JP5237202B2 - アクチュエータ、防振装置 - Google Patents

Description

本発明は、加振手段として用いられるアクチュエータ、及び、一般産業機械、自動車におけるエンジンマウント等として用いられ、エンジン等の振動発生部から車体等の振動受部へ伝達される振動を吸収及び減衰させる防振装置に関する。

車両の振動発生部となるエンジンと振動受部となる車体との間にはエンジンマウントとしての防振装置が配設されており、この防振装置はエンジンが発生する振動を吸収し、車体側への振動伝達を抑制する。このような防振装置として、能動型防振装置であるアクティブコントロールエンジンマウントが開発されている。例えば、特許文献１、２には、ゴム弾性体の変形に従って拡縮する主液室と、この主液室に制限通路（オリフィス）により接続された副液室とを備えた液体封入型のエンジンマウントが開示されており、主液室に面した可動板を、リニアアクチュエータを用いて加振している。

ところで、リニアアクチュエータを加振手段として用いる場合、リニアアクチュエータの可動子の移動量が過大となるのを規制するため、ストッパが設けられることがある。特許文献１、２では、このストッパは可動板の加振方向外側に設けられている。このように、ストッパを可動板の外側に設けた場合、可動子の移動量を正確に規制しようとすると、ストッパの位置決めが難しい。

特開２００５−２３９０８４号 特開２００８−１８５１２６号

本発明は、上記事実を考慮して成されたものであり、可動子の移動量を正確に規制可能なアクチュエータ、及び、このアクチュエータを備えた防振装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に係るアクチュエータは、防振装置に用いられるアクチュエータであって、軸部材、及び、前記軸部材の軸方向中間部に固定され前記軸部材の径方向外側に張り出した張出部、を有し、前記軸方向に往復運動可能とされた可動子と、前記可動子の外周を囲むように配置され、磁性体で構成されるヨーク部、励磁用コイル、及び、前記張出部を径方向に挟んで対向配置された永久磁石対を含んで構成された固定子と、前記固定子に固定され、前記軸方向に前記張出部と対向して離間配置されたストッパ部材と、を備えている。

本発明のアクチュエータは、軸方向に往復運動する可動子が、軸部材の径方向外側に張り出した張出部を有している。張出部は、軸部材の中間部に固定され、可動子と共に軸方向に往復運動する。一方、固定子には、軸方向に張出部と対向して離間配置されたストッパ部材が固定されている。可動子の軸方向の移動量が張出部とストッパ部材との離間距離以上になると、張出部がストッパ部に当たって、可動子の移動量が規制される。

本発明によれば、ストッパ部材が固定子に固定され、ストッパ部材に当てられる張出部が可動子に固定されているので、可動板などの加振対象とアクチュエータの外側に設けられたストッパとを当てて、可動子の移動量を規制する場合と比較して、可動子の移動量を正確に規制することができる。

請求項２に係るアクチュエータは、前記ストッパ部材が、前記固定子の前記可動子と対向する内周端から前記張出部の外周端よりも前記軸部材に近い位置まで延出されていること、を特徴とする。

このように、ストッパ部材を、固定子の可動子と対向する内周端から張出部の外周端よりも軸部材に近い位置まで延出することにより、ストッパ部材と張出部とを軸方向に対向配置させることができる。

請求項３に係るアクチュエータは、前記ストッパ部材が、前記ヨーク部の前記軸方向の少なくとも一方の端面に固定されていること、を特徴とする。

このように、ヨーク部の軸方向の端面に固定することで、ストッパ部材を簡易に固定することができる。

請求項４に係るアクチュエータは、前記ストッパ部材が、少なくとも前記張出部と対向した部分が緩衝部材で被覆されていること、を特徴とする。

上記構成によれば、緩衝部材での緩衝により、ストッパ部材と張出部との衝突の際の衝撃を緩和することができる。

請求項５に係る防振装置は、振動発生部及び振動受部の一方に連結される第１の取付部材と、振動発生部及び振動受部の他方に連結される第２の取付部材と、前記第１の取付部材と前記第２の取付部材とを連結し、振動発生部からの振動入力により変形する弾性体と、液体が封入されると共に前記弾性体の変形により拡縮する主液室を前記弾性体との間に構成する可動板と、前記可動板を挟んで前記主液室と逆側に配置され、振動発生部及び振動受部の一方に前記固定子が固定されると共に、前記可動子の軸部材が連結され、前記可動板を加振する、請求項１〜４のいずれか１項に記載のアクチュエータと、を備えている。

