JP5284490B2 - 半導体封止用シリコーン組成物 - Google Patents
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(A)成分は、本発明の特徴である硬化物の貯蔵弾性率の加熱による大幅な低下(25℃から50℃で40%以上低下)を付与するうえで、主要な成分である。
R1 2SiO(2−m)/2Ymで表されるシロキサン単位は1官能型シロキサン単位である。
(R1SiO3/2)a(R1 2SiO2/2)b(R1SiO(3−n)/2Yn)c(R1 2SiO(2−m)/2Ym)dで表されるポリオルガノシロキサン(I)を得ることができる。なお、a、b、n、mは、いずれも前述の範囲にある正数であり、c、dは、いずれも前述の範囲にある0または正数である。
(B)成分は架橋剤であり、1分子中にケイ素原子に結合した水素原子(Si−H基)を2個以上、好ましくは3個以上含有するポリオルガノハイドロジェンシロキサンである。1分子中のケイ素原子数は、2〜50であることが好ましく、4〜20であることがさらに好ましい。
(C)成分の白金系触媒は、(A)成分中のアルケニル基と(B)成分中のケイ素原子に結合した水素原子とのヒドロシリル化反応を促進し、組成物の硬化を進めるための触媒である。(C)成分としては、ヒドロシリル化反応に用いられる触媒として周知の白金系触媒を使用することができる。例えば白金黒、塩化第二白金、塩化白金酸、塩化白金酸と一価アルコールとの反応物、塩化白金酸とオレフィン類やビニルシロキサンとの錯体、白金ビスアセトアセテート等が挙げられる。
本発明の半導体封止用シリコーン組成物には、(D)接着性付与剤を配合することができる。(D)接着性付与剤としては、オルガノシラン、またはケイ素原子数2〜50個、好ましくは4〜20個のオルガノシロキサンオリゴマーを用いることができる。例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシ官能性基含有アルコキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリ(メトキシエトキシ)シラン等のアルケニル基含有アルコキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノ基含有アルコキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリル基又はメタクリル基含有アルコキシシラン、メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト基含有アルコキシシランなどのアルコキシシランが挙げられる。
23℃において、Type A型硬度計により測定した。
シリコーン組成物をARES粘弾性測定装置(Reometric Scientific社製)にセットし(直径8mm、厚さ1mm)、毎分50℃で昇温後、150℃×1時間で硬化させた後、150℃〜−50℃までの温度範囲で毎分5℃の割合で冷却して、貯蔵弾性率をねじれ歪0.5%、振動数1Hzの条件で測定した。
シリコーン組成物をシリンジに充填し、PPA(ポリフタルアミド)樹脂製パッケージ(5×5×1mm)に充填した。100℃×3時間の加熱後、150℃×1時間加熱し、組成物を硬化させた。冷却後、マイクロスコープを用いてクラック、剥離の発生数を調べた。その後、85℃/85%RHで3時間吸湿させて、リフローオーブン(Max260℃)で加熱した。冷却後、マイクロスコープを用いてクラック、剥離の発生数を調べた。
(Aa1)ジメチルジクロロシラン129g(1モル)、(Aa2)ジフェニルジクロロシラン255g(1モル)、(Aa3)フェニルトリクロロシラン212g(1モル)の混合物に、水38gとメタノール237gからなるメタノール水溶液を滴下し、共加水分解を行った。滴下終了後、60〜70℃の還流温度で30分間加熱し、共加水分解反応を完了させた。その後、反応混合物を冷却し、メタノール254gを加えて15分間撹拌した後、30分間静置して分液を行った。塩酸とメタノールの混合溶液が上層に、反応生成物が下層に分離した。
