JP5278167B2 - 半導体集積回路装置及び電源システム - Google Patents

Description

本発明は、パワースイッチを搭載する半導体集積回路装置及び電源システムに関する。

従来、半導体集積回路装置として、電源投入時に、動作させる内部回路のほかに、休止状態を継続させる内部回路が存在する場合であっても、全ての内部回路に電源電圧を供給するものがある。ところが、近年、半導体集積回路装置を構成するトランジスタの微細化が進み、休止状態の内部回路のリーク電流が増加する傾向が顕著になってきた。このため、休止状態の内部回路の消費電力を抑制するために、電源線と休止状態を取ることがある内部回路との間にパワースイッチを設けてなる半導体集積回路装置が提案されている。

このようなパワースイッチを設けてなる半導体集積回路装置においては、休止状態の内部回路については、対応するパワースイッチをオフとすることによってリーク電流を削減することができる。しかしながら、休止状態の内部回路の動作開始時に、対応するパワースイッチをオンにすると、トランジスタの微細化に伴い、従来では想定していなかった量の電流が外部電源から半導体集積回路装置に流れ込むことが明らかになってきた。そして、この電流に起因して、電源線の抵抗成分及びインダクタンス成分により、電源線上に無視できない電源ノイズが発生することが明らかになってきた。

このような半導体集積回路装置においては、パワースイッチを駆動するバッファの駆動能力を制御し、パワースイッチをオンとする際に、内部回路に与える電源電圧をゆっくりと立ち上げるようにする場合には、電源線上に発生する電源ノイズが許容値を超えないように制御することができる。しかしながら、内部回路に与える電源電圧をゆっくり立ち上げると、当然に電源電圧の立ち上がり時間が長くなってしまう。

ここで、例えば、半導体集積回路装置内の所定の内部回路が動作期間と休止期間とを交互に取るという場合、休止期間の間は、対応するパワースイッチをオフとすることによりリーク電流を抑制することができる。しかしながら、休止期間が短い場合においても、誤動作防止の要請から内部回路に与える電源電圧をゆっくり立ち上げると、次の動作期間を確保することができず、この結果、休止期間であっても、パワースイッチをオフとすることができず、リーク電流を削減することができないという事態が発生してしまう。

特開２００８−１０３９４３号公報 特開２００４−２０１２６８号公報 特開２００８−８５５７１号公報

本発明は、パワースイッチをオンとする際に発生する電源ノイズが許容値を超えないようにし、かつ、内部回路に与える電源電圧の立ち上がり時間を短縮することができるようにした半導体集積回路装置及び電源システムを提供することを目的とする。

本出願で開示する半導体集積回路装置及び電源システムは、電源線と内部回路との間に設けた複数のパワースイッチをオンとする場合、まず、一部のパワースイッチをオンとし、その後、電源ノイズの状態に基づいて、他のパワースイッチをオンとするものである。

開示した半導体集積回路装置及び電源システムによれば、電源線と内部回路との間に設けた複数のパワースイッチをオンとする場合、まず、一部のパワースイッチがオンとされ、その後、電源ノイズの状態に基づいて、他のパワースイッチがオンとされるので、電源投入時に発生する電源ノイズが許容値を超えないようにすることができると共に、一部のパワースイッチをオンとすることにより発生する電源ノイズが収まる時間を必要以上に長く見込む必要がないので、内部回路に与える電源電圧の立ち上がり時間を短縮することができる。

本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態を外部電源と共に示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態が備える制御回路の構成を示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態が備える制御回路の動作を説明するための波形図である。 本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態が備える信号処理回路の構成例を示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態が備える波形エッジ検出回路の構成を示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態の動作を説明するための波形図である。 本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態が備える波形エッジ検出回路の動作を示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態を外部電源と共に示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態が備える波形エッジ検出回路の構成を示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第３実施形態を外部電源と共に示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態を外部電源と共に示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態が備える制御回路の構成を示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態の動作を説明するための波形図である。 本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態の効果を説明するための波形図である。 本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態を外部電源と共に示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第６実施形態を外部電源と共に示す回路図である。 本発明の半導体集積回路装置の第６実施形態が備える制御回路の構成を示す回路図である。

以下、図１〜図１７を参照して、本発明の半導体集積回路装置及び電源システムの第１実施形態〜第６実施形態について説明する。本発明の半導体集積回路装置及び電源システムは、第１実施形態〜第６実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の形態を取り得るものである。

（第１実施形態）
図１は本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態を外部電源と共に示す回路図である。図１中、１は本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態、２は本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１に電源電圧ＶＤＤ（例えば、１.０Ｖ）及び接地電圧ＶＳＳを供給する外部電源である。本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１は、本発明の電源システムの第１実施形態を搭載するものであり、パッケージ部３と、ダイ部４とを有している。

パッケージ部３において、５は外部電源２から与えられる電源電圧ＶＤＤをダイ部４に供給するＶＤＤ電源線、６はＶＤＤ電源線５の抵抗成分、７はＶＤＤ電源線５のインダクタンス成分である。８は外部電源２から与えられる接地電圧ＶＳＳをダイ部４に供給するＶＳＳ電源線、９はＶＳＳ電源線８の抵抗成分、１０はＶＳＳ電源線８のインダクタンス成分である。

ダイ部４において、１１はパッケージ部３のＶＤＤ電源線５に接続されたＶＤＤ電源線、１２はＶＤＤ電源線１１の抵抗成分である。１３はパッケージ部３のＶＳＳ電源線８に接続されたＶＳＳ電源線、１４はＶＳＳ電源線１３の抵抗成分である。

１５は信号処理を行う内部回路である信号処理回路、１６は信号処理回路１５に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給するＶＤＤＰＤ電源線である。図１では、信号処理回路１５の一部分を例示的に示している。信号処理回路１５は、高電位側の電源端子１７をＶＤＤＰＤ電源線１６に接続し、低電位側の電源端子１８をＶＳＳ電源線１３に接続している。１９−１〜１９−３は信号処理回路１５の入力端子、２０−１、２０−２は信号処理回路１５の出力端子である。

なお、本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１においては、入力端子１９−１〜１９−３と出力端子２０−１、２０−２との間の遅延時間は、出力端子２０−１側が長いことを前提としている。また、図示は省略するが、ダイ部４には、信号処理回路１５のほかに、高電位側の電源端子をＶＤＤ電源線１１に接続し、低電位側の電源端子をＶＳＳ電源線１３に接続した複数の内部回路が搭載されている。

２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４はパワースイッチをなすＮＭＯＳトランジスタである。ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４は、ドレインをＶＤＤ電源線１１に接続し、ソースをＶＤＤＰＤ電源線１６に接続し、ゲートに第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａが供給されるように構成されている。ＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４は、ドレインをＶＤＤ電源線１１に接続し、ソースをＶＤＤＰＤ電源線１６に接続し、ゲートに第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ａが供給されるように構成されている。

信号処理回路１５を起動する場合には、まず、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４がオンとされ、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４を介してＶＤＤＰＤ電源線１６に電源電圧が供給される状態となる。その後、後述する条件の下で信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴの電圧状態に基づいてＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４がオンとされ、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４を介してＶＤＤＰＤ電源線１６に電源電圧が供給される状態となる。

２３は電源制御回路を含む制御回路である。制御回路２３は、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎと、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆと、波形エッジ検出信号ＷＥＤとを入力し、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａと、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ａと、マスク信号ＭＳＫとを出力するものである。ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎ及びＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆは、図示しない内部回路から与えられる。

２４は第１パワースイッチ駆動バッファ、２５は第２パワースイッチ駆動バッファである。第１パワースイッチ駆動バッファ２４は、制御回路２３が出力する第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡをＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４のゲートに与え、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４を駆動するものである。第２パワースイッチ駆動バッファ２５は、制御回路２３が出力する第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡをＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４のゲートに与え、ＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４を駆動するものである。

２６はマスク回路である。マスク回路２６は、信号処理回路１５に与える入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３と、制御回路２３が出力するマスク信号ＭＳＫとを入力し、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３の信号処理回路１５への転送を制御するものである。マスク回路２６は、マスク信号ＭＳＫ＝Ｌレベルのときは、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３の信号処理回路１５への転送を遮断し、かつ、仮に信号処理回路１５に電源が投入されている場合には信号処理回路１５の出力端子２０−１がＬレベルとなるようなレベルを信号処理回路１５の入力端子１９−１〜１９−３に与え、マスク信号ＭＳＫ＝Ｈレベルのときは、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３を信号処理回路１５の入力端子１９−１〜１９−３に与える。

２７は波形エッジ検出回路である。波形エッジ検出回路２７は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａと、基準電圧Ｖref（例えば、１０ｍＶ）と、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴとを入力し、波形エッジ検出信号ＷＥＤを出力するものである。波形エッジ検出回路２７は、後述するように、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡがＬレベルからＨレベルに変化し、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４がオンとされた場合に、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴの電圧が接地電圧ＶＳＳから上昇して基準電圧Ｖrefを超え、その後、下降して基準電圧Ｖrefと同一電圧になった時に、そのタイミングを検出し、波形エッジ検出信号ＷＥＤをＬレベルからＨレベルに変化させる。

基準電圧Ｖrefは、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴが接地電圧ＶＳＳから上昇して基準電圧Ｖrefを超え、その後、下降して基準電圧Ｖrefと同一電圧になった時が、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４をオンとしたことにより発生する電源ノイズがピーク値に達した時であることを検出できる電圧値とされる。この結果、波形エッジ検出回路２７は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡがＬレベルからＨレベルに変化し、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４がオンとされた場合に発生する電源ノイズがピーク値に達したタイミングを検出することになる。

本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１では、ＶＤＤ電源線１１と、ＶＳＳ電源線１３と、ＶＤＤＰＤ電源線１６と、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４と、制御回路２３と、第１パワースイッチ駆動バッファ２４と、第２パワースイッチ駆動バッファ２５と、マスク回路２６と、波形エッジ検出回路２７とで、本発明の電源システムの第１実施形態が構成されている。

図２は制御回路２３の構成を示す回路図である。制御回路２３は、割込制御部３２と、パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部３３とを有している。割込制御部３２は、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎと、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆと、波形エッジ検出信号ＷＥＤとを入力し、パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部３３を制御するものである。

パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部３３は、第１パワースイッチ制御信号生成部３４と、第２パワースイッチ制御信号生成部３５と、マスク信号生成部３６とを有している。第１パワースイッチ制御信号生成部３４は、割込制御部３２に制御されて第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａを生成するものである。第２パワースイッチ制御信号生成部３５は、割込制御部３２に制御されて第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ａを生成するものである。マスク信号生成部３６は、割込制御部３２に制御されてマスク信号ＭＳＫを生成するものである。

なお、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎ、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆ、波形エッジ検出信号ＷＥＤ、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ａ及びマスク信号ＭＳＫの初期レベルは、Ｌレベルとされる。

割込制御部３２は、以下の動作Ｐ１〜Ｐ３を行うように構成される。ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎがＬレベルからＨレベルに変化すると、第１パワースイッチ制御信号生成部３４に対して第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡをＬレベルからＨレベルに変化させることを指示する（Ｐ１）。

その後、波形エッジ検出信号ＷＥＤがＬレベルからＨレベルに変化すると、第２パワースイッチ制御信号生成部３５に対して第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡをＬレベルからＨレベルに変化させることを指示し、マスク信号生成部３６にマスク信号ＭＳＫをＬレベルからＨレベルに変化させることを指示する（Ｐ２）。

その後、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｆｆがＬレベルからＨレベルに変化すると、第１パワースイッチ制御信号生成部３４、第２パワースイッチ制御信号生成部３５及びマスク信号生成部３６に対してそれぞれ第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ａ及びマスク信号ＭＳＫをＨレベルからＬレベルに変化させることを指示する（Ｐ３）。

図３は制御回路２３の動作を説明するための波形図であり、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎと、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆと、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａと、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ａと、波形エッジ検出信号ＷＥＤと、マスク信号ＭＳＫとを示している。

