JP5219109B2 - 超電導材料の製造方法 - Google Patents
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Description
ここでは、金属有機化合物を溶媒に溶解させて溶液状とし、これを基板に塗布した後に、乾燥させ、波長400nm以下のレーザ光、例えば、ArF、KrF、XeCl、XeF、F2から選ばれるエキシマレーザを用いて照射することにより基板上に金属酸化物を形成することを特徴とする金属酸化物の製造方法が記載され、波長400nm以下のレーザ光の照射を、複数段階で行い、最初の段階の照射は金属有機化合物を完全に分解させるに至らない程度の弱い照射で行い、次に酸化物にまで変化させることができる強い照射を行うことも記載されている。また、金属有機化合物が異なる金属からなる2種以上の化合物であり、得られる金属酸化物が異なる金属からなる複合金属酸化物であって、金属有機酸塩の金属が、鉄、インジウム、錫、ジルコニウム、コバルト、鉄、ニッケル、鉛から成る群から選ばれるものであることも知られている。
ここでは、被塗布物の表面に形成された薄膜に対して光を照射する光源が、ArFエキシマレーザ、KrFエキシマレーザ、XeClエキシマレーザ、XeFエキシマレーザ、YAGレーザの3倍波光またはYAGレーザの4倍波光が用いられ、被塗布物の表面に塗布される前駆体塗布液が、Laのアルカノールアミン配位化合物と、Mnのカルボン酸塩と、Mの金属またはアルコキシドとを、炭素数が1〜4である一級アルコール中で混合させ反応させて調製することが記載されている。
これにより、超電導性材料の低温・高速製膜(熱処理時間の大幅な短縮)が可能になるとともに、マスクの使用や紫外光の照射位置を精密に制御することにより、マイクロ波フィルタや限流器等の素子に必要なパターニングを製膜と同時に行うことができる。
また、本発明では、酸化物が超電導物質を形成する金属として、RE(REはYおよび希土類元素),およびAE(AEはアルカリ土類金属)それぞれから選ばれる1種以上およびCuを用いることが出来る。
さらに本発明は、支持体として、ランタンアルミネート(LaAlO3)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)、酸化ランタンストロンチウムタンタルアルミニウム((LaxSr1-x)(AlxTa1-x)O3)、ネオジムガレート(NdGaO3)あるいはイットリウムアルミネート(YAlO3)から選ばれる1種の単結晶基板、または、酸化アルミニウム(Al2O3)、イットリア安定化ジルコニア((Zr,Y)O2, YSZ)、ランタンアルミネート(LaAlO3)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)、酸化ランタンストロンチウムタンタルアルミニウム((LaxSr1-x)(AlxTa1-x)O3)、ネオジムガレート(NdGaO3)、イットリウムアルミネート(YAlO3)あるいは酸化マグネシウム(MgO)から選ばれる1種の単結晶に酸化セリウム(CeO2)中間層を形成(蒸着、スパッタ、パルスレーザ蒸着、塗布熱分解法、塗布光分解法、ゾルゲル法など)した基板、または、Al2O3焼結体、YSZ焼結体あるいは金属テープから選ばれる1種に、配向性YSZまたは酸化ガドリニウムジルコニウム(Gd2Zr2O7)、および/又はCeO2またはREMnO3中間層を形成(蒸着、スパッタ、パルスレーザ蒸着、塗布熱分解法、塗布光分解法、ゾルゲル法など)した基板から選ばれる1種等を用いることが出来る。
また、本発明では、金属有機化合物が、β−ジケトナト、アルコキシド、ハロゲンを含む有機酸塩から選ばれる1種以上を用いることが好ましい。
さらに本発明では、紫外光としてレーザ及び又はランプ光を用いることができる。
また、金属の有機化合物溶液を基板にスピンコートし、溶媒除去のため恒温槽中130℃で乾燥後、レーザチャンバ内の試料ホルダーに試料を装着し、室温でレーザ照射することもできる。
本発明の焼成プロセスは、乾燥工程、仮焼成工程、本焼成初期工程の各段階に大別され、場合により種々各工程の条件は異なるが、典型的な一例としての温度プロファイルを図2に示す。
1.YBCOを生成する金属有機化合物の溶液を支持体上に塗布乾燥させる工程(1)後、金属の有機化合物中の有機成分を熱分解させる仮焼成工程(2)の前段階において、紫外光(レーザ、ランプ光)を照射することにより、低温で有機成分の分解が促進されることが判明した。
2.金属有機化合物の溶液を支持体上に塗布し、乾燥させる工程(1)、金属の有機成分を熱分解させる仮焼成工程(2)後、超電導物質を形成させる本焼成工程(3)を短時間行った後、または、本焼成工程(3)中に紫外光(レーザ、ランプ光)を照射することにより、前述の照射しない場合と比較して必要な熱処理温度を低下させることが出来ることが判明した。
エキシマレーザによるYBCO原料溶液塗布膜の分解反応の経時変化をフーリエ変換赤外分光法より測定した。
その結果を図3に示す。照射前に顕著だった3000cm-1付近のC-H振動の吸収ピークおよび1600cm-1付近のカルボン酸イオンによる吸収ピークがKrFエキシマレーザによる20mJ/cm2, 1Hz, 1800パルスの照射により消失しており、レーザ照射が金属有機化合物の分解に有効であることがわかった。
