KR101751485B1 - 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 하나의 발진기에 의해서 2개의 여자코일을 구동하되 커플러의 변위에 따라 2개 여자코일의 진폭 변화를 검출하여 진폭 변화의 차이에 의한 커플러의 변위를 감지할 수 있는 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서를 제공한다.
본 발명에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서는 발진기에 연결되며 제1발진기의 전원 공급에 따라 인덕턴스를 발생시키는 제1여자코일 및 제2여자코일과, 제1여자코일에 대응하여 설치되는 커플러와, 제1여자코일에 연결되어 제1여자코일의 주파수와 제2여자코일에 연결되어 제2여자코일의 주파수를 곱셈 연산하는 승산기(multilpier) 및, 승산기의 출력단에 연결되어 고주파 성분을 제거하는 저역통과필터(Low Pass Filter)를 포함하는 것으로, 저역통과필터에서 출력되는 전압신호를 감지신호로 출력한다.

Description

진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서 {Inductive Displacement Sensor Using Amplitude Modulation}
본 발명은 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 발진기에 의해서 각각 구동되는 여자코일 중 하나의 여자코일에 대응되는 커플러가 설치되고, 커플러의 위치에 따라 동일한 주파수를 갖는 여자코일간의 진폭 변조를 통해 검출하며, 검출된 진폭의 차이를 이용하여 커플러의 위치 변화를 감지할 수 있는 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서에 관한 것이다.
변위센서는 대상물의 물리 변화량을 다양한 소자로 검지하는 장치로서, 직선 변위 센서와 회전 변위 센서로 대별될 수 있다. 이때 변위를 전기량으로 변환하는 데 정전용량 변화, 인덕턴스 변화, 전기 저항 변화 및 발생 기전력 변화를 이용하는 다양한 변위센서가 개발되었다.
이 중에서 인덕턴스 방식의 변위센서는 여자코일 위에 수신코일을 배치하고, 그 위에 커플러를 배치하여 구성된다. 이러한 구성에서 여자코일에는 소정의 주파수로 발진전압을 인가하기 위한 발진회로가 연결 설치되고, 수신코일에는 변화되는 인덕턴스값을 감지하여 이로부터 커플러의 회전각이나 이동거리를 연산하여 출력하는 신호처리회로가 연결 설치된다.
또한, 위와 같은 구조에서 커플러가 회전 또는 이동함에 따라 수신코일의 인덕턴스값에 변화가 발생하고, 이를 이용하여 회전체의 회전각이나 직선이동거리를 측정하게 된다.
인덕턴스 방식의 변위센서는 다양한 구조와 방법으로 개발되었으며, 그 중에서 출원인에 의해 출원되어 등록된 특허 제10-1206070호에 일체형 인덕턴스방식 변위감지센서 및 그 제조방법이 기재되었다.
위 기술은 전자기장의 차폐막으로 기능하는 금속기판과, 금속기판의 한쪽면에 절연층을 사이에 두고 형성되는 센싱코일과, 금속기판의 다른쪽면에 절연층을 사이에 두고 형성 및 설치되고 센싱코일과 전기적으로 연결되고 센싱코일로부터 전달되는 인덕턴스값의 변화를 수신하여 처리하는 신호처리회로를 포함하는 일체형 인덕턴스방식 변위감지센서에 관한 것이다.
여기서, 인덕턴스(inductance)에 대해서 설명하면, 인덕턴스는 회로를 흐르는 전류의 변화에 의해 전자기유도로 생기는 역기전력의 비율을 나타내는 양으로 단위는 H(헨리)이다. 자속(磁束) 변화의 원인에 따라 자체인덕턴스와 상호인덕턴스로 나눈다. 부연하면, 회로를 흐르는 전류가 변하면 회로를 관통하는 자력선속(磁力線束, 자속)도 함께 변한다. 자속의 변화는 전자기유도현상을 일으키고 회로에는 전류의 변화를 방해하는 방향으로 유도기전력이 생긴다. 따라서 자속 변화의 영향을 많이 받는 고리모양의 회로, 특히 코일에서 이 현상이 두드러진다. 전자기유도현상에서 유도기전력의 크기는 자속의 변화율로 결정된다. 하지만, 회로 또는 코일의 모양이 일정한 경우 자속의 변화량은 전류의 변화량에 비례하고, 이때 비례상수가 인덕턴스가 된다. 따라서 유도기전력의 크기는 인덕턴스와 전류의 시간당 변화율의 곱으로 표현된다.
유도기전력의 원인, 즉 회로를 통과하는 자속 변화의 원인에 따라 두 가지로 나눈다. 역기전력이 자기 자신의 회로에 흐르는 전류의 변화로 유도될 때의 인덕턴스를 자체인덕턴스라 하고, 결합되어 있는 상대방의 회로에 흐르는 전류의 변화로 유도될 때는 상호인덕턴스라고 한다.
따라서, 종래 기재된 인덕턴스 방식의 변위센서는 여자코일 위에 수신코일을 배치하고, 수신코일 위에 커플러를 배치하여 구성되므로, 수신코일에 여자코일에 의한 인덕턴스 뿐만 아니라 다른 주파수(예: 노이즈)도 수신될 수 있는 경우가 발생될 수 있으며, 이 경우 노이즈에 의한 정확한 변위를 검지할 수 없는 문제점이 발생된다.
아울러, 코일은 온도의 변화에 따라 인덕턴스값이 변화되는 특성이 있으므로, 여자코일 및 수신코일 등 코일의 사용에 의해 변화되는 온도에 따라 검출되는 변위값이 달라지는 문제점이 발생된다.
본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 하나의 발진기에 의해서 2개의 여자코일을 구동하되 커플러의 변위에 따라 2개 여자코일의 진폭 변화를 검출하여 진폭 변화의 차이에 의한 커플러의 변위를 감지할 수 있는 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서를 제공하는 데, 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 목적은 온도 변화에 영향을 받지 않는 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서를 제공하는 데 있다.
본 발명에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서는 발진기에 연결되며 발진기의 전원 공급에 따라 인덕턴스를 발생시키는 제1여자코일 및 제2여자코일과, 제1여자코일에 대응하여 설치되는 커플러와, 제1여자코일에 연결되어 제1여자코일의 주파수와 제2여자코일에 연결되어 제2여자코일의 주파수를 곱셈 연산하는 승산기(multilpier) 및, 승산기의 출력단에 연결되어 고주파 성분을 제거하는 저역통과필터(Low Pass Filter)를 포함하는 것으로, 저역통과필터에서 출력되는 전압신호를 감지신호로 출력되는 것을 기술적 특징으로 한다.
여기서, 제2여자코일 상부에 제1여자코일이 배치되며, 제1여자코일의 상부에 커플러가 배치된다.
