆動手段として、流体圧シリンダの代わりに電動アクチュエータを用い、パルス制御や遅延回路などを用いた電気的制御手段により移載装置を構成するか、あるいは、カム機構などの機械的制御手段により移載装置を構成することもできる。

さらに、上記実施形態では、本発明に係る移載装置を、薄膜太陽電池の製品部分をフィルム基板から型抜きする加工ラインに実施する場合について述べたが、本発明に係る移載装置は、複数枚積載されたフィルム基板から最上位のフィルム基板のみを吸着して持ち上げる分離供給装置を始め、フィルム基板の搬出装置、供給装置を問わず、フィルム基板を吸着して持ち上げる各種移載装置に実施できる。

１移載装置
２吸着パッド
３昇降枠
４，４ａ，４ｂ連結部（球状関節）
５，５ａ，５ｂ昇降部材
６，６ａ，６ｂエアシリンダ
７，７０支持体
８移動体
９送り機構
１０フィルム基板
１１製品部分（フィルム基板）
１２フィルム残部
１３型抜き加工部
１４下敷きシート（載置面）
１７製品吸着ステージ
１８移載ステーション
２０トレイ
６１，６１ａ，６１ｂ出力ロッド
６２ａ，６２ｂ，６３ａ，６３ｂ速度制御弁

Claims

載置面に平置されたフィルム基板を吸着して持ち上げる移載装置であって、同一仮想平面上に配列された複数の吸着パッドと、それらを支持する共通の昇降枠と、該昇降枠を昇降させる昇降手段とを備えるものにおいて、
前記昇降手段が、前記載置面の拡がり方向に離れた２つの連結部にて、前記載置面に平行かつ相互に平行な軸線回りの回動を許容した状態で、前記昇降枠にそれぞれ連結された２つの昇降部材と、それらを相対的な速度差および／または時間差をもって上昇させる制御手段および駆動手段を含むことを特徴とするフィルム基板の移載装置。
前記駆動手段が、前記各連結部に配設された２つの流体圧シリンダであり、前記２つの昇降部材が、前記２つの流体圧シリンダの出力ロッドであるかまたは前記出力ロッドに固定されており、前記制御手段が、前記２つの流体圧シリンダに接続された流量制御弁を含むことを特徴とする請求項１に記載のフィルム基板の移載装置。
前記各連結部が、球状関節からなることを特徴とする請求項１または２に記載のフィルム基板の移載装置。
前記各連結部が、前記複数の吸着パッドが配列された前記仮想平面に対して上方に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のフィルム基板の移載装置。
前記昇降枠および前記昇降手段が、前記載置面に隣接して平置された複数のフィルム基板に対応して複数配設され、前記各昇降手段をそれぞれ支持する複数の支持体と、前記複数の支持体に共通の移動体と、前記移動体を前記各フィルム基板の移載位置との間で往復移動させる手段と、前記複数の支持体を前記フィルム基板の隣接方向に接離させる手段とをさらに備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のフィルム基板の移載装置。