JP2009126773A - 多結晶シリコンの製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応炉1の内底部に配設された複数の電極5に、上下方向に延びるシリコン芯棒4をそれぞれ立設しておき、反応炉1内に原料ガスを供給するとともに、シリコン芯棒4に電極5から通電することによりシリコン芯棒4を発熱させて、シリコン芯棒4の表面に原料ガスによって多結晶シリコンを析出させる多結晶シリコンの製造方法において、複数本のシリコン芯棒4のうち、長さが小さいシリコン芯棒4を反応炉1の外周部に近い位置の電極5に立設し、残りのシリコン芯棒4を他の電極5に立設した状態として、多結晶シリコンを析出させる。
【選択図】図3
Description
この場合、原料ガスの噴出ノズル6は、各シリコン芯棒4に対して均一に原料ガスを供給することができるように、反応炉1の基台2の上面のほぼ全域に分散して適宜の間隔をあけながら複数設置されている。これら噴出ノズル6は、反応炉1の外部の原料ガス供給源8に接続されている。また、ガス排出口7は、基台2の上の外周部付近に周方向に適宜の間隔をあけて複数設置され、外部の排ガス処理系9に接続されている。
2 基台
3 ベルジャ
4 シリコン芯棒
5 電極
6 噴出ノズル
7 排気口
8 原料ガス供給源
9 排ガス処理系
12 連結部材
13 シード組み立て体
21 加熱装置
22 カーボンヒータ
Claims (2)
- 反応炉の内底部に配設された複数の電極に、上下方向に延びるシリコン芯棒をそれぞれ立設しておき、反応炉内に原料ガスを供給するとともに、前記シリコン芯棒に前記電極から通電することによりシリコン芯棒を発熱させて、該シリコン芯棒の表面に前記原料ガスによって多結晶シリコンを析出させる多結晶シリコンの製造方法において、
複数本のシリコン芯棒のうち、長さが小さいシリコン芯棒を反応炉の外周部に近い位置の前記電極に立設し、残りのシリコン芯棒を他の電極に立設した状態として、多結晶シリコンを析出させることを特徴とする多結晶シリコンの製造方法。 - 反応炉の内底部に配設された複数の電極に、上下方向に延びるシリコン芯棒がそれぞれ立設され、これらシリコン芯棒に前記電極から通電することによりシリコン芯棒を発熱させ、反応炉内に供給した原料ガスによって前記シリコン芯棒の表面に多結晶シリコンを析出させる多結晶シリコン製造装置において、
前記シリコン芯棒は、反応炉の外周部に近い位置に配置されているシリコン芯棒の長さが他のシリコン芯棒よりも小さく設定されていることを特徴とする多結晶シリコン製造装置。
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CN110683547B (zh) * | 2019-11-18 | 2023-12-26 | 新疆东方希望新能源有限公司 | 一种72对棒还原炉高压击穿系统及其方法 |
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