本発明の防振装置では、可動子の軸部材に連結されて加振される可動板は、アクチュエータに設けられたストッパ部材と張出部により移動量が規制される。したがって、可動板の振幅方向外側に、ストッパ部材を設ける必要がなく、防振装置を簡易な構成とすることができる。

請求項６に係る防振装置は、少なくとも一部がダイヤフラムによって構成されて液圧変化に応じて拡縮する副液室と、前記主液室と前記副液室とを連通させる制限通路と、を備えている。

上記のように、副液室、制限通路を設けることにより、主液室と副液室との間で液体を流通させて、制限通路内での液柱共振等により、効果的に制振効果及び防振効果を得ることができる。

請求項７に係る防振装置は、前記副液室が、前記弾性体を挟んで前記主液室と逆側に構成され、隔壁の一部が前記弾性体で構成されていること、を特徴とする。

上記のように、副液室を、弾性体を挟んで主液室と逆側に設けることにより、弾性体の一部を副液室の隔壁として用いることができる。

以上説明したように本発明のアクチュエータによれば、可動子の移動量を正確に規制することができる。また、本発明のアクチュエータを用いることにより、防振装置を簡易な構成とすることができる。

本発明の実施形態に係る防振装置の構成を示す側断面図である。 本発明の実施形態に係る防振装置の構成を示す図１から９０度回転させた側断面図である。 本発明の実施形態に係るアクチュエータの構成を示す分解斜視図である。 本発明の実施形態に係るアクチュエータの構成を示す側断面図である。 本発明の実施形態に係るアクチュエータの構成を示す図４から９０度回転させた側断面図である。 本発明の実施形態に係るアクチュエータの振動入力時における動作説明図である。 本発明の実施形態の変形例に係るアクチュエータの構成を示す側断面図である。 本発明の実施形態の他の変形例に係るアクチュエータの構成を示す側断面図である。

以下、本発明に係るアクチュエータ、および、防振装置の実施形態について図面を参照して説明する。

図１及び図２には本発明の実施形態に係る防振装置１０が示されている。この防振装置１０は、自動車における振動発生部であるエンジンを振動受部である車体へ支持するエンジンマウントとして適用されるものである。なお、図中の符号Ｓは装置の軸心を示し、この軸心に沿った方向を装置の軸方向Ｓとして以下の説明を行う。

図１に示されるように、防振装置１０は、エンジン側に取り付けられる第１取付部材１２、後述する脚部材９６を介して車体側に取り付けられる第２取付部材２０、第１取付部材１２と第２取付部材２０とを連結するゴム弾性体１６を備えている。

第２取付部材２０は、外筒２２、及び、中間筒２４を含んで構成されている。外筒２２は、略円筒形状の円筒部２２Ａ、円筒部２２Ａの一端から径方向外側に延出されたフランジ部２２Ｂ、及び、円筒部２２Ａの他端側で中間筒２４の端部や後述する封止板４０などをかしめて固定するカシメ部２２Ｃを有している。中間筒２４は、円筒部２２Ａよりも小径の略円筒形状とされ、外筒２２の径方向内側に同軸的に配置されている。中間筒２４の一端側は、僅かに径方向外側へ湾曲した湾曲部２４Ａとされ、他端側は、径方向外側に段付きで屈曲された段付フランジ部２４Ｂとされている。外筒２２のフランジ部２２Ｂには、リバウンドストッパ金具１３との連結用のボルト穴２２Ｈが穿孔されている。
図１に示すように、防振装置１０の上部外側には、リバウンドストッパ金具１３が配置されている。リバウンドストッパ金具１３は、略Ｕ字状に湾曲された頂部の内側にゴム材１３Ａが接着されており、取付部１３Ｂでボルト１３Ｃ及びナット１３Ｄにより第２取付部材２０へ固定されている。なお、リバウンドストッパ金具１３については、図１以外の図面では、図示を省略している。
第２取付部材２０は、後述する脚部材９６を介して、車体（不図示）に連結される。