割込制御部３２は、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎがＬレベルからＨレベルに変化すると、第１パワースイッチ制御信号生成部３４に対して第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡをＬレベルからＨレベルに変化させることを指示する。これに応答して、第１パワースイッチ制御信号生成部３４は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡをＬレベルからＨレベルに変化させる。

その後、波形エッジ検出信号ＷＥＤがＬレベルからＨレベルに変化すると、割込制御部３２は、第２パワースイッチ制御信号生成部３５に対して第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡをＬレベルからＨレベルに変化させることを指示し、マスク信号生成部３６に対してマスク信号ＭＳＫをＬレベルからＨレベルに変化させることを指示する。これに応答して、第２パワースイッチ制御信号生成部３５は、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡをＬレベルからＨレベルに変化させる。マスク信号生成部３６は、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡがＬレベルからＨレベルに変化した後、電源ノイズが収まると予め見込んだ一定期間が経過すると、マスク信号ＭＳＫをＬレベルからＨレベルに変化させる。

その後、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｆｆがＬレベルからＨレベルに変化すると、割込制御部３２は、第１パワースイッチ制御信号生成部３４、第２パワースイッチ制御信号生成部３５及びマスク信号生成部３６に対してそれぞれ第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ａ及びマスク信号ＭＳＫをＨレベルからＬレベルに変化させることを指示する。これに対応して、第１パワースイッチ制御信号生成部３４、第２パワースイッチ制御信号生成部３５及びマスク信号生成部３６は、それぞれ第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ａ及びマスク信号ＭＳＫをＨレベルからＬレベルに変化させる。

図４は信号処理回路１５の構成例を示す回路図である。図４に示す信号処理回路１５の構成例は、入力端子及び出力端子として、入力端子１９−１及び出力端子２０−１のみを有する場合の一例である。図４中、３９−１、３９−２はＣＭＯＳ型のインバータ、４０−１、４０−２はＰＭＯＳトランジスタ、４１−１、４１−２はＮＭＯＳトランジスタ、４２−１、４２−２は負荷容量である。

ここで、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４がオフ、マスク信号ＭＳＫがＬレベル、信号処理回路１５の入力端子１９−１がＬレベルとされている場合において、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎがＬレベルからＨレベルとなり、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡがＬレベルからＨレベルになると、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４がオンになり、ＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧ＶＤＤＰＤが立ち上がり始める。

この場合、ＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧ＶＤＤＰＤが、インバータ３９−１、３９−２の動作可能電圧に達するまでは、ノード４３−１の電圧は、ＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧ＶＤＤＰＤをＰＭＯＳトランジスタ４０−１のオフ抵抗とＮＭＯＳトランジスタ４１−１のオフ抵抗とで分圧した電圧となる。また、ノード４３−２の電圧は、ＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧ＶＤＤＰＤをＰＭＯＳトランジスタ４０−２のオフ抵抗とＮＭＯＳトランジスタ４１−２のオフ抵抗とで分圧した電圧となる。

そして、ＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧ＶＤＤＰＤが、インバータ３９−１、３９−２の動作可能電圧まで立ち上がると、インバータ３９−１においては、ＰＭＯＳトランジスタ４０−１がオン、ＮＭＯＳトランジスタ４１−１がオフとなり、ＶＤＤＰＤ電源線１６からＰＭＯＳトランジスタ４０−１を介して負荷容量４２−１に電流ｉ１が流れ込み、負荷容量４２−１が充電され、ノード４３−１はＨレベルとなる。

インバータ３９−２においては、ノード４３−１がＬレベルからＨレベルに変化する途中で、ＰＭＯＳトランジスタ４０−２及びＮＭＯＳトランジスタ４１−２が共にオンとなり、ＰＭＯＳトランジスタ４０−２及びＮＭＯＳトランジスタ４１−２に貫通電流ｉ２が流れ、その後、ＰＭＯＳトランジスタ４０−２がオフとなり、負荷容量４２−２からＮＭＯＳトランジスタ４１−２を介してＶＳＳ電源線１３側に電流ｉ３が流れ、負荷容量４２−２が放電され、ノード４３−２はＬレベルとなる。

このように、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４がオフ、マスク信号ＭＳＫがＬレベル、信号処理回路１５の入力端子１９−１がＬレベルとされている場合に、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎがＬレベルからＨレベルとなり、これにより、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡがＬレベルからＨレベルになり、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４がオンになると、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４及びＶＤＤＰＤ電源線１６を介して信号処理回路１５に電流が流入し、また、信号処理回路１５からＶＳＳ電源線１３に電流が流出する。

このように、信号処理回路１５に対する電源投入後、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４及びＶＤＤＰＤ電源線１６を介しての信号処理回路１５への電流の流入、信号処理回路１５からＶＳＳ電源線１３への電流の流出が、ＶＤＤ電源線１１とＶＳＳ電源線１３との間に発生する電源ノイズとなる。このような電源ノイズの発生は、信号処理回路１５が図４に示す回路以外の論理回路構成とされている場合であっても、同様に発生する。そこで、本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１においては、信号処理回路１５に対する電源投入時に発生する電源ノイズが許容値を超えないように、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４のゲートに与える第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａの電圧値が予め調整される。

また、同様に、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４がオンになると、信号処理回路１５の出力端子２０−１に出力される出力信号ＯＵＴは、図４に示す構成例の場合には、ノード４３−２の電圧がＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧ＶＤＤＰＤをＰＭＯＳトランジスタ４０−２のオフ抵抗とＮＭＯＳトランジスタ４１−２のオフ抵抗とで分圧した電圧となる間は、接地電圧ＶＳＳから上昇して基準電圧Ｖrefを超え、その後、ＰＭＯＳトランジスタ４０−２がオフになると、負荷容量４２−２が放電を開始するので、接地電圧ＶＳＳに向って下降する。

このような信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴの電圧変化は、信号処理回路１５が図４に示す回路以外の論理回路構成とされている場合であっても、マスク信号ＭＳＫがＬレベルの場合に、マスク回路２６が、仮に信号処理回路１５に電源が投入されている場合には信号処理回路１５の出力端子２０−１がＬレベルとなるようなレベルを信号処理回路１５の入力端子１９−１〜１９−３に与えるようにしている場合には、同様に起こる。

図５は波形エッジ検出回路２７の構成を示す回路図である。図５中、４５は第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａを入力するための入力端子、４６は基準電圧Ｖrefを入力するための入力端子、４７は信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴを入力するための入力端子である。

４８は第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａを反転するインバータ、４９、５０はインバータ４８の出力信号を反転するインバータ、５１は比較器である。比較器５１は、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴと基準電圧Ｖrefとを比較し、比較結果を示す出力信号Ｓ５１を出力するものである。比較器５１の出力信号Ｓ５１は、出力信号ＯＵＴの電圧≦基準電圧ＶrefのときはＨレベル、出力信号ＯＵＴの電圧＞基準電圧ＶrefのときはＬレベルとされる。５２は比較器５１の出力信号Ｓ５１を反転するインバータである。

５３はインバータ４９の出力信号とインバータ５２の出力信号とをＮＡＮＤ処理するＮＡＮＤ回路、５４はインバータ４８の出力信号とＮＡＮＤ回路５３の出力信号とをＮＯＲ処理するＮＯＲ回路、５５〜５７はＮＯＲ回路５４の出力信号を反転するインバータ、５８、５９はインバータ５０、５７の出力信号を入力信号とするフリップフロップを構成するＮＡＮＤ回路、６０はインバータ５６の出力信号とＮＡＮＤ回路５９の出力信号とをＮＡＮＤ処理するＮＡＮＤ回路、６１、６２はＮＡＮＤ回路５９、６０の出力信号を入力信号とするフリップフロップを構成するＮＡＮＤ回路、６３は波形エッジ検出信号ＷＥＤが出力される出力端子である。

図６は本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１の動作を説明するための波形図であり、ＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧波形ＶＤＤＰＤ＿Ａと、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴと、ＶＤＤ電源線１１とＶＳＳ電源線１３との間に発生する電源ノイズ波形ＶＮと、従来手法におけるＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧波形ＶＤＤＰＤ＿Ｂと、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎと、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａと、比較器５１の出力信号Ｓ５１と、波形エッジ検出信号ＷＥＤと、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ａと、マスク信号ＭＳＫとを示している。

ＶＮmaxはＶＤＤ電源線１１とＶＳＳ電源線１３との間に発生する電源ノイズＶＮの許容値である。また、従来手法とは、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４とＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４とを同一のパワースイッチ制御信号で駆動し、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４及びＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４を同時にオンとする構成とし、パワースイッチ駆動バッファの駆動能力を制御することにより、電源ノイズＶＮが許容値ＶＮmaxを超えないように、信号処理回路１５に与える電源電圧ＶＤＤＰＤをゆっくり立ち上げる手法である。

本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１においては、信号処理回路１５への電源投入前は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ及び第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡはＬレベルとされ、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４はオフとされる。また、マスク信号ＭＳＫ＝Ｌレベルとされ、マスク回路２６は、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３の信号処理回路１５への転送を遮断し、信号処理回路１５の入力端子１９−１〜１９−３のレベルを、仮に信号処理回路１５に電源が投入されている場合には信号処理回路１５の出力端子２０−１がＬレベルとなるレベルとする。また、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡがＬレベルとされていることから、波形エッジ検出信号ＷＥＤはＬレベルとなる。

ここで、図示しない信号処理回路がＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎをＬレベルからＨレベルに変化させると、制御回路２３は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４はオンとなり、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４を介してＶＤＤＰＤ電源線１６に電源電圧が供給される。この結果、ＶＤＤＰＤ電源線１６から信号処理回路１５に電流が流入し、また、信号処理回路１５からＶＳＳ電源線１３に電流が流出する。これにより、ＶＤＤ電源線１１とＶＳＳ電源線１３との間に電源ノイズＶＮが発生する。

本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１においては、信号処理回路１５に対する電源投入時に発生する電源ノイズＶＮが許容値ＶＮmaxを超えないようにＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４のゲートに与える第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａの電圧値が予め調整される。また、信号処理回路１５に対する電源投入前は、マスク回路２６は、信号処理回路１５の出力端子２０−１が、仮に電源が投入された場合にＬレベルとなるようにしている。そこで、信号処理回路１５に電源電圧ＶＤＤＰＤが与えられると、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴは、接地電圧ＶＳＳから上昇し、基準電圧Ｖrefを超え、その後、接地電圧ＶＳＳに向って下降する。

そして、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴが基準電圧Ｖrefと同一電圧になると、即ち、電源ノイズＶＮがピーク値に達すると、波形エッジ検出回路２７は、これを検出し、波形エッジ検出信号ＷＥＤをＬレベルからＨレベルに変化させる。これに応答して、制御回路２３は、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、ＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４がオンとなり、ＶＤＤＰＤ電源線１６にＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４を介して電源電圧が供給され、ＶＤＤＰＤ電源線１６は、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４の駆動能力で決定される定常電圧に向って上昇する。

その後、電源ノイズが収まると予め見込んだ一定期間ΔＴ４が経過すると、制御回路２３は、マスク信号ＭＳＫをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、マスク回路２６は、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３の信号処理回路１５への転送遮断を解除し、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３を信号処理回路１５の入力端子１９−１〜１９−３に与える。ここに、信号処理回路１５は通常動作を行う状態となる。

ここで、期間ΔＴ１では、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ＝Ｌレベル、比較器５１の出力信号Ｓ５１＝Ｈレベルとなる。期間ΔＴ２では、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ＝Ｈレベル、比較器５１の出力信号Ｓ５１＝Ｈレベルとなる。期間ΔＴ３では、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ＝Ｈレベル、比較器５１の出力信号Ｓ５１＝Ｌレベルとなる。期間ΔＴ４では、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ＝Ｈレベル、比較器５１の出力信号Ｓ５１＝Ｈレベルとなる。図７は波形エッジ検出回路２７の動作を示す回路図であり、期間ΔＴ１、ΔＴ２、ΔＴ３、ΔＴ４における各部のレベル変化を示している。

