JP5280903B2

JP5280903B2 - 一体構造型二重バランススプリング及びその製造方法

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Publication number: JP5280903B2
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Inventors: ピエール−アンドレ・ビューラー; マルコ・ヴェラルド; ティエリー・コーヌス; ジャン−フィリップ・ティーボー; ジャン−バーナード・ピータース; ピエール・クージン
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Description

本発明は、二重バランススプリング及びその製造方法に関し、より具体的には、単一部品で形成された二重バランススプリングに関する。

時計の調速部材は一般に、テンプ（バランス）と呼ばれる慣性ホイールと、バランススプリングと呼ばれる共振子とを含む。これらの部品は、時計の動作品質に関しての決定的役割を果たしている。実際、これらはムーブメントを調速し、すなわちムーブメントの振動数を制御する。

二重バランススプリングの場合では、一体化される調速部材に対する温度変化の影響を抑制するために材料が試験されているが、組み立て又は共振調整に関する困難さが解決されてはいない。

欧州特許ＥＰ１４２２４３６公報欧州特許ＥＰ１６５５６４２公報欧州特許ＥＰ１５８４９９４公報欧州特許ＥＰ１８３７７２２公報

本発明の目的は、熱弾性係数を調整可能であり、且つ組み立ての困難性を最小限にする製造方法を用いて得られる二重一体構造型バランススプリングを提供することによって、上記の欠点の一部又は全てを克服することである。

従って、本発明は、シリコンベース材料の１つの層内に作られた二重バランススプリングに関し、該二重バランススプリングは、コレット上に同軸に装着された第１のバランススプリングを含み、コレットがバランススプリングから突出し且つシリコンベース材料の第２の層内に作られた１つの延長部を含み、該延長部が、第２のバランススプリングと同軸のシリコンベース材料の第３の層に延びて、シリコンベース材料で作られた一体構造型の二重バランススプリングを形成することを特徴とする。

本発明の他の有利な特徴に従って以下のようになる。
コレットは、二重バランススプリングの調整を可能にするために、層の各々においてほぼ同じ断面を有する。
コレットは、層の少なくとも１つにわたる実質的に異なる断面を有する。
バランススプリングは、同じ又は異なる方向に巻かれたコイルを含む。
バランススプリングの各々の外側曲線部の端部は互いに垂直であり、二重バランススプリングをコレットに至るまでピン止めするために単一の手段を利用できるようになる。
バランススプリングは、同じ角度変位剛性又はピッチを有する。
バランススプリングの少なくとも１つは、二酸化ケイ素で作られた少なくとも１つの部分を有し、バランススプリングの機械的耐性を高め且つその熱弾性係数を調整するようにする。
バランススプリングの少なくとも１つの内側コイルが、Ｇｒｏｓｓｍａｎ曲線を有し、二重バランススプリングの同心展開を改善するようにする。
コレットが、軸部が受けられる金属部品を有する。

より一般的には、本発明は、前出の変形形態のいずれかによる二重バランススプリングを含むことを特徴とする時計に関する。

最後に、本発明は、二重バランススプリングを製造する方法に関し、該方法は、
ａ）シリコンベース材料の上層及び下層を含む基材を準備するステップと、
ｂ）上層内の少なくとも１つのキャビティを選択的にエッチングして、シリコンベース材料で作られた、二重バランススプリングのコレットの第１の部分のパターンを定めるようにするステップと、
ｃ）シリコンベース材料の追加層を基材のエッチングされた上層に接合するステップと、
ｄ）追加層内に少なくとも１つのキャビティを選択的にエッチングし、コレットのパターンを継続し、シリコンベース材料で作られた、二重バランススプリングの第１のバランススプリングのパターンを定めるようにするステップと、
を含み、更に、
下層内に少なくとも１つのキャビティを選択的にエッチングし、コレットのパターンを継続し、シリコンベース材料で作られた、二重バランススプリングの第２のバランススプリングのパターンを定めるようにするステップと、
基材から二重バランススプリングを解放するステップと、
を含む。