フラスコに、キシレン400g、メチルトリクロロシラン214.2g(1.4モル)、ジメチルジクロロシラン34.1g(0.26モル)、ジフェニルジクロロシラン282.4g(1.1モル)、フェニルトリクロロシラン454.0g(2.1モル)を仕込み、混合してオルガノシランのキシレン溶液を調製した。また、別のフラスコに、イオン交換水1950g、アセトン850g、メタノール245gを仕込み、混合溶液を調製した。この混合溶液を撹拌しながら、先に調製したオルガノシランのキシレン溶液を30分間かけて滴下し、滴下終了後10分間撹拌を継続して加水分解を行った。その後、分液漏斗に移し、45分間静置して分液を行った。上層にシラノール基を有するシリコーンレジンのキシレン溶液が、下層に塩酸溶液が分離した。
(第1の工程)
中間生成物AA(メトキシ基を有するシリコーンレジン)255gにキシレン700gを加えて希釈し、これに濃度50重量%(以下、単に50%と示す。)水酸化セシウム水溶液0.6gと水200gを加え、加熱して加水分解を行った。赤外吸収スペクトル測定において、波数2800cm−1のメトキシ基に由来する特性吸収が消失するまで反応を継続した。こうして、平均分子式(単位式):(Me2SiO2/2)0.33(Ph2SiO2/2)0.34(PhSiO3/2)0.33で示されるメトキシ基を有しないシリコーンレジン重合物のキシレン溶液を得た。
第1の工程で得られた反応生成物に、両末端にビニル基を有するポリフェニルシロキサン(Vi量0.43mmol/g)15gと環状ポリメチルビニルシロキサン(Vi量11.6mmol/g)30gを加え、キシレン還流温度で5時間反応させてグラフト重合と平衡化を行った。冷却後、トリメチルクロロシラン0.3gを加えて中和した後、キシレン溶液を水で洗浄し分液操作により水層を除く操作(水洗操作)を行った。水洗操作を繰り返し、水層が中性になった後、キシレン層に残存する水をキシレンと共沸することにより除いた。こうして脱水の完了したキシレン層をろ過した後、キシレンを減圧留去することにより、シリコーンレジンA1を得た。
(第1の工程)
中間生成物AA(メトキシ基を有するシリコーンレジン)595gにキシレン300gを加えて希釈し、これに50%水酸化セシウム水溶液0.7gと水200gを加え、加熱して加水分解を行った。赤外吸収スペクトル測定において、2800cm−1のメトキシ基に由来する特性吸収が消失するまで反応を継続した。
第1の工程で得られた反応生成物に、両末端にビニル基を有するポリフェニルシロキサン(Vi量0.43mmol/g)70gと環状ポリメチルビニルシロキサン(Vi量11.6mmol/g)35gを加え、キシレン還流温度で5時間反応させてグラフト重合と平衡化を行った。冷却後、トリメチルクロロシラン0.5gを加えて中和した後、キシレン溶液を水で洗浄し分液操作により水層を除く操作(水洗操作)を行った。水洗操作を繰り返し、水層が中性になった後、キシレン層に残存する水をキシレンと共沸することにより除いた。こうして脱水の完了したキシレン層をろ過した後、キシレンを減圧留去することにより、シリコーンレジンA2を得た。
中間生成物AA(メトキシ基を有するシリコーンレジン)270gに環状ポリメチルビニルシロキサン(Vi量11.6mmol/g)30gを加えた後、キシレン700gを加えて希釈した。これに50%水酸化セシウム水溶液0.3gを加えて加熱し、キシレン還流温度で5時間反応させてブロック重合と平衡化を行った。冷却後、トリメチルクロロシラン0.3gを加えて中和した後、キシレン溶液を水で洗浄し分液操作により水層を除く操作(水洗操作)を行った。水洗操作を繰り返し、水層が中性になった後、キシレン層に残存する水をキシレンと共沸することにより除いた。こうして脱水の完了したキシレン層をろ過した後、キシレンを減圧留去することにより、シリコーンレジンA3を得た。