本発明の実施例で使用した基板は、
(KC1)市販の酸化アルミニウム(Al2O3)単結晶(サファイア)R面基板に酸化セリウム(CeO2)中間層を形成した基板
(KC2)市販のイットリア安定化ジルコニア((Zr,Y)O2,YSZ)(100)にCeO2中間層を形成した基板
(KC3)市販のランタンアルミネート(LaAlO3)(100)基板にCeO2中間層を形成した基板
(KC4)市販のチタン酸ストロンチウム(SrTiO3)(100)基板にCeO2中間層を形成した基板
(KC5)市販の酸化ランタンストロンチウムタンタルアルミニウム((LaxSr1-x)(AlxTa1-x)O3)(100)基板にCeO2中間層を形成した基板
(KC6)市販のネオジムガレート(NdGaO3)(110)基板にCeO2中間層を形成した基板。
(KC7)市販のイットリウムアルミネート(YAlO3)(110)基板にCeO2中間層を形成した基板
(KC8)市販の酸化マグネシウム(MgO)(100)基板にCeO2中間層を形成した基板
(KC9)市販の酸化アルミニウム焼結体テープに配向性YSZおよびCeO2中間層を形成した基板
(K1)市販のLaAlO3(100)基板
(K2)市販のSrTiO3(100)基板
(K3)市販の(LaxSr1-x)(AlxTa1-x)O3(100)基板
(K4)市販のNdGaO3(110)基板
(K5)市販のYAlO3(110)基板
である。
原料溶液は、
(Y1)モル比1:2:3のY,Ba,Cuのアセチルアセトナトをピリジンとプロピオン酸の混合液に溶解し、真空エバポレータを用いて約80℃で溶媒の大部分を除去した後メタノールに再溶解した溶液
(YC1)Y1でモル比1:2:3のY,Ba,Cuのアセチルアセトナトの代わりにモル比0.95:0.05:2:3のY,Ca,Ba,Cuのアセチルアセトナトとして調製した溶液
(Y2)Y,Ba,Cuのナフテン酸塩のトルエン溶液をモル比1:2:3で混合した溶液
(Y3)Y,Ba,Cuの2−エチルヘキサン酸塩のトルエン溶液をモル比1:2:3で混合した溶液
(Y4)Y1でプロピオン酸の代わりにトリフルオロ酢酸として調製した溶液
(Y5)Y,Ba,Cuのトリフルオロ酢酸塩のメタノール溶液をモル比1:2:3で混合した溶液
(D1)Y1でY−アセチルアセトナトの代わりにDy−アセチルアセトナトとして調製した溶液
(E1)Y1でY−アセチルアセトナトの代わりにEr−アセチルアセトナトとして調製した溶液
である。
紫外光照射は
(H1)KrFエキシマレーザ(発振波長248nm)
(H2)XeClエキシマレーザ(発振波長308nm)
(H3)ArFエキシマレーザ(発振波長193nm)
(H4)Xeエキシマランプ(最大発光波長172nm)
(H5)KrClエキシマランプ(最大発光波長222nm)
を用いた。
Claims (5)
- 酸化物が超電導物質を形成する金属の、β−ジケトナト、アルコキシド、ハロゲンを含んでもよい有機酸塩から選ばれる1種以上の有機化合物溶液を支持体上に塗布し、乾燥させる工程(1)、金属の有機化合物中の有機成分を熱分解させる仮焼成工程(2)、超電導物質への変換を行う本焼成工程(3)を経てエピタキシャル成長させた超電導材料を製造するに際し、工程(2)および工程(3)と並行してあるいは工程(2)の前に、発振波長が193nm〜308nmのエキシマレーザ又は最大発光波長が172nm〜222nmのエキシマランプ光を照射することを特徴とする超電導材料の製造方法。
- 酸化物が超電導物質を形成する金属が、RE(REはYおよび希土類元素)、およびAE(AEはアルカリ土類金属)それぞれから選ばれる1種以上およびCuである請求項1に記載した超電導性材料の製造方法。
- 支持体が、ランタンアルミネート(LaAlO3)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)、酸化ランタンストロンチウムタンタルアルミニウム((LaxSr1−x)(AlxTa1−x)O3)、ネオジムガレート(NdGaO3)あるいはイットリウムアルミネート(YAlO3)から選ばれる1種の単結晶基板である請求項1又は請求項2に記載した超電導性材料の製造方法。
- 支持体が、酸化アルミニウム(Al2O3)、イットリア安定化ジルコニア((Zr,Y)O2,YSZ)、ランタンアルミネート(LaAlO3)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)、酸化ランタンストロンチウムタンタルアルミニウム((LaxSr1−x)(AlxTa1−x)O3)、ネオジムガレート(NdGaO3)、イットリウムアルミネート(YAlO3)あるいは酸化マグネシウム(MgO)から選ばれる1種の単結晶に、酸化セリウム(CeO2)中間層を形成した基板である請求項1又は請求項2に記載した超電導性材料の製造方法。
- 支持体が、Al2O3焼結体、YSZ焼結体あるいは金属テープから選ばれる1種に配向性YSZまたは酸化ガドリニウムジルコニウム(Gd2Zr2O7)、および/又は配向性CeO2またはREMnO3中間層を形成した基板である請求項1又は請求項2に記載した超電導性材料の製造方法。
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