第１取付部材１２は、外径が第２取付部材２０の内径よりも小径の略円柱状とされ、第２取付部材２０と同軸的に、かつ、軸方向Ｓで第２取付部材２０よりも外側に突出して配置されている。第１取付部材１２の第２取付部材２０側は、先端に向かって小径となるような略テーパー形状とされている。第１取付部材１２の第２取付部材２０と逆側は、リバウンドストッパ金具１３のゴム材１３Ａと対向配置されている。第１取付部材１２は、不図示の取付部によってエンジン（不図示）と連結されている。

ゴム弾性体１６は、第１取付部材１２の小径側先端外周に加硫接着されると共に、中間筒２４の湾曲部２４Ａ側の内周に湾曲部２４Ａの外周側をも覆うように加硫接着されており、第１取付部材１２と中間筒２４とを弾性的に連結している。ゴム弾性体１６の下面（第２取付部材２０側の面）には、凹部１６Ａが構成されている。ゴム弾性体１６には、第１取付部材１２の外周面を覆う薄肉の上部膜１７が一体的に構成されている。また、ゴム弾性体１６には、中間筒２４の段付フランジ部２４Ｂ側に延びて中間筒２４の内周面を覆う薄肉の下部膜１８が一体的に構成されている。

外筒２２の円筒部２２Ａ内側には、ダイヤフラム３０が加硫接着されている。ダイヤフラム３０は、薄肉のゴム膜で構成されており、略円筒状とされている。ダイヤフラム３０の円筒の一端は、径方向内側へ湾曲して縮径されリング３４に加硫接着されている。リング３４は、上部膜１７を介して第１取付部材１２に外嵌されている。ダイヤフラム３０の円筒の他端は、外筒２２のカシメ部２２Ｃ側へ延出され円筒部２２Ａの内周面を覆う被覆膜３２を構成している。

第２取付部材２０の第１取付部材１２と逆側には、封止板４０が配置されている。ゴム弾性体１６の凹部１６Ａ、中間筒２４、及び封止板４０により囲まれて、主液室３６が構成されている。ゴム弾性体１６とダイヤフラム３０の間には、環状に副液室３８が構成されている。外筒２２と中間筒２４との間には、オリフィス通路２６が構成されている。オリフィス通路２６は、一端が主液室３６と連通され、他端が副液室３８と連通されており、オリフィス通路２６によって、主液室３６と副液室３８とが連通されている。主液室３６、副液室３８、及び、オリフィス通路２６には、液体が充填されている。

エンジンに連結された第１取付部材１２側から軸方向Ｓの振動が入力されると、ゴム弾性体１６が弾性変形し、この弾性変形に伴って主液室３６の内容積が拡縮する。これにより、エンジンから入力される振動のうち比較的低い周波数域の振動、例えばシェイク振動等の入力時には、主液室３６と副液室３８との圧力差により主液室３６内に封入された液体と副液室３８内に封入された液体がオリフィス通路２６を通して相互に流通し、オリフィス通路２６内での液柱共振作用等により、制振効果及び防振効果を得ることができる。オリフィス通路２６は、その路長や断面積が、エンジンシェイク等の低周波大振幅振動の周波数域で制振効果が有効に発揮されるように設定されている。

封止板４０は、円板状とされ、外周板部４２、可動板４４、及び、外周板部４２と可動板４４とを連結する環状のゴム部４６を含んで構成されている。外周板部４２は外周端が下側に屈曲され、中間筒２４の段付フランジ部２４Ｂ等と共にカシメられ、第２取付部材２０に固定されている。可動板４４には、後述するアクチュエータ５０の軸部材５４を挿入して連結する連結凹部４４Ａが構成されている。可動板４４は、ゴム部４６により、弾性的に外周板部４２に支持されている。

封止板４０の主液室３６と逆側には、アクチュエータ５０が配置されている。アクチュエータ５０は、図３〜５にも示すように、軸方向Ｓに往復運動する可動子５２、および、可動子５２を支持する固定子６０を備えている。本実施形態のアクチュエータ５０は、例えば、特開２００４−３４３９６４号に開示されたリニアアクチュエータと同様の原理により作動する。

可動子５２は、軸状の軸部材５４、及び、円板状の張出部５６、５８を備えている。軸部材５４は、軸方向Ｓに沿って配置され、一端部５４Ａが可動板４４の連結凹部４４Ａに連結されている。張出部５６、５８は、軸部材５４と同軸的に、互いに離間して、軸部材５４の中間部に固定されている。張出部５６、５８は、電磁鋼板等の磁性金属である複数の金属板が積層されて構成されている。