本発明の別の有利な特徴によれば、
ステップ（ｄ）の後に、ｇ）シリコンベース材料で作られた、第１のバランススプリングを酸化して、バランススプリングの機械的耐性を高め且つその熱弾性係数を調整するようにするステップを含み、
ステップ（ｅ）の後に、ｇ'）シリコンベース材料で作られた、第２のバランススプリングを酸化して、バランススプリングの機械的耐性を高め且つその熱弾性係数を調整するようにするステップを更に含み、
ステップ（ｅ）の前に、ｈ）下層上に少なくとも１つの金属層を選択的に堆積して、コレット上に金属部分のパターンを定めるようにするステップを更に含み、
ステップ（ｈ）が、ｉ）堆積を連続する金属層により下層の表面を覆って少なくとも部分的に成長させ、そこで駆動される軸部を受けるための金属部分を形成するようにするステップを含み、
ステップ（ｈ）が、ｊ）金属部分を受けるために下層内に少なくとも１つのキャビティを選択的にエッチングするステップと、
ｋ）堆積を連続する金属層により少なくとも１つのキャビティ内に少なくとも部分的に成長させ、そこで駆動される軸部を受けるための金属部分を形成するようにするステップとを含み、
ステップ（ｈ）が、ｌ）金属堆積部を研磨する最後のステップを含む。

本発明による製造方法の連続した図である。本発明による製造方法の連続した図である。本発明による製造方法の連続した図である。本発明による製造方法の連続した図である。本発明による製造方法の連続した図である。代替の実施形態の連続するステップの図である。代替の実施形態の連続するステップの図である。代替の実施形態の連続するステップの図である。本発明による方法のフローチャートを示す。第１の実施形態における一体構造型二重バランススプリングの斜視図である。第１の実施形態によける一体構造型二重バランススプリングの斜視図である。

他の特質及び特徴は、添付図面を参照しながら非限定的な例証として与えられる以下の説明からより明らかになるであろう。

本発明は、時計ムーブメント用の二重バランススプリング２１を製造するための方法（全体的に符号１で示す）に関する。図１から９に示すように、方法１は、全体的にシリコンベースの材料から形成することができる、少なくとも１つのタイプの一体構造型二重バランススプリングを形成する連続ステップを含む。

図１から９を参照すると、第１のステップ１００は、シリコン・オン・インシュレータ（ＳＯＩ）基材３を準備することからなる。基材３は、上層５と下層７とを含み、各々がシリコンベースの材料から形成される。
好ましくは、このステップ１００において、基材３は、下層７の高さが最終の二重バランススプリング２１の一部分の高さと一致するように選択される。

好ましくは、上層５は、下層７に対するスペーサ手段として使用される。その結果、上層５の高さは、二重バランススプリング２１の配置に従って適応されることになる。従って上記配置に応じて、上層５の厚みは、例えば１０から２００μｍの間で推移する可能性がある。

図２で見られる第２のステップ１０１では、キャビティ８及び１０は、シリコンベース材料の上層５において、例えばＤＲＩＥ（ディープ反応性イオンエッチング）プロセスにより選択的にエッチングされる。これらのキャビティ８及び１０は、好ましくは、二重バランススプリングのコレット（シリコンベース材料から作られる）の一部分の内側及び外側輪郭を定めるパターン９を形成することができる。

図１０及び１１に示す実施例において、パターン９は、二重バランススプリング２１のコレットの中央部分を形成する。図２に示すように、パターン９は、円形断面を備えたほぼ円筒形である。しかしながら、方法１に従って有利なことには、上層５のエッチングにより、パターン９の幾何形状に関して完全な自由度が許容される。従って、該パターンは、必ずしも円形である必要はなく、例えば、楕円形、及び／又は非円形の内径を有することもできる。

図３に示す第３のステップ１０２において、シリコンベースの材料の追加層１１が基材３に付加される。好ましくは、追加層１１は、シリコン融解ボンディング（ＳＦＢ）により上層に固定される。従って、ステップ１０２は、有利には、超高レベルの接着でパターン９の上面を追加層１１の下面に接合することにより上層５を覆う。追加層１１は、例えば下層７と同様の厚みを有することができる。

図４に示す第４のステップ１０３では、キャビティ１２、１４が、例えばステップ１０１と同様のＤＲＩＥプロセスにより追加シリコン層１１に選択的にエッチングされる。これらのキャビティ１２、１４は２つのパターン１３、１５を形成し、二重バランススプリング２１のシリコン部分の内側及び外側輪郭を定める。

