JP5253779B2 - 焼鈍方法及び焼鈍装置 - Google Patents
焼鈍方法及び焼鈍装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5253779B2 JP5253779B2 JP2007235950A JP2007235950A JP5253779B2 JP 5253779 B2 JP5253779 B2 JP 5253779B2 JP 2007235950 A JP2007235950 A JP 2007235950A JP 2007235950 A JP2007235950 A JP 2007235950A JP 5253779 B2 JP5253779 B2 JP 5253779B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- electrode
- plasma
- annealing
- processing chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Heat Treatment Of Strip Materials And Filament Materials (AREA)
Description
図1において、1は全体として本発明の焼鈍装置を示し、図示しないダイスによって伸線された線材2aを焼鈍処理及び洗浄処理するようになされている。また、この焼鈍装置1は、例えば銅線や金属線等の中実からなり、線径が大きく選定された線材2aに用いられ得る。
図1との対応部分に同一符号を付して示す図7において、30は全体として第2の実施の形態による焼鈍装置を示し、第1の実施の形態とは筒状電極31及び筒状誘電体32の構成が異なり、円筒状の筒状電極31の内周面に円筒状の筒状誘電体32が設けられた構成を有する。
そして、このプラズマ発生部33は、制御部7の制御に基づいて、ガス導入管から不活性ガスを処理室3内に供給し、電源12を介して筒状電極31及び線材2a間に所定電圧を印加することにより、筒状電極31及び線材2a間にプラズマを発生させ得る。
図1との対応部分に同一符号を付して示す図8において、40は全体として第3の実施の形態による焼鈍装置を示し、第1の実施の形態とはプラズマ発生部41の構成が異なり、第1の実施の形態の線材2aに比べて線径が小さく細い線材2bに対し焼鈍処理及び洗浄処理するようになされている。
図6との対応部分に同一符号を付して示す図9において、50は全体として第4の実施の形態による焼鈍装置を示し、第3の実施の形態とはプラズマ発生部51の構成が異なる。
なお、本発明は、本実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である、被加工材としての線材2a,2bに替えて、例えば板材や、帯状部材等の各種形状の被加工材を適用するようにしても良く、また筒状の被加工材でも良い。
2a、2b 線材(被加工材)
3 処理室
4、33、41、51 プラズマ発生部(プラズマ発生手段)
11 電極
31 筒状電極(電極)
42、52 第1の電極
43、53 第2の電極
Claims (4)
- 加工によって硬化した被加工材にプラズマを照射することにより該被加工材を焼鈍する焼鈍方法において、
所定の反応ガスが供給される処理室に前記被加工材を搬送し、
前記処理室内に対向するように配置された第1の電極及び第2の電極間に所定の電圧を印加して、前記第1の電極及び前記第2の電極間に前記プラズマを発生させる
ことを特徴とする焼鈍方法。 - 前記第1の電極及び前記第2の電極に誘電体が設けられており、前記誘電体を介在させて前記第1の電極及び前記第2の電極間に前記プラズマを発生させる
ことを特徴とする請求項1記載の焼鈍方法。 - 加工によって硬化した被加工材を焼鈍する焼鈍装置において、
プラズマを発生させ、前記被加工材に対して前記プラズマを照射するプラズマ発生手段を備え、
前記プラズマ発生手段は、
所定の反応ガスが供給されると共に、前記被加工材が搬送される処理室と、
前記処理室内に設けられた第1の電極と、
前記処理室内に設けられ、前記第1の電極と対向するように配置された第2の電極と、
前記第1の電極及び前記第2の電極間に所定の電圧を印加して、前記第1の電極及び前記第2の電極間に前記プラズマを発生させる電源と
を備え、
前記プラズマにより前記被加工材を焼鈍する
ことを特徴とする焼鈍装置。 - 前記被加工材と所定の空間を空けて前記第1の電極及び前記第2の電極に誘電体が設けられている
ことを特徴とする請求項3記載の焼鈍装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007235950A JP5253779B2 (ja) | 2007-09-11 | 2007-09-11 | 焼鈍方法及び焼鈍装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007235950A JP5253779B2 (ja) | 2007-09-11 | 2007-09-11 | 焼鈍方法及び焼鈍装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009068049A JP2009068049A (ja) | 2009-04-02 |
JP5253779B2 true JP5253779B2 (ja) | 2013-07-31 |
Family
ID=40604624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007235950A Expired - Fee Related JP5253779B2 (ja) | 2007-09-11 | 2007-09-11 | 焼鈍方法及び焼鈍装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5253779B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111270176A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-06-12 | 江阴六环合金线有限公司 | 热镀锡铜包钢生产工艺 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011117020A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Yazaki Corp | アルミニウム撚り電線の焼鈍方法、及び、線材の焼鈍方法 |
JP2014201791A (ja) * | 2013-04-04 | 2014-10-27 | 日立金属株式会社 | 銅線及びその製造方法 |
CN106467933B (zh) * | 2016-08-29 | 2018-10-09 | 江苏大学 | 一种基于梯度晶粒的激光冲击强化方法 |
-
2007
- 2007-09-11 JP JP2007235950A patent/JP5253779B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111270176A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-06-12 | 江阴六环合金线有限公司 | 热镀锡铜包钢生产工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009068049A (ja) | 2009-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107849631B (zh) | 线状槽形成方法及线状槽形成装置 | |
JP5253779B2 (ja) | 焼鈍方法及び焼鈍装置 | |
JP6332185B2 (ja) | 鋼板表面に線状溝を形成する方法 | |
KR101242953B1 (ko) | 도금 방법 및 아연 도금 장치 | |
JP5271456B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP2002543273A (ja) | 導電性連続材料を処理するための装置及び方法 | |
JP2011018821A (ja) | 表面処理方法 | |
KR101242916B1 (ko) | 고강도강의 표면 처리 방법 및 도금 방법 | |
JP2012523675A (ja) | プラズマ表面処理装置および方法 | |
KR101242832B1 (ko) | 고강도강의 표면 처리 방법 | |
JP2007188823A (ja) | 処理ガス吐出装置及びこれを備えた表面処理装置 | |
JP2020136112A (ja) | プラズマ装置 | |
JP2012142551A (ja) | 加熱処理方法およびその装置 | |
TWI595563B (zh) | Semiconductor manufacturing method and semiconductor manufacturing apparatus | |
CN114207157A (zh) | 线状槽形成方法、线状槽形成装置以及取向性电磁钢板的制造方法 | |
JP2007042503A (ja) | 大気圧プラズマ処理装置および大気圧プラズマ処理方法 | |
JP4551154B2 (ja) | 高周波直接通電焼入装置による連続焼入焼戻方法 | |
JP2004211161A (ja) | プラズマ発生装置 | |
JP2006022368A (ja) | 表面処理装置および表面処理方法 | |
JP2007087872A (ja) | プラズマ表面処理方法および装置 | |
KR100612407B1 (ko) | 인쇄회로 기판의 비아홀의 세정 장치 및 공정 시스템 | |
JP2012228728A (ja) | 加工方法および加工装置 | |
JP7221032B2 (ja) | 載置台および被処理体の除電方法 | |
JP3726423B2 (ja) | 表面改質方法及び表面改質装置 | |
JPH07132316A (ja) | 金属帯板の連続脱スケール方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100831 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100831 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101013 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20101013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121210 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130417 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160426 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |