JP5234709B2

JP5234709B2 - 液剤滴下装置及び液剤滴下装置の脱泡処理方法

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Publication number: JP5234709B2
Application number: JP2006269825A
Authority: JP
Inventors: 朗澤森
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2006-09-29
Filing date: 2006-09-29
Publication date: 2013-07-10
Anticipated expiration: 2026-09-29
Also published as: JP2008086894A

Description

本発明は、液剤滴下装置及び液剤滴下装置の脱泡処理方法に関するものである。

液剤滴下装置は、プランジャを操作することによって、液剤をシリンジに供給するとともに、シリンジ内に貯留された液晶等の液剤をノズルから吐出する（例えば、特許文献１参照）。特許文献１の液剤滴下装置は、シリンジの下部に接続された流路からシリンジ内に液剤を供給し、シリンジの下端に設けられたノズルから液剤を吐出する。
特開２００５−１２５１８６号公報

ところで、液剤滴下装置では、シリンジ内への液剤の供給やバルブの開閉等の動作によって気泡が発生し、発生した気泡がシリンジ内へ混入することがあった。気泡は液剤中にあっては上方へ移動するため、上記特許文献１の液剤滴下装置ではシリンジ内に気泡が入ると外部へ排出し難く、シリンジの内部に気泡が溜まる。そして、シリンジ内に気泡が溜まると、プランジャの押圧操作に対して気泡が収縮し、適量の液剤の滴下を妨げるといった問題があった。

上記特許文献１においてシリンジ内に溜まった気泡を外部へ排出するためには、プランジャを取り外し、バッファから大量の液剤をシリンジに供給してシリンジから液剤を外部に溢れ出させることにより、液剤とともに気泡を取り除く方法が考えられる。しかし、この方法では、シリンジを分解しなければならないので手間がかかるとともに、外部に溢れ出た液剤を排棄することになり液剤の無駄が生じてしまう。

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであって、その目的は液剤を無駄にせずにシリンジ内に入った気泡を排出することが可能な液剤滴下装置及び液剤滴下装置の脱泡処理方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、液剤を貯留するシリンジと、前記シリンジへの液剤の供給を制御する供給弁と、前記シリンジからノズルへの前記液剤の供給を制御する先端弁と、前記シリンジ内の前記液剤を前記ノズルに向かって押圧するプランジャと、前記プランジャを往復動させるアクチュエータと、前記アクチュエータ、前記供給弁及び前記先端弁を制御する制御部と、前記ノズルから吐出される前記液剤を検出するセンサと、を備え、前記プランジャは、前記シリンジ内に液剤を貯留する液剤貯留空間を形成する前記シリンジの内周面との間にギャップを有して前記シリンジに往復動可能に挿入され、前記シリンジには、前記プランジャが前記シリンジに往復動可能に挿入された状態で、前記液剤貯留空間内へ上端から液剤を供給する供給流路が形成され、前記制御部は、前記ノズルから液剤を吐出する吐出動作をしたにも拘わらず、所定期間内に前記センサによって液剤が検出されない場合には、前記供給弁を開き、前記先端弁を閉じた状態として前記アクチュエータを駆動して前記プランジャを前記ノズルに向かって押し下げる。

同構成によれば、先端弁を閉じ、供給弁を開いた状態でプランジャを押し下げることでシリンジ内に貯留された液剤を逆流させる。その際に、液剤貯留空間へ液剤を供給する流路は液剤貯留空間の上端へと連通しているため、液剤貯留空間の上部に溜まった気泡を逆流する液剤とともに排出することができる。このとき液剤は、液剤滴下装置の内部を移動しているだけであるから排棄する必要が無いので、液剤を無駄にせずにシリンジ内に入った気泡を排出することができる。また、同構成によれば、制御部によって自動的に脱泡処理がなされる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液剤滴下装置において、前記シリンジは、前記液剤を貯留するシリンジ本体と、該シリンジ本体上端の開口を閉塞し、前記プランジャが往復動可能に支持されるとともに、前記供給流路が形成されたシールホルダと、を備えた。