中間生成物BB(シラノール基を有するシリコーンレジン)450g(有効樹脂分270g)に環状ポリメチルビニルシロキサン(Vi量11.6mmol/g)30gを加えた後、キシレン230gを加えて希釈した。これに50%水酸化セシウムカリウム水溶液0.3gを加えて加熱し、キシレン還流温度で5時間反応させてブロック重合と平衡化を行った。冷却後、トリメチルクロロシラン0.7gを加えて中和した後、キシレン溶液を水で洗浄し分液操作により水層を除く操作(水洗操作)を行った。水洗操作を繰り返し、水層が中性になった後、キシレン層に残存する水をキシレンと共沸することにより除いた。こうして脱水の完了したキシレン層をろ過した後、キシレンを減圧留去することにより、シリコーンレジンA4を得た。
(第1の工程)
中間生成物AA(メトキシ基を有するシリコーンレジン)490gにキシレン300gを加えて希釈し、これに50%水酸化セシウムカリウム水溶液1.4gと水200gを加え、加熱して加水分解を行った。赤外吸収スペクトル測定において、2800cm−1のメトキシ基に由来する特性吸収が消失するまで加水分解反応を継続した。
第1の工程で得られた反応生成物に、両末端にビニル基を有するポリフェニルシロキサン(Vi量0.43mmol/g)140gと環状ポリメチルビニルシロキサン(Vi量11.6mmol/g)70gを加え、キシレン還流温度で5時間反応させてグラフト重合と平衡化を行った。冷却後、トリメチルクロロシラン1.3gを加えて中和した後、キシレン溶液を水で洗浄し分液操作により水層を除く操作(水洗操作)を行った。水洗操作を繰り返し、水層が中性になった後、キシレン層に残存する水をキシレンと共沸することにより除いた。こうして脱水の完了したキシレン層をろ過した後、キシレンを減圧留去することにより、シリコーンレジンA5を得た。
フラスコにキシレン800gとイオン交換水2000gを仕込み、撹拌しながら80℃になるまで加熱した後、これに、フェニルトリクロロシラン356.1g、ジフェニルジクロロシラン688.5g、ビニルメチルジクロロシラン86.4g、ジメチルジクロロシラン6.6gの混合液を3時間かけて滴下し、80℃で加水分解を行った。その後、分液漏斗に移し、45分間静置して分液を行った。上層にシリコーンレジンのキシレン溶液が、下層に塩酸溶液が分離した。
(Me2SiO2/2)0.01(MeViSiO2/2)0.11(Ph2SiO2/2)0.48(PhSiO3/2)0.27(Me3SiO1/2)0.13
で表されるシリコーンレジンA6を得た。
合成例1で得られたシリコーンレジンA1を100重量部に、(B)粘度が20mPa・sであり、平均単位式:(SiO2)[H(CH3)2SiO1/2]2で表されるポリオルガノハイドロジェンシロキサン9重量部と、(C)ビニルダイマー白金錯体を白金量として3ppm添加、混練して、半導体封止用シリコーン組成物を得た。この組成物の特性を測定し、結果を表1に示した。なお、表1において、H/Vi比は、(A)成分と(B)成分における、ケイ素原子に結合した水素原子とケイ素原子に結合したビニル基とのモル比を示す。
また、表1ならびに後述する表2および表3において、MH 2Qは、平均単位式:(SiO2)[H(CH3)2SiO1/2]2で表わされるポリオルガノハイドロジェンシロキサンを示し、MH 2DPh2は、式:[H(CH3)2SiO1/2]2[(C6H5)2SiO2/2]で表わされるポリオルガノハイドロジェンシロキサンを示している。また、MViDPh 15D20MViは、後述する比較例1〜4で使用する式:(Me2ViSiO1/2)2(Ph2SiO2/2)15(Me2SiO2/2)20で表される直鎖状のポリオルガノシロキサンを示している。
合成例2〜5で得られたシリコーンレジンA2〜A5と、(B)平均単位式:(SiO2)[H(CH3)2SiO1/2]2で表されるポリオルガノハイドロジェンシロキサンおよび(C)ビニルダイマー白金錯体を、それぞれ表1に示す組成で配合して混練し、半導体封止用シリコーン組成物を得た。これらの組成物の特性を測定し、結果を表1に示した。
合成例1〜5で得られたシリコーンレジンA1〜A5と、(B)平均単位式:(SiO2)[H(CH3)2SiO1/2]2で表されるポリオルガノハイドロジェンシロキサン、(C)ビニルダイマー白金錯体、および接着性付与剤(D1)、(D2)を、それぞれ表2に示す組成で配合して混練し、半導体封止用シリコーン組成物を得た。これらの組成物の特性を測定し、結果を表2に示した。