固定子６０は、可動子５２の外周を囲むように配置され、ヨーク部６２、コイル部６４、及び、磁極部６７を備えている。

ヨーク部６２は、環状とされ、中空部６２Ａが構成されている。可動子５２は、中空部６２Ａの中央に挿通されている。ヨーク部６２は、電磁鋼板等の磁性金属よりなる複数の環状の金属板を積層して構成されている。ヨーク部６２には、各々対向する位置から径方向内側へ突出する凸部６３Ａ、６３Ｂが形成されている。凸部６３Ａ、６３Ｂの先端（内端）部は、張出部５６、５８に沿った弧状とされており、永久磁石が固定されて、磁極部６７が構成されている。

図５に示すように、凸部６３Ａ、６３Ｂの張出部５６に対向する位置には、軸方向Ｓに並ぶ２組の永久磁石６５Ａ、６５Ｂが固定されている。２組の永久磁石６５Ａ、６５Ｂは、磁極が互いにＮＳ交互の異極をなすように配置されている。また、凸部６３Ａ、６３Ｂの、２組の永久磁石６５Ａ、６５Ｂの下側（封止板４０から遠い側）には、軸方向Ｓに並ぶ２組の永久磁石６６Ａ、６６Ｂが固定されている。２組の永久磁石６６Ａ、６６Ｂは、磁極が互いにＮＳ交互の異極をなすように、また、隣り合う永久磁石６５Ｂと永久磁石６６Ａの磁極も互いにＮＳ交互の異極をなすように配置されている。すなわち、磁極部６７には、磁極が互いにＮＳ交互の異極をなすように、４組の永久磁石６５Ａ、６５Ｂ、６６Ａ、６６Ｂが、軸方向Ｓに配置されている。

なお、永久磁石６５Ａの上端から永久磁石６５Ｂの下端までの長さは、張出部５６の上下方向（軸方向Ｓ）の長さよりも長くなっている。また、永久磁石６６Ａの上端から永久磁石６６Ｂの下端までの長さも、張出部５８の上下方向（軸方向Ｓ）の長さよりも長くなっている。

ヨーク部６２の軸方向Ｓの上端（封止板４０側）には、ストッパ部材７０が固定されている。ストッパ部材７０は、円筒状の円筒部７１、円筒部７１の一端側で径方向外側に延出されたフランジ部７２、及び、円筒部７１の他端側で底面を構成する底部７３を備え、これらが一体的に構成されている。底部７３は円板状とされ、中央に略Ｈ形状のＨ開口７３Ａが構成されている。Ｈ開口７３Ａにより、底部７３の径方向内側に互いに対向して突出する一対の凸部７４が構成されている。

凸部７４、７４は、ヨーク部６２の凸部６３Ａ、６３Ｂに対応する位置から周方向に９０度回転した位置に形成されている。また、凸部７４、７４は、ヨーク部６２の内壁よりも径方向内側に突出され、さらに、張出部５６の外周端よりも軸部材５４に近い位置まで延出されている。これにより、凸部７４、７４は張出部５６と軸方向Ｓに所定距離離間して対向配置される。

凸部７４の先端部は、緩衝部材７５で被覆されている。緩衝部材７５は、ゴムなどの弾性部材や、コルク、熱可塑性エラストマなどの樹脂を用いて構成することができる。緩衝部材７５の下面と張出部５６の上面との距離Ｄは、可動子５２が固定子６０に対して上方に移動した場合の最大移動可能距離となる。距離Ｄは、アクチュエータ５０毎に設定することができ、ヨーク部６２の軸方向Ｓの厚みを変えたり、ヨーク部６２とストッパ部材７０の底部７３との間にスペーサを配置したりすることにより、調整することができる。

ストッパ部材７０は、底部７３がヨーク部６２の上面に密着され、底部７３に穿孔された止穴７３Ｈにピン７６、７７が挿入されて、ヨーク部６２に固定されている。円筒部７１の外径は、後述するブラケット８２の内径とほぼ同径とされ、ブラケット８２に圧入されている。この圧入により、ストッパ部材７０を介して固定子６０がブラケット８２との間で位置決めされつつ、ブラケット８２に固定される。

