JP5271820B2 - 光学部品保持部材およびその作製方法 - Google Patents

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Description

本発明は、セラミック製の光学部品保持部材およびその作製方法に関する。
携帯電話にはカメラ付きのものが一般化しており、また自動車にも後方確認用のカメラが搭載されてきている。これらカメラ付き携帯電話やカメラ付き自動車等に搭載されるカメラを構成する撮影レンズユニットには、極めて高い信頼性が要求されている。特に、自動車は専ら屋外で利用され、携帯電話も屋外で利用されることも多く、高温や低温、急激な温度変化による温度ショックまで、厳しい環境条件下での性能安定性や耐久性が必要とされている。
そこで、温度変化の影響が極めて小さいセラミック製のレンズ保持部材が注目を受けてきている。
ここで、レンズ等の光学部品を保持するための保持部材として、スポシュメンやコージェライトで低熱膨張性、剛性及び耐磨耗性を兼ね備え、黒色を呈するセラミックスを使用する事例が報告されている(特許文献1)。また、例えば、コージェライトをベースとしてカーボンを含有することにより黒色を呈する光学部品保持用セラミックスが提案されている(特許文献2)。
また、光学部品保持部材への応用では無いが、緻密質のセラミックスを黒色化し、焼結時の色むら等を抑制する報告例もある。
しかし、緻密質のセラミックスの場合、焼結時の収縮が大きいため、焼結体の精度がばらつき、そのために、二次的加工が必要となり、例えば、これを高均一性と高精度が求められる光学部品保持部材として使用する場合においては、コスト高になるなどの問題がある。
さらに、多孔質で黒色を呈するセラミックス部品を焼結後未加工で使用する精密成形技術と組み合わせることで、セラミックス製保持部材を実用上低コストで提供可能な技術が提案されている(特許文献3)。
また、屋外利用の場合、結露防止も重要な課題である。
特許文献4,5により、カメラ装置においてレンズユニット構成部分に通気性材料を用いることが結露に対して有効であることが明らかにされているが、穴を開けてその穴に通気性材料を設置するなど複雑な工程と特殊な材料を必要としている。
温度変動に対し寸法変化の小さいセラミックは、環境変化に対して性能安定のために有効であるが、強度は高くもろい性質を有するため、通気のための、先行技術のような追加工および部品の組み込みを行なうことは困難である。
そこで、全体を通気性を持った素材で構成することは後加工を不要とし有効な手段となるが、従来の素材では部品全体を構成できない。
また、いずれの特許文献においても、セラミックスの脱脂、焼成のプロセスにおいて生成される気孔とその気孔による通気性に関しての言及は無く、結露に対する有効性も示されていない。
特開2002−220277号公報 特開平11−343168号公報 特開2007−238430号公報 特開2006−19894号公報 特開2006−350187号公報
本発明は、上記事情に鑑み、結露防止に有効な通気性を有するセラミック製の光学部品保持部材およびその作製方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成する本発明の光学部品保持部材は、ケイ素と窒素を反応させ窒化せしめる焼結工程を経て作製された窒化ケイ素セラミックス基複合材料からなる、光学部品を保持するための光学部品保持部材であって、
上記窒化ケイ素セラミックス基複合材料中に炭化ケイ素および鉄化合物を含有し、その窒化ケイ素基セラミックスの厚さ1mmのサンプルの両面間に気圧差0.4MPaの気圧を加えたときの有効通気面積1.5cmでの1分間あたりの通気量が50ミリリットル以上であることを特徴とする。
ここで、厚さ1mmのサンプルの両面間に気圧差0.4MPaの気圧を加えたときの有効通気面積1.5cmでの1分間あたりの通気量が50ミリリットル以上である上記窒化ケイ素セラミックス基複合材料で作製された光学部品保持部材の場合、結露の十分な防止が確認されている。
また、上記目的を達成する本発明の光学部品保持部材の作製方法は、成形体主成分のケイ素と窒素を反応させ窒化せしめる工程を経て作製される窒化ケイ素セラミックス基複合材料からなる、光学部品を保持するための光学部品保持部材の作製方法であって、
上記光学部品保持部材を得るためには、ケイ素粉末に対して炭化ケイ素及び鉄化合物粉末を混合、成形後に窒素中にて主成分のケイ素を窒化せしめる工程を経ることで、それらの含有量に応じて通気量がコントロールされた窒化ケイ素セラミックス基複合材料が作製される。
ここで、上記光学部品保持部材の作製方法において、上記成形体を作製するにあたり、ケイ素粉末に対して炭化ケイ素粉末と10mass%未満の酸化鉄Fe粉末を混合した原料粉末を作製した後、成形することが好ましく、好適には上記成形体を作製するにあたり、ケイ素粉末に対して、30mass%の炭化ケイ素粉末と、5mass%以下の酸化鉄Fe粉末を混合した原料粉末を作製した後、成形することが望ましい。