以上のように、本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１においては、信号処理回路１５に対する電源投入時に、パワースイッチをなすＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４のうち、まず、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４をオンとしている。この結果、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４及びＶＤＤＰＤ電源線１６を介して信号処理回路１５に電流が流れ込むことによる電源ノイズＶＮが発生するが、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４をオンとする場合に比較して、電源ノイズＶＮを小さいものとすることができる。

その後、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴの電圧変化を検出し、電源ノイズＶＮがピーク値に達すると、ＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４をオンとしている。この結果、電源ノイズＶＮが収まる時間を必要以上に長く見込んでＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４をオンとする必要がなく、図６に矢印Ａ１で示すように、ＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧ＶＤＤＰＤ＿Ａの立ち上がり時間を従来手法による場合（ＶＤＤＰＤ＿Ｂ）よりも短縮することができる。このように、本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１によれば、信号処理回路１５に対する電源投入時に発生する電源ノイズＶＮが許容値ＶＮmaxを超えないようにし、かつ、信号処理回路１５に与える電源電圧ＶＤＤＰＤの立ち上がり時間を短縮することができる。

（第２実施形態）
図８は本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態を外部電源と共に示す回路図である。本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態６６は、本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１が設ける波形エッジ検出回路２７の代わりに、基準電圧Ｖrefを必要としない波形エッジ検出回路６７を設け、その他については、本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１と同様に構成したものである。

本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態６６では、ＶＤＤ電源線１１と、ＶＳＳ電源線１３と、ＶＤＤＰＤ電源線１６と、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４と、制御回路２３と、第１パワースイッチ駆動バッファ２４と、第２パワースイッチ駆動バッファ２５と、マスク回路２６と、波形エッジ検出回路６７とで、本発明の電源システムの第２実施形態が構成されている。

図９は波形エッジ検出回路６７の構成を示す回路図である。波形エッジ検出回路６７は、図１及び図５に示す波形エッジ検出回路２７と異なり、基準電圧Ｖrefを入力するための入力端子４６を設けず、また、比較器５１の代わりにインバータ７０を設け、その他については、図１及び図５に示す波形エッジ検出回路２７と同様に構成したものである。

インバータ７０において、７１はＶＤＤ電源線、７２〜７４はＰＭＯＳトランジスタ、７５はＮＭＯＳトランジスタ、７６はインバータ７０の入力端子、７７はインバータ７０の出力端子である。ＰＭＯＳトランジスタ７２は、ソースをＶＤＤ電源線７１に接続し、ゲートを接地している。ＰＭＯＳトランジスタ７３は、ソースをＰＭＯＳトランジスタ７２のドレインに接続し、ゲートを接地している。ＰＭＯＳトランジスタ７４は、ソースをＰＭＯＳトランジスタ７３のドレインに接続し、ゲートをインバータ７０の入力端子７６に接続し、ドレインをインバータ７０の出力端子７７に接続している。

ＮＭＯＳトランジスタ７５は、ゲートをインバータ７０の入力端子７６に接続し、ドレインをインバータ７０の出力端子７７に接続し、ソースを接地している。インバータ７０の入力端子７６は、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴを入力するための入力端子４７に接続されている。インバータ７０の出力端子７７は、インバータ５２の入力端子に接続されている。

インバータ７０は、しきい値Ｖthを本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１が使用する基準電圧Ｖrefと同一電圧（例えば、１０ｍＶ）とするものであり、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴの電圧≦しきい値Ｖthのときは、インバータ７０の出力信号Ｓ７０＝Ｈレベル、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴの電圧＞しきい値Ｖthのときは、インバータ７０の出力信号Ｓ７０＝Ｌレベルとするものである。

本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態６６においては、本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１と同様に、信号処理回路１５への電源投入前は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ及び第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡはＬレベルとされ、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４はオフとされる。また、マスク信号ＭＳＫ＝Ｌレベルとされ、マスク回路２６は、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３の信号処理回路１５への転送を遮断し、信号処理回路１５の入力端子１９−１〜１９−３のレベルを、仮に信号処理回路１５に電源が投入されている場合には、信号処理回路１５の出力端子２０−１がＬレベルとなるレベルとする。また、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡがＬレベルとされていることから、波形エッジ検出信号ＷＥＤはＬレベルとなる。

ここで、図示しない信号処理回路がＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎをＬレベルからＨレベルに変化させると、制御回路２３は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４はオンとなり、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４を介してＶＤＤＰＤ電源線１６に電源電圧が供給される。この結果、ＶＤＤＰＤ電源線１６から信号処理回路１５に電流が流入し、また、信号処理回路１５からＶＳＳ電源線１３に電流が流出する。これにより、ＶＤＤ電源線１１とＶＳＳ電源線１３との間に電源ノイズＶＮが発生する。

本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態６６においては、信号処理回路１５に対する電源投入時に発生する電源ノイズＶＮが許容値ＶＮmaxを超えないようにＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４のゲートに与える第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａの電圧値が予め調整される。また、信号処理回路１５に対する電源投入前は、マスク回路２６は、信号処理回路１５の出力端子２０−１が、仮に電源が投入された場合にＬレベルとなるようにしている。そこで、信号処理回路１５に電源電圧ＶＤＤＰＤが与えられると、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴは、接地電圧ＶＳＳから上昇し、波形エッジ検出回路６７のインバータ７０のしきい値Ｖthを超え、その後、接地電圧ＶＳＳに向って下降する。

そして、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴが波形エッジ検出回路６７のインバータ７０のしきい値Ｖthと同一電圧になると、即ち、電源ノイズがピーク値に達すると、波形エッジ検出回路６７は、これを検出し、波形エッジ検出信号ＷＥＤをＬレベルからＨレベルに変化させる。これに応答して、制御回路２３は、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、ＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４がオンとなり、ＶＤＤＰＤ電源線１６にＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４を介して電源電圧ＶＤＤＰＤが供給され、ＶＤＤＰＤ電源線１６は、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４の駆動能力で決定される定常電圧に向って上昇する。

その後、電源ノイズが収まると予め見込んだ一定期間が経過すると、制御回路２３は、マスク信号ＭＳＫをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、マスク回路２６は、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３の信号処理回路１５への転送遮断を解除し、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３を信号処理回路１５の入力端子１９−１〜１９−３に与える。ここに、信号処理回路１５は通常動作を行う状態となる。

以上のように、本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態６６においては、信号処理回路１５に対する電源投入時に、パワースイッチをなすＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４のうち、まず、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４をオンとしている。この結果、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４及びＶＤＤＰＤ電源線１６を介して信号処理回路１５に電流が流れ込むことによる電源ノイズが発生するが、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４をオンとする場合に比較して、電源ノイズを小さいものとすることができる。

その後、信号処理回路１５が出力端子２０−１に出力する出力信号ＯＵＴの電圧変化を検出し、電源ノイズがピーク値に達すると、ＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４をオンとしている。この結果、電源ノイズＶＮが収まる時間を必要以上に長く見込んでＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４をオンとする必要がなく、ＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧の立ち上がり時間を従来手法による場合よりも短縮することができる。このように、本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態６６によれば、信号処理回路１５に対する電源投入時に発生する電源ノイズが許容値を超えないようにし、かつ、信号処理回路１５に与える電源電圧ＶＤＤＰＤの立ち上がり時間を短縮することができる。

（第３実施形態）
図１０は本発明の半導体集積回路装置の第３実施形態を外部電源と共に示す回路図である。本発明の半導体集積回路装置の第３実施形態８０は、信号処理回路１５のダミー回路８１を設け、信号処理回路１５の出力端子２０−１を波形エッジ検出回路２７の入力端子４７に接続する代わりに、ダミー回路８１の出力端子８２を波形エッジ検出回路２７の入力端子４７に接続し、その他については、本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１と同様に構成したものである。ダミー回路８１は、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４をオンとした場合に信号処理回路１５の出力端子２０−１に発生する電圧変化と同様の電圧変化をダミー回路８１の出力端子８２に得ようとするものである。

ダミー回路８１は、複数のインバータ８３−１〜８３−２ｋを縦列接続し、インバータ８３−１〜８３−２ｋの高電位側の電源端子をＶＤＤＰＤ電源線１６に接続し、インバータ８３−１〜８３−２ｋの低電位側の電源端子をＶＳＳ電源線１３に接続し、初段のインバータ８３−１の入力端子をＶＳＳ電源線１３に接続して構成されている。インバータ８３−１〜８３−２ｋの段数は、ダミー回路８１の遅延時間が、信号処理回路１５の入力端子１９−１〜１９−３と出力端子２０−１、２０−２との間の信号経路のうち、遅延時間が最も大きいものの遅延時間と近いものとなるように決定される。

本発明の半導体集積回路装置の第３実施形態８０においては、ＶＤＤ電源線１１と、ＶＳＳ電源線１３と、ＶＤＤＰＤ電源線１６と、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４と、制御回路２３と、第１パワースイッチ駆動バッファ２４と、第２パワースイッチ駆動バッファ２５と、マスク回路２６と、波形エッジ検出回路２７と、ダミー回路８１とで、本発明の電源システムの第３実施形態が構成されている。

なお、本例では、マスク回路２６は、マスク信号ＭＳＫ＝Ｌレベルのときは、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３の信号処理回路１５への転送を遮断し、マスク信号ＭＳＫ＝Ｈレベルのときは、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３を信号処理回路１５の入力端子１９−１〜１９−３に与えるように構成されれば足り、マスク信号ＭＳＫ＝Ｌレベルの場合に、出力端子２０−１をＬレベルにするレベルを入力端子１９−１〜１９−３に与える必要がない。

本発明の半導体集積回路装置の第３実施形態８０においては、本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１と同様に、信号処理回路１５への電源投入前は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ａ及び第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡはＬレベルとされ、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４はオフとされる。また、マスク信号ＭＳＫ＝Ｌレベルとされ、マスク回路２６は、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３の信号処理回路１５への転送を遮断する。また、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡがＬレベルとされていることから、波形エッジ検出信号ＷＥＤはＬレベルとされる。

ここで、図示しない信号処理回路がＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎをＬレベルからＨレベルに変化させると、制御回路２３は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＡをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４はオンとなり、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４を介してＶＤＤＰＤ電源線１６に電源電圧が供給される。この結果、ＶＤＤＰＤ電源線１６から信号処理回路１５及びダミー回路８１に電流が流入し、また、信号処理回路１５及びダミー回路８１からＶＳＳ電源線１３に電流が流出する。これにより、ＶＤＤ電源線１１とＶＳＳ電源線１３との間に電源ノイズが発生する。

また、ダミー回路８１は、初段のインバータ８３−１の入力端子をＶＳＳ電源線１３に接続している。そこで、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４を介してＶＤＤＰＤ電源線１６に電源電圧ＶＤＤＰＤが与えられると、ダミー回路８１の出力信号Ｓ８２は、接地電圧ＶＳＳから上昇し、基準電圧Ｖrefを超え、その後、接地電圧ＶＳＳに向って下降する。このダミー回路８１の出力信号Ｓ８１の変化の原理は、図４に示す信号処理回路１５の構成例の場合の出力信号ＯＵＴの変化の場合と同様である。

そして、ダミー回路８１の出力信号Ｓ８１が基準電圧Ｖrefと同一電圧になると、即ち、電源ノイズがピーク値に達すると、波形エッジ検出回路２７は、これを検出し、波形エッジ検出信号ＷＥＤをＬレベルからＨレベルに変化させる。これに応答して、制御回路２３は、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＡをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、ＶＤＤ電源線１１とＶＳＳ電源線１３との間に発生する電源ノイズがピーク値に達すると、ＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４がオンとなり、ＶＤＤＰＤ電源線１６にＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４を介して電源電圧が供給され、ＶＤＤＰＤ電源線１６は、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４の駆動能力で決定される定常電圧に向って上昇する。