図４に示す実施例において、パターン１３は、円形断面を有するほぼ円筒形であり、パターン１５は、ほぼ螺旋形状である。しかしながら、方法１に従って有利なことには、追加層１１のエッチングにより、パターン１３の幾何形状に関して完全な自由度をもたせることができる。従って、詳細にはパターン１５は、例えば、それ以上のコイル状、もしくは開放外側曲線部を含むことができる。

好ましくは、追加層１１に作られたパターン１３は、上層５に作られたパターン９と同様の形状で垂直である。これは、パターン９、１３の内径を形成するキャビティ１０、１２はそれぞれ、互いに連通し、実質的に重なり合うことを意味する。図１０及び１１に示す実施例において、パターン１３、９はそれぞれ、二重バランススプリング２１のコレット２７の上側及び中央部分を形成する。

好ましくは、材料１６の少なくとも１つのブリッジは、製造中に基材３上の二重バランススプリング２１を保持するように形成される。図４に示す実施例において、材料１６のブリッジは、パターン１５の外側曲線部と非エッチング層１１の残りの部分との間に残されることが理解することができる。

有利には、パターン１３、１５は同時にエッチングされるので、追加層１１内に一体構造部品を形成する。図１０及び１１に示す実施例において、パターン１３、１５はそれぞれ、二重バランススプリング２１のコレット２７の上部分と第１のバランススプリング２３とを形成する。

この第４のステップ１０３の後、追加層１１内にエッチングされたパターン１３、１５は、上層５内にエッチングされたパターン９上に高レベルの接着でパターン１３の下部により接続され、更に、パターン１５の外側曲線部により追加層１１に横方向で接続される。

好ましくは、図９の破線で示すように、方法１は、第５のステップ１０４を含むことができ、該ステップは、少なくともパターン１５、すなわち二重バランススプリングの第１のバランススプリング２３を酸化し、当該第１のバランススプリングの機械的耐性を高め且つその熱弾性係数を調整するようにすることからなる。この酸化ステップは、引用により本明細書に組み込まれる欧州特許ＥＰ１４２２４３６で説明されている。

有利には、本発明によれば、第４のステップ１０３又は第５のステップ１０４の後、方法１は、図９に示すように３つの実施形態Ａ、Ｂ、及びＣを含むことができる。しかしながら、３つの実施形態Ａ、Ｂ、及びＣの各々は、製造した二重バランススプリング２１を基材３から解放することからなる、同じ最終ステップ１０６で終了する。

有利には、解放ステップ１０６は、単に材料１６のブリッジを破断させるのに十分な力を二重バランススプリング２１に加えることにより行うことができる。この力は、例えば、操作者が手動で或いは機械により発生することができる。

第１の実施形態Ａによれば、図５に示す第６のステップでは、キャビティ１８及び２０は、例えばステップ１０１及び１０３と同様のＤＲＩＥプロセスによりシリコンベース材料からなる下層７内に選択的にエッチングされる。これらのキャビティ１９及び２０は、２つのパターン１７及び１９を形成し、これらは二重バランススプリング２１のシリコン部分の内側及び外側輪郭を定める。

図５に示す実施例において、パターン１７は円形断面を有するほぼ円筒形であり、パターン１９は、ほぼ螺旋形状である。しかしながら、方法１に従って有利なことには、下層７内のエッチングにより、パターン１７、１９の幾何形状に関して完全な自由度が許容される。従って、詳細にはパターン１９は、例えば、それ以上のコイル状、もしくは開放外側曲線部を含むことができる。

好ましくは、下層７に作られたパターン１７は、上層５に作られたパターン９と同様の形状で垂直である。これは、パターン１７、９、及び１３の内径を形成するキャビティ１８、１０、及び１２はそれぞれ、互いに連通し、ほぼ重なり合うことを意味する。図１０及び１１に示す実施例において、パターン１３、９、及び１７は、二重バランススプリング２１の一体構造型コレットを形成する。

好ましくは、材料１６の少なくとも第２のブリッジは、製造中に基材３上の二重バランススプリング２１を保持するように形成される。図５に示す実施例は、材料１６の１つのブリッジがパターン１９の外側曲線部と非エッチング層７の残りの部分との間に残されることを示している。