同構成によれば、シリンジ本体上端の開口を閉塞するシールホルダに供給流路が形成されているため、液剤貯留空間の上端へ液剤を供給する通路を容易に形成することが出来る。更に、従来のようにシリンジの側面に液剤を供給する通路を形成する必要が無いため、シリンジの加工が容易になる。また、シリンジ内の下端から上端までを液剤貯留空間とすることができるため、シリンジ内により多くの液剤を貯留することが可能となる。そのため、シリンジ内に液剤を供給するための動作回数を減らすことができ、作業効率を向上することが可能となる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の液剤滴下装置において、前記供給流路に接続され可撓性を備えた第１のチューブと、前記シリンジと前記ノズルとの間に接続され可撓性を備えた第２のチューブと、を備え、前記供給弁は、前記第１のチューブを挟着若しくは挟着を解除することにより前記第１のチューブの流路を開閉する第１のピンチバルブで構成し、前記先端弁は、前記第２のチューブを挟着若しくは挟着を解除することにより前記第２のチューブの流路を開閉する第２のピンチバルブで構成し、前記第１及び第２のピンチバルブは、少なくとも一つが移動可能な複数の挟着片を備え、該複数の挟着片で前記第１及び第２のチューブの流路を開閉することによって、前記液剤中の気泡の発生を防止した。同構成によれば、バルブの開閉に伴う気泡の発生を低減できるため、脱泡処理の回数を減らすことが可能となり液剤滴下装置の作業効率を向上させることができる。

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の液剤滴下装置において、前記シリンジへ供給する前記液剤を貯留するバッファを備え、前記第１のチューブは前記バッファの下端に接続された。同構成によれば、バッファの下端に接続された供給流路を通って液剤がシリンジに供給される。重力の影響で液剤がバッファ内の下部から溜まり気泡がバッファ内の上部から溜まるため、シリンジに液剤を供給する際に気泡が混入することを低減できる。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の液剤滴下装置において、前記バッファは、該バッファの下端が前記シリンジの上端よりも上方に配設され、前記バッファから前記液剤貯留空間へ前記液剤が供給される場合に、前記第１のチューブ及び前記供給流路は、前記液剤が下方へのみ流れるように形成された。同構成によれば、シリンジ外に排出された液剤が流路の途中で溜まらず、液剤を供給する際に再びシリンジ内の液剤が混入することを防ぐことができる。

請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の液剤滴下装置において、前記制御部は、前記シリンジ内に液剤を供給する供給動作をする場合には、前記供給弁を開き、前記先端弁を閉じた状態で前記アクチュエータを駆動して前記プランジャを引き上げ、前記ノズルから液剤を吐出する吐出動作をする場合には、前記供給弁を閉じ、前記先端弁を開いた状態で前記アクチュエータを駆動して前記プランジャを押し下げるようにした。

請求項７に記載の発明は、液剤を貯留するシリンジと、前記シリンジへの液剤の供給を制御する供給弁と、前記シリンジからノズルへの前記液剤の供給を制御する先端弁と、前記シリンジ内の前記液剤を前記ノズルに向かって押圧するプランジャと、前記プランジャを往復動させるアクチュエータと、前記アクチュエータ、前記供給弁及び前記先端弁を制御する制御部と、前記ノズルから吐出される前記液剤を検出するセンサと、を備え、前記プランジャは、前記シリンジ内に液剤を貯留する液剤貯留空間を形成する前記シリンジの内周面との間にギャップを有して前記シリンジに往復動可能に挿入され、前記シリンジには、前記プランジャが前記シリンジに往復動可能に挿入された状態で、前記液剤貯留空間内へ上端から液剤を供給する供給流路が形成された液剤滴下装置の脱泡処理方法であって、前記ノズルから液剤を吐出する吐出動作をしたにも拘わらず、所定期間内に前記センサによって液剤が検出されない場合には、前記供給弁を開き、前記先端弁を閉じた状態として前記アクチュエータを駆動して前記プランジャを前記ノズルに向かって押し下げるようにした。

