JP5227897B2 - 光電変換デバイス、その製造方法および製造装置 - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims description 72
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 52
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 187
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 151
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 111
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 34
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 34
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 28
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 26
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 23
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 claims description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 20
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 20
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 15
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims description 14
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 claims description 13
- -1 acrylic ester Chemical class 0.000 claims description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 7
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 6
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 9
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 5
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 3
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 3
- 229920005650 polypropylene glycol diacrylate Polymers 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOC(=O)C(C)=C XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IFBMOBFQBJZBMV-UHFFFAOYSA-N [phenyl-(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphanyl]-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(C=1C=CC=CC=1)C(=O)C1=C(C)C=C(C)C=C1C IFBMOBFQBJZBMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N [phenyl-(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphoryl]-(2,4,6-trimethylphenyl)methanone Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C)=C1C(=O)P(=O)(C=1C=CC=CC=1)C(=O)C1=C(C)C=C(C)C=C1C GUCYFKSBFREPBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 2
- MEIAUDCXVXWYMM-UHFFFAOYSA-N bis[2-(1-hydroxycyclohexyl)phenyl]methanone;2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1.C=1C=CC=C(C(=O)C=2C(=CC=CC=2)C2(O)CCCCC2)C=1C1(O)CCCCC1 MEIAUDCXVXWYMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 2
- 229920005648 ethylene methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229920000554 ionomer Polymers 0.000 description 2
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- AUONHKJOIZSQGR-UHFFFAOYSA-N oxophosphane Chemical compound P=O AUONHKJOIZSQGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- IFWOFRICKCJBGV-UHFFFAOYSA-N 1-butoxy-2-(2-hydroxyethoxy)ethanol;2-methylprop-2-enoic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O.CCCCOC(O)COCCO IFWOFRICKCJBGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KHOUKKVJOPQVJM-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)CO KHOUKKVJOPQVJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 