JP5236976B2 - Al−Cu合金の導電率向上方法 - Google Patents
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Description
本発明に係るAl−Cu合金の均質化方法の対象物であるAl−Cu合金は、例えば、溶解鋳造によって製造されていることが好ましい。溶解鋳造によって製造することにより、Al中にCuができるだけ偏析しないようにすることができる。尚、Al−Cu合金の製造方法は、特に限定されるものではない。また、溶解鋳造の具体的な方法は、一般的な方法を採用することができ、特に限定されるものではない。さらに、Al−Cu合金の用途は、スパッタリングターゲットに限定されるものではない。
上記Al−Cu合金に対して行う本発明に係る均質化方法の好適な実施形態の一例を説明する。本発明に係る均質化方法は、Al−Cu合金に対して、200℃以上、350℃以下の温度で4〜14時間加熱した後、冷却する均質化処理を行う方法である。
[実施例1]
均質化処理を行うAl−Cu合金として、溶解鋳造によって製造されたCuの組成比が0.5重量%である直方体形状のAl−Cu合金を三つ用いた。Al−Cu合金の原料であるAlの純度は99.999重量%以上であった。当該Al−Cu合金の大きさは、長さ330mm×幅240mm×厚さ190mmとした。
[実施例2]
上記実施例1で用いたAl−Cu合金と同じ組成および大きさのAl−Cu合金を用いて、均質化処理における加熱条件を「320℃で9時間」から「300℃で9時間」に変更した以外は、実施例1と同様にして、均質化処理並びに再加熱処理を行った。結果を表1に示す。
[実施例3]
上記実施例1で用いたAl−Cu合金と同じ組成および大きさのAl−Cu合金を用いて、均質化処理における加熱条件を「320℃で9時間」から「280℃で9時間」に変更した以外は、実施例1と同様にして、均質化処理並びに再加熱処理を行った。結果を表1に示す。
[実施例4]
上記実施例1で用いたAl−Cu合金と同じ組成および大きさのAl−Cu合金を用いて、均質化処理における加熱条件を「320℃で9時間」から「260℃で9時間」に変更した以外は、実施例1と同様にして、均質化処理並びに再加熱処理を行った。結果を表1に示す。
[比較例1]
上記実施例1で用いたAl−Cu合金と同じ組成および大きさのAl−Cu合金を用いて、均質化処理における加熱条件を「320℃で9時間」から「515℃で9時間」に変更すると共に、圧下率を「91%」から「72%」に変更した以外は、実施例1と同様にして、均質化処理並びに再加熱処理を行った。結果を表1に示す。
MTTF ∝ (S/σ2 )・log [I(111) /I(200) ]3
(S;median grain size,σ;log-normal standard deviation of the grain size,I(111) and I(200) ;X-ray intensities of (111) and (200) diffractions )
から、グレーンサイズ(S)およびI(111) 面の結晶配向性(I(111) )が大きいほど、配線にしたときの信頼性が向上することが判っている。従って、本発明に係る均質化方法を採用することにより、Al−Cu合金を配線にしたときの信頼性、即ち、電子デバイスの信頼性を高めることができることが判った。
11 スパッタリングターゲット
Claims (6)
- Alの純度が99.999重量%以上であり、Cuの組成比が0.5重量%であるAl−Cu合金に対して、200℃以上、350℃以下の温度で4〜14時間加熱した後、冷却し、冷間圧延後、200℃以上、400℃以下の温度で10分間以上、60分間以下加熱する再加熱処理を行うことを特徴とするAl−Cu合金の導電率向上方法。
- 200℃以上、350℃以下の温度で4〜14時間加熱した後の冷却速度が、0を超え、4℃/分以下であることを特徴とする請求項1に記載のAl−Cu合金の導電率向上方法。
- Al−Cu合金が、スパッタリングターゲットであることを特徴とする請求項1または2に記載のAl−Cu合金の導電率向上方法。
- 請求項1から3の何れか一項に記載のAl−Cu合金の導電率向上方法で得られたAl−Cu合金であって、導電率が61.8%以上であることを特徴とするAl−Cu合金。
- 請求項4に記載のAl−Cu合金をスパッタリングし、300℃で成膜して得られた薄膜であって、析出したCu粒子の粒子径が1.8μm〜2.2μmであることを特徴とするAl−Cu合金の薄膜。
- 請求項4に記載のAl−Cu合金をスパッタリングし、300℃で成膜して得られた薄膜であって、I(111) 面の結晶配向性の半価幅θが10.1°〜10.7°であることを特徴とするAl−Cu合金の薄膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008083438A JP5236976B2 (ja) | 2008-03-27 | 2008-03-27 | Al−Cu合金の導電率向上方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009235491A JP2009235491A (ja) | 2009-10-15 |
JP5236976B2 true JP5236976B2 (ja) | 2013-07-17 |
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ID=41249806
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008083438A Active JP5236976B2 (ja) | 2008-03-27 | 2008-03-27 | Al−Cu合金の導電率向上方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5236976B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013133490A (ja) * | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Tokuriki Honten Co Ltd | 円筒形スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
CN110872674A (zh) * | 2019-11-14 | 2020-03-10 | 北京科技大学 | 一种适用于铝铜合金的双级均匀化热处理方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001316803A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-16 | Honeywell Electronics Japan Kk | スパッタリングターゲット材の製造方法 |
JP2002361400A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-12-17 | Mitsubishi Materials Corp | 微細な結晶粒を有するスパッタリングターゲット用インゴットおよびスパッタリングターゲットの製造方法 |
US6605199B2 (en) * | 2001-11-14 | 2003-08-12 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Textured-metastable aluminum alloy sputter targets and method of manufacture |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009235491A (ja) | 2009-10-15 |
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