同構成によれば、先端弁を閉じ、供給弁を開いた状態でプランジャを押し下げることで、シリンジ内に貯留された液剤は逆流する。液剤貯留空間へ液剤を供給する流路は液剤貯留空間の上端へと連通しているため、シリンジ内の上部に溜まった気泡を逆流する液剤とともに排出することができる。このとき液剤は、液剤滴下装置の内部を移動しているだけであるから排棄する必要が無いので、液剤を無駄にせずにシリンジ内に入った気泡を排出することができる。また、同構成によれば、制御部によって自動的に脱泡処理がなされる。

以上記述したように、本発明によれば、液剤を無駄にせずにシリンジ内に入った気泡を排出することが可能な液剤滴下装置及び脱泡処理方法を提供することができる。

以下、本発明を液晶滴下装置に具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１は、液晶滴下装置の概略構成図である。液晶滴下装置は、液晶ディスプレイパネルの製造工程のうち、液晶ディスプレイパネルを構成する基板に液晶を滴下する工程において用いられる。

液晶滴下装置はバッファ１０を備え、該バッファ１０には図示しないタンクから液剤としての液晶が供給されるとともに、バッファ１０内に貯留された液晶が第１のチューブ１１を介してシリンジ２０に供給される。バッファ１０内では、重力の影響で液晶がバッファ１０内の下部から溜まり気泡がバッファ１０内の上部から溜まることにより、液晶と気泡を分離する。バッファ１０の下端に接続された第１のチューブ１１を介して気泡が除かれた液晶がシリンジ２０に供給される。また、バッファ１０は、該バッファ１０の下端がシリンジ２０の上端よりも上方に配設されている。第１のチューブ１１は、可撓性を備え、かつ液晶に対し耐食性を備えた合成ゴム、例えばシリコンゴム等で形成されている。第１のチューブ１１の両端部は、それぞれ継手部１２ａ，１２ｂを介してバッファ１０及びシリンジ２０に接続されている。

図２に示すように、シリンジ２０は中空略円筒状に形成された外管２１を備え、その外管２１内には円筒状に形成された内管２２が内挿されている。外管２１及び内管２２はシリンジ本体を構成する。外管２１の上端の開口は、略円筒状のシールホルダ２３によって閉塞されている。そのシールホルダ２３には、円柱状に形成されたプランジャ３０が挿通されるとともに、プランジャ３０が内管２２に遊挿されている。シールホルダ２３とプランジャ３０との間にはＯリング等のシール材２４及び軸受け２５が配設され、該軸受け２５によりプランジャ３０が長手方向に沿って往復動可能に支持されている。プランジャ３０の外径は内管２２の内径よりも小さく形成され、プランジャ３０の外周面３０ａと内管２２の内周面２２ａとの間に所定のギャップ２６が形成されている。プランジャ３０を往復動させても、外周面３０ａと内周面２２ａとの間にはギャップ２６が設けられているため、シリンジ２０内に磨耗粉等の発生を抑制することができる。

シールホルダ２３は、外管２１の上端から突出し、その突出した部分の側面２３ａに図１に示す第１のチューブ１１が接続されている。そして、シールホルダ２３には、第１のチューブ１１内部とシリンジ２０内部、つまりギャップ２６及び内周面２２ａに囲まれた液剤貯留空間２２ｂ、とを連通する通路２３ｂが形成されている。図１に示すバッファ１０から第１のチューブ１１を介して供給される液晶は、通路２３ｂに囲まれた供給流路２３ｃ及びギャップ２６を介して、液剤貯留空間２２ｂに導入される。バッファ１０から供給される液晶が下方にのみ流れるように、第１のチューブ１１が配設されるとともに供給流路２３ｃが形成されている。そのため、バッファ１０とシリンジ２０との間の流路に気泡が溜まることを防止できる。

