JP5227350B2 - 変位量検出装置 - Google Patents
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Description
各コイルと検出対象物との相対距離をそれぞれ独立変数として、前記各発振回路の発振周波数を予め定める次数の多項式でそれぞれ近似し、この近似した複数の多項式を用いて前記多項式の係数を消去することによって求められる各発振回路の発振周波数と検出対象物の変位量との関係に基づいて、検出対象物の変位量に相当する電気信号を出力する信号処理部とを含み、
前記複数の発振回路の数は、前記予め定める次数に数値2を加算した数に選ばれ、
前記各発振回路は、検出対象物の予め定める方向への変位に対して、複数の発振回路のうちのいずれか1つを除く残余の発振回路の各コイルと検出対象物との相対距離が変化するように配置され、前記1つの発振回路のコイルは、検出対象物との相対距離が変化しないように配置されることを特徴とする変位量検出装置である。
各コイルと検出対象物との相対距離をそれぞれ独立変数として、前記各発振回路の発振周波数を予め定める次数の多項式でそれぞれ近似し、この近似した複数の多項式を用いて前記多項式の係数を消去することによって求められる各発振回路の発振周波数と検出対象物の変位量との関係に基づいて、検出対象物の変位量に相当する電気信号を出力する信号処理部とを含み、
前記複数の発振回路の数は、前記予め定める次数に数値2を加算した数に選ばれ、
前記検出対象物は、厚み方向の一表面が前記各コイルに臨んで設けられ、前記一表面に対して傾斜して交わる軸線まわりに角変位し、
前記各発振回路は、検出対象物の予め定める方向への変位に対して、複数の発振回路のうちのいずれか1つを除く残余の発振回路の各コイルが前記軸線まわりに予め定める間隔をあけ、かつ検出対象物との相対距離が変化するように配置され、前記1つの発振回路のコイルは、検出対象物との相対距離が変化しないように配置されることを特徴とする変位量検出装置である。
前記軸線まわりに検出対象物が角変位すると、複数の発振回路のうちのいずれか1つを除く残余の発振回路の各コイルの検出対象物への相対距離が変化する。検出対象物が前記軸線まわりに角変位すると、独立変数に相当する相対距離の変化量は、それぞれ多項式ごとに異なる。したがって、未知数を多項式の係数としたときに、複数の多項式は、それぞれ互いに一次独立の関係になる。このような互いにそれぞれ一次独立の多項式から成る連立方程式を解くことによって、多項式の係数を消去することができる。
このように環境因子に依存する全ての係数を消去することによって得られる各発振回路の発振周波数と、検出対象物の角変位量との関係に基づいて、信号処理部は、検出対象物の軸線まわりの角変位量に相当する電気信号を出力することができる。これによって環境因子に起因する測定誤差を含むことのない検出対象物の角変位量の測定結果を得ることができる。
Pulse Width Modulation)波発生部28とを含んで構成される。第1周波数計測部26は、第1低域通過フィルタ23から与えられる周波数が│f1−fr│の正弦波の周波数を計測して、PWM波発生部28に与える。同様に第2周波数計測部27は、第2低域通過フィルタ24から与えられる周波数が│f2−fr│の正弦波の周波数を計測してPWM波発生部28に与える。第1周波数計測部26と第2周波数計測部27とは、同様の構成を有するので、第1周波数計測部26についてのみ説明し、重複する説明を省略する。図5において、第2周波数計測部27の構成のうちの、第1周波数計測部26の構成に対応する部分については、同一の参照符号を付す。
│f1−fr│=1/(2×T×N1) …(10)
│f2−fr│=1/(2×T×N2) …(11)
2 発振回路
3 信号処理部
4,42 検出対象物
5,43 コイル
11 タンク回路
21 第1の乗算部
22 第2の乗算部
23 第1低域通過フィルタ
24 第2低域通過フィルタ
25,44 変位量演算部
26 第1周波数計測部
27 第2周波数計測部
28 PWM波発生部
31 波形整形部
32 基準クロック生成部
33 ANDゲート
34 計数部
Claims (3)
- 検出対象物との相対距離の変化に応じてインダクタンスが変化するコイルを備え、発振周波数が前記コイルのインダクタンスに依存する複数の発振回路と、
各コイルと検出対象物との相対距離をそれぞれ独立変数として、前記各発振回路の発振周波数を予め定める次数の多項式でそれぞれ近似し、この近似した複数の多項式を用いて前記多項式の係数を消去することによって求められる各発振回路の発振周波数と検出対象物の変位量との関係に基づいて、検出対象物の変位量に相当する電気信号を出力する信号処理部とを含み、
前記複数の発振回路の数は、前記予め定める次数に数値2を加算した数に選ばれ、
前記各発振回路は、検出対象物の予め定める方向への変位に対して、複数の発振回路のうちのいずれか1つを除く残余の発振回路の各コイルと検出対象物との相対距離が変化するように配置され、前記1つの発振回路のコイルは、検出対象物との相対距離が変化しないように配置されることをむことを特徴とする変位量検出装置。 - 検出対象物との相対距離の変化に応じてインダクタンスが変化するコイルを備え、発振周波数が前記コイルのインダクタンスに依存する複数の発振回路と、
