JP5277731B2 - 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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- 液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
第1空間に配置され、前記第1空間の前記液体を送出するために前記液体と接触して動く可動部材と、
前記第1空間の外側に配置され、電流の供給により電磁力を発生して、前記可動部材を非接触で動かす駆動装置と、
前記駆動装置を制御して、前記第1空間の前記液体の温度調整を実行する制御装置と、を備えた露光装置。 - 前記駆動装置で発生する熱の前記第1空間への伝達により、前記温度調整が実行される請求項1記載の露光装置。
- 前記駆動装置の制御は、前記駆動装置に供給する電流値の制御を含む請求項1又は2記載の露光装置。
- 前記駆動装置に供給される電流値と前記液体の温度との関係が予め記憶された記憶装置を備え、
前記制御装置は、前記記憶装置の記憶情報に基づいて、前記駆動装置を制御する請求項3記載の露光装置。 - 前記可動部材は回転し、
前記駆動装置の制御は、前記駆動装置の駆動による前記可動部材の単位時間当たりの回転数の制御を含む請求項1〜4のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記可動部材の単位時間当たりの回転数と前記液体の温度との関係が予め記憶された記憶装置を備え、
前記制御装置は、前記記憶装置の記憶情報に基づいて、前記駆動装置を制御する請求項5記載の露光装置。 - 前記第1空間より送出される液体の温度を検出する温度センサを備え、
前記制御装置は、前記温度センサの検出結果に基づいて、前記駆動装置を制御する請求項1〜6のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記駆動装置は、磁性材料を含むステータと、前記ステータの周囲に配置されたコイルとを含み、
前記コイルに電流が供給される請求項1〜7のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記可動部材は、前記ステータに非接触状態で支持されて回転するロータを含む請求項8記載の露光装置。
- 前記可動部材は、インペラを含む請求項1〜9のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1空間に接続され、前記第1空間から送出された前記液体が流れる第1流路と、
前記第1流路を流れる液体の少なくとも一部を、前記露光光の光路を含む所定空間に供給するための第2流路と、
前記第1流路を流れる液体の少なくとも一部を前記第1空間に戻すための第3流路とを有する請求項1〜10のいずれか一項記載の露光装置。 - 請求項1〜11のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 液体を介して露光光で基板を露光する露光方法であって、
第1空間に可動部材を配置することと、
前記第1空間の外側に配置された駆動装置に電流を供給して、前記駆動装置が発生する電磁力により前記可動部材を非接触で動かして、前記第1空間において前記可動部材に接触した前記液体を前記第1空間から送出することと、
前記駆動装置を制御して、前記第1空間の前記液体の温度調整を実行することと、
前記第1空間において温度調整された前記液体を前記露光光の光路を含む所定空間に供給することと、
前記所定空間に供給された前記液体を介して前記基板を露光することと、を含む露光方法。 - 請求項13記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008144995A JP5277731B2 (ja) | 2008-06-02 | 2008-06-02 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008144995A JP5277731B2 (ja) | 2008-06-02 | 2008-06-02 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009295629A JP2009295629A (ja) | 2009-12-17 |
JP5277731B2 true JP5277731B2 (ja) | 2013-08-28 |
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ID=41543589
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008144995A Expired - Fee Related JP5277731B2 (ja) | 2008-06-02 | 2008-06-02 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5277731B2 (ja) |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4608876B2 (ja) * | 2002-12-10 | 2011-01-12 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイス製造方法 |
EP2261741A3 (en) * | 2003-06-11 | 2011-05-25 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7738074B2 (en) * | 2003-07-16 | 2010-06-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7779781B2 (en) * | 2003-07-31 | 2010-08-24 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2005106038A (ja) * | 2003-10-02 | 2005-04-21 | Toshiba Tec Corp | 軸流ポンプおよび流体循環装置 |
JP2005236047A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Canon Inc | 露光装置及び方法 |
JP4980922B2 (ja) * | 2004-11-18 | 2012-07-18 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置及びマイクロリソグラフィ投影露光装置の像面湾曲を修正するための方法 |
JP2006222165A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Canon Inc | 露光装置 |
US7580112B2 (en) * | 2005-08-25 | 2009-08-25 | Nikon Corporation | Containment system for immersion fluid in an immersion lithography apparatus |
US8045134B2 (en) * | 2006-03-13 | 2011-10-25 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, control system and device manufacturing method |
JP2007332840A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Aisan Ind Co Ltd | 電動ポンプ |
WO2008013706A1 (en) * | 2006-07-21 | 2008-01-31 | Entegris, Inc. | Apparatus and method for conditioning an immersion fluid |
US7443483B2 (en) * | 2006-08-11 | 2008-10-28 | Entegris, Inc. | Systems and methods for fluid flow control in an immersion lithography system |
US20080043211A1 (en) * | 2006-08-21 | 2008-02-21 | Nikon Corporation | Apparatus and methods for recovering fluid in immersion lithography |
US8045135B2 (en) * | 2006-11-22 | 2011-10-25 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus with a fluid combining unit and related device manufacturing method |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009295629A (ja) | 2009-12-17 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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