さらに好適には、本発明の光学部品保持部材の作製方法において、上記原料粉末を用い、適量の有機バインダーを添加した後、射出成形によって作製された成形体を用い、有機バインダーを除去した後、窒素中にて主成分のケイ素を窒化せしめる工程を経ることで、複雑形状を有し、通気量がコントロールされた窒化ケイ素セラミックス基複合材料の光学部品を保持するための光学部品保持部材を得ることができる。
以上の本発明によれば、結露防止に有効な通気性を有するセラミック製の光学部品保持部材が作製される。
セラミック製のレンズホルダを備えたレンズユニットの構成を示す図である。 ケイ素と炭化ケイ素の混合材料にさらに酸化鉄を加えた場合の通気量を示す図である。 ケイ素と炭化ケイ素の混合材料にさらに酸化鉄を加えた場合の開気孔率を示す図である。
以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は、セラミック製のレンズホルダを備えたレンズユニットの構成を示す図である。
図1のレンズユニット1にはレンズホルダ10が備えられており、そのレンズホルダ10には対物側開口101と結像側開口102とを有する中空部100が設けられている。このレンズホルダ10の対物側外周には雄ネジSR1が形成され、その対物側開口101から複数のレンズL1〜L4,複数の間隔環SP1〜SP3が光軸を揃えて装入される。なお、この例では、複数のレンズL1〜L4と複数の間隔環SP1〜SP3とが交互に配置されるようにしてレンズホルダ10の中空部100に順次に装入される構成のレンズユニットが示されているが、間隔環SP1〜SP3が省略されレンズの周縁部どうしを接触させることで各レンズの位置決めを行なう構成のレンズユニットもある。
更に図1のレンズユニット1には、レンズホルダ10の中空部100の内部に装入された複数のレンズL1〜L4および間隔環SP1〜SP3を、対物側開口101から押さえ込んで固定するためのホルダキャップ11が備えられている。このホルダキャップ11は、レンズホルダ10の対物側の部分が入り込む装着開口110とレンズホルダ内に装入された複数のレンズのうちの最も対物側に装入されたレンズL1の中央部を露出させる光学開口111とを有し、装着開口内側の内壁に、上記雄ネジSR1と螺合する雌ネジSR2が形成され、その雄ネジSR1とその雌ネジSR2との螺合により最も対物側に位置するレンズL1の対物側の面の周縁部を押えている。
このホルダキャップ11によってレンズホルダ10内の複数のレンズL1〜L4および複数の間隔環SP1〜SP3が結像側開口側に向かって押さえ込まれることにより図1のレンズユニットが組み立てられている。
ここで、このレンズユニット1には、自動車に搭載することを考慮してレンズホルダ10にセラミックが用いられ、複数のレンズL1〜L4にガラスレンズが用いられている。さらにホルダキャップ11にもレンズホルダ10と同質のセラミックが用いられている。さらに、ここに示す例では、間隔環SP1〜SP3も、セラミック製のものが用いられている。
この図1に示す例では、レンズホルダ10(あるいはレンズホルダ10とホルダキャップ11とを合わせたもの)が本発明にいう光学部品保持部材の一例に相当する。
このレンズホルダ10およびホルダキャップ11としては、炭化ケイ素および鉄化合物を含有する窒化ケイ素セラミックス基複合材料が用いられている。この焼結窒化ケイ素基セラミックスの線膨張係数は、約3×10−6であってレンズL1〜L4の材料であるガラスの線膨張係数(5〜10×10−6)にほぼ等しい。また、間隔環SP1〜SP3はジルコニアを原料とするセラミック製であって、線膨張係数は8〜11×10−6であり、こちらもガラスの線膨張係数(5〜10×10−6)にほぼ等しい。
このように、この図1に示すレンズユニット1の場合、そのレンズユニット1を構成する、レンズホルダ10、ホルダキャップ11、レンズL1〜L4、および間隔環SP1〜SP3のいずれにも線膨張係数の極めて小さい材料を用い、かつほぼ等しい線膨張係数の材料で構成することで、広範囲の温度環境で使用可能な構造となっている。
また、レンズホルダ10およびホルダキャップ11として用いられている焼結窒化ケイ素基セラミックスは多孔質セラミックであり、厚さ1mmのサンプルの両面間に気圧差0.4MPaの気圧を加えたときの有効通気面積1.5cmでの1分間あたりの通気量が50ミリリットル以上である。この多孔質による通気性により、結露も有効に防止されている。
以下では、上記レンズホルダ10(又は、レンズホルダ10とレンズキャップ11)の好適な材料を探る一連の実験を説明することで、本発明の実施例を説明する。