또한, 제2여자코일에 연결되어 제2여자코일의 주파수를 입력받아 반파정류시키는 다이오드와, 다이오드의 출력신호와 저역통과필터에서 출력되는 전압신호를 나눗셈하는 제산기를 더 포함하여, 제산기에서 출력되는 신호를 커플러의 최대 변위의 감지신호로 출력하도록 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서는 2개의 여자코일을 이용하여 커플러의 변위에 따른 여자코일의 인덕턴스의 변화에 대한 주파수 진폭의 변화를 검출하여 커플러의 변위를 검지할 수 있는 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서를 제공할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서의 개념을 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서의 제1여자코일의 최대 변위 값을 감지하는 구성을 나타낸 도면이다.
첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.
또한, 본 발명을 설명하기에 앞서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 하기 설명에서는 구체적인 구성 소자 등과 같은 특정 사항들이 나타나고 있는데 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐 이러한 특정 사항들이 본 발명의 범위 내에서 소정의 변형이나 혹은 변경이 이루어질 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다 할 것이다.
이하에서는 본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 본 발명과 밀접한 관계가 없는 부분은 상세한 설명을 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고, 반복적인 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서의 개념을 나타낸 구성도이며, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서의 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서는 발진기(10), 제1여자코일(21), 제2여자코일(22), 커플러(30), 버퍼(41, 42), 승산기(50) 및 저역통과필터(60)를 포함하여 구성된다.
발진기(10)는 일반적인 발진회로로 구성될 수 있으며, 인가된 전원을 통해 스위칭 소자 등을 이용하여 구성될 수 있다.
제1여자코일(21) 및 제2여자코일(22)은 발진기(10)에 직렬로 연결되어 발진기(10)에서 출력되는 발진 주파수에 따라 인덕턴스를 발생시킨다.
제1여자코일(21)과 제2여자코일(22) 사이는 발진 전원이 인가된다.
여기서 제1여자코일(11)과 제2여자코일(21)은 동일한 인덕턴스가 발생되도록 동기화된다.
즉, 제1여자코일(11)과 제2여자코일(21)의 동기화를 위해서 제1여자코일(11)과 제2여자코일(21)의 권선수 및 권선 형태 등을 동일하게 구성될 필요성이 있다.
커플러(30)는 제1여자코일(11)과 소정의 간격을 두고 설치되는 것으로, 금속재질로 구성된다.
이러한 제1여자코일(21), 제2여자코일(22) 및 커플러(30)의 배치 구조는 제2여자코일(22) 상부에 제1여자코일(21)이 배치되며, 제1여자코일(21)의 상부에 커플러(30)가 배치된다.
제1여자코일(21)과 제2여자코일(22)은 소정의 간격으로 배치된다.
이에, 커플러(30)의 위치가 변경되면, 제1여자코일(21) 및 제2여자코일(22)의 인덕턴스가 가변되는 데, 인덕턴스의 가변 정도는 제1여자코일(21)이 제2여자코일(22)보다 크게 가변된다.
따라서 제1여자코일(21)과 제2여자코일(22)이 초기 상태에서는 동기화된 상태를 유지하다가 커플러(30)의 이격 정도(변위)에 따라 제1여자코일(21)과 제2여자코일(22)의 인덕턴스 변화에 차이가 발생하고, 이 인덕턴스 변화의 차이는 커플러(30)의 변위량에 대응된다.
위 제1여자코일(21), 제2여자코일(22) 및 커플러(30)의 배치 구조에서, 상하 구조의 배치를 설명하였으나, 상하의 배치 구조는 압력센서 또는 무게센서 등에 사용될 수 있다. 또는 좌우 배치의 구조로도 가능하다.
예를 들면, 설계 조건에 따라 제2여자코일(22)의 우측에 제1여자코일(21)을 배치하고 제1여자코일(21)의 좌측에 커플러(30)를 배치하여 압력센서 등으로 사용될 수 있음은 물론이다.
버퍼(41, 42)는 제1여자코일(11)과 제2여자코일(21)에 발생되는 신호를 그대로 전달하는 기능을 수행한다.
승산기(50)는 버퍼(41)에서 전달된 제1여자코일(11)의 주파수와 버퍼(42)에서 전달된 제2여자코일(22)의 주파수를 곱셈한다.
저역통과필터(60, Low Pass Filter)는 승산기(50)의 출력단에 구성되어 승산기(50)에서 곱셈된 주파수 성분에서 고주파 성분을 제거한다. 이에 저역통과필터(60)에서 출력되는 주파수는 DC 출력 신호가 출력된다.
한편, 본 발명의 일실시예에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서는 제1여자코일의 최대 변위를 검출할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서의 제1여자코일의 최대 변위 값을 감지하는 구성을 나타낸 도면이다.
본 발명의 일실시예에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서의 제1여자코일의 최대 변위 값을 감지하기 위한 구성으로, 다이오드(70)와 제산기(80)의 구성이 더 포함된다.
첨부된 도면의 도 3에서, 발진기(10), 제1여자코일(21), 제2여자코일(22), 커플러(30), 버퍼(41, 42), 승산기(50) 및 저역통과필터(60)는 위의 설명과 동일하므로 생략한다.
다이오드(70)는 제2여자코일(22)에 연결되어 제2여자코일(22)의 주파수를 입력받아 반파정류시킨다.
제산기(80)는 다이오드(70)의 출력신호와 저역통과필터(60)에서 출력되는 전압신호를 나눗셈하여 출력한다.
제산기(80)에서 출력되는 신호는 제1여과코일(21)의 최대 변위에 해당하는 DC 출력이며, 이 신호에 근거하여 커플러의 최대 변위의 감지신호로 출력하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서는 2개의 여자코일을 이용하여 커플러의 변위에 따른 여자코일의 인덕턴스의 변화에 대한 주파수 진폭의 변화를 검출하여 커플러의 변위를 검지할 수 있는 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서를 제공할 수 있는 장점이 있다.
상기에서는 본 발명에 따른 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식 변위센서의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정하는 것이 아니고 특허청구범위와 명세서 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.
10 - 발진기, 21 - 제1여자코일, 22 - 제2여자코일, 30 - 커플러
41,42 - 버퍼, 50 - 승산기, 60 - 저역통과필터, 70 - 다이오드
80 - 제산기