図１に示すように、シリンジ２０内の液晶は、第２のチューブ４０を介してノズル４１に供給され、該ノズル４１から滴下される。第２のチューブ４０は、可撓性を備え、かつ液晶に対し耐食性を備えた合成ゴム、例えばシリコンゴム等で形成されている。第２のチューブ４０の両端部は、それぞれ継手部４２ａ，４２ｂを介してシリンジ２０及びノズル４１に接続されている。

ノズル４１の先端付近には例えば光電センサからなるセンサ６０が配設されている。センサ６０はノズル４１から吐出される液晶の有無を検出して検出信号を出力する。センサ６０は、投光素子及び受光素子を備え、投光素子及び受光素子間の光路（検出領域）内への液晶の進入量に応じたレベルの検出信号が出力される。適量の液晶が吐出された場合にはその滴下量に応じた大きさの液滴が光路を遮ることにより受光量が減少するが、液晶が吐出されない又は少量の液晶しか吐出されない場合には受光量が変化しないか、又は変化量が少ない。例えば、プランジャ３０にて液晶を押圧したとき、その押圧力によりシリンジ２０内の液晶がノズル４１へと供給され、該ノズル４１から吐出される。従って、プランジャ３０により液晶を押圧するタイミングに合わせてセンサ６０から出力される検出信号に変化があるか否か、又はその変化量により適量の液晶が吐出されているか否かを判断することが出来る。

第１のチューブ１１の継手部１２ｂ近傍にはピンチバルブからなる供給弁５０ａが配設されている。供給弁５０ａはアクチュエータ部５１からアーム５２が突出形成され、そのアームから３本の挟着片５３ａ〜５３ｃが平行に突出形成されている。挟着片５３ａ〜５３ｃのうち両側の挟着片５３ａ，５３ｃはアーム５２に対し固定され、中央の挟着片５３ｂは挟着片５３ａ又は挟着片５３ｃに向かって移動可能に構成されている。そして、第１のチューブ１１は挟着片５３ａ，５３ｂの間に挿通されている。

図３に示すように、供給弁５０ａは、挟着片５３ｂを挟着片５３ａに向かって移動させることにより第１のチューブ１１を挟着して流路を閉じ、挟着片５３ｂを挟着片５３ｃに向かって移動させることにより第１のチューブ１１の挟着を解除して流路を開いた状態にする。つまり、供給弁５０ａはバッファとシリンジとの間の流路の開閉を行う。

第２のチューブ４０の継手部４２ａ近傍にはピンチバルブからなる先端弁５０ｂが配設されている。先端弁は供給弁５０ａと同様に構成されており、第２のチューブ４０が挟着片の間に挿通されている。先端弁５０ｂはシリンジ２０とノズル４１との間の流路の開閉を行う。

このように、供給弁５０ａ及び先端弁５０ｂは、第１のチューブ１１及び第２のチューブ４０を挟着又は挟着を解除するといった簡単な構成で弁の開閉を行うため、供給弁５０ａ及び先端弁５０ｂの開閉によって発生する気泡を抑制することができる。

液晶滴下装置は制御部６１を備え、該制御部６１は供給弁５０ａ及び先端弁５０ｂに接続されている。供給弁５０ａ及び先端弁５０ｂは制御部６１からの信号により、第１のチューブ１１及び第２のチューブ４０の流路を開閉する。また、制御部６１はアクチュエータ６２に接続されている。アクチュエータ６２はプランジャ３０に接続されており、制御部６１からの信号によってプランジャ３０を往復動させる。