その後、電源ノイズが収まると予め見込んだ一定期間が経過すると、制御回路２３は、マスク信号ＭＳＫをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、マスク回路２６は、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３の信号処理回路１５への転送遮断を解除し、入力信号ＩＮ１〜ＩＮ３を信号処理回路１５の入力端子１９−１〜１９−３に与える。ここに、信号処理回路１５は通常動作を行う状態となる。

以上のように、本発明の半導体集積回路装置の第３実施形態８０においては、信号処理回路１５に対する電源投入時に、パワースイッチをなすＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４のうち、まず、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４をオンとしている。この結果、ＶＤＤ電源線１１からＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４及びＶＤＤＰＤ電源線１６を介して信号処理回路１５に電流が流れ込むことによる電源ノイズが発生するが、ＮＭＯＳトランジスタ２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４をオンとする場合に比較して、電源ノイズを小さいものとすることができる。

その後、ダミー回路８１が出力端子８２に出力する出力信号Ｓ８１の電圧変化を検出し、電源ノイズがピーク値に達すると、ＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４をオンとしている。この結果、電源ノイズが収まる時間を必要以上に長く見込んでＮＭＯＳトランジスタ２２−１〜２２−４をオンとする必要がなく、ＶＤＤＰＤ電源線１６の電圧の立ち上がり時間を従来手法による場合よりも短縮することができる。

このように、本発明の半導体集積回路装置の第３実施形態８０によれば、信号処理回路１５に対する電源投入時に発生する電源ノイズが許容値を超えないようにし、かつ、信号処理回路１５に与える電源電圧ＶＤＤＰＤの立ち上がり時間を短縮することができる。なお、波形エッジ検出回路２７の代わりに、本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態６６が設ける波形エッジ検出回路６７を設けるようにしても良い。

（第４実施形態）
図１１は本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態を外部電源と共に示す回路図である。本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６は、本発明の電源システムの第４実施形態を搭載するものであり、パッケージ部８８と、ダイ部８９とを有している。

パッケージ部８８において、９０は外部電源２から与えられる電源電圧ＶＤＤをダイ部８９に供給するＶＤＤ電源線、９１はＶＤＤ電源線９０の抵抗成分、９２はＶＤＤ電源線９０のインダクタンス成分である。９３は外部電源２から与えられる接地電圧ＶＳＳをダイ部８９に供給するＶＳＳ電源線、９４はＶＳＳ電源線９３の抵抗成分、９５はＶＳＳ電源線９３のインダクタンス成分である。

ダイ部８９において、９６はパッケージ部８８のＶＤＤ電源線９０に接続されたＶＤＤ電源線、９７はＶＤＤ電源線９６の抵抗成分である。９８はパッケージ部８８のＶＳＳ電源線９３に接続されたＶＳＳ電源線、９９はＶＳＳ電源線９８の抵抗成分である。

１００は信号処理を行う第１内部回路である第１信号処理回路、１０１は第１信号処理回路１００に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給するＶＤＤＰＤ電源線である。第１信号処理回路１００は、高電位側の電源端子１０２をＶＤＤＰＤ電源線１０１に接続し、低電位側の電源端子１０３をＶＳＳ電源線９８に接続している。１０４−１〜１０４−３は第１信号処理回路１００の入力端子、１０５−１、１０５−２は第１信号処理回路１００の出力端子である。

１０６は信号処理を行う第２内部回路である第２信号処理回路、１０７は第２信号処理回路１０６に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給するＶＤＤＰＤ電源線である。第２信号処理回路１０６は、高電位側の電源端子１０８をＶＤＤＰＤ電源線１０７に接続し、低電位側の電源端子１０９をＶＳＳ電源線９８に接続している。１１０−１〜１１０−３は第２信号処理回路１０６の入力端子、１１１−１、１１１−２は第２信号処理回路１０６の出力端子である。

１１２は信号処理を行う第３内部回路である第３信号処理回路、１１３は第３信号処理回路１１２に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給するＶＤＤＰＤ電源線である。第３信号処理回路１１２は、高電位側の電源端子１１４をＶＤＤＰＤ電源線１１３に接続し、低電位側の電源端子１１５をＶＳＳ電源線９８に接続している。１１６−１〜１１６−３は第３信号処理回路１１２の入力端子、１１７−１、１１７−２は第３信号処理回路１１２の出力端子である。

１１８−１〜１１８−３は第１信号処理回路１００用のパワースイッチをなすＮＭＯＳトランジスタである。ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３は、ドレインをＶＤＤ電源線９６に接続し、ソースをＶＤＤＰＤ電源線１０１に接続し、ゲートに第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂが供給されるように構成されている。

１１９−１〜１１９−３は第２信号処理回路１０６用のパワースイッチをなすＮＭＯＳトランジスタである。ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３は、ドレインをＶＤＤ電源線９６に接続し、ソースをＶＤＤＰＤ電源線１０７に接続し、ゲートに第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂが供給されるように構成されている。

１２０−１〜１２０−３は第３信号処理回路１１２用のパワースイッチをなすＮＭＯＳトランジスタである。ＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３は、ドレインをＶＤＤ電源線９６に接続し、ソースをＶＤＤＰＤ電源線１１３に接続し、ゲートに第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３Ｂが供給されるように構成されている。

第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２を起動する場合には、まず、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３がオンとされ、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３を介してＶＤＤＰＤ電源線１０１に電源電圧ＶＤＤＰＤが供給される。その後、後述する条件の下で第１信号処理回路１００が出力端子１０５−１に出力する出力信号ＯＵＴ１の状態に基づいて、ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３がオンとされ、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３を介してＶＤＤＰＤ電源線１０７に電源電圧ＶＤＤＰＤが供給される。

その後、後述する条件の下で第２信号処理回路１０６が出力端子１１１−１に出力する出力信号ＯＵＴ２の状態に基づいて、ＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３がオンとされ、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３を介してＶＤＤＰＤ電源線１１３に電源電圧ＶＤＤＰＤが供給される。図示を省略するが、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２のほかに、高電位側の電源端子をＶＤＤ電源線９６に接続し、低電位側の電源端子をＶＳＳ電源線９８に接続した複数の内部回路が搭載されている。

１２１は電源制御回路を含む制御回路である。制御回路１２１は、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎと、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆと、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１と、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２と、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３とを入力し、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂと、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂと、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３Ｂと、第１マスク信号ＭＳＫ１と、第２マスク信号ＭＳＫ２と、第３マスク信号ＭＳＫ３とを出力するものである。ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎ及びＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆは、図示しない内部回路から出力されるものである。

１２２は第１パワースイッチ駆動バッファである。第１パワースイッチ駆動バッファ１２２は、制御回路１２１が出力する第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＢをＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３のゲートに与え、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３を駆動するものである。

１２３は第２パワースイッチ駆動バッファである。第２パワースイッチ駆動バッファ１２３は、制御回路１２１が出力する第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＢをＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３のゲートに与え、ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３を駆動するものである。

１２４は第３パワースイッチ駆動バッファである。第３パワースイッチ駆動バッファ１２４は、制御回路１２１が出力する第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢをＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３のゲートに与え、ＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３を駆動するものである。

１２５は第１マスク回路である。第１マスク回路１２５は、第１信号処理回路１００に与える入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３の第１信号処理回路１００への転送を制御するものであり。第１マスク回路１２５は、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３と、第１マスク信号ＭＳＫ１とを入力し、第１マスク信号ＭＳＫ１＝Ｌレベルのときは、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３の第１信号処理回路１００の入力端子１０４−１〜１０４−３への転送を遮断し、仮に第１信号処理回路１００に電源が投入されている場合には第１信号処理回路１００の出力端子１０５−１がＬレベルとなるような電圧を第１信号処理回路１００の入力端子１０４−１〜１０４−３に与え、第１マスク信号ＭＳＫ１＝Ｈレベルのときは、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３を第１信号処理回路１００の入力端子１０４−１〜１０４−３に与える。

１２６は第２マスク回路である。第２マスク回路１２６は、第２信号処理回路１０６に与える入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３の第２信号処理回路１０６への転送を制御するものである。第２マスク回路１２６は、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３と、第２マスク信号ＭＳＫ２とを入力し、第２マスク信号ＭＳＫ２＝Ｌレベルのときは、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３の第２信号処理回路１０６の入力端子１１０−１〜１１０−３への転送を遮断し、仮に第２信号処理回路１０６に電源が投入されている場合には第２信号処理回路１０６の出力端子１１１−１がＬレベルとなるような電圧を第２信号処理回路１０６の入力端子１１０−１〜１１０−３に与え、第２マスク信号ＭＳＫ２＝Ｈレベルのときは、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３を第２信号処理回路１０６の入力端子１１０−１〜１１０−３に与える。

１２７は第３マスク回路である。第３マスク回路１２７は、第３信号処理回路１１２に与える入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３の第３信号処理回路１１２への転送を制御するものである。第３マスク回路１２７は、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３と、第３マスク信号ＭＳＫ３とを入力し、第３マスク信号ＭＳＫ３＝Ｌレベルのときは、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３の第３信号処理回路１１２の入力端子１１６−１〜１１６−３への転送を遮断し、仮に第３信号処理回路１１２に電源が投入されている場合には第３信号処理回路１１２の出力端子１１７−１がＬレベルとなるような電圧を第３信号処理回路１１２の入力端子１１６−１〜１１６−３に与え、第３マスク信号ＭＳＫ３＝Ｈレベルのときは、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３を第３信号処理回路１１２の入力端子１１６−１〜１１６−３に与える。

１２８は第１波形エッジ検出回路である。第１波形エッジ検出回路１２８は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂと、基準電圧Ｖref（たとえば、１０ｍＶ）と、第１信号処理回路１００が出力端子１０５−１に出力する出力信号ＯＵＴ１とを入力し、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１を出力するものである。この第１波形エッジ検出回路１２８は、第１マスク信号ＭＳＫ１がＬレベルの状態で、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＢがＨレベルとなり、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３がオンとされた場合に、第１信号処理回路１００が出力端子１０５−１に出力する出力信号ＯＵＴ１の電圧が接地電圧ＶＳＳから上昇して基準電圧Ｖrefを超え、その後、下降して基準電圧Ｖrefと同一電圧になった時に、そのタイミングを検出し、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１をＬレベルからＨレベルに変化させるものである。

１２９は第２波形エッジ検出回路である。第２波形エッジ検出回路１２９は、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂと、基準電圧Ｖrefと、第２信号処理回路１０６が出力端子１１１−１に出力する出力信号ＯＵＴ２とを入力し、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２を出力するものである。この第２波形エッジ検出回路１２９は、第２マスク信号ＭＳＫ２＝Ｌレベルの状態で、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＢがＨレベルとなり、ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３がオンとされた場合に、第２信号処理回路１０６が出力端子１１１−１に出力する出力信号ＯＵＴ２の電圧が接地電圧ＶＳＳから上昇し、基準電圧Ｖrefを超え、その後、下降して基準電圧Ｖrefと同一電圧になった時に、そのタイミングを検出し、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２をＬレベルからＨレベルに変化させるものである。

１３０は第３波形エッジ検出回路である。第３波形エッジ検出回路１３０は、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３Ｂと、基準電圧Ｖrefと、第２信号処理回路１１２が出力端子１１７−１に出力する出力信号ＯＵＴ３とを入力し、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３を出力するものである。この第３波形エッジ検出回路１３０は、第３マスク信号ＭＳＫ３＝Ｌレベルの状態で、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢがＨレベルとなり、ＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３がオンとされた場合に、第３信号処理回路１１２が出力端子１１７−１に出力する出力信号ＯＵＴ３の電圧が接地電圧ＶＳＳから上昇し、基準電圧Ｖrefを超え、その後、下降して基準電圧Ｖrefと同一電圧になった時に、そのタイミングを検出し、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３をＬレベルからＨレベルに変化させるものである。