2-[2,2-bis(hydroxymethyl)butoxymethyl]-2-ethylpropane-1,3-diol Chemical compound CCC(CO)(CO)COCC(CC)(CO)CO WMYINDVYGQKYMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IGFHQQFPSIBGKE-UHFFFAOYSA-N Nonylphenol Natural products CCCCCCCCCC1=CC=C(O)C=C1 IGFHQQFPSIBGKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane trimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CC)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001733 carboxylic acid esters Chemical class 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N ethenyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC=C UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920006225 ethylene-methyl acrylate Polymers 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- ZZXXBDPXXIDUBP-UHFFFAOYSA-N hydroxymethyl prop-2-enoate Chemical compound C(C=C)(=O)OCO.C(C=C)(=O)OCO ZZXXBDPXXIDUBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000004816 latex Substances 0.000 description 1
- 229920000126 latex Polymers 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 239000004711 α-olefin Substances 0.000 description 1
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Description
図1は本発明を好適に適用可能な光電変換デバイスの製造装置の概略構成を示す図である。この製造装置1は、表面に光電変換層を形成された例えば単結晶シリコンウエハなどの基板W上に導電性を有する配線を形成し、例えば太陽電池として利用される光電変換デバイスを製造する装置である。この装置1は、例えば光電変換デバイスの光入射面に集電電極を形成するという用途に好適に使用することができる。なお、この装置は、本願出願人が先に開示した特許第3868298号公報に記載された装置構成を一部変更したものであり、基本的な構成や動作は同公報に記載されたものと共通している。
本発明にかかる光電変換デバイスの製造方法の第1実施形態では、配線形成後の基板を保護するために基板表面に設けられる封止材と類似の光学的特性を有する材料で隔壁B1,B2を形成する。具体的には、光学的に透明で封止材と同じまたはほぼ同じ屈折率を有する材料により、隔壁B1,B2を形成する。こうすることにより、光学的には隔壁B1,B2が存在しないと見なすことができる。
アロニックスM−305:東亜合成株式会社製、ペンタエリスリトールのアクリル酸エステル(特殊多官能アクリレート)、
(2)エチレン系樹脂
エバフレックスEV260:三井デュポン・ポリケミカル社製、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂、
エルバロイEMA1609AC:三井デュポン・ポリケミカル社製、エチレンメチルアクリレート共重合樹脂、
ハイミラン1652:三井デュポン・ポリケミカル社製、エチレンメタクリル酸共重合樹脂のアイオノマー、
ニュクレルNO908C:三井デュポン・ポリケミカル社製、エチレンメタクリル酸共重合樹脂、
(3)光重合開始剤
IRGACURE184:チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、1,2α−ヒドロキシジアルキルフェノン(アルキルフェノン系光重合開始剤)、
IRGACURE819:チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(フォスフィンオキサイド系光重合開始剤)。
次に、本発明にかかる光電変換デバイスの製造方法の第2実施形態について説明する。この実施形態では、前述の特許文献1と同様に、隔壁を形成して配線材料を塗布した後、熱処理によって隔壁を消散させ、配線のみを残す方法を採っている。特許文献1では隔壁材料について詳しく開示されていなかったが、本実施形態では、配線材料を塗布する際には隔壁として良好に機能し、しかも熱処理による消散が容易である具体的な材料を提案する。
ライトエステル9EG:東亜合成株式会社製、ポリエチレングリコール#400ジメタクリレート(二官能メタクリレート)、
アロニックスM−225:東亜合成株式会社製、ポリプロピレングリコールジアクリレート(二官能アクリレート)、
アロニックスM−321:東亜合成株式会社製、プロピレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリアクリレート(三官能アクリレート)、
アロニックスM−305:東亜合成株式会社製、ペンタエリスリトールのアクリル酸エステル(特殊多官能アクリレート)、
(2)ポリマー
エトセルN−7:ダウ・ケミカル社製、エチルセルロース、
ダイヤナールBR−105:三菱レイヨン社製、アクリル樹脂、
(3)光重合開始剤
IRGACURE184:チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製、1,2α−ヒドロキシジアルキルフェノン(アルキルフェノン系光重合開始剤)、
IRGACURE819:ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(フォスフィンオキサイド系光重合開始剤)。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記各実施形態において示した隔壁材料の組成は一部の例を示したものであって本発明がこれに限定されるものではなく、先に列記した材料の他の組み合わせであってもよい。
2 ステージ移動機構(移動機構)
21 X方向移動機構
22 Y方向移動機構
23 θ回転機構
52 第1吐出部
53 光照射部