ここで、液晶滴下装置が液晶を滴下する通常処理について説明する。
先ず、制御部６１は供給弁５０ａを開き、先端弁５０ｂを閉じた状態でアクチュエータ６２を駆動して、図４(ａ)に示すようにプランジャ３０をＰ１方向に引き上げる。この動作によって、バッファ１０内に貯留された液晶が第２のチューブ４０からＹ１方向に流れて液剤貯留空間２２ｂ内に供給される。次に、ノズル４１から液晶を吐出するために制御部６１は供給弁５０ａを閉じ、先端弁５０ｂを開いた状態でアクチュエータ６２を駆動して、図４(ｂ)に示すようにプランジャ３０をＰ２方向に押し下げる。この動作によって、液剤貯留空間２２ｂ内に貯留された液晶がプランジャ３０によって押圧されてＹ２方向に移動し、ノズル４１から液晶が吐出される。

図４(ｃ)に示すように、シリンジ２０内に気泡ＢＵが溜まっている場合では、液晶がプランジャ３０によって押圧されても、その押圧に対して気泡ＢＵが収縮するため、液晶がＹ３方向に流れてノズルから液晶が吐出されない。そこで、センサ６０はノズル４１から吐出される液晶の有無を検出し、検出信号を制御部６１に出力する。制御部６１は、通常処理中にプランジャ３０を押し下げたにもかかわらず、所定期間内にセンサ６０によって液晶が検出されない場合に気泡をシリンジ２０から排出する脱泡処理を行う。

次に、液晶滴下装置の脱泡処理について説明する。脱泡処理は制御部６１が供給弁５０ａを開き、先端弁５０ｂを閉じた状態でアクチュエータ６２を駆動して、図４(ｄ)に示すようにプランジャ３０を下方に押し下げる。プランジャ３０を押し下げることによりシリンジ２０内の液晶は下方に押圧されるが、供給弁５０ａが開かれ、先端弁５０ｂが閉じられているため液晶はシリンジ２０の上方に逆流し、供給流路２３ｃを通ってＹ４方向に流れる。そして、逆流する液晶とともに、液剤貯留空間２２ｂの上部に溜まった気泡ＢＵもＹ４方向に流れてシリンジ２０の外部に排出される。このとき、第２のチューブ４０の長さ（チューブ内の体積）と、プランジャ３０の押し下げによって変化するシリンジ２０内の体積を調整することにより、シリンジ２０内に溜まった気泡ＢＵをバッファ１０まで排出することができる。このようにシリンジ２０の外部へ排出された液晶は、液晶滴下装置内を移動するだけであるため液晶を排棄する必要がない。そのため、脱泡処理を行っても液晶を無駄にしないで済むようになる。

以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）液晶滴下装置は、シリンジ２０とプランジャ３０とを備え、プランジャ３０はシリンジ２０に往復動可能に挿入されるとともに、外周面３０ａと内周面２２ａとの間に所定のギャップ２６を設けた。シリンジ２０の上端の開口を閉塞するシールホルダ２３には側面２３ａとギャップ２６とを繋ぐ通路２３ｂが形成されている。制御部６１は供給弁５０ａを開き、先端弁５０ｂを閉じた状態でプランジャ３０を押し下げる脱泡処理を行うことにより、シリンジ２０内の液晶が液剤貯留空間２２ｂからバッファ１０に向かって逆流し、シリンジ２０内に溜まった気泡ＢＵをシリンジ２０の外部に排出することができる。

（２）脱泡処理を行っても液晶は液晶滴下装置内を移動するだけであるため、液晶を排棄する必要が無く、材料の無駄を省くことができる。
（３）プランジャ３０と内周面２２ａとの間にギャップ２６を設けてプランジャ３０をシリンジ２０内に挿入したため、プランジャ３０を往復動させてもプランジャ３０と内周面２２ａで摩擦が生じない。そのため、シリンジ２０内に磨耗粉等が発生することを抑制することができるのでシリンジ２０を清掃する回数を減らすことが可能となり液晶滴下装置の作業効率が向上する。

（４）チューブを挟着又は挟着を解除することにより弁の開閉を行うピンチバルブを供給弁５０ａ及び先端弁５０ｂとして用いたので、弁の開閉に伴う気泡の発生が抑制されるため脱泡処理を行う回数を減らすことができ液晶滴下装置の作業効率が向上する。

