JP5257287B2 - レーザ装置 - Google Patents
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Description
2 放電電極
3 循環ブロア
4、5 ブロック
6 部分反射鏡
7 全反射鏡
8 冷却ユニット
9 配管
10 熱交換器
11 電源盤
12 制御装置
14 シリンダー
15 ピストン
21 ホルダー
22、29 押さえ
23、24、27、28 Oリング
25 透過型光学部品
26 空洞部
31 ガスフィルタ
41、42 圧力センサ
43 制御器
44 圧力弁
45 加圧ポンプ
実施の形態1.
図1は本実施の形態1におけるレーザ装置の構成を示すブロック図である。図1において、筐体である真空容器1の内部にはレーザ媒質が封入され、一対の放電電極2が設けられる。レーザ媒質は循環ブロア3により一対の放電電極2間に循環供給される。本実施の形態1ではレーザ媒質としてCO2を用いたCO2ガスレーザ装置を用いて説明する。CO2ガスレーザ装置の場合、一般にレーザ媒質の主成分はCO2ガスであり、ヘリウム(He)ガス及び窒素(N2)ガスを含む。放電電極2には図示しない電源から所定の電圧が印加され、レーザ媒質のエネルギーを励起してレーザ光が発生する。レーザ光の光軸上にはそれぞれ保持部材であるブロック4及び5に保持された部分反射鏡6及び全反射鏡7が設けられる。
実施の形態1では、圧力調整器としてシリンダー14及びピストン15を備えた場合を例にとり説明したが、必ずしもこれらを備える必要はない。たとえば、圧力調整器としてシリンダー14内部にガスフィルタを備える構成としてもよい。本実施の形態2では、シリンダー14内に不活性ガスのみを通過させるガスフィルタを設ける場合を例にとり説明する。
実施の形態1及び2では、真空容器1と空洞部29に配管を通じて接続された圧力調整器を備えた場合を例にとり説明したが、必ずしも配管を通じて接続される必要はない。たとえば、真空容器1と空洞部29のそれぞれに圧力を検出する圧力センサを備え、検出した圧力が等しくなるよう、空洞部29または真空容器1の圧力を調整してもよい。本実施の形態3では、圧力センサの検出結果に基づきポンプに接続された圧力弁を制御する場合を例にとり説明する。
Claims (8)
- 気体であるレーザ媒質が封入されレーザ光が発生する筐体と、
前記筐体に接続され不活性ガスが封入される保持部材と、
前記レーザ媒質と前記不活性ガスとを隔て前記レーザ光を透過させる透過型光学部品と、
前記透過型光学部品に対向するよう前記保持部材に保持され、前記透過型光学部品を通過した前記レーザ光を反射及び通過をさせ且つ前記不活性ガスと外気とを隔てる部分反射鏡、または前記透過型光学部品を通過した前記レーザ光を全反射させる全反射鏡と、
前記レーザ媒質の圧力と前記不活性ガスの圧力を略同一に保つ圧力調整手段と、
を備え、
前記圧力調整手段は、
第1空間が前記保持部材と配管で接続されるとともに第2空間が前記筐体と配管で接続されたシリンダーと
前記シリンダー内を第1空間と第2空間とに隔て前記第1空間と第2空間の圧力が略等しくなるよう調整する圧力調整機構とからなり、
圧力調整機構は、所定の気体を通過させるガスフィルタである
ことを特徴とするレーザ装置。 - 気体であるレーザ媒質が封入されレーザ光が発生する筐体と、
前記筐体に接続され不活性ガスが封入される保持部材と、
前記レーザ媒質と前記不活性ガスとを隔て前記レーザ光を透過させる透過型光学部品と、
前記透過型光学部品に対向するよう前記保持部材に保持され、前記透過型光学部品を通過した前記レーザ光を反射及び通過をさせ且つ前記不活性ガスと外気とを隔てる部分反射鏡、または前記透過型光学部品を通過した前記レーザ光を全反射させる全反射鏡と、
前記レーザ媒質の圧力と前記不活性ガスの圧力を略同一に保つ圧力調整手段と、
を備え、
前記圧力調整手段は、
前記筐体と前記保持部材とを接続し前記レーザ媒質または前記不活性ガスで満たされる配管と、
前記筐体内または前記保持部材内に設けられ前記レーザ媒質と前記不活性ガスとを隔て所定の気体を通過させるガスフィルタからなることを特徴とするレーザ装置。 - 前記所定の気体は不活性ガスであることを特徴とする、請求項1または2に記載のレーザ装置。
- 前記不活性ガスはヘリウムガスであることを特徴とする、請求項3に記載のレーザ装置。
- 前記ガスフィルタは、ポリイミドフィルムにより構成されることを特徴とする、請求項1または2に記載のレーザ装置。
- 前記圧力調整手段は、
前記筐体内の圧力を検出する第1の圧力計と、
前記保持部材内の圧力を検出する第2の圧力計と、
前記第1の圧力計で検出された圧力と前記第2の圧力計で検出された圧力とに応じて圧力弁に制御信号を送る制御器と、
前記制御信号により開閉する圧力弁と、
前記圧力弁を有する配管により前記保持部材と接続されたポンプと
からなることを特徴とする、請求項1または2に記載のレーザ装置。 - 前記レーザ媒質の主成分はCO2ガスであり、前記不活性ガスは窒素ガスであることを特徴とする、請求項1または2に記載のレーザ装置。
- 前記透過型光学部品はダイアモンドで構成されることを特徴とする、請求項1または2に記載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009174262A JP5257287B2 (ja) | 2009-07-27 | 2009-07-27 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009174262A JP5257287B2 (ja) | 2009-07-27 | 2009-07-27 | レーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011029438A JP2011029438A (ja) | 2011-02-10 |
JP5257287B2 true JP5257287B2 (ja) | 2013-08-07 |
Family
ID=43637839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009174262A Expired - Fee Related JP5257287B2 (ja) | 2009-07-27 | 2009-07-27 | レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5257287B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6322276B2 (ja) * | 2014-02-19 | 2018-05-09 | スペクトロニクス株式会社 | 波長変換装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61203689A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-09 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振装置 |
JPS62234523A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-10-14 | Toa Nenryo Kogyo Kk | 高分子複合膜によるガス分離方法 |
JPH01181486A (ja) * | 1988-01-08 | 1989-07-19 | Toshiba Corp | 色素レーザ装置 |
JPH065952A (ja) * | 1992-02-06 | 1994-01-14 | Mitsubishi Electric Corp | 放電励起型レーザ装置 |
FR2688098B1 (fr) * | 1992-03-02 | 1994-04-15 | Lair Liquide | Laser de puissance a fenetre diamant non revetue. |
JPH08198964A (ja) * | 1995-01-30 | 1996-08-06 | Dainippon Ink & Chem Inc | ポリイミド気体分離膜 |
JP4007708B2 (ja) * | 1999-02-24 | 2007-11-14 | 株式会社小松製作所 | 真空紫外レーザ |
JP4094772B2 (ja) * | 1999-06-18 | 2008-06-04 | 株式会社小松製作所 | フッ素レーザ装置 |
JP4269549B2 (ja) * | 2001-09-07 | 2009-05-27 | 宇部興産株式会社 | 新規ポリイミド選択透過膜 |
JP4293113B2 (ja) * | 2004-11-09 | 2009-07-08 | 三菱電機株式会社 | 炭酸ガスレーザ装置 |
-
2009
- 2009-07-27 JP JP2009174262A patent/JP5257287B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011029438A (ja) | 2011-02-10 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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