54 第2吐出部
A1 隔壁材料
A2 配線材料
B1,B2 隔壁
CW 配線
W 基板
Claims (10)
- 光電変換層を有する基板表面に所定の配線パターンを有する配線を形成する光電変換デバイスの製造方法において、
前記基板表面の前記配線パターンの周縁部に相当する位置に、光硬化性を有する液状の隔壁材料を塗布するとともに、塗布された隔壁材料に光を照射して硬化させることで、前記配線パターンの周縁部に相当する位置に隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記隔壁に挟まれた前記基板表面に液状の配線材料を塗布することで前記配線パターンに対応する配線を形成する配線形成工程と、
前記隔壁および前記配線を形成された前記基板表面に光学的に透明な封止材を積層する封止工程と
を備え、
前記隔壁が光学的に透明で、その屈折率が前記封止材の屈折率と同一または略同一であることを特徴とする光電変換デバイスの製造方法。 - 前記封止材がエチレン・酢酸ビニル共重合樹脂であり、前記隔壁材料が、実質的にエチレン系樹脂、アクリル酸エステルモノマーおよび光重合開始剤からなる請求項1に記載の光電変換デバイスの製造方法。
- 前記アクリル酸エステルモノマーが、三官能以上の多官能アクリレートである請求項2に記載の光電変換デバイスの製造方法。
- 前記エチレン系樹脂が、エチレン・酢酸ビニル共重合樹脂またはエチレン・アクリレート共重合樹脂である請求項2または3に記載の光電変換デバイスの製造方法。
- 光電変換層を有する基板と、
前記基板表面に、所定の配線パターンに対応して該配線パターンの周縁部に相当する位置に形成された光学的に透明な隔壁と、
前記隔壁に挟まれた前記基板表面に液状の配線材料が塗布されてなる、前記配線パターンに対応する配線と、
前記隔壁および前記配線を形成された前記基板表面を覆う光学的に透明な封止材と
を備え、
前記隔壁および前記封止材の屈折率が互いに同一または略同一であることを特徴とする光電変換デバイス。 - 光電変換層を有する基板表面に所定の配線パターンを有する配線を形成する光電変換デバイスの製造方法において、
前記基板表面の前記配線パターンの周縁部に相当する位置に、液状の隔壁材料を塗布するとともに、塗布された隔壁材料に光を照射して半硬化状態に硬化させることで、前記配線パターンの周縁部に相当する位置に隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記隔壁に挟まれた前記基板表面に液状の配線材料を塗布することで前記配線パターンに対応する配線を形成する配線形成工程と、
前記配線を形成された前記基板を熱処理して前記隔壁を消散させる熱処理工程と
を備えることを特徴とする光電変換デバイスの製造方法。 - 光電変換層を有する基板表面に所定の配線パターンを有する配線を形成する光電変換デバイスの製造方法において、
前記基板表面の前記配線パターンの周縁部に相当する位置に、光硬化性を有する液状の隔壁材料を塗布するとともに、塗布された隔壁材料に光を照射することで、前記配線パターンの周縁部に相当する位置に隔壁を形成する隔壁形成工程と、
前記隔壁に挟まれた前記基板表面に液状の配線材料を塗布することで前記配線パターンに対応する配線を形成する配線形成工程と、
前記配線を形成された前記基板を熱処理して前記隔壁を消散させる熱処理工程と
を備え、
前記隔壁材料として、アクリル酸エステルモノマーと光重合開始剤とを主成分とする液を用いることを特徴とする光電変換デバイスの製造方法。 - 前記アクリル酸エステルモノマーは、官能基の数が3以下のアクリレートまたはメタアクリレートである請求項7に記載の光電変換デバイスの製造方法。
- 前記隔壁形成工程を、酸素を含む雰囲気下で、しかも前記隔壁材料への光照射量を5ないし200mJ/cm2として実行する請求項7または8に記載の光電変換デバイスの製造方法。
- 基板表面に対し、アクリル酸エステルモノマーを主成分とする光硬化性を有する液状の隔壁材料を吐出する第1吐出部と、
前記基板表面に吐出された前記隔壁材料に、酸素を含む雰囲気下で、照射量5ないし200mJ/cm2で光を照射して半硬化状態に硬化させて隔壁を形成する光照射部と、
前記隔壁に挟まれた前記基板表面に対し、液状の配線材料を吐出させる第2吐出部と、
前記第1吐出部、前記光照射部および前記第2吐出部を一体的に、基板表面に対し相対移動させる移動機構と
を備えることを特徴とする光電変換デバイスの製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010278225A JP2010278225A (ja) | 2010-12-09 |
JP5227897B2 true JP5227897B2 (ja) | 2013-07-03 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5227897B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5819621B2 (ja) | 2011-03-25 | 2015-11-24 | 株式会社Screenホールディングス | パターン形成方法およびパターン形成装置 |
KR101742367B1 (ko) * | 2015-01-28 | 2017-06-15 | 주식회사 엘지화학 | 리튬-황 전지용 전극 제조 방법 및 리튬-황 전지용 전극 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05204138A (ja) * | 1991-09-17 | 1993-08-13 | Nippon Paint Co Ltd | インクジェット方式を用いるダイレクト製版方法 |
US7765949B2 (en) * | 2005-11-17 | 2010-08-03 | Palo Alto Research Center Incorporated | Extrusion/dispensing systems and methods |
US20090107546A1 (en) * | 2007-10-29 | 2009-04-30 | Palo Alto Research Center Incorporated | Co-extruded compositions for high aspect ratio structures |
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Publication number | Publication date |
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JP2010278225A (ja) | 2010-12-09 |
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