（５）バッファ１０内では、重力の影響で液晶がバッファ１０内の下部から溜まり気泡がバッファ１０内の上部から溜まることにより、液晶と気泡を分離する。そして、バッファ１０の下端に接続された第１のチューブ１１を介してシリンジ２０に液晶を供給するため、シリンジ２０内に気泡が混入することを防止できる。

（６）バッファ１０から供給される液晶が下方にのみ流れるように、第１のチューブ１１を配設するとともに供給流路２３ｃを形成したため、バッファ１０とシリンジ２０との間の流路に気泡が溜まることを防止できる。

尚、上記実施形態は、以下の態様で実施してもよい。
・上記実施形態では、供給弁５０ａ及び先端弁５０ｂにピンチバルブを用いたが、これに限らず、例えば、ロータリーバルブ等を用いてもよい。

・上記実施形態では、シール材２４にＯリングを用いたが、これに限らず、例えばバリシール（登録商標）を用いてもよい。
・上記実施形態では、センサ６０に光電センサを用いたが、ノズル４１から吐出する液晶を検出することができればどのようなセンサを用いてもよい。

・上記実施形態において、シールホルダ２３をシリンジ２０の上端に一部突出して設けたが、バッファ１０からシリンジ２０へ供給される液晶が下方へのみ流れて液剤貯留空間２２ｂに入ればよく、シールホルダ２３はシリンジ２０内に埋め込まれる構成でもよい。

・上記実施形態では、シールホルダ２３を設けたが、シールホルダ２３を設けずにプランジャ３０とシリンジ２０との間に設けられたギャップ２６の最上部と繋がる流路をシリンジ２０に一体形成してもよい。

・第１のチューブ１１及び第２のチューブ４０は、可撓性を備え、かつ液剤に対し耐食性を備えた材質であればよく、例えば四フッ化エチレン樹脂等でもよい。
・上記実施形態では、滴下される液晶の有無をセンサ６０で検出した結果によって脱泡処理を行ったが、これに限らず、滴下が所定回数される毎に脱泡処理を行ってもよい。

・上記実施形態では、シリンジ２０内に溜まった気泡をバッファ１０まで排出したが、バッファ１０まで排出せずともよく、供給弁５０ａよりもバッファ１０側まで排出できればよい。

・上記実施形態では、液晶を滴下する液晶滴下装置に具現化したが、液晶以外の液剤を滴下してもよく、例えば接着剤やはんだペーストを滴下する装置に具現化してもよい。

液晶滴下装置の概略構成図。シリンジの一部断面図。ピンチバルブの動作を示す説明図。（ａ）〜（ｄ）は液晶滴下装置の動作を示す説明図。

符号の説明

１０…バッファ、１１…第１のチューブ、２０…シリンジ、２２ａ…内周面、２２ｂ…液剤貯留空間、２３…シールホルダ、２３ｃ…供給流路、２６…ギャップ、３０…プランジャ、４０…第２のチューブ、４１…ノズル、５０ａ…供給弁、５０ｂ…先端弁、５３ａ〜５３ｃ…挟着片、６０…センサ、６１…制御部、６２…アクチュエータ、ＢＵ…気泡。