第１波形エッジ検出回路１２８、第２波形エッジ検出回路１２９及び第３波形エッジ検出回路１３０は、本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態１が設ける波形エッジ検出回路２７と同一構成とされたものである。第１波形エッジ検出回路１２８において、入力端子１３１、１３２、１３３及び出力端子１３４は、それぞれ波形エッジ検出回路２７の入力端子４５、４６、４７及び出力端子６３に対応している。第２波形エッジ検出回路１２９において、入力端子１３５、１３６、１３７及び出力端子１３８は、それぞれ波形エッジ検出回路２７の入力端子４５、４６、４７及び出力端子６３に対応している。第３波形エッジ検出回路１３０において、入力端子１３９、１４０、１４１及び出力端子１４２は、それぞれ波形エッジ検出回路２７の入力端子４５、４６、４７及び出力端子６３に対応している。

本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６においては、ＶＤＤ電源線９６と、ＶＳＳ電源線９８と、ＶＤＤＰＤ電源線１０１、１０７、１１３と、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３、１１９−１〜１１９−３、１２０−１〜１２０−３と、制御回路１２１と、第１パワースイッチ駆動バッファ１２２と、第２パワースイッチ駆動バッファ１２３と、第３パワースイッチ駆動バッファ１２４と、第１マスク回路１２５と、第２マスク回路１２６と、第３マスク回路１２７と、第１波形エッジ検出回路１２８と、第２波形エッジ検出回路１２９と、第３波形エッジ検出回路１３０とで、本発明の電源システムの第４実施形態が構成されている。

図１２は制御回路１２１の構成を示す回路図である。制御回路１２１は、割込制御部１４５と、パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部１４６とを有している。割込制御部１４５は、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎと、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆと、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１と、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２と、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３とを入力し、パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部１４６を制御するものである。パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部１４６は、第１パワースイッチ制御信号生成部１４７と、第２パワースイッチ制御信号生成部１４８と、第３パワースイッチ制御信号生成部１４９と、第１マスク信号生成部１５０と、第２マスク信号生成部１５１と、第３マスク信号生成部１５２とを有している。

第１パワースイッチ制御信号生成部１４７は、割込制御部１４５に制御されて第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂを生成するものである。第２パワースイッチ制御信号生成部１４８は、割込制御部１４５に制御されて第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂを生成するものである。第３パワースイッチ制御信号生成部１４９は、割込制御部１４５に制御されて第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３Ｂを生成するものである。第１マスク信号生成部１５０は、割込制御部１４５に制御されて第１マスク信号ＭＳＫ１を生成するものである。第２マスク信号生成部１５１は、割込制御部１４５に制御されて第２マスク信号ＭＳＫ２を生成するものである。第３マスク信号生成部１５２は、割込制御部１４５に制御されて第３マスク信号ＭＳＫ３を生成するものである。

なお、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎ、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆ、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂ、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂ、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３Ｂ、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３、第１マスク信号ＭＳＫ１、第２マスク信号ＭＳＫ２及び第３マスク信号ＭＳＫ３の初期レベルは、Ｌレベルとされる。

割込制御部１４５は、以下の動作Ｑ１〜Ｑ５を行うように構成される。ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎがＬレベルからＨレベルに変化すると、第１パワースイッチ制御信号生成部１４７に第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＢをＬレベルからＨレベルに変化させることを指示する（Ｑ１）。

その後、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１がＬレベルからＨレベルに変化すると、第２パワースイッチ制御信号生成部１４８に第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＢをＬレベルからＨレベルに変化させることを指示し、その後、第１マスク信号生成部１５０に第１マスク信号ＭＳＫ１をＬレベルからＨレベルに変化させることを指示する（Ｑ２）。

その後、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２がＬレベルからＨレベルに変化すると、第３パワースイッチ制御信号生成部１４９に第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢをＬレベルからＨレベルに変化させることを指示し、その後、第２マスク信号生成部１５１に第２マスク信号ＭＳＫ２をＬレベルからＨレベルに変化させることを指示する（Ｑ３）。

その後、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３がＬレベルからＨレベルに変化すると、第３マスク信号生成部１５２に第３マスク信号ＭＳＫ３をＬレベルからＨレベルに変化させることを指示する（Ｑ４）。

その後、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｆｆがＬレベルからＨレベルに変化すると、第１パワースイッチ制御信号生成部１４７、第２パワースイッチ制御信号生成部１４８、第３パワースイッチ制御信号生成部１４９、第１マスク信号生成部１５０、第２マスク信号生成部１５１及び第３マスク信号生成部１５２にそれぞれ第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂ、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂ、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３Ｂ、第１マスク信号ＭＳＫ１、第２マスク信号ＭＳＫ２及び第３マスク信号ＭＳＫ３をＨレベルからＬレベルに変化させることを指示する（Ｑ５）。

図１３は本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６の動作を説明するための波形図である。図１３中、ＶＤＤＰＤ１はＶＤＤＰＤ電源線１０１の電圧波形、ＶＤＤＰＤ２はＶＤＤＰＤ電源線１０７の電圧波形、ＶＤＤＰＤ３はＶＤＤＰＤ電源線１１３の電圧波形、ＶＮ１はＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３がオンとされることによりＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に発生する電源ノイズ、ＶＮ２はＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３がオンとされることによりＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に発生する電源ノイズ、ＶＮ３はＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３がオンとされることによりＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に発生する電源ノイズである。

本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６においては、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２への電源投入前は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂ、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂ及び第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢはＬレベルとされ、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３、１１９−１〜１１９−３、１２０−１〜１２０−３はオフとされる。

また、第１マスク信号ＭＳＫ１＝Ｌレベルとされ、第１マスク回路１２５は、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３の第１信号処理回路１００への転送を遮断し、仮に第１信号処理回路１００に電源が投入されている場合には第１信号処理回路１００の出力端子１０５−１がＬレベルとなるようなレベルを第１信号処理回路１００の入力端子１０４−１〜１０４−３に与える。また、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＢがＬレベルとされていることから、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１はＬレベルとされる。

また、第２マスク信号ＭＳＫ２＝Ｌレベルとされ、第２マスク回路１２６は、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３の第２信号処理回路１０６への転送を遮断し、仮に第２信号処理回路１０６に電源が投入されている場合には第２信号処理回路１０６の出力端子１１１−１がＬレベルとなるようなレベルを第２信号処理回路１０６の入力端子１１０−１〜１１０−３に与える。また、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＢがＬレベルとされていることから、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２はＬレベルとされる。

また、第３マスク信号ＭＳＫ３＝Ｌレベルとされ、第３マスク回路１２７は、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３の第３信号処理回路１１２への転送を遮断し、仮に第３信号処理回路１１２に電源が投入されている場合には第３信号処理回路１１２の出力端子１１７−１がＬレベルとなるようなレベルを第３信号処理回路１１２の入力端子１１６−１〜１１６−３に与える。また、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢがＬレベルとされていることから、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３はＬレベルとされる。

ここで、図示しない信号処理回路がＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎをＬレベルからＨレベルに変化させると、制御部１２１は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＢをＬレベルからＨレベルに変化させる。これにより、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３はオンとなり、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３を介してＶＤＤＰＤ電源線１０１に電源電圧が供給され、ＶＤＤＰＤ電源線１０１は、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−４の駆動能力で決定される定常電圧に向って上昇する。

この結果、ＶＤＤＰＤ電源線１０１から第１信号処理回路１００に電流が流入し、また、第１信号処理回路１００からＶＳＳ電源線９８に電流が流出する。これにより、ＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に電源ノイズＶＮ１が発生する。本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６においては、ＶＤＤＰＤ電源線１０１の立ち上がり時に発生する電源ノイズＶＮ１が許容値ＶＮmaxを超えないようにＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３のゲートに与える第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂの電圧値が予め調整される。

ここで、第１信号処理回路１００に対する電源投入前は、第１マスク回路１２５は、仮に第１信号処理回路１００に電源が投入されている場合には第１信号処理回路１００の出力端子１０５−１がＬレベルとなるようにしている。そこで、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３及びＶＤＤＰＤ電源線１０１を介して第１信号処理回路１００に電源電圧ＶＤＤＰＤが与えられると、第１信号処理回路１００が出力端子１０５−１に出力する出力信号ＯＵＴ１は、接地電圧ＶＳＳから上昇し、基準電圧Ｖrefを超え、その後、接地電圧ＶＳＳに向って下降する。

そして、第１信号処理回路１００が出力端子１０５−１に出力する出力信号ＯＵＴ１が基準電圧Ｖrefと同一電圧になると、第１波形エッジ検出回路１２８は、これを検出し、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１をＬレベルからＨレベルに変化させる。これに応答して、制御回路１２１は、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＢをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、ＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に発生する電源ノイズＶＮ１がピーク値に達すると、ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３がオンとなり、ＶＤＤＰＤ電源線１０７にＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３を介して電源電圧が供給され、ＶＤＤＰＤ電源線１０７は、ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３の駆動能力で決定される定常電圧に向って上昇する。

この結果、ＶＤＤＰＤ電源線１０７から第２信号処理回路１０６に電流が流入し、また、第２信号処理回路１０６からＶＳＳ電源線９８に電流が流出する。これにより、ＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に電源ノイズＶＮ２が発生する。本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６においては、ＶＤＤＰＤ電源線１０７の立ち上がり時に発生する電源ノイズＶＮ２が許容値ＶＮmaxを超えないようにＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３のゲートに与える第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂの電圧値が予め調整される。

また、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１がＬレベルからＨレベルに変化すると、これに応答して、制御回路１２１は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＢがＬレベルからＨレベルに変化した後、電源ノイズＶＮ１が収まると予め見込んでいる期間が経過すると、第１マスク信号ＭＳＫ１をＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、第１マスク回路１２５は、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３の第１信号処理回路１００への転送遮断を解除し、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３を第１信号処理回路１００の入力端子１０４−１〜１０４−３に与える。

ここで、第２信号処理回路１０６に対する電源投入前は、第２マスク回路１２６は、第２信号処理回路１０６の出力端子１１１−１のレベルを、仮に第２信号処理回路１０６に電源が投入されている場合にはＬレベルとなるようにしている。そこで、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３及びＶＤＤＰＤ電源線１０７を介して第２信号処理回路１０６に電源電圧ＶＤＤＰＤが与えられると、第２信号処理回路１０６が出力端子１１１−１に出力する出力信号ＯＵＴ２は、接地電圧ＶＳＳから上昇し、基準電圧Ｖrefを超え、その後、接地電圧ＶＳＳに向って下降する。

そして、第２信号処理回路１０６が出力端子１１１−１に出力する出力信号ＯＵＴ２が基準電圧Ｖrefと同一電圧になると、第２波形エッジ検出回路１２９は、これを検出し、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２をＬレベルからＨレベルに変化させる。これに応答して、制御回路１２１は、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、ＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に発生する電源ノイズＶＮ２がピーク値に達すると、ＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３がオンとなり、ＶＤＤＰＤ電源線１１３にＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３を介して電源電圧が供給され、ＶＤＤＰＤ電源線１１３は、ＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３の駆動能力で決定される定常電圧に向って上昇する。

この結果、ＶＤＤＰＤ電源線１１３から第３信号処理回路１１２に電流が流入し、また、第３信号処理回路１１２からＶＳＳ電源線９８に電流が流出する。これにより、ＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に電源ノイズＶＮ３が発生する。本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６においては、ＶＤＤＰＤ電源線１１３の立ち上がり時に発生する電源ノイズＶＮ３が許容値ＶＮmaxを超えないようにＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３のゲートに与える第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３Ｂの電圧値が予め調整される。

また、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２がＬレベルからＨレベルに変化すると、これに応答して、制御回路１２１は、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＢがＬレベルからＨレベルに変化した後、電源ノイズＶＮ２が収まると予め見込んでいる期間が経過すると、第２マスク信号ＭＳＫ２をＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、第２マスク回路１２６は、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３の第２信号処理回路１０６への転送遮断を解除し、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３を第２信号処理回路１０６の入力端子１１０−１〜１１０−３に与える。