可動子５２は、上下一対の板バネ９０、９０を介して、固定子６０に対して軸方向Ｓに往復動可能に弾性支持されている。板バネ９０、９０は、中央リング部９３及び一対の外周環状部９４、９４を備えている。中央リング部９３は、軸部材５４に構成された支持溝５４Ｍに係合されて支持されている。一対の外周環状部９４、９４は、中央リング部９３から延びて後述するコイル部材６４を各々迂回する角形の変形リング状とされている。上側の外周環状部９４は、ストッパ部材７０と軸方向Ｓに所定間隔離間されるように、ピン７７の溝７７Ｍに取り付けられている。下側の外周環状部９４は、ヨーク部６２の下面と軸方向Ｓに所定間隔離間されるように、ピン７７に取り付けられている。

ヨーク部６２の中空部６２Ａには、コイル部材６４が配置されている。コイル部材６４は、ヨーク部６２の凸部６３Ａ、６３Ｂの各々の周りにコイルが巻き回された、一対のコイル部７８Ａ、７８Ｂを有している。一対のコイル部７８Ａ、７８Ｂは、連結部７９で連結されている。したがって、コイル部７８Ａ、７８Ｂは、４組の永久磁石６５Ａ、６５Ｂ、６６Ａ、６６Ｂが各々向き合う方向に磁束を発生可能に構成されている。コイル部７８Ａには、コネクタ８０が形成されており、コネクタ８０を介してコイルへの通電が行われる。

アクチュエータ５０は、ブラケット８２に収納されている。ブラケット８２は、有底円筒形状とされ、円筒状の円筒部８４、円筒部８４の一端側を閉鎖する底部８６、及び、円筒部８４の他端側の開口で径方向外側へ延出するフランジ部８８を備えている。ブラケット８２のフランジ部８８側には、ストッパ部材７０が底部７３側から圧入され、ストッパ部材７０のフランジ部７２がブラケット８２上に配置されている。底部８６の軸部材５４に対応する位置には、ストッパゴム９２が設けられている。

アクチュエータ５０は、コイル部７８Ａ、７８Ｂに交流電流が通電されることにより、コイル部７８Ａ、７８Ｂの磁力と磁極部６７の磁力とが作用し合って可動子５２に上下方向への力を交互に作用させる。これにより、板バネ９０に支持された可動子５２が、軸方向Ｓに往復運動する。

ブラケット８２は、脚部材９６内に収納されている。脚部材９６は、円筒状の円筒部９６Ａ、円筒部９６Ａの下端から下側へ向かって大径となるテーパー状の脚部９６Ｂ、及び、円筒部９６Ａの上端から径方向外側へ延出するフランジ部９６Ｃ、を備えている。フランジ部９６Ｃ上にフランジ部８８が配置され、その上に、フランジ部７２、外周板部４２、段付フランジ部２４Ｂが順に重ねられ、これらが、カシメ部２２Ｃに挟み込まれて加締め固定される。脚部材９６は、脚部９６Ｂの円筒部９６Ａと逆側が不図示のボルトにより車体側に連結される。

上記構成の防振装置１０では、振動発生部（エンジン）からの振動に応じてアクチュエータ５０を往復運動させ、可動板４４を加振することにより、振動発生部からの振動を吸収し、振動受部（車体）側への振動伝達が抑制されている。

防振装置１０へ大振幅の振動が加わった場合には、可動子５２が固定子６０に対して下方向に移動し、図６（Ａ）に示すように、軸部材５４の下端がストッパゴム９２に当たって移動が規制される。続いて、リバウンドにより可動子５２が固定子６０に対して上方向へ移動すると、図６（Ｂ）に示すように、張出部５６が凸部７４の先端部の緩衝部材７５に当たって移動が規制される。

本実施形態では、このように、可動子５２の固定子６０に対する上方向への移動量が所定量以上となることが、固定子６０に固定されたストッパ部材７０の一部である凸部７４により規制される。これにより、大振動の入力により可動子５２が過度に変位して、板バネ９０が損傷したり、可動子５２が初期位置に復帰しないままアクチュエータ５０がアクティブ状態になったりすることを、回避することができる。

また、本実施形態では、アクチュエータ５０の固定子６０にストッパ部材７０を固定して移動量の規制を行っているので、アクチュエータ５０の加振対象である可動板４４の主液室３６側にストッパ部材を設ける場合と比較して、移動量の規制を正確に行うことができる。また、アクチュエータ５０内にストッパ部材を設けるので、防振装置１０側にストッパ部材を設ける必要がなく、防振装置を簡易な構成とすることができる。