Claims (3)

  1. 발진기에 연결되며 상기 발진기의 전원 공급에 따라 인덕턴스를 발생시키는 제1여자코일 및 제2여자코일과, 상기 제1여자코일에 대응하여 설치되는 커플러와, 상기 제1여자코일에 연결되어 상기 제1여자코일의 주파수와 상기 제2여자코일에 연결되어 상기 제2여자코일의 주파수를 곱셈 연산하는 승산기(multilpier) 및, 상기 승산기의 출력단에 연결되어 고주파 성분을 제거하는 저역통과필터(Low Pass Filter)를 포함하고,
    상기 저역통과필터에서 출력되는 전압신호를 감지신호로 출력하고,
    상기 제1여자코일과 제2여자코일의 진폭 변화를 검출하여 진폭 변화의 차이에 의한 상기 커플러의 변위를 감지할 수 있고,
    상기 제2여자코일에 연결되어 상기 제2여자코일의 주파수를 입력받아 반파정류시키는 다이오드와, 상기 다이오드의 출력신호와 상기 저역통과필터에서 출력되는 전압신호를 나눗셈하는 제산기를 더 포함하고,
    상기 제산기에서 출력되는 신호를 상기 커플러의 최대 변위의 감지신호로 출력하는 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2여자코일 상부에 제1여자코일이 배치되며, 상기 제1여자코일의 상부에 커플러가 배치된 진폭 변조를 이용한 인덕턴스 방식의 변위센서.
  3. 삭제
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011179914A (ja) * 2010-02-26 2011-09-15 Kawasaki Heavy Ind Ltd 変位量検出装置
JP2012185032A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Makome Kenkyusho:Kk 変位センサ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007108027A (ja) 2005-10-14 2007-04-26 Murata Mach Ltd 電磁誘導式変位センサ
JP2011179914A (ja) * 2010-02-26 2011-09-15 Kawasaki Heavy Ind Ltd 変位量検出装置
JP2012185032A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Makome Kenkyusho:Kk 変位センサ

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