JP5262086B2 - 多結晶シリコンの製造装置 - Google Patents
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- C01B33/027—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
- C01B33/035—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds in the presence of heated filaments of silicon, carbon or a refractory metal, e.g. tantalum or tungsten, or in the presence of heated silicon rods on which the formed silicon is deposited, a silicon rod being obtained, e.g. Siemens process
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Description
2 基台
3 ベルジャ
4 シリコン芯棒
5 電極
6 噴出ノズル
6a ガス噴出口
7 ガス排出口
8 原料ガス供給源
9 排ガス処理系
12 連結部材
13 シード組み立て体
15 加熱装置
16 カーボンヒータ
21 排ガス管
21a ストレート部
21b 曲管部
22 スリーブ
23 フランジ
24 直管部
25 突出部
Claims (5)
- 反応炉内で複数のシリコン芯棒を加熱し、その表面に原料ガスの反応により多結晶シリコンを析出させる多結晶シリコンの製造装置において、
前記反応炉の底部に、反応後の排ガスを排出するガス排出口が設けられるとともに、該ガス排出口から外部に通じる排ガス管が接続され、該排ガス管内に、前記ガス排出口から排ガス管に至る内周面を覆うスリーブが抜き差し可能に設けられており、前記ガス排出口は、その周縁部を前記反応炉の底部上面よりも盛り上げるように形成された突出部の上面に露出しており、前記スリーブの一端部に、前記突出部の上面における前記ガス排出口の周縁部に被せられるフランジが設けられ、該フランジの外周縁が面取りされていることを特徴とする多結晶シリコンの製造装置。 - 前記スリーブの先端の外周縁が面取りされていることを特徴とする請求項1記載の多結晶シリコンの製造装置。
- 前記ガス排出口は前記反応炉の内底面に開口するとともに、前記排ガス管は上下方向に沿って設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の多結晶シリコンの製造装置。
- 前記スリーブの内周面は、表面粗さ(Ra)が3μm〜20μmであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の多結晶シリコンの製造装置。
- 前記スリーブは、カーボンによって形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の多結晶シリコンの製造装置。
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