合成例1で得られたシリコーンレジンA1と、(B)平均単位式:(SiO2)[H(CH3)2SiO1/2]2で表されるポリオルガノハイドロジェンシロキサン(粘度20mPa・s)、および式:[H(CH3)2SiO1/2]2[(C6H5)2SiO2/2]で表されるポリオルガノハイドロジェンシロキサン(粘度10mPa・s)と、(C)ビニルダイマー白金錯体を、それぞれ表1に示す組成で配合して混練し、半導体封止用シリコーン組成物を得た。この組成物の特性を測定し、結果を表1に示した。
合成例1で得られたシリコーンレジンA1と、(B)平均単位式:(SiO2)[H(CH3)2SiO1/2]2で表されるポリオルガノハイドロジェンシロキサン(粘度20mPa・s)、および式:[H(CH3)2SiO1/2]2[(C6H5)2SiO2/2]で表されるポリオルガノハイドロジェンシロキサン(粘度10mPa・s)と、(C)ビニルダイマー白金錯体と、接着性付与剤(D1)、(D2)を、それぞれ表2に示す組成で配合して混練し、半導体封止用シリコーン組成物を得た。この組成物の特性を測定し、結果を表2に示した。
合成例6で得られたシリコーンレジンA6と、式:(Me2ViSiO1/2)2(Ph2SiO2/2)15(Me2SiO2/2)20で表される直鎖状のポリオルガノシロキサンと、(B)平均単位式:(SiO2)[H(CH3)2SiO1/2]2で表されるポリオルガノハイドロジェンシロキサンおよび(C)ビニルダイマー白金錯体を、それぞれ表3に示す組成で配合して混練し、半導体封止用シリコーン組成物を得た。この組成物の特性を測定し、結果を表3に示した。
式:(Me2ViSiO1/2)2(Ph2SiO2/2)15(Me2SiO2/2)20で表される直鎖状のポリオルガノシロキサンと、(B)平均単位式:(SiO2)[H(CH3)2SiO1/2]2で表されるポリオルガノハイドロジェンシロキサンおよび(C)ビニルダイマー白金錯体を、それぞれ表3に示す組成で配合して混練し、半導体封止用シリコーン組成物を得た。この組成物の特性を測定し、結果を表3に示した。
合成例6で得られたシリコーンレジンA6と、式:(Me2ViSiO1/2)2(Ph2SiO2/2)15(Me2SiO2/2)20で表される直鎖状のポリオルガノシロキサンと、(B)平均単位式:(SiO2)[H(CH3)2SiO1/2]2で表されるポリオルガノハイドロジェンシロキサンと、(C)ビニルダイマー白金錯体、および接着性付与剤(D1)、(D2)を、それぞれ表3に示す組成で配合して混練し、半導体封止用シリコーン組成物を得た。これらの組成物の特性を測定し、結果を表3に示した。なお、表3におけるH/Vi比は、接着性付与剤(D1)を除いた(A)成分と(B)成分における、ケイ素原子に結合した水素原子とケイ素原子に結合したビニル基とのモル比を示す。
Claims (6)
- (A)(a1)少なくとも式:R1SiO3/2(式中、R1はアルキル基またはアリール基を示す。)で表される3官能型シロキサン単位を含む、ヒドロシリル化反応に関与しないオルガノシロキサン60〜99重量部と、(a2)式:R2 2SiO2/2(式中、R2はアルケニル基、アルキル基またはアリール基を示し、分子中少なくとも1つはアルケニル基である。)で表される2官能型シロキサン単位および/または式:R2 3SiO1/2(式中、R2は上記のとおりである。)で表される1官能型シロキサン単位を含むオルガノシロキサン40〜1重量部、をブロック重合・平衡化反応またはグラフト重合・平衡化反応させて得られる、1分子中に平均1個以上のアルケニル基を有するポリオルガノシロキサン100重量部と、
(B)1分子中にケイ素原子に結合した水素原子を2個以上有し、25℃における粘度が1〜1000mPa・sであるポリオルガノハイドロジェンシロキサンを、前記(A)成分のケイ素原子に結合したアルケニル基1モルに対して、ケイ素原子に結合した水素原子が0.5〜3.0モルとなる量と、
(C)白金系触媒の触媒量をそれぞれ含有し、
