JP5281418B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
塗布対象物を保持するテーブルと、
複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドを搭載したインクジェットヘッドバーと、
前記インクジェットヘッドバーを少なくとも前記テーブル上を移動させる駆動手段と、
前記インクジェットヘッドバーの可動範囲内であって前記テーブル以外の場所に設けられ、前記インクジェットヘッドに供給される主溶剤と主溶剤より蒸気圧の高い溶剤とを含む複数の溶剤を有するインク中の溶剤の中で蒸気圧の最も高い溶剤の蒸気を発生する蒸気発生手段を有する塗布装置を提供する。
図1は、本発明の一実施形態に係る塗布装置1としてのカラーフィルタ製造装置の外観を示す斜視図である。このカラーフィルタ製造装置は、機台20上に吸着テーブル3(保持ステージ)、塗布ガントリー4、カメラガントリー6が支承されている。保持ステージである吸着テーブル3は、ガラス基板2を吸着保持するものであり、このガラス基板2を所定の位置に位置決めするため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、Z軸周りに回転駆動される。
2 ガラス基板(塗布対象物)
3 吸着テーブル(保持ステージ)
4 塗布ガントリー
5 インクジェットヘッドバー
6 カメラガントリー
7,8 アラインメントカメラ
9 スキャンカメラ(計測手段)
10 インクジェットヘッドユニット
11 インクジェットヘッドモジュール
12 インクジェットヘッド
13 インクジェットノズル
20 機台
30 溶剤
31 容器
32 蓋
33 ヒーター
34 外部制御可能電源
35 液温センサ
36 外部温度センサ
100 コントローラ
Claims (2)
- 塗布対象物を保持するテーブルと、
複数のインクジェットノズルを有するインクジェットヘッドを搭載したインクジェットヘッドバーと、
前記インクジェットヘッドバーを少なくとも前記テーブル上を移動させる駆動手段と、
前記インクジェットヘッドバーの可動範囲内であって前記テーブル以外の場所に設けられ、前記インクジェットヘッドに供給される主溶剤と主溶剤より蒸気圧の高い溶剤とを含む複数の溶剤を有するインク中の溶剤の中で蒸気圧の最も高い溶剤の蒸気を発生する蒸気発生手段を有する塗布装置。 - 前記蒸気発生手段は、溶剤を収納する容器と、
前記容器中に配置された加熱手段と、
前記加熱手段を外部から制御する制御手段と、
前記容器中に配置された液温センサと、
前記液温センサと前記制御手段に接続され、前記容器内の溶剤を所定の温度になるように前記制御手段を制御するコントローラを含む請求項1に記載された塗布装置。
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