JP5229995B2 - アンテナ、交流回路、及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
次に、アンテナの他の実施形態について説明する。以降の説明では、上述の実施形態と同様の構成、及び機能を有する部分については同一符号を付し、説明を省略し、又は簡略化する。
次に、アンテナのさらに別の実施形態について説明する。上述の各実施形態では、並列3重巻きのアンテナコイルについて説明したが、本実施形態では、並列4重巻きのアンテナコイルについて説明する。
次に、アンテナのさらに別の実施の形態について説明する。本実施形態では、アンテナが伸縮する場合について説明する。図8は、本実施形態に係るアンテナを示す模式的な展開図である。図8(A)は、アンテナが伸縮していない状態を示す図であり、図8(B)及び図8(B)は、アンテナが伸縮している状態を示す図である。
1a、21a、41a・・・第1の経路
1b、21b、41b・・・第2の経路
1c、21c、41c・・・第3の経路
1d、21d・・・第4の経路
2a、22a・・・第1の間隙形状
2b、22b・・・第2の間隙形状
3・・・高周波電源
10・・・交流回路
50・・・真空チャンバ
100・・・プラズマ処理装置
Claims (3)
- 電源が作り出す交流電圧が印加されることで、チャンバ内にプラズマを作り出すアンテナであって、
前記交流電圧が印加されることで、前記チャンバ内にプラズマを作り出す伸縮可能な第1の経路と、
前記第1の経路と並列的に前記電源に接続され、前記第1の経路との間で第1の間隙形状を形成する、前記第1の経路に隣接する伸縮可能な第2の経路と、
前記第1の経路及び前記第2の経路と並列的に前記電源に接続され、前記第1の経路との間で前記第1の間隙形状とは異なる第2の間隙形状を形成する、前記第1の経路に隣接する伸縮可能な第3の経路と
を具備するアンテナ。 - チャンバ内にプラズマを作り出すための交流回路であって、
交流電圧を作り出す電源と、
前記交流電圧が印加されることで、前記チャンバ内にプラズマを作り出す伸縮可能な第1の経路と、
前記第1の経路と並列的に前記電源に接続され、前記第1の経路との間で第1の間隙形状を形成する、前記第1の経路に隣接する伸縮可能な第2の経路と、
前記第1の経路及び前記第2の経路と並列的に前記電源に接続され、前記第1の経路との間で前記第1の間隙形状とは異なる第2の間隙形状を形成する、前記第1の経路に隣接する伸縮可能な第3の経路と
を具備する交流回路。 - チャンバと、
交流電圧を作り出す電源と、
前記交流電圧が印加されることで、前記チャンバ内にプラズマを作り出す伸縮可能な第1の経路と、
前記第1の経路と並列的に前記電源に接続され、前記第1の経路との間で第1の間隙形状を形成する、前記第1の経路に隣接する伸縮可能な第2の経路と、
前記第1の経路及び前記第2の経路と並列的に前記電源に接続され、前記第1の経路との間で前記第1の間隙形状とは異なる第2の間隙形状を形成する、前記第1の経路に隣接する伸縮可能な第3の経路と
を具備するプラズマ処理装置。
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