ここで、第３信号処理回路１１２に対する電源投入前は、第３マスク回路１２７は、第３信号処理回路１１２の出力端子１１７−１のレベルを、仮に第３信号処理回路１１２に電源が投入されている場合にはＬレベルとなるようにしている。そこで、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３及びＶＤＤＰＤ電源線１１３を介して第３信号処理回路１１２に電源電圧ＶＤＤＰＤが与えられると、第３信号処理回路１１２が出力端子１１７−１に出力する出力信号ＯＵＴ３は、接地電圧ＶＳＳから上昇し、基準電圧Ｖrefを超え、その後、接地電圧ＶＳＳに向って下降する。

そして、第３信号処理回路１１２が出力端子１１７−１に出力する出力信号ＯＵＴ３が基準電圧Ｖrefと同一電圧になると、第３波形エッジ検出回路１３０は、これを検出し、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３をＬレベルからＨレベルに変化させる。これに応答して、制御回路１２１は、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢがＬレベルからＨレベルに変化した後、電源ノイズＶＮ３が収まると予め見込んでいる期間が経過すると、第３マスク信号ＭＳＫ３をＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、第３マスク回路１２７は、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３の第３信号処理回路１１２への転送遮断を解除し、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３を第３信号処理回路１１２の入力端子１１６−１〜１１６−３に与える。

以上のように、本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６においては、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２に対する電源投入時に、まず、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３をオンとし、第１信号処理回路１００に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給している。次に、第１信号処理回路１００が出力端子１０５−１に出力する出力信号ＯＵＴ１の電位変化を監視することにより第１信号処理回路１００による電源ノイズＶＮ１がピーク値に達するのを検出すると、ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３をオンとし、第２信号処理回路１０６に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給している。次に、第２信号処理回路１０６が出力端子１１１−１に出力する出力信号ＯＵＴ２の電位変化を監視することにより第２信号処理回路１０６による電源ノイズＶＮ２がピーク値に達するのを検出し、ＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３をオンとし、第３信号処理回路１１２に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給している。

したがって、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２に順に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給する場合に発生する電源ノイズＶＮ１、電源ノイズＶＮ２及び電源ノイズＶＮ３を、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２に同時に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給する場合に発生する電源ノイズに比較して小さくすることができる。また、電源ノイズＶＮ１が収まる時間及び電源ノイズＮ２が収まる時間を必要以上に長く見込む必要がない。したがって、ＶＤＤＰＤ電源線１０１、１０７、１１３の全ての電源電圧ＶＤＤＰＤが立ち上がる時間を従来手法による場合よりも短縮することができる。

図１４は本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６の効果を示す波形図であり、ＶＤＤＰＤ電源線１０１の電源電圧ＶＤＤＰＤ１と、ＶＤＤＰＤ電源線１０７の電源電圧ＶＤＤＰＤ２と、ＶＤＤＰＤ電源線１１３の電源電圧ＶＤＤＰＤ３と、電源ノイズＶＮ１、ＶＮ２、ＶＮ３を示しており、（Ａ）は従来手法による場合、（Ｂ）は本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６による場合であり、矢印Ａ２で示すように、ＶＤＤＰＤ電源線１０１、１０７、１１３の全ての電源電圧ＶＤＤＰＤが立ち上がる時間を従来手法による場合よりも短縮することができる。

以上のように、本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６によれば、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２に対する電源投入時に発生する電源ノイズＶＮ１、ＶＮ２、ＶＮ３が許容値ＶＮmaxを超えないようにし、かつ、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２に与える電源電圧ＶＤＤＰＤの立ち上がり時間を短縮することができる。

（第５実施形態）
図１５は本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態を外部電源と共に示す回路図である。本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態１５５では、第１信号処理回路１００のダミー回路である第１ダミー回路１５６と、第２信号処理回路１０６のダミー回路である第２ダミー回路１５７と、第３信号処理回路１１２のダミー回路である第３ダミー回路１５８とが設けられている。

そして、第１信号処理回路１００の出力端子１０５−１を第１波形エッジ検出回路１２８の入力端子１３３に接続する代わりに、第１ダミー回路１５６の出力端子１５９が第１波形エッジ検出回路１２８の入力端子１３３に接続されている。また、第２信号処理回路１０６の出力端子１１１−１を第２波形エッジ検出回路１２９の入力端子１３７に接続する代わりに、第２ダミー回路１５７の出力端子１６０が第２波形エッジ検出回路１２９の入力端子１３７に接続されている。また、第３信号処理回路１１２の出力端子１１７−１を第３波形エッジ検出回路１３０の入力端子１４１に接続する代わりに、第３ダミー回路１５８の出力端子１６１が第３波形エッジ検出回路１３０の入力端子１４１に接続されている。その他については、本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６と同様に構成されている。

第１ダミー回路１５６は、偶数個のインバータを縦列接続し、これらインバータの高電位側の電源端子をＶＤＤＰＤ電源線１０１に接続し、これらインバータの低電位側の電源端子をＶＳＳ電源線９８に接続し、初段のインバータの入力端子をＶＳＳ電源線９８に接続して構成されている。これらインバータの段数は、第１ダミー回路１５６の遅延時間が、第１信号処理回路１００の入力端子１０４−１〜１０４−３と出力端子１０５−１、１０５−２との間の信号経路のうち、遅延時間が最も大きい信号経路の遅延時間と最も近いものとなるように決定される。

第２ダミー回路１５７は、偶数個のインバータを縦列接続し、これらインバータの高電位側の電源端子をＶＤＤＰＤ電源線１０７に接続し、これらインバータの低電位側の電源端子をＶＳＳ電源線９８に接続し、初段のインバータの入力端子をＶＳＳ電源線９８に接続して構成されている。これらインバータの段数は、第２ダミー回路１５７の遅延時間が、第２信号処理回路１０６の入力端子１１０−１〜１１０−３と出力端子１１１−１、１１１−２との間の信号経路のうち、遅延時間が最も大きい信号経路の遅延時間と最も近いものとなるように決定される。

第３ダミー回路１５８は、偶数個のインバータを縦列接続し、これらインバータの高電位側の電源端子をＶＤＤＰＤ電源線１１３に接続し、これらインバータの低電位側の電源端子をＶＳＳ電源線９８に接続し、初段のインバータの入力端子をＶＳＳ電源線９８に接続して構成されている。これらインバータの段数は、第３ダミー回路１５８の遅延時間が、第３信号処理回路１１２の入力端子１１６−１〜１１６−３と出力端子１１７−１、１１７−２との間の信号経路のうち、遅延時間が最も大きい信号経路の遅延時間と最も近いものとなるように決定される。

本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態１５５では、ＶＤＤ電源線９６と、ＶＳＳ電源線９８と、ＶＤＤＰＤ電源線１０１、１０７、１１３と、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３、１１９−１〜１１９−３、１２０−１〜１２０−３と、制御回路１２１と、第１パワースイッチ駆動バッファ１２２と、第２パワースイッチ駆動バッファ１２３と、第３パワースイッチ駆動バッファ１２４と、第１マスク回路１２５と、第２マスク回路１２６と、第３マスク回路１２７と、第１波形エッジ検出回路１２８と、第２波形エッジ検出回路１２９と、第３波形エッジ検出回路１３０と、第１ダミー回路１５６と、第２ダミー回路１５７と、第３ダミー回路１５８とで、本発明の電源システムの第５実施形態が構成されている。

なお、本例では、第１マスク回路１２５は、第１マスク信号ＭＳＫ１＝Ｌレベルのときは、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３の第１信号処理回路１００への転送を遮断し、第１マスク信号ＭＳＫ１＝Ｈレベルのときは、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３を第１信号処理回路１００の入力端子１０４−１〜１０４−３に与える。第２マスク回路１２６は、第２マスク信号ＭＳＫ２＝Ｌレベルのときは、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３の第２信号処理回路１０６への転送を遮断し、第２マスク信号ＭＳＫ２＝Ｈレベルのときは、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３を第２信号処理回路１０６の入力端子１１０−１〜１１０−３に与える。第３マスク回路１２７は、第３マスク信号ＭＳＫ３＝Ｌレベルのときは、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３の第３信号処理回路１１２への転送を遮断し、第３マスク信号ＭＳＫ３＝Ｈレベルのときは、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３を第３信号処理回路１１２の入力端子１１６−１〜１１６−３に与える。

本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態１５５においては、本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６と同様に、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２への電源投入前は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂ、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂ及び第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢはＬレベルとされ、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３、１１９−１〜１１９−３、１２０−１〜１２０−３はオフとされる。

また、第１マスク信号ＭＳＫ１＝Ｌレベルとされ、第１マスク回路１２５は、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３の第１信号処理回路１００への転送を遮断する。また、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＢがＬレベルとされていることから、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１はＬレベルとされる。また、第２マスク信号ＭＳＫ２＝Ｌレベルとされ、第２マスク回路１２６は、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３の第２信号処理回路１０６への転送を遮断する。また、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＢがＬレベルとされていることから、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２はＬレベルとされる。また、第３マスク信号ＭＳＫ３＝Ｌレベルとされ、第３マスク回路１２７は、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３の第３信号処理回路１１２への転送を遮断する。また、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢがＬレベルとされていることから、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３はＬレベルとされる。

ここで、図示しない信号処理回路がＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎをＬレベルからＨレベルに変化させると、制御回路１２１は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＢをＬレベルからＨレベルに変化させる。これにより、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３はオンとなり、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３を介してＶＤＤＰＤ電源線１０１に電源電圧が供給され、ＶＤＤＰＤ電源線１０７は、ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３の駆動能力で決定される定常電圧に向って上昇する。

この結果、ＶＤＤＰＤ電源線１０１から第１信号処理回路１００及び第１ダミー回路１５６に電流が流入し、また、第１信号処理回路１００及び第１ダミー回路１５６からＶＳＳ電源線９８に電流が流出する。これにより、ＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に電源ノイズが発生する。本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態１５５においては、ＶＤＤＰＤ電源線１０１の立ち上がり時に発生する電源ノイズが許容値を超えないようにＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３のゲートに与える第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂの電圧値が予め調整される。

ここで、第１ダミー回路１５６に対する電源投入前は、第１ダミー回路１５６は、仮に第１ダミー回路１５６に電源が投入されている場合には出力信号Ｓ１５６がＬレベルとなるようにされている。そこで、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３及びＶＤＤＰＤ電源線１０１を介して第１ダミー回路１５６に電源電圧ＶＤＤＰＤが与えられると、第１ダミー回路１５６の出力信号Ｓ１５６は、接地電圧ＶＳＳから上昇し、基準電圧Ｖrefを超え、その後、接地電圧ＶＳＳに向って下降する。

そして、第１ダミー回路１５６の出力信号Ｓ１５６が基準電圧Ｖrefと同一電圧になると、第１波形エッジ検出回路１２８は、これを検出し、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１をＬレベルからＨレベルに変化させる。これに応答して、制御回路１２１は、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＢをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、ＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に発生する電源ノイズがピーク値に達するのが検出されると、ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３がオンとなり、ＶＤＤＰＤ電源線１０７にＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３を介して電源電圧が供給され、ＶＤＤＰＤ電源線１０７は、ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３の駆動能力で決定される定常電圧に向って上昇する。

この結果、ＶＤＤＰＤ電源線１０７から第２信号処理回路１０６及び第２ダミー回路１５７に電流が流入し、また、第２信号処理回路１０６及び第２ダミー回路１５７からＶＳＳ電源線９８に電流が流出する。これにより、ＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に電源ノイズが発生する。本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態１５５においては、ＶＤＤＰＤ電源線１０７の立ち上がり時に発生する電源ノイズが許容値を超えないようにＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３のゲートに与える第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂの電圧値が予め調整される。

