JP2009068049A - 焼鈍方法及び焼鈍装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】焼鈍装置1では線材2aにプラズマPを照射することで、線材2aの表面に残存した潤滑油を除去することができると共に、線材2aを焼鈍処理することができ、従来、別々に行われていた潤滑油を除去する洗浄工程と、焼鈍処理により線材2aを軟化させる焼鈍工程とを線材2aの表面品質を低下させることなく同時に行え、加工工程を簡略化でき、加工作業を効率的に行うことができる。
【選択図】図1
Description
図1において、1は全体として本発明の焼鈍装置を示し、図示しないダイスによって伸線された線材2aを焼鈍処理及び洗浄処理するようになされている。また、この焼鈍装置1は、例えば銅線や金属線等の中実からなり、線径が大きく選定された線材2aに用いられ得る。
図1との対応部分に同一符号を付して示す図7において、30は全体として第2の実施の形態による焼鈍装置を示し、第1の実施の形態とは筒状電極31及び筒状誘電体32の構成が異なり、円筒状の筒状電極31の内周面に円筒状の筒状誘電体32が設けられた構成を有する。
そして、このプラズマ発生部33は、制御部7の制御に基づいて、ガス導入管から不活性ガスを処理室3内に供給し、電源12を介して筒状電極31及び線材2a間に所定電圧を印加することにより、筒状電極31及び線材2a間にプラズマを発生させ得る。
図1との対応部分に同一符号を付して示す図8において、40は全体として第3の実施の形態による焼鈍装置を示し、第1の実施の形態とはプラズマ発生部41の構成が異なり、第1の実施の形態の線材2aに比べて線径が小さく細い線材2bに対し焼鈍処理及び洗浄処理するようになされている。
図6との対応部分に同一符号を付して示す図9において、50は全体として第4の実施の形態による焼鈍装置を示し、第3の実施の形態とはプラズマ発生部51の構成が異なる。
なお、本発明は、本実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である、被加工材としての線材2a,2bに替えて、例えば板材や、帯状部材等の各種形状の被加工材を適用するようにしても良く、また筒状の被加工材でも良い。
2a、2b 線材(被加工材)
3 処理室
4、33、41、51 プラズマ発生部(プラズマ発生手段)
11 電極
31 筒状電極(電極)
42、52 第1の電極
43、53 第2の電極
Claims (10)
- 加工によって硬化した被加工材を焼鈍する焼鈍方法において、
前記被加工材にプラズマを照射することにより該被加工材を焼鈍する
ことを特徴とする焼鈍方法。 - 所定の反応ガスが供給される処理室に前記被加工材を搬送し、
前記処理室内に対向するように配置された電極及び前記被加工材間に所定の電圧を印加して、前記電極及び前記被加工材間に前記プラズマを発生させる
ことを特徴とする請求項1記載の焼鈍方法。 - 前記電極に誘電体が設けられており、前記誘電体を介在させて前記電極及び前記被加工材間に前記プラズマを発生させる
ことを特徴とする請求項2記載の焼鈍方法。 - 所定の反応ガスが供給される処理室に前記被加工材を搬送し、
前記処理室内に対向するように配置された第1の電極及び第2の電極間に所定の電圧を印加して、前記第1の電極及び前記第2の電極間に前記プラズマを発生させる
ことを特徴とする請求項1記載の焼鈍方法。 - 前記第1の電極及び前記第2の電極に誘電体が設けられており、前記誘電体を介在させて前記第1の電極及び前記第2の電極間に前記プラズマを発生させる
ことを特徴とする請求項4記載の焼鈍方法。 - 加工によって硬化した被加工材を焼鈍する焼鈍装置において、
プラズマを発生させ、前記被加工材に対して前記プラズマを照射するプラズマ発生手段を備え、
前記プラズマにより前記被加工材を焼鈍する
ことを特徴とする焼鈍装置。 - 前記プラズマ発生手段は、
所定の反応ガスが供給されると共に、前記被加工材が搬送される処理室と、
前記被加工材と対向するように前記処理室内に配置された電極と、
前記電極及び前記被加工材間に所定の電圧を印加して、前記電極及び前記被加工材間に前記プラズマを発生させる電源と
を備えることを特徴とする請求項6記載の焼鈍装置。 - 前記被加工材と所定の空間を空けて前記電極に誘電体が設けられている
ことを特徴とする請求項7記載の焼鈍装置。 - 前記プラズマ発生手段は、
所定の反応ガスが供給されると共に、前記被加工材が搬送される処理室と、
前記処理室内に設けられた第1の電極と、
前記処理室内に設けられ、前記第1の電極と対向するように配置された第2の電極と、
前記第1の電極及び前記第2の電極間に所定の電圧を印加して、前記第1の電極及び前記第2の電極間に前記プラズマを発生させる電源と
を備えることを特徴とする請求項6記載の焼鈍装置。 - 前記被加工材と所定の空間を空けて前記第1の電極及び前記第2の電極に誘電体が設けられている
ことを特徴とする請求項9記載の焼鈍装置。
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