JP5256003B2 - 光学式検査装置および光学式検査方法 - Google Patents
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Description
(但し、n=0〜6)
201 内周異物検出波形
202 外周異物検出波形
203 A/D変換サンプリング信号
301,302,1321,1322,1323 増幅回路
303 雑音除去フィルタ
304,1331,1332,1333 A/D変換回路
305 デジタル信号処理回路
306 欠陥検出処理回路
307 ホストコンピュータ
310,1311,1312,1313 ホトマル
402 プロセッサ
411 デジタルフィルタ
412 信号振幅補正回路
413 LOG変換回路
414 閾値処理回路
501 係数メモリ
502 振幅補正係数メモリ
504 積和演算回路
621〜627 乗算器
631〜636 加算器
700 欠陥検出信号
701 異物検出信号
702 ノイズ成分
711〜714 相関フィルタ係数
720 相関フィルタ出力信号
801〜803,811〜813,901〜904,911〜914 フィルタ係数
1200 異物あるいは欠陥
1202 照明光の光源
1203 光検出器
1204 チャック
1205 被検査物体移動ステージ
1208 Zステージ
1301 レーザ光源
1341,1342,1343 信号処理回路
Claims (8)
- 主走査が回転移動で副走査が並進移動から成る被検査物体移動ステージと、
レーザ光源と、前記レーザ光源から発せられるレーザ光を被検査物体表面上の照明スポットとして照射する照明部と、
前記照明スポットからの光を検出して検出信号に変換する検出部と、
前記検出信号をデジタルデータに変換するA/D変換部と、
前記被検査物体表面上で照明スポットが照射されている位置の主走査方向の角度座標情報を検出する角度座標検出部と、
前記デジタルデータから異物や欠陥の大きさを算出する粒径算出部と、
前記角度座標検出部からの情報に基づいて前記異物や欠陥の被検査物体表面上における位置座標値を算出する異物・欠陥座標算出部とを具備する光学式検査装置であって、
前記粒径算出部は、前記照明スポットの前記被検査物体表面上の位置に対応して、周波数特性が可変な波形相関マッチングフィルタ部を有し、
さらに、前記波形相関マッチングフィルタ部の後段に、前記照明スポットの前記被検査物体表面上の位置に対応して、信号の大きさを可変する信号振幅補正部を有することを特徴とする光学式検査装置。 - 請求項1において、
前記照明スポットの位置が、前記被検査物体表面上の半径方向に対して大きくなるほど、前記波形相関マッチングフィルタ部の周波数帯域を大きく、前記信号振幅補正部の補正量を大きくすることを特徴とする光学式検査装置。 - 請求項1において、
前記波形相関マッチングフィルタ部は、マッチングデータとして、ガウス波形を用い、
前記検出信号のガウス波形の時間軸上の信号幅を、前記A/D変換部のサンプリング周波数で割り算した個数以上の段数を有する積和演算で構成したことを特徴とする光学式検査装置。 - 請求項3において、
前記波形相関マッチングフィルタ部は、前記検出信号のサンプリングデータを間引いてフィルタ処理可能な構成であることを特徴とする光学式検査装置。 - 被検査体を回転させながら検査する光学式検査方法において、
レーザ光源から発せられるレーザ光を被検査物体表面上の照明スポットとして照射し、
前記照明スポットからの光を検出して検出信号に変換し、
前記検出信号をデジタルデータに変換し、
前記被検査物体表面上で照明スポットが照射されている位置の角度座標情報を検出し、
前記デジタルデータから異物や欠陥の大きさを算出し、
前記角度座標情報に基づいて前記異物や欠陥の被検査物体表面上における位置座標値を算出し、
異物や欠陥の大きさを算出する際に、前記照明スポットの前記被検査物体表面上の位置に対応して、周波数特性が可変な波形相関マッチングフィルタ処理を行い、
さらに、前記波形相関マッチングフィルタ処理の後に、前記照明スポットの前記被検査物体表面上の位置に対応して、信号の大きさを可変する信号振幅補正処理を行うことを特徴とする光学式検査方法。 - 請求項5において、
前記照明スポットの位置が、前記被検査物体表面上の半径方向に対して大きくなるほど、前記波形相関マッチングフィルタ処理の周波数帯域を大きく、前記信号振幅補正処理の補正量を大きくすることを特徴とする光学式検査方法。 - 請求項6において、
前記波形相関マッチングフィルタ処理は、マッチングデータとして、ガウス波形を用い、前記検出信号のガウス波形の時間軸上の信号幅を、前記A/D変換のサンプリング周波数で割り算した個数以上の段数を有する積和演算を用いることを特徴とする光学式検査方法。 - 請求項7において、
前記波形相関マッチングフィルタ処理は、前記検出信号のサンプリングデータを間引いてフィルタ処理することを特徴とする光学式検査方法。
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