有利には、パターン１７、１９は同時にエッチングされるので、下層７内に一体構造部品を形成する。図１０及び１１に示す実施例において、パターン１７、１９はそれぞれ、二重バランススプリング２１のコレット２７の下部分と第２のバランススプリング２５とを形成する。

この第６のステップ１０５の後、下層７内にエッチングされたパターン１７、１９は、上層５内にエッチングされたパターン９上に高レベルの接着でパターン１７の上部により接続され、更に、パターン１９の外側曲線部により下層７に横方向で接続される。

最後のステップ１０６の後、第１の実施形態Ａは、図１０及び１１で示すような、全体的にシリコンベースの材料から形成された一体構造型二重バランススプリング２１を提供する。このようにして、二重バランススプリング２１の製造の間に組み付けが直接行われるので、どのような組み付け性の問題ももはや存在しないことは明らかである。二重バランススプリング２１は、第１のバランススプリング２３と第２のバランススプリング２５とを含み、これらは単一のコレット２７によって互いに同軸上に接合される。

上記で説明したように、コレット２７は、連続するそれぞれの層１１、５、及び７をエッチングすることによって、３つの連続パターン１３、９、及び１７で形成される。従って、中央パターン９は、第１のバランススプリング２３と第２のバランススプリング２５との間のスペーサ手段として、更に上記バランススプリングの誘導手段としても有用であることは明らかである。有利には、方法１によれば、上層５の厚みを選択することにより、２つのバランススプリング２３、２５間のスペースとその誘導品質とを直接定めることができる。

同様に、バランススプリング２３、２５の高さ並びに付随的にコレット２７の上部１３及び下部１７の高さは、必ずしも等しい必要はないが、追加層１１と下層７の厚みを選択することによって直接定めることができる。

更に、方法１のステップ１０３及び１０５で実施されるエッチングにより、バランススプリング２３、２５及びコレット２７の幾何形状に関して完全な自由度をもたせることができる。従って、詳細には各バランススプリング２３、２５は、固有のコイル数、コレット２７に近接する固有の幾何学的特徴、固有のコイル巻線方向、及び更に外部部分に関して固有の曲線幾何形状を有することができる。例証として、バランススプリング２３、２５の一方及び／又は他方は、インデックス組立体と協働するような開放外側曲線部を有し、或いは、外側曲線部の端部では、アタッチメントの先端部として使用することができる隆起部を有することができる。

同じ理由により、コレット２７は、一様に、下部１７、中央部９、及び／又は上部１３の少なくとも１つの上に特異的な又は異なる幾何形状を有することができる。実際、コレット２７が装着されることになる軸部に応じて、内径は、コレット２７の高さの全部又は一部を覆う相補的形状を有することができる。同様に、内径及び／又は外形は、必ずしも円形でなくてもよいが、例えば、楕円及び／又は多角形であってもよい。

図１０及び１１に示す実施例において、バランススプリング２３、２５は同じ高さを有し、すなわち、同じ厚みの層７、１１にエッチングされ、同じ数のコイルを有する。これらの外側曲線部の端部は、コレットに対して約１８０°の角度でシフトされている。最終的に、バランススプリング２３、２５のコイルは、反対の巻線方向を有する。更に、コレット２７は、全体的に一様な高さであり、円形断面を有するほぼ円筒形状である。

上記で説明したように、方法１によって製造の自由度が許容されることに起因して、状況が異なる可能性があり、すなわち、各バランススプリング２３、２５の外側曲線部の端部は、互いに垂直になることができ、これは、有利には、２つのバランススプリング２３、２５をコレットに至るまでピン止めするために単一の手段を利用できることになる。

また、ディープ反応性イオンエッチングの構造上の精度が極めて良好であることにより、バランススプリング２３、２５の各々の開始半径すなわちコレット２７の外径が小さくなり、これは、コレット２７の内径及び外径を小型化できることを意味する点に留意されたい。従って、二重バランススプリング２１は、有利には、現在一般的に製造されているよりも小さい直径の軸部をキャビティ１８、１０、１２を介して受けることができる点は明らかである。

