JP5292268B2 - パターンドメディア用ハードディスク表面検査装置及び表面検査方法 - Google Patents
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Description
形成されたハードディスク表面に2次元的に走査して検査光を照射し、前記ハードディス
ク表面からの散乱光を受光して前記ハードディスク表面の欠陥を検出する際に、前記散乱
光のうちサーボエリアからの第1散乱光に基づいてサーボエリアを設定し、前記サーボエリアの設定結果から前記散乱光のうちデータエリアからの第2散乱光を抽出し、前記データエリアの欠陥を検出することを第1の特徴とする。
の設定は前記データエリアからの前記第2散乱光を受光するデータ検出散乱系が受光する前記第1散乱光に基づいて行なうことを第2の特徴とする。
正反射系25はハードディスク表面で反射された反射光のうち主としてハーフミラー29で分配された正反射光26を集光し結像する正反射系レンズ27と正反射光26を受光する正反射光受光器28からなる。
データ検出散乱系36は散乱光32を集光し結像するデータ検出レンズ36Rと結像された散乱光を受光するデータ検出受光器36Jを有する。同様にサーボ検出散乱系38は散乱光32を集光し結像するサーボ検出レンズ38Rとサーボ検出受光器38Jを有する。
正反射光受光器28、データ検出受光器36J及びサーボ検出受光器38Jの出力は前処理部4に入力される。なお、正反射光受光器、データ検出受光器及びサーボ検出受光器としてはAPDやフォトマル等を用いる。
データ検出処理系41Sはデータ検出信号36jにダイナミックレンジを広げるために所定量オフセットするデータ検出オフセット回路41Fとデータ検出オフセット回路の出力信号であるデータ検出オフセット後信号41fをAD変換するAD変換器41Cとを有する。
さらに、正反射処理系43Sは反射光受光器28の出力信号をAD変換するAD変換器43Cを有する。
え字dはデータエリア信号を、添え字sはサーボエリア信号を示す。
図5はデータ検出処理系41Sの各位置の信号波形を示した図である。図5(a)は図
3(b)で示したデータ検出信号36jを、図5(b)はデータ検出信号36jをオフセッ
ト(本実施形態ではマイナス2.5V)したデータ検出オフセット後信号41fを示した図
である。
は図3(a)で示したサーボ検出信号38jを、図6(b)はサーボ検出信号38jを構成する信号のうちサーボエリア信号38sを抽出するためにオフセット(本実施形態ではマイ
ナス約1.5V)したサーボ検出オフセット後信号41fを、図6(c)は零レベル以下をカットしサーボエリア信号のみであるサーボ検出オフセット後信号41fを、欠陥情報を得
易くするために、即ち有意成分を得るために約5倍に増幅したサーボ検出増幅信号42z
を示した図である。
走査は螺旋に限らず矩形上に走査させてもよいし、検査光学系1側を走査させてもよい。
3:ワークテーブル 4:前処理部
10:走査部 11:データ処理装置
12:処理部 13:記憶部
14:インターフェース 15:表示装置
20:照射系 25:正反射系
28:正反射光受光器 29:ハーフミラー
30:散乱系 32:散乱光
34:マスク 35:輝度分配スプリッタ
36:データ検出散乱系 36J:データ検出受光器
38:サーボ検出散乱系 38J:サーボ検出受光器
41S:データ検出処理系 42S:サーボ検出処理系
43S:正反射処理系
50:パターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
Claims (17)
- サーボエリア及びデータエリアにパターンが形成されたハードディスク表面に2次元的に走査して検査光を照射し、前記ハードディスク表面からの散乱光を受光して前記ハードディスク表面の欠陥を検出するパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置において、
前記散乱光のうちサーボエリアからの第1散乱光と飽和せずにデータエリアからの第2散乱光とを受光するデータ検出散乱系と、前記第1散乱光を飽和せずに受光するサーボ検出散乱系と、前記第1散乱光に基づいてサーボエリアを設定するサーボエリア設定手段と、前記サーボエリア設定手段の設定結果に基づいて前記データ検出散乱系の前記第2散乱光の成分を抽出する第2散乱光抽出手段と、前記第2散乱光抽出手段の結果に基づいてデータエリアの欠陥を検出するデータエリア欠陥検出手段とを有することを特徴とするパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。 - 前記サーボエリア設定手段は前記データ検出散乱系が受光する前記第1散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項1にパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
- 前記サーボエリア設定手段は前記サーボ検出散乱系が受光する前記第1散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項1にパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
- 前記サーボエリア設定手段は前記サーボエリアの設定を前記サーボエリアの周期性、サーボエリア幅のうち少なくとも一方に基づいて行なうことを特徴とする請求項1に記載の
パターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。 - 前記データエリア欠陥検出手段は前記第2散乱光の有意成分を拡大する手段を有することを特徴とする請求項1に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
- 前記サーボ検出散乱系で受光した受光信号のうち前記第1散乱光の有意成分を拡大し、サーボエリアの欠陥を検出するサーボエリア欠陥検出手段を有することを特徴とする請求項1に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。
- 前記拡大は前記第1散乱光に負のバイアス成分を与え、その後増幅して行なうことを特
徴とする請求項6に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。 - 前記散乱光を分配して前記データ検出散乱系と前記サーボ検出散乱系に入力する分配手
段を有することを特徴とする請求項1に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面
検査装置。 - 前記分配手段の後段に信号レベル調整するレベル調整手段を有することを特徴する請求
項8に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。 - 前記サーボ検出散乱系は前記データ検出散乱系を兼ね、前記データ検出散乱系の出力信
号は前記サーボ検出散乱系の出力信号を増幅して得られることを特徴とする請求項1に記
載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査装置。 - サーボエリア及びデータエリアにパターンが形成されたハードディスク表面に2次元的
に走査して検査光を照射し、前記ハードディスク表面からの散乱光を受光して前記ハード
ディスク表面の欠陥を検出するパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法におい
て、
前記散乱光のうちサーボエリアからの第1散乱光に基づいてサーボエリアを設定する設定ステップと、前記サーボエリアの設定結果から前記散乱光のうちデータエリアからの第2散乱光を抽出し、前記データエリアの欠陥を検出するデータエリア欠陥検出ステップを有すること特徴とするパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。 - 前記設定ステップは前記第2散乱光を受光するデータ検出散乱系が受光する前記第1散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項11にパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
- 前記設定ステップはサーボ検出散乱系の前記第1散乱光に基づいて行なうことを特徴とする請求項11にパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
- 前記設定ステップは前記サーボエリアの設定を前記サーボエリアの周期性、サーボエリ
ア幅のうち少なくとも一方に基づいて行なうことを特徴とする請求項11に記載のパター
ンドメディア用ハードディスク表面検査方法。 - 前記データエリア欠陥検出ステップは前記第2散乱光の有意成分を拡大するステップを
有することを特徴とする請求項11に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検
査方法。 - 前記第1散乱光を飽和せずに受光するサーボ検出散乱系検出ステップと、前記サーボ検出散乱系検出ステップで受光した前記第1散乱光の有意成分を拡大し、サーボエリアの欠陥を検出するサーボエリア欠陥検出ステップを有することを特徴とする請求項11に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
- 前記拡大は前記第1散乱光に負のバイアス成分を与え、その後増幅して行なうことを特
徴とする請求項16に記載のパターンドメディア用ハードディスク表面検査方法。
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