また、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１がＬレベルからＨレベルに変化すると、これに応答して、制御回路１２１は、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１ＢがＬレベルからＨレベルに変化した後、電源ノイズが収まると予め見込まれている期間が経過すると、第１マスク信号ＭＳＫ１をＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、第１マスク回路１２５は、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３の第１信号処理回路１００への転送遮断を解除し、入力信号ＩＡ１〜ＩＡ３を第１信号処理回路１００の入力端子１０４−１〜１０４−３に与える。

ここで、第２ダミー回路１５７に対する電源投入前は、第２ダミー回路１５７は、仮に第２ダミー回路１５７に電源が投入されている場合には出力信号Ｓ１５７がＬレベルとなるようにされている。そこで、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３及びＶＤＤＰＤ電源線１０７を介して第２ダミー回路１５７に電源電圧ＶＤＤＰＤが与えられると、第２ダミー回路１５７の出力信号Ｓ１５７は、接地電圧ＶＳＳから上昇し、基準電圧Ｖrefを超え、その後、接地電圧ＶＳＳに向って下降する。

そして、第２ダミー回路１５７の出力信号Ｓ１５７が基準電圧Ｖrefと同一電圧になると、第２波形エッジ検出回路１２９は、これを検出し、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２をＬレベルからＨレベルに変化させる。これに応答して、制御回路１２１は、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢをＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、ＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に発生する電源ノイズがピーク値に達したのが検出されると、ＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３がオンとなり、ＶＤＤＰＤ電源線１１３にＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３を介して電源電圧が供給され、ＶＤＤＰＤ電源線１１３は、ＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３の駆動能力で決定される定常電圧に向って上昇する。

この結果、ＶＤＤＰＤ電源線１１３から第３信号処理回路１１２及び第３ダミー回路１５８に電流が流入し、また、第３信号処理回路１１２及び第３ダミー回路１５８からＶＳＳ電源線９８に電流が流出する。これにより、ＶＤＤ電源線９６とＶＳＳ電源線９８との間に電源ノイズが発生する。本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態１５５においては、ＶＤＤＰＤ電源線１１３の立ち上がり時に発生する電源ノイズが許容値を超えないようにＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３のゲートに与える第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３Ｂの電圧値が予め調整される。

また、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２がＬレベルからＨレベルに変化すると、これに応答して、制御回路１２１は、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２ＢがＬレベルからＨレベルに変化した後、電源ノイズが収まると予め見込まれている期間が経過すると、第２マスク信号ＭＳＫ２をＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、第２マスク回路１２６は、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３の第２信号処理回路１０６への転送遮断を解除し、入力信号ＩＢ１〜ＩＢ３を第２信号処理回路１０６の入力端子１１０−１〜１１０−３に与える。

ここで、第３ダミー回路１５８に対する電源投入前は、第３ダミー回路１５８は、仮に第３ダミー回路１５８に電源が投入されている場合には、出力信号Ｓ１５８がＬレベルとなるようにされている。そこで、ＶＤＤ電源線９６からＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３及びＶＤＤＰＤ電源線１１３を介して第３ダミー回路１５８に電源電圧ＶＤＤＰＤが与えられると、第３ダミー回路１５８の出力信号Ｓ１５８は、接地電圧ＶＳＳから上昇し、基準電圧Ｖrefを超え、その後、接地電圧ＶＳＳに向って下降する。

そして、第３ダミー回路１５８の出力信号Ｓ１５８が基準電圧Ｖrefと同一電圧になると、第３波形エッジ検出回路１３０は、これを検出し、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３をＬレベルからＨレベルに変化させる。これに応答して、制御回路１２１は、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３ＢがＬレベルからＨレベルに変化した後、電源ノイズが収まると予め見込まれている期間が経過すると、第３マスク信号ＭＳＫ３をＬレベルからＨレベルに変化させる。この結果、第３マスク回路１２７は、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３の第３信号処理回路１１２への転送遮断を解除し、入力信号ＩＣ１〜ＩＣ３を第３信号処理回路１１２の入力端子１１６−１〜１１６−３に与える。

以上のように、本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態１５５においては、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２に対する電源投入時に、まず、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３をオンとし、第１信号処理回路１００に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給している。次に、第１信号処理回路１００が出力端子１０５−１に出力する出力信号ＯＵＴ１の電位変化を監視することにより第１信号処理回路１００による電源ノイズがピーク値に達したのを検出し、ＮＭＯＳトランジスタ１１９−１〜１１９−３をオンとし、第２信号処理回路１０６に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給している。次に、第２信号処理回路１０６が出力端子１１１−１に出力する出力信号ＯＵＴ２の電位変化を監視することにより第２信号処理回路１０６による電源ノイズがピーク値に達したのを検出し、ＮＭＯＳトランジスタ１２０−１〜１２０−３をオンとし、第３信号処理回路１１２に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給している。

したがって、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２に順に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給する場合に発生する電源ノイズを第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２に同時に電源電圧ＶＤＤＰＤを供給する場合に発生する電源ノイズに比較して小さくすることができる。また、第１信号処理回路１００に対する電源投入時に発生する電源ノイズが収まる時間及び第２信号処理回路１０６に対する電源投入時に発生する電源ノイズが収まる時間を必要以上に長く見込む必要がない。したがって、ＶＤＤＰＤ電源線１０１、１０７、１１３の全ての電源電圧ＶＤＤＰＤが立ち上がる時間を従来手法による場合よりも短縮することができる。

以上のように、本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態１５５によれば、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２に対する電源投入時に発生する電源ノイズが許容値を超えないようにし、かつ、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２に与える電源電圧ＶＤＤＰＤの立ち上がり時間を短縮することができる。

（第６実施形態）
図１６は本発明の半導体集積回路装置の第６実施形態を外部電源と共に示す回路図である。本発明の半導体集積回路装置の第６実施形態１６４は、本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６が備える制御回路１２１と構成の異なる制御回路１６５を設け、その他については、本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６と同様に構成したものである。

制御回路１６５は、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２のうち、起動対象とする信号処理回路及び起動順序を示す起動対象回路・起動順序データＤＡＴＡと、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎと、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆと、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１と、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２と、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３とを入力し、第１パワースイッチ制御信号ＰＳＷ１Ｂと、第２パワースイッチ制御信号ＰＳＷ２Ｂと、第３パワースイッチ制御信号ＰＳＷ３Ｂと、第１マスク信号ＭＳＫ１と、第２マスク信号ＭＳＫ２と、第３マスク信号ＭＳＫ３とを出力するものである。

本発明の半導体集積回路装置の第６実施形態１６４では、ＶＤＤ電源線９６と、ＶＳＳ電源線９８と、ＶＤＤＰＤ電源線１０１、１０７、１１３と、ＮＭＯＳトランジスタ１１８−１〜１１８−３、１１９−１〜１１９−３、１２０−１〜１２０−３と、制御回路１６５と、第１パワースイッチ駆動バッファ１２２と、第２パワースイッチ駆動バッファ１２３と、第３パワースイッチ駆動バッファ１２４と、第１マスク回路１２５と、第２マスク回路１２６と、第３マスク回路１２７と、第１波形エッジ検出回路１２８と、第２波形エッジ検出回路１２９と、第３波形エッジ検出回路１３０とで、本発明の電源システムの第６実施形態が構成されている。

図１７は制御回路１６５の構成を示す回路図である。制御回路１６５は、図１２に示す制御回路１２１と同様にパワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部１４６を設けるほかに、レジスタ部１６８と、割込制御部１６９とを設けている。レジスタ部１６８は、外部から与えられる起動対象回路・起動順序データＤＡＴＡを書き込み可能とされたものである。

割込制御部１６９は、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｎと、ＶＤＤＰＤ電源オフ信号ＶＤＤＰＤ＿Ｏｆｆと、第１波形エッジ検出信号ＷＥＤ１と、第２波形エッジ検出信号ＷＥＤ２と、第３波形エッジ検出信号ＷＥＤ３とを入力し、レジスタ部１６８に書き込まれている起動対象回路・起動順序データＤＡＴＡに従って、パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部１４６（第１パワースイッチ制御信号生成部１４７、第２パワースイッチ制御信号生成部１４８、第３パワースイッチ制御信号生成部１４９、第１マスク信号生成部１５０、第２マスク信号生成部１５１及び第３マスク信号生成部１５２）を制御する。

したがって、例えば、起動対象回路として、第１信号処理回路１００、第２信号処理回路１０６及び第３信号処理回路１１２を示すデータが書き込まれ、起動順序として、一番目に第１信号処理回路１００、二番目に第２信号処理回路１０６、３番目に第３信号処理回路１１２を起動すべきデータが書き込まれている場合には、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎがＬレベルからＨレベルに立ち上がると、割込制御部１６９は、本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態８６の場合と同様に、一番目に第１信号処理回路１００を起動し、二番目に第２信号処理回路１０６を起動し、三番目に第３信号処理回路１１２を起動するように、パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部１４６を制御する。

また、例えば、起動対象回路として、第１信号処理回路１００及び第２信号処理回路１０６を示すデータが書き込まれ、起動順序として、一番目に第２信号処理回路１０６、二番目に第１信号処理回路１００を起動すべきデータが書き込まれている場合には、ＶＤＤＰＤ電源オン信号ＶＤＤＰＤ＿ＯｎがＬレベルからＨレベルに立ち上がると、一番目に第２信号処理回路１０６を起動し、二番目に第１信号処理回路１００を起動するように、パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部１４６を制御する。

本発明の半導体集積回路装置の第６実施形態１６４によれば、起動対象回路とされている信号処理回路に対する電源投入時に発生する電源ノイズが許容値を超えないようにし、かつ、起動対象回路とされている信号処理回路に与える電源電圧ＶＤＤＰＤの立ち上がり時間を短縮することができる。

なお、本発明の半導体集積回路装置及び電源システムの第１実施形態〜第６実施形態においては、ＶＤＤ電源線と一定の内部回路との間にパワースイッチを設けるようにした場合について説明したが、本発明は、ＶＳＳ電源線と一定の内部回路との間にパワースイッチを設ける場合にも適用することができる。

ここで、本発明を整理すると、本発明には、少なくとも、以下の半導体集積回路装置及び電源システムが含まれる。

（付記１）
内部回路と、
前記内部回路に電源を供給するための複数のパワースイッチと、
電源投入時に、少なくとも一つのパワースイッチをオンさせる第1制御回路と、
電源投入時に、前記内部回路の出力信号を検出する検出回路と、
前記検出回路の検出結果に基づいて、残りのパワースイッチをオンさせる第２制御回路とを備えることを特徴とする半導体集積回路装置。

（付記２）
前記内部回路に対する入力信号の転送を遮断し、前記出力信号がＬレベルとなる入力レベルを前記内部回路の入力端子に与えるマスク回路を有し、
前記検出回路は、電源投入後、前記出力信号のレベルが上昇し、その後、下降して所定値になったことを検出し、
前記マスク回路は、前記検出回路が前記出力信号が前記所定値になったことを検出したときは、一定時間経過後に前記入力信号の転送遮断を解除するように制御されることを特徴とする付記１に記載の半導体集積回路装置。

（付記３）
電源線に接続される複数のパワースイッチをオンすることで内部回路に電源を供給する半導体集積回路装置において、
電源投入時に一部のパワースイッチをオンすることで電源を前記内部回路に供給し、
前記内部回路の出力信号が所定値になったことに基づいて他のパワースイッチをオンすることを特徴とする半導体集積回路装置。

（付記４）
前記内部回路に対する入力信号の転送を遮断し、前記出力信号がＬレベルとなる入力レベルを前記内部回路の入力端子に与えるマスク回路と、
電源投入時に、前記出力信号を検出する検出回路とを有し、
前記検出回路は、電源投入後、前記出力信号のレベルが上昇し、その後、下降して前記所定値になったことを検出し、
前記マスク回路は、前記検出回路が前記出力信号が前記所定値になったことを検出したときは、一定時間経過後に前記入力信号の転送遮断を解除するように制御されることを特徴とする付記３に記載の半導体集積回路装置。