好ましくは、上記軸部は、コレット２７の内径１８及び／又は１０及び／又は１２に固定することができる。シリコンコレット２７内にエッチングされた弾性手段を用いて固締することができる。こうした弾性手段は、例えば、欧州特許ＥＰ１６５５６４２の図１０Ａから１０Ｅに開示された形態、又は欧州特許ＥＰ１５８４９９４の図１、３及び５に開示された形態をとることができ、これらの特許は引用により本明細書に組み込まれる。

第２の実施形態Ｂによれば、ステップ１０３又は１０４の後、方法１は、ＬＩＧＡプロセス（ＬＩＧＡはドイツ語の「roentgenLIthographie, Galvanoformung & Abformung」から）を実装することからなる、図６に示す第６のステップを含む。このプロセスは、光構造化樹脂を用いて基材３の下層７上の金属を特定の形状に電気メッキする一連のステップを含む。このＬＩＧＡプロセスは公知であるので、本明細書ではこれ以上詳細には説明しない。好ましくは、堆積される金属は、例えば、金、ニッケル、又はこれらの金属の合金とすることができる。

図６に示す実施例において、ステップ１０７は、シリンダ２９を堆積する段階からなることができる。図６に示す実施例において、シリンダ２９は、有利にはここで駆動される軸部を受けるためのものである。実際、シリコンの１つの欠点は、弾性及び塑性領域がほとんどないので、極めて脆性になることである。従って、本発明は、軸部例えば天真をコレット２７のシリコンに対してではなく、ステップ１０７の間に電気メッキされた金属シリンダ２９の内径２８に固定することを提案している。

有利には、方法１によれば、電気メッキによって得られるシリンダ２９により、その幾何形状に関して完全な自由度をもたせることができる。従って、詳細には、内径２８は、必ずしも円形ではなく、例えば多角形状であってもよく、一致する形状の軸部と共に回転して応力の伝達を改善することができる。

図５に示したステップ１０５と類似した第７のステップ１０８において、キャビティが、例えばＤＲＩＥ法によってシリコンベースの材料の下層７内に選択的にエッチングされる。これらのキャビティにより、第１の実施形態Ａのパターン１９、１７に類似した第２のバランススプリング及びコレット用にパターンが形成できるようになる。

上記で説明された最終ステップ１０６の後、第２の実施形態Ｂは、金属部分２９を付加して、実施形態Ａと同じ利点を有するシリコンベース材料から形成された一体構造型二重バランススプリングを提供する。このようにして、二重バランススプリングの製造の間に組み付けが直接行われるので、どのような組み付け性の問題ももはや存在しないことは明らかである。最後に、有利なことには、軸部は金属部分２９の内径２８に接して駆動することができる。従って、軸部がコレット２７と押込嵌め接触になるのを防ぐために、金属部分２９の内径２８よりも大きな断面寸法を含むキャビティ１０、１２が想起することができる。

第３の実施形態Ｃによれば、ステップ１０３又は１０４の後、方法１は、図７に示す第６のステップ１０９を含み、該ステップは、例えばＤＲＩＥプロセスにより、シリコンベースの材料の下層内に限定深さまでキャビティ３０を選択的にエッチングすることからなる。キャビティ３０は、金属部分用の収容部として使用されることになる陥凹部を形成する。図７に示す実施例のように、得られるキャビティ３０は、ディスクの形態をとることができる。しかしながら、方法１に従って有利なことには、下層７のエッチングにより、キャビティ３０の幾何形状に関して完全な自由度をもたせることができる。

第７のステップ１１０では、図８に示すように、方法１は、特定の金属形状に従ってキャビティ３０を充填するガルバニック成長又はＬＩＧＡプロセスの実施を含む。好ましくは、堆積される金属は、例えば、金又はニッケルとすることができる。

図８に示す実施例において、ステップ１１０は、キャビティ３０内にシリンダ３１を堆積することからなることができる。シリンダ３１は、有利にはここで駆動される軸部を受けるためのものである。実際、上記で説明したように、本発明の１つの有利な特徴は、軸部例えば天真をコレット２７のシリコンに対してではなく、ステップ１１０の間に電気メッキされた金属シリンダ３１の内径３２に締結することからなる。