硬化物の貯蔵弾性率が25℃から50℃で40%以上低下することを特徴とする半導体封止用シリコーン組成物。 - 当該半導体封止用シリコーン組成物の硬化物の貯蔵弾性率が、25℃から50℃で70%以上低下することを特徴とする請求項1記載の半導体封止用シリコーン組成物。
- 前記(A)成分の150℃で1時間加熱後の不揮発分が97重量%以上であることを特徴とする請求項1または2記載の半導体封止用シリコーン組成物。
- 前記(a1)成分のケイ素原子に結合した全有機基の20〜70モル%がフェニル基であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の半導体封止用シリコーン組成物。
- 前記(A)成分のポリオルガノシロキサンが、平均単位式:(R1SiO3/2)a(R1 2SiO2/2)b(R1SiO(3−n)/2Yn)c(R1 2SiO(2−m)/2Ym)dで表される第1のオルガノシロキサンと、式:(R2 3SiO1/2)2(R2 2SiO2/2)eで表される第2のオルガノシロキサンと、式:(R2 2SiO2/2)fで表される第3のオルガノシロキサンを、g:h:iの重量比(%)でブロック重合・平衡化反応またはグラフト重合・平衡化反応させて得られるポリマーであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の半導体封止用シリコーン組成物。
(式中、R1はアルキル基またはアリール基を示し、R2はアルケニル基、アルキル基またはアリール基を示し、Yはアルコキシ基または水酸基を示す。nは1または2であり、mは1である。aは正数、bは正数、cは0または正数、dは0または正数であり、a+b+c+d=1.0、0.2<(a+c)/(a+b+c+d)<0.8、0.2<(b+d)/(a+b+c+d)<0.8、0≦c/(a+b+c+d)<0.15、0≦d/(a+b+c+d)<0.15となる数である。また、eは0または正数、fは正数であり、0≦e≦100、3≦f≦20となる数である。さらに、g、h、iはそれぞれ、60≦g≦99、0≦h≦20、0≦i≦20、g+h+i=100となる数である。) - 前記(A)成分のポリオルガノシロキサンが、以下の工程(1)で得られたポリオルガノシロキサン(I)に、工程(2)で、アルケニル基を含有する直鎖状オルガノシロキサン(II)および/またはアルケニル基を含有する環状オルガノシロキサン(III)を、ブロック重合・平衡化反応またはグラフト重合・平衡化反応させることにより得られたものであることを特徴とする請求項5記載の半導体封止用シリコーン組成物。
工程(1)
式:R1SiX3およびR1 2SiX2(式中、R1はアルキル基またはアリール基を示し、Xはハロゲン基、アルコキシ基、または水酸基を示す。)で表されるシラン化合物を酸性条件下加水分解または部分加水分解して得られるポリオルガノシロキサンを、塩基性触媒の存在下で重合させて、平均単位式:
(R1SiO3/2)a(R1 2SiO2/2)b(R1SiO(3−n)/2Yn)c(R1 2SiO(2−m)/2Ym)d(式中、Yはアルコキシ基または水酸基を示す。nは1または2であり、mは1である。aは正数、bは正数、cは0または正数、dは0または正数であり、a+b+c+d=1.0、0.2<(a+c)/(a+b+c+d)<0.8、0.2<(b+d)/(a+b+c+d)<0.8、0≦c/(a+b+c+d)<0.15、0≦d/(a+b+c+d)<0.15となる数である。)で表されるポリオルガノシロキサン(I)を得る工程
工程(2)
前記ポリオルガノシロキサン(I)に、式:(R2 3SiO1/2)2(R2 2SiO2/2)e(式中、R2はアルケニル基、アルキル基またはアリール基を示す。eは0または正数であり、0≦e≦100となる数である。)で表されるアルケニル基含有の直鎖状ポリオルガノシロキサン(II)、および/または式:(R2 2SiO)f(式中、R2は上記のとおりである。fは正数であり、3≦f≦20となる数である。)で表されるアルケニル基含有の環状ポリオルガノシロキサンを、塩基性触媒の存在下でブロック重合・平衡化反応またはグラフト重合・平衡化反応させる工程
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