図2は、ケイ素粉末と炭化ケイ素粉末に対して、さらに酸化鉄Feを加えた混合粉末を成形後、窒素中にてケイ素を窒化せしめる工程を経た後、得られた窒化ケイ素セラミックス基複合材料の通気量を示す図であり、加えたFeの割合に対する通気量の変化を表している。
尚、ここで測定に用いたセラミックス基複合材料の各種測定結果は上記原料粉末に対して有機バインダーを添加した後、射出成形により板状の成形品を、脱脂および窒化により得られた厚さ1mm、直径14mmφの円盤について、有効通気面積が1.5cmの測定装置を使用した測定した結果である。この測定装置は、サンプルをOリングで固定して測定する、有効通気範囲が13.8mmφの測定装置であって、その有効通気範囲を有効通気面積に換算すると1.5cmとなる。
また、以下における材料比率の%は全てmass%である。
この図2の横軸は、1mm厚の焼結体板材の両面間に加えたエアー圧力(MPa)であり、縦軸は1分間あたりのエアー流量(ミリリットル)である。
また、この図2には、ケイ素70%と炭化ケイ素30%の混合材料に対する酸化鉄Feの添加割合を変えた種々の材料の焼成体の通気量を示している。
例えば、「酸化鉄+5%」は、ケイ素70%と炭化ケイ素30%の混合材料が95%、酸化鉄FeOが5%であることを意味している。また、この図2中の「ケイ素+炭化ケイ素30%」は、酸化鉄が0%(混合していない)であることを意味し、「ケイ素のみ」は、ケイ素100%であって、炭化ケイ素も酸化鉄も含まれていないことを意味している。
また、図3はケイ素と炭化ケイ素の混合材料にさらに酸化鉄を加えた場合の開気孔率を示す図である。
この図3は、図2と同様、ケイ素70%と炭化ケイ素30%の混合材料に対する酸化鉄Feの添加割合を変えた種々の材料の焼成体の開気孔率を示している。
この図3の横軸は、酸化鉄Feの添加量(mass%)であり、縦軸は開気孔率(%)である。
酸化鉄Feの添加量を増やしていくと、開気孔率は、図3に示すように、添加量が少ないときは添加量の増加に伴って急激に低下し、その後は緩やかに低下するが、通気量は、図2に示すように、添加量の増加に伴って急激に低下し、「10%酸化鉄Fe添加」で、通気量はほぼゼロとなっている。
ここで、図1に示すレンズホルダ11およびホルダキャップ12を「5%酸化鉄Fe」の原料粉末を用い、有機バインダーを添加後、射出成形、脱脂、窒化することによって得られた窒化ケイ素セラミックス基複合材料で、図1に示すレンズユニット1を組み立てた場合に、十分な結露防止性能が得られた。
この図2,図3は、ケイ素粉末70%に炭化ケイ素粉末30%に対して、酸化鉄Fe粉末の添加量を変えた場合の例であるが、酸化鉄Fe粉末の添加量を一定としてケイ素粉末と炭化ケイ素粉末の混合比率を変えることにより通気量の調整を行なうこともできる。ただし、図2に示すように混合粉末中にしめる酸化鉄Fe粉末の量が10%では、得られた窒化ケイ素セラミックス基複合材料の通気が阻害されるため、混合粉末中にしめる酸化鉄Fe粉末の量は10%未満であることが好ましい。
さらには、ケイ素粉末70%と炭化ケイ素粉末30%に対して、添加する酸化鉄Fe粉末の量は5%以下であることが好ましい。
1 レンズユニット
10 レンズホルダ
11 ホルダキャップ
100 中空部
101 対物側開口
110 装着側開口
L1〜L4 レンズ
SP1〜SP3 間隔環
SR1 雄ネジ

Claims (4)

  1. 窒化ケイ素セラミックス基複合材料からなる、光学部品を保持するための光学部品保持部材であって、
    前記窒化ケイ素セラミックス基複合材料中に炭化ケイ素および鉄化合物を含有し、該窒化ケイ素セラミックス基複合材の厚さ1mmのサンプルの両面間に気圧差0.4MPaの気圧を加えたときの有効通気面積1.5cmでの1分間あたりの通気量が50ミリリットル以上であり、
    前記窒化ケイ素セラミックス基複合材料は、ケイ素粉末に対して、30mass%の炭化ケイ素粉末を添加し、さらに、それらケイ素粉末と炭化ケイ素粉末の総和に対して5mass%以下の酸化鉄Fe 粉末を添加して混合し、得られた混合粉末を用いて成形体を作製、窒素と反応させ窒化せしめる工程を経て作製されるものであることを特徴とする光学部品保持部材。
  2. 前記窒化ケイ素セラミックス基複合材料中に含まれる鉄化合物がケイ化鉄であることを特徴とする請求項1記載の光学部品保持部材。
  3. ケイ素粉末に対して、30mass%の炭化ケイ素粉末を添加し、さらに、それらケイ素粉末と炭化ケイ素粉末の総和に対して5mass%以下の酸化鉄Fe 粉末を添加して混合し、得られた混合粉末を用いて成形体を作製、窒素と反応させ窒化せしめる工程を経て作製される窒化ケイ素セラミックス基複合材料からなる光学部品保持部材において、前記窒化ケイ素セラミックス基複合材料からなる光学部品保持部材の厚さ1mmのサンプルの両面間に気圧差0.4MPaの気圧を加えたときの有効通気面積1.5cmでの1分間あたりの通気量が50ミリリットル以上である窒化ケイ素セラミックス基複合材料からなる光学部品保持部材を作製することを特徴とする光学部品保持部材の作製方法。