方法１に従って有利なことには、電気メッキによって得られるシリンダ３１により、その幾何形状に関して完全な自由度をもたせることができる。従って、詳細には、内径３２は、必ずしも円形である必要はなく、例えば、多角形状であり、一致する形状の軸部と共に回転して応力の伝達を改善することができる。

好ましくは、方法１は、上記堆積部を平坦にするためにステップ１１０の間に作られた金属堆積３１を研磨することからなる、第８のステップ１１１を含む。

図５に示したステップ１０５と類似した第９のステップ１１２において、キャビティが、例えばＤＲＩＥ法によってシリコンベースの材料の下層７内に選択的にエッチングされる。これらのキャビティにより、第１の実施形態Ａのパターン１９、１７に類似した第２のバランススプリング及びコレットのパターンが形成可能になる。

上記で説明された最終ステップ１０６の後、第３の実施形態Ｃは、金属部分３１を付加して、実施形態Ａと同じ利点を有するシリコンベース材料から形成された一体構造型二重バランススプリングを提供する。従って、二重バランススプリングの製造の間に組み付けが直接行われるので、どのような組み付け性の問題ももはや存在しないことは明らかである。最終的に、有利なことには、軸部は金属部分の内径３２に接して駆動することができる。従って、軸部がコレット２７と押込嵌め接触になるのを防ぐために、金属部分３１の内径３２よりも大きな断面寸法を含むキャビティ１０、１２が想起することができるのが好ましい。

３つの実施形態Ａ、Ｂ、及びＣによれば、最終の二重バランススプリング２１が、構造化の前すなわちエッチング及び／又は電気メッキにより改変される前にこのように組み付けられることを理解されたい。これにより、有利には、２つのバランススプリングの現行の組み付けにより生じる分散が最小にされ、その結果、これに依存する調速部材の精度が改善される。

有利には、本発明によれば、複数の二重バランススプリングを同じ基材３上で作ることができることも明らかであり、これにより大量生産が可能になる。

更に、金属堆積物２９及び／又は３１と同じタイプ或いは単に追加層１１及び／又は上層５により駆動挿入体を作ることができる。また、２つのバランススプリング２３、２５は、機械的耐性をより高め、熱弾性係数を調整するために酸化することも想定することができる。更に、等時性の問題を防ぐために、二重バランススプリング２１の少なくとも一部上に導電層を堆積することもできる。この層は、欧州特許ＥＰ１８３７７２２で開示されたタイプのものとすることができ、該特許は引用により本明細書に組み込まれる。最後に、図９に破線で示されるように、ステップ１１１のような研磨ステップをステップ１０７とステップ１０８との間に実施してもよい。