Claims

液剤を貯留するシリンジと、
前記シリンジへの液剤の供給を制御する供給弁と、
前記シリンジからノズルへの前記液剤の供給を制御する先端弁と、
前記シリンジ内の前記液剤を前記ノズルに向かって押圧するプランジャと、
前記プランジャを往復動させるアクチュエータと、
前記アクチュエータ、前記供給弁及び前記先端弁を制御する制御部と、
前記ノズルから吐出される前記液剤を検出するセンサと、を備え、
前記プランジャは、前記シリンジ内に液剤を貯留する液剤貯留空間を形成する前記シリンジの内周面との間にギャップを有して前記シリンジに往復動可能に挿入され、
前記シリンジには、前記プランジャが前記シリンジに往復動可能に挿入された状態で、前記液剤貯留空間内へ上端から液剤を供給する供給流路が形成され、
前記制御部は、前記ノズルから液剤を吐出する吐出動作をしたにも拘わらず、所定期間内に前記センサによって液剤が検出されない場合には、前記供給弁を開き、前記先端弁を閉じた状態として前記アクチュエータを駆動して前記プランジャを前記ノズルに向かって押し下げることを特徴とする液剤滴下装置。
請求項１に記載の液剤滴下装置において、
前記シリンジは、前記液剤を貯留するシリンジ本体と、
該シリンジ本体上端の開口を閉塞し、前記プランジャが往復動可能に支持されるとともに、前記供給流路が形成されたシールホルダと、を備えた
ことを特徴とする液剤滴下装置。
請求項１又は２に記載の液剤滴下装置において、
前記供給流路に接続され可撓性を備えた第１のチューブと、
前記シリンジと前記ノズルとの間に接続され可撓性を備えた第２のチューブと、を備え、
前記供給弁は、前記第１のチューブを挟着若しくは挟着を解除することにより前記第１のチューブの流路を開閉する第１のピンチバルブで構成し、
前記先端弁は、前記第２のチューブを挟着若しくは挟着を解除することにより前記第２のチューブの流路を開閉する第２のピンチバルブで構成し、
前記第１及び第２のピンチバルブは、少なくとも一つが移動可能な複数の挟着片を備え、該複数の挟着片で前記第１及び第２のチューブの流路を開閉することによって、
前記液剤中の気泡の発生を防止したことを特徴とする液剤滴下装置。
請求項３に記載の液剤滴下装置において、
前記シリンジへ供給する前記液剤を貯留するバッファを備え、
前記第１のチューブは前記バッファの下端に接続されたことを特徴とする液剤滴下装置。
請求項４に記載の液剤滴下装置において、
前記バッファは、該バッファの下端が前記シリンジの上端よりも上方に配設され、
前記バッファから前記液剤貯留空間へ前記液剤が供給される場合に、前記第１のチューブ及び前記供給流路は、前記液剤が下方へのみ流れるように形成されたことを特徴とする液剤滴下装置。
請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の液剤滴下装置において、
前記制御部は、
前記シリンジ内に液剤を供給する供給動作をする場合には、前記供給弁を開き、前記先端弁を閉じた状態で前記アクチュエータを駆動して前記プランジャを引き上げ、
前記ノズルから液剤を吐出する吐出動作をする場合には、前記供給弁を閉じ、前記先端弁を開いた状態で前記アクチュエータを駆動して前記プランジャを押し下げる
ことを特徴とする液剤滴下装置。
液剤を貯留するシリンジと、
前記シリンジへの液剤の供給を制御する供給弁と、
前記シリンジからノズルへの前記液剤の供給を制御する先端弁と、
前記シリンジ内の前記液剤を前記ノズルに向かって押圧するプランジャと、
前記プランジャを往復動させるアクチュエータと、
前記アクチュエータ、前記供給弁及び前記先端弁を制御する制御部と、
前記ノズルから吐出される前記液剤を検出するセンサと、を備え、
前記プランジャは、前記シリンジ内に液剤を貯留する液剤貯留空間を形成する前記シリンジの内周面との間にギャップを有して前記シリンジに往復動可能に挿入され、
前記シリンジには、前記プランジャが前記シリンジに往復動可能に挿入された状態で、前記液剤貯留空間内へ上端から液剤を供給する供給流路が形成された液剤滴下装置の脱泡処理方法であって、
前記ノズルから液剤を吐出する吐出動作をしたにも拘わらず、所定期間内に前記センサによって液剤が検出されない場合には、前記供給弁を開き、前記先端弁を閉じた状態として前記アクチュエータを駆動して前記プランジャを前記ノズルに向かって押し下げることを特徴とする液剤滴下装置の脱泡処理方法。