なお、本実施形態では、可動子５２の固定子６０に対する下方向への移動をストッパゴム９２によって規制したが、同方向の移動について、図７に示すように、ヨーク部６２の下面にストッパ板９６を固定して規制することもできる。ストッパ板９６は、ストッパ部材７０の底部７３と同形状とし、ピン７６、７７を用いて、ヨーク部６２の下面に固定する。ストッパ板９６に構成された凸部９７Ａ、９７Ｂの先端部に緩衝部材９５を被覆し、この緩衝部材９５に張出部５８が当たることにより、可動子５２の固定子６０に対する下方向への移動が所定量以上となることを規制することができる。

また、本実施形態では、ヨーク部６２の上下面にストッパ部材７０を固定した例について説明したが、張出部５６、５８に当てて可動子５２の移動量を規制するストッパ部材は、ヨーク部６２の他の部分に固定してもよいし、コイル部７８Ａ、７８Ｂや、磁極部６７に固定してもよい。

また、本実施形態では、ストッパ部材７０をブラケット８２に圧入して固定子６０をブラケット８２に固定したが、他の方法で固定子６０をブラケット８２に固定してもよい。例えば、図８に示すように、ブラケット８２に取付穴８２Ｈを穿孔すると共に、ピン７６を下側に延長して取付穴８２Ｈに挿通し、ブラケット８２の外側からナット７６Ｎによって固定してもよい。

１０ 防振装置
１２ 第１取付部材
１６ ゴム弾性体
２０ 第２取付部材
２２ 外筒
２４ 中間筒
２６ オリフィス通路
３０ ダイヤフラム
３６ 主液室
３８ 副液室
４０ 封止板
４４ 可動板
４６ ゴム部
５０ アクチュエータ
５２ 可動子
５４ 軸部材
５６ 張出部
５８ 張出部
６０ 固定子
６２ ヨーク部
６７ 磁極部
７０ ストッパ部材
７４ 凸部
７５ 緩衝部材
７８Ａ コイル部
７８Ｂ コイル部
８２ ブラケット
９０ 板バネ
９５ 緩衝部材
Ｓ 軸方向

Claims (7)

1. 防振装置に用いられるアクチュエータであって、
   軸部材、及び、前記軸部材の軸方向中間部に固定され前記軸部材の径方向外側に張り出した張出部、を有し、前記軸方向に往復運動可能とされた可動子と、
   前記可動子の外周を囲むように配置され、磁性体で構成されるヨーク部、励磁用コイル、及び、前記張出部を径方向に挟んで対向配置された永久磁石対を含んで構成された固定子と、
   前記固定子に固定され、前記軸方向に前記張出部と対向して離間配置されたストッパ部材と、
   を備えた、アクチュエータ。
2. 前記ストッパ部材は、前記固定子の前記可動子と対向する内周端から前記張出部の外周端よりも前記軸部材に近い位置まで延出されていること、を特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記ストッパ部材は、前記ヨーク部の前記軸方向の少なくとも一方の端面に固定されていること、を特徴とする請求項１または請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記ストッパ部材は、少なくとも前記張出部と対向した部分が緩衝部材で被覆されていること、を特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
5. 振動発生部及び振動受部の一方に連結される第１の取付部材と、
   振動発生部及び振動受部の他方に連結される第２の取付部材と、
   前記第１の取付部材と前記第２の取付部材とを連結し、振動発生部からの振動入力により変形する弾性体と、
   液体が封入されると共に前記弾性体の変形により拡縮する主液室を前記弾性体との間に構成する可動板と、
   前記可動板を挟んで前記主液室と逆側に配置され、振動発生部及び振動受部の一方に前記固定子が固定されると共に、前記可動子の軸部材が前記可動板に連結されて前記可動板を加振する、請求項１〜４のいずれか１項に記載のアクチュエータと、
   を備えた防振装置。
6. 少なくとも一部がダイヤフラムによって構成されて液圧変化に応じて拡縮する副液室と、
   前記主液室と前記副液室とを連通させる制限通路と、
   を備えた請求項５に記載の防振装置。
7. 前記副液室は、前記弾性体を挟んで前記主液室と逆側に構成され、隔壁の一部が前記弾性体で構成されていること、を特徴とする請求項６に記載の防振装置。

Images