２１二重バランススプリング
２３第１のバランススプリング
２５第２のバランススプリング
２７コレット

Claims

シリコンベース材料の１つの層（１１）内に作られた二重バランススプリングであって、コレット（１３、２７）上に同軸に装着された第１のバランススプリング（２３）を備えており、
前記コレット（１３、２７）が、前記バランススプリングから突出し且つシリコンベース材料の第２の層（５）内に作られた１つの延長部を含み、前記延長部が、第２のバランススプリング（２５）と同軸のシリコンベース材料の第３の層（７）に延びて、シリコンベース材料で作られた一体構造型の二重バランススプリング（２１）を形成する、
ことを特徴とする二重バランススプリング。
前記コレット（１３、９、１７、２７）が、前記二重バランススプリングの調整を可能にするために、前記層の各々においてほぼ同じ断面を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の二重バランススプリング。
前記コレットが、前記層（５、７、１１）の少なくとも１つにわたる実質的に異なる断面を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の二重バランススプリング。
前記バランススプリング（２３、２５）が、同じ方向に巻かれたコイルを含む、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の二重バランススプリング。
前記バランススプリング（２３、２５）が、異なる方向に巻かれたコイルを含む、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の二重バランススプリング。
前記バランススプリング（２３、２５）の各々の外側曲線部の端部が互いに垂直であり、前記二重バランススプリングをコレットに至るまでピン止めするために単一の手段を利用できるようになる、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の二重バランススプリング。
前記バランススプリング（２３、２５）が同じ角度変位剛性を有する、
ことを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の二重バランススプリング。
前記バランススプリング（２３、２５）が各々異なる角度変位剛性を有する、
ことを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の二重バランススプリング。
前記バランススプリング（２３、２５）の少なくとも１つが、少なくとも１つの二酸化ケイ素ベースの部分を有し、前記バランススプリングの機械的耐性を高め且つその熱弾性係数を調整するようにする、
ことを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の二重バランススプリング。
前記バランススプリング（２３、２５）の少なくとも１つの内側コイルが、Ｇｒｏｓｓｍａｎ曲線を有し、前記二重バランススプリングの同心展開を改善するようにする、
ことを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の二重バランススプリング。
前記コレット（２７）が、ここで駆動される軸部を受けるための１つの金属部品（２９、３１）を有する、
ことを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の二重バランススプリング。
請求項１から１１のいずれかによる二重バランススプリングを含む時計。
二重バランススプリング（２１）を製造する方法（１）であって、
ａ）シリコンベース材料の上層（５）及び下層（７）を含む基材（３）を準備するステップ（１００）と、
ｂ）前記上層（５）内の少なくとも１つのキャビティ（８、１０）を選択的にエッチングして、シリコンベース材料で作られた、前記二重バランススプリングのコレット（２７）の第１の部分のパターン（９）を定めるようにするステップ（１０１）と、
を含み、前記方法が更に、
ｃ）シリコンベース材料の追加層（１１）を前記基材（３）のエッチングされた上層（５）に接合するステップ（１０２）と、
ｄ）前記追加層（１１）内に少なくとも１つのキャビティ（１２、１４）を選択的にエッチング（１０３）し、前記コレット（２７）のパターンを継続して、シリコンベース材料で作られた、前記二重バランススプリングの第１のバランススプリング（２３）のパターン（１５）を定めるようにするステップと、
ｅ）前記下層（７）内に少なくとも１つのキャビティ（１８、２０）を選択的にエッチング（１０５、１０８、１１２）し、前記コレット（２７）のパターンを継続し、シリコンベース材料で作られた、前記二重バランススプリングの第２のバランススプリング（２５）のパターン（１９）を定めるようにするステップと、
ｆ）前記基材（３）から前記二重バランススプリング（２１）を解放するステップと、
を含む方法。
前記ステップ（ｄ）の後に、
ｇ）シリコンベース材料で作られた、前記第１のバランススプリング（２３）を酸化して、前記バランススプリングの機械的耐性を高め且つその熱弾性係数を調整するようにするステップを更に含む、
請求項１３に記載の方法。
前記ステップ（ｅ）の後に、
ｇ'）シリコンベース材料で作られた、前記第２のバランススプリング（２５）を酸化して、前記バランススプリングの機械的耐性を高め且つその熱弾性係数を調整するようにするステップを更に含む、
請求項１３又は１４に記載の方法。
前記ステップ（ｅ）の前に、
ｈ）前記下層（７）上に少なくとも１つの金属層を選択的に堆積（１０７、１１０）して、前記コレット（２７）上に金属部分（２９、３１）のパターンを定めるようにするステップを更に含む、
請求項１３から１５のいずれかに記載の製造方法。
前記ステップ（ｈ）が、
ｉ）連続する金属層により前記堆積部を前記下層（７）の表面を覆って少なくとも部分的に成長（１０７）させ、そこで駆動される軸部を受けるための金属部分（２９）を形成するようにするステップを含む、
請求項１６に記載の製造方法。
前記ステップ（ｈ）が、
ｊ）前記金属部分（３１）を受けるために前記下層（７）内に少なくとも１つのキャビティ（３０）を選択的にエッチングするステップ（１０９）と、
ｋ）連続する金属層により前記堆積を前記少なくとも１つのキャビティ内に少なくとも部分的に成長（１１０）させ、そこで駆動される軸部を受けるための金属部分（３１）を形成するようにするステップと、
を含む請求項１６に記載の製造方法。
前記ステップ（ｈ）が、
ｌ）前記金属堆積部（２９、３１）を研磨する最後のステップ（１１１）を含む、
請求項１６から１８のいずれかに記載の製造方法。
複数の二重バランススプリング（２１）が同じ基材（３）上に作られる、
ことを特徴とする請求項１３から１９のいずれかに記載の製造方法。