JP5215742B2 - 有機el表示装置の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 33
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 90
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 26
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 18
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 12
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 12
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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Description
α(F)≧α(M) ×(ΔT(M) / ΔT(F) ) (式1)
(α(S) -5×10-6℃-1)≦ α(F) ≦ (α(S) +10×10-6℃-1) …(式2)
(式1)の意味は、マスクフレーム22の温度がマスクシート23の温度よりも低い場合であっても、マスクフレーム22の熱膨張量がマスクシート23の熱膨張量よりも大きくするということである。また、(式2)は、マスクフレーム22と回路基板101の位置ずれが、回路基板101の中心から200mm離れた場所において、10μm以下とするための条件である。回路基板101、マスクフレーム22、マスクシート23の温度を比較すると、マスクシート>回路基板>マスクフレームとなっており、回路基板101の温度がマスクフレーム23の温度よりも高い。
(1)マスク蒸着工程における蒸着マスクの弛みによる変形が抑制でき,デバイス基板の熱膨張に対応して蒸着マスクも膨張して寸法を合わせることができるため,(1)蒸着パターンの位置ずれ低減,(2)プロセス変動(熱輻射変動)への良好な追従性,の効果が得られる。これにより,マスク蒸着工程の製造歩留まりを高くすることができる。
(2)蒸着マスクのマスクシート変形が抑制できるとともに熱輻射の影響を低くできるため,蒸着パターンの微細化に寄与できる。
(3)低テンションマスクとできるため,蒸着マスクの長寿命化が期待できる。
本実施例の場合にも第1の実施例と同じ効果を得ることができる。またこの場合には,下記効果も得ることができる。すなわち、(1)微細開口部25を設けているマスクシート23が小さいため,熱伸びによる変形量を第1の実施例に比べて小さくできること、(2)熱容量の大きなマスクフレーム22が蒸着マスク21全体に存在するため,マスク温度の変化を抑制できることである。また,マスクフレーム22が回路基板101の熱遮蔽となるため,回路基板101の温度上昇を抑制でき,温度変化も低減できる。
Claims (11)
- 回路基板上に下部電極、有機EL層、上部電極を形成した有機EL表示装置の製造方法であって、
前記有機EL層または前記上部電極は蒸着マスクを用いた蒸着によって形成し、
前記蒸着マスクは開口部を形成したマスクシートと前記マスクシートを支持するマスクフレームによって形成され、
前記回路基板の熱膨張係数をα(S)とし、前記マスクフレームの熱膨張係数をα(F)とした場合、(α(S)-5×10-6℃-1)≦α(F)≦(α(S)+10×10-6℃-1)の関係が存在し、かつ、
前記マスクフレームの熱膨張係数は前記マスクシートの熱膨張係数よりも大きく、
前記有機EL層または前記上部電極を蒸着によって形成しているときの前記マスクフレームの温度上昇をΔT(F)、前記マスクシートの温度上昇をΔT(M)、前記マスクシートの熱膨張係数をα(M)とした場合、α(F)≧α(M)×(ΔT(M)/ΔT(F))を満足することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 前記マスクフレームの熱膨張係数は前記マスクシートの熱膨張係数の1.2倍以上であることを特徴とする請求項1に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記マスクシートまたは前記マスクフレームをFeとNiのいずれかを含む材料によって構成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 回路基板上に下部電極、有機EL層、上部電極、および、上部電極の電圧降下を緩和する前記上部電極上の補助電極を形成した有機EL表示装置の製造方法であって、
前記補助電極は蒸着マスクを用いた蒸着によって形成し、
前記蒸着マスクは開口部を形成したマスクシートと前記マスクシートを支持するマスクフレームよって形成され、
前記回路基板の熱膨張係数をα(S)とし、前記マスクフレームの熱膨張係数をα(F)とした場合、(α(S)-5×10-6℃-1)≦α(F)≦(α(S)+10×10-6℃-1)の関係が存在し、かつ、
前記マスクフレームの熱膨張係数は前記マスクシートの熱膨張係数よりも大きく、
前記有機EL層または前記上部電極を蒸着によって形成しているときの前記マスクフレームの温度上昇をΔT(F)、前記マスクシートの温度上昇をΔT(M)、前記マスクシートの熱膨張係数をα(M)とした場合、α(F)≧α(M)×(ΔT(M)/ΔT(F))を満足することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 前記マスクフレームの熱膨張係数は前記マスクシートの熱膨張係数の1.2倍以上であることを特徴とする請求項4に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記マスクシートまたは前記マスクフレームをFeとNiのいずれかを含む材料によって構成することを特徴とする請求項4または請求項5に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 回路基板上に下部電極、有機EL層、上部電極を形成した有機EL表示装置の製造方法であって、
前記有機EL層または前記上部電極は蒸着マスクを用いた蒸着によって形成し、
前記蒸着マスクは開口部を形成したマスクシートと前記マスクシートを支持する第1のマスクフレームと、前記第1のマスクフレームを支持する第2のマスクフレームによって形成され、
前記回路基板の熱膨張係数をα(S)とし、前記第2のマスクフレームの熱膨張係数をα(F2)とした場合、(α(S)-5×10-6℃-1)≦α(F2)≦(α(S)+10×10-6℃-1)の関係が存在し、かつ、
前記第2のマスクフレームの熱膨張係数は前記マスクシートの熱膨張係数および前記第1のマスクフレームの熱膨張係数よりも大きく、
前記有機EL層または前記上部電極を蒸着によって形成しているときの前記マスクフレームの温度上昇をΔT(F)、前記マスクシートの温度上昇をΔT(M)、前記マスクシートの熱膨張係数をα(M)とした場合、α(F)≧α(M)×(ΔT(M)/ΔT(F))を満足することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 前記マスクシートまたは前記マスクフレームをFeとNiのいずれかを含む材料によって構成することを特徴とする請求項7に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 回路基板上に下部電極、有機EL層、上部電極、および、上部電極の電圧降下を緩和する前記上部電極上の補助電極を形成した有機EL表示装置の製造方法であって、
前記補助電極は蒸着マスクを用いた蒸着によって形成し、
前記蒸着マスクは開口部を形成したマスクシートと前記マスクシートを支持する第1のマスクフレームと、前記第1のマスクフレームを支持する第2のマスクフレームによって形成され、
前記回路基板の熱膨張係数をα(S)とし、前記第2のマスクフレームの熱膨張係数をα(F2)とした場合、(α(S)-5×10-6℃-1)≦α(F2)≦(α(S)+10×10-6℃-1)の関係が存在し、かつ、
前記第2のマスクフレームの熱膨張係数は前記マスクシートの熱膨張係数および前記第1のマスクフレームの熱膨張係数よりも大きく、
前記有機EL層または前記上部電極を蒸着によって形成しているときの前記マスクフレームの温度上昇をΔT(F)、前記マスクシートの温度上昇をΔT(M)、前記マスクシートの熱膨張係数をα(M)とした場合、α(F)≧α(M)×(ΔT(M)/ΔT(F))を満足することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 前記マスクシートまたは前記マスクフレームをFeとNiのいずれかを含む材料によって構成することを特徴とする請求項9に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