各コイルと検出対象物との相対距離をそれぞれ独立変数として、前記各発振回路の発振周波数を予め定める次数の多項式でそれぞれ近似し、この近似した複数の多項式を用いて前記多項式の係数を消去することによって求められる各発振回路の発振周波数と検出対象物の変位量との関係に基づいて、検出対象物の変位量に相当する電気信号を出力する信号処理部とを含み、
前記複数の発振回路の数は、前記予め定める次数に数値2を加算した数に選ばれ、
前記検出対象物は、厚み方向の一表面が前記各コイルに臨んで設けられ、前記一表面に対して傾斜して交わる軸線まわりに角変位し、
前記各発振回路は、検出対象物の予め定める方向への変位に対して、複数の発振回路のうちのいずれか1つを除く残余の発振回路の各コイルが前記軸線まわりに予め定める間隔をあけ、かつ検出対象物との相対距離が変化するように配置され、前記1つの発振回路のコイルは、検出対象物との相対距離が変化しないように配置されることを特徴とする変位量検出装置。 - 前記信号処理部は、パルス幅変調を用いて検出対象物の変位量に相当する電気信号を出力することを特徴とする請求項1または2に記載の変位量検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010043184A JP5227350B2 (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 変位量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010043184A JP5227350B2 (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 変位量検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011179914A JP2011179914A (ja) | 2011-09-15 |
JP5227350B2 true JP5227350B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=44691577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010043184A Expired - Fee Related JP5227350B2 (ja) | 2010-02-26 | 2010-02-26 | 変位量検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5227350B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109842748A (zh) * | 2017-11-24 | 2019-06-04 | 三星电机株式会社 | 致动器、相机模块和便携式通信终端 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101751485B1 (ko) * | 2015-03-10 | 2017-06-27 | 주식회사 트루윈 | 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서 |
KR101697975B1 (ko) * | 2015-03-10 | 2017-01-19 | 주식회사 트루윈 | 주파수 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서 |
KR20190045579A (ko) * | 2017-10-24 | 2019-05-03 | 삼성전기주식회사 | 카메라 모듈의 액츄에이터 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0754810Y2 (ja) * | 1989-01-26 | 1995-12-18 | 日東工器株式会社 | 変位測定器 |
-
2010
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109842748A (zh) * | 2017-11-24 | 2019-06-04 | 三星电机株式会社 | 致动器、相机模块和便携式通信终端 |
US10859793B2 (en) | 2017-11-24 | 2020-12-08 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Actuator for a camera module |
CN109842748B (zh) * | 2017-11-24 | 2020-12-22 | 三星电机株式会社 | 致动器、相机模块和便携式通信终端 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011179914A (ja) | 2011-09-15 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120404 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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