（付記５）
第１回路と、
前記第１回路に電源を供給するための第１パワースイッチと、
第２回路と、
前記第２回路に電源を供給するための第２パワースイッチと、
電源投入時に、前記第１パワースイッチをオンさせる第１制御回路と、
前記第１回路の出力信号を検知する検知回路と、
前記検知回路の検知結果に基づいて、前記第２パワースイッチをオンさせる第２制御回路とを備えることを特徴とする電源システム。

（付記６）
前記第１回路に対する入力信号の転送を遮断し、前記第１回路の出力信号がＬレベルとなる入力レベルを前記第１回路の入力端子に与えるマスク回路と、
前記検知回路は、電源投入後、前記出力信号のレベルが上昇し、その後、下降して所定値になったことを検出し、
前記マスク回路は、前記検知回路が前記出力信号が前記所定値になったことを検出したときは、一定時間経過後に前記入力信号の転送遮断を解除するように制御されることを特徴とする付記５に記載の半導体集積回路装置。

（付記７）
内部回路と、
前記内部回路のダミー回路と、
前記内部回路及び前記ダミー回路に電源を供給するための複数のパワースイッチと、
電源投入時に、少なくとも一つのパワースイッチをオンさせる第1制御回路と、
電源投入時に、前記ダミー回路の出力信号を検出する検出回路と、
前記検出回路の検出結果に基づいて、残りのパワースイッチをオンさせる第２制御回路とを備えることを特徴とする半導体集積回路装置。

（付記８）
前記ダミー回路は、前記出力信号がＬレベルとなる入力レベルが与えられ、
前記検出回路は、電源投入後、前記出力信号のレベルが上昇し、その後、下降して所定値になったことを検出することを特徴とする付記７に記載の半導体集積回路装置。

（付記９）
電源線に接続される複数のパワースイッチをオンすることで内部回路に電源を供給する半導体集積回路装置において、
前記複数のパワースイッチをオンすることで電源が供給される前記内部回路のダミー回路を有し、
電源投入時に一部のパワースイッチをオンすることで電源を前記内部回路及び前記ダミー回路に供給し、
前記ダミー回路の出力信号が所定値になったことに基づいて他のパワースイッチをオンすることを特徴とする半導体集積回路装置。

（付記１０）
電源投入時に、前記ダミー回路の出力信号を検出する検出回路を有し、
前記ダミー回路は、前記出力信号がＬレベルとなる入力レベルが与えられ、
前記検出回路は、電源投入後、前記出力信号のレベルが上昇し、その後、下降して前記所定値になったことを検出することを特徴とする付記９に記載の半導体集積回路装置。

（付記１１）
第１回路と、
前記第１回路のダミー回路と、
前記第１回路及び前記第１回路のダミー回路に電源を供給するための第１パワースイッチと、
第２回路と、
前記第２回路のダミー回路と、
前記第２回路及び前記第２回路のダミー回路に電源を供給するための第２パワースイッチと、
電源投入時に、前記第１パワースイッチをオンさせる第１制御回路と、
前記第１回路のダミー回路の出力信号を検知する検知回路と、
前記検知回路の検知結果に基づいて、前記第２パワースイッチをオンさせる第２制御回路とを備えることを特徴とする電源システム。

（付記１２）
前記第１回路のダミー回路は、前記出力信号がＬレベルとなる入力レベルが与えられ、
前記検知回路は、電源投入後、前記出力信号のレベルが上昇し、その後、下降して所定値になったことを検出することを特徴とする付記１１に記載の半導体集積回路装置。

（付記１３）
複数の内部回路と、
各内部回路に対応して設けられ、各内部回路に電源を供給するためのパワースイッチと、
各内部回路に対応して設けられ、各内部回路の出力信号を検知する検知回路と、
起動対象内部回路及び起動順序を記憶する記憶回路と、
電源投入時に、前記記憶回路に記憶された１番目の起動対象内部回路に対応して設けられているパワースイッチをオンとし、以下、ｋ（但し、ｋ＝１、２、…、ｎ−１であり、ｎは起動対象内部回路の個数である。）番目の起動対象内部回路に対応して設けられている検知回路の検知結果に基づいて、ｋ＋１番目の起動対象内部回路に対応して設けられているパワースイッチをオンさせる制御回路とを備えることを特徴とする電源システム。

（付記１４）
複数の内部回路と、
各内部回路に対応して設けられたダミー回路と、
各内部回路に対応して設けられ、各内部回路及び各内部回路に対応して設けられているダミー回路に電源を供給するためのパワースイッチと、
各ダミー回路に対応して設けられ、各ダミー回路の出力信号を検知する検知回路と、
起動対象内部回路及び起動順序を記憶する記憶回路と、
電源投入時に、前記記憶回路に記憶された１番目の起動対象内部回路に対応して設けられているパワースイッチをオンとし、以下、ｋ（但し、ｋ＝１、２、…、ｎ−１であり、ｎは起動対象内部回路の個数である。）番目の起動対象内部回路に対応して設けられている検知回路の検知結果に基づいて、ｋ＋１番目の起動対象内部回路に対応して設けられているパワースイッチをオンさせる制御回路とを備えることを特徴とする電源システム。

１…本発明の半導体集積回路装置の第１実施形態
２…外部電源
３…パッケージ部
４…ダイ部
５…ＶＤＤ電源線
６…抵抗成分
７…インダクタンス成分
８…ＶＳＳ電源線
９…抵抗成分
１０…インダクタンス成分
１１…ＶＤＤ電源線
１２…抵抗成分
１３…ＶＳＳ電源線
１４…抵抗成分
１５…信号処理回路
１６…ＶＤＤＰＤ電源線
１７、１８…電源端子
１９−１、１９−２〜１９−３…入力端子
２０−１、２０−２…出力端子
２１−１〜２１−４、２２−１〜２２−４…ＮＭＯＳトランジスタ
２３…制御回路
２４…第１パワースイッチ駆動バッファ
２５…第２パワースイッチ駆動バッファ
２６…マスク回路
２７…波形エッジ検出回路
３２…割込制御部
３３…パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部
３４…第１パワースイッチ制御信号生成部
３５…第２パワースイッチ制御信号生成部
３６…マスク信号生成部
３９−１、３９−２…インバータ
４０−１、４０−２…ＰＭＯＳトランジスタ
４１−１、４１−２…ＮＭＯＳトランジスタ
４２−１、４２−２…負荷容量
４３−１、４３−２…ノード
４５〜４７…入力端子
４８〜５０…インバータ
５１…比較器
５２…インバータ
５３…ＮＡＮＤ回路
５４…ＮＯＲ回路
５５〜５７…インバータ
５８〜６２…ＮＡＮＤ回路
６３…出力端子
６６…本発明の半導体集積回路装置の第２実施形態
６７…波形エッジ検出回路
７０…インバータ
７１…ＶＤＤ電源線
７２〜７４…ＰＭＯＳトランジスタ
７５…ＮＭＯＳトランジスタ
７６…入力端子
７７…出力端子
８０…本発明の半導体集積回路装置の第３実施形態
８１…ダミー回路
８２…出力端子
８３−１、８３−２、８３−（２ｋ−１）、８３−２ｋ…インバータ
８６…本発明の半導体集積回路装置の第４実施形態
８８…パッケージ部
８９…ダイ部
９０…ＶＤＤ電源線
９１…抵抗成分
９２…インダクタンス成分
９３…ＶＳＳ電源線
９４…抵抗成分
９５…インダクタンス成分
９６…ＶＤＤ電源線
９７…抵抗成分
９８…ＶＳＳ電源線
９９…抵抗成分
１００…第１信号処理回路
１０１…ＶＤＤＰＤ電源線
１０２、１０３…電源端子
１０４−１〜１０４−３…入力端子
１０５−１、１０５−２…出力端子
１０６…第２信号処理回路
１０７…ＶＤＤＰＤ電源線
１０８、１０９…電源端子
１１０−１〜１１０−３…入力端子
１１１−１、１１１−２…出力端子
１１２…第３信号処理回路
１１３…ＶＤＤＰＤ電源線
１１４、１１５…電源端子
１１６−１〜１１６−３…入力端子
１１７−１、１１７−２…出力端子
１１８−１〜１１８−３…ＮＭＯＳトランジスタ
１１９−１〜１１９−３…ＮＭＯＳトランジスタ
１２０−１〜１２０−３…ＮＭＯＳトランジスタ
１２１…制御回路
１２２…第１パワースイッチ駆動バッファ
１２３…第２パワースイッチ駆動バッファ
１２４…第３パワースイッチ駆動バッファ
１２５…第１マスク回路
１２６…第２マスク回路
１２７…第３マスク回路
１２８…第１波形エッジ検出回路
１２９…第２波形エッジ検出回路
１３０…第３波形エッジ検出回路
１３１〜１３３…入力端子
１３４…出力端子
１３５〜１３７…入力端子
１３８…出力端子
１３９〜１４１…入力端子
１４２…出力端子
１４５…割込制御部
１４６…パワースイッチ制御信号及びマスク信号生成部
１４７…第１パワースイッチ制御信号生成部
１４８…第２パワースイッチ制御信号生成部
１４９…第３パワースイッチ制御信号生成部
１５０…第１マスク信号生成部
１５１…第２マスク信号生成部
１５２…第３マスク信号生成部
１５５…本発明の半導体集積回路装置の第５実施形態
１５６…第１ダミー回路
１５７…第２ダミー回路
１５８…第３ダミー回路
１５９〜１６１…出力端子
１６４…本発明の半導体集積回路装置の第６実施形態
１６５…制御回路
１６８…レジスタ部
１６９…割込制御部

Claims (5)

1. 内部回路と、
   前記内部回路に電源を供給するための複数のパワースイッチと、
   電源投入時に、少なくとも一つのパワースイッチをオンさせる第1制御回路と、
   電源投入時に、前記内部回路の出力信号を検出する検出回路と、
   前記検出回路の検出結果に基づいて、残りのパワースイッチをオンさせる第２制御回路と、
   を備えることを特徴とする半導体集積回路装置。
2. 電源線に接続される複数のパワースイッチをオンすることで内部回路に電源を供給する半導体集積回路装置において、
   電源投入時に一部のパワースイッチをオンすることで電源を前記内部回路に供給し、
   前記内部回路の出力信号が所定値になったことに基づいて他のパワースイッチをオンすること
   を特徴とする半導体集積回路装置。
3. 第１回路と、
   前記第１回路に電源を供給するための第１パワースイッチと、
   第２回路と、
   前記第２回路に電源を供給するための第２パワースイッチと、
   電源投入時に、前記第１パワースイッチをオンさせる第１制御回路と、
   前記第１回路の出力信号を検知する検知回路と、
   前記検知回路の検知結果に基づいて、前記第２パワースイッチをオンさせる第２制御回路と、
   を備えることを特徴とする電源システム。
4. 内部回路と、
   前記内部回路のダミー回路と、
   前記内部回路及び前記ダミー回路に電源を供給するための複数のパワースイッチと、
   電源投入時に、少なくとも一つのパワースイッチをオンさせる第1制御回路と、
   電源投入時に、前記ダミー回路の出力信号を検出する検出回路と、
   前記検出回路の検出結果に基づいて、残りのパワースイッチをオンさせる第２制御回路と、
   を備えることを特徴とする半導体集積回路装置。
5. 電源線に接続される複数のパワースイッチをオンすることで内部回路に電源を供給する半導体集積回路装置において、
   前記複数のパワースイッチをオンすることで電源が供給される、前記内部回路のダミー回路を有し、
   電源投入時に一部のパワースイッチをオンすることで電源を前記内部回路及び前記ダミー回路に供給し、
   前記ダミー回路の出力信号が所定値になったことに基づいて他のパワースイッチをオンすること
   を特徴とする半導体集積回路装置。

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