  4. 前記混合粉末を用いて、射出成形により成形体を作製することを特徴とする請求項3記載の光学部品保持部材の作製方法。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8916090B2 (en) * 2011-07-07 2014-12-23 Karl Storz Imaging, Inc. Endoscopic camera component manufacturing method
JP6772622B2 (ja) * 2016-07-27 2020-10-21 日亜化学工業株式会社 光源装置
CN112684651B (zh) * 2020-03-20 2022-08-02 江西联创电子有限公司 一种附加镜头

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3007287U (ja) * 1994-07-18 1995-02-14 株式会社リボール 浴室の結露防止天井装置
JPH11343168A (ja) 1998-05-29 1999-12-14 Kyocera Corp 低熱膨張黒色セラミックス及びその製造方法、並びに半導体製造装置用部材
US6265334B1 (en) * 1997-10-24 2001-07-24 Kyocera Corporation Ceramic sintered product and process for producing the same
JP4809987B2 (ja) * 2000-03-30 2011-11-09 キヤノン株式会社 光学要素の支持構造、それを用いた露光装置及び半導体デバイスの製造方法
JP4446611B2 (ja) 2001-01-24 2010-04-07 株式会社フェローテックセラミックス 黒色低熱膨張セラミックスおよび露光装置用部材
EP1323684B9 (en) * 2000-09-20 2010-03-03 Ferrotec Ceramics Corporation Low thermal expansion ceramic and member for exposure system
JP2002336190A (ja) * 2001-03-12 2002-11-26 Olympus Optical Co Ltd 内視鏡
WO2003098724A1 (fr) * 2002-05-22 2003-11-27 Nippon Shokubai Co., Ltd. Substrat support d'electrode utilise comme pile a combustible de type oxyde solide et son procede de production
JP2003343966A (ja) * 2002-05-27 2003-12-03 Sharp Corp 冷凍冷蔵庫
JP2004184882A (ja) * 2002-12-06 2004-07-02 Taiheiyo Cement Corp 光学用部材
JP4379598B2 (ja) 2004-06-30 2009-12-09 オムロン株式会社 防水型視覚センサ
JP2006350187A (ja) 2005-06-20 2006-12-28 Auto Network Gijutsu Kenkyusho:Kk カメラ装置
TWI372271B (en) * 2005-09-13 2012-09-11 Zeiss Carl Smt Gmbh Optical element unit, optical element holder, method of manufacturing an optical element holder, optical element module, optical exposure apparatus, and method of manufacturing a semiconductor device
US7749931B2 (en) 2006-02-13 2010-07-06 Fujifilm Corporation Ceramic optical parts and production methods thereof
JP4904465B2 (ja) * 2006-02-13 2012-03-28 独立行政法人産業技術総合研究所 セラミックス光学部品及びその製造方法
JP5458246B2 (ja) * 2009-06-11 2014-04-02 富士フイルム株式会社 光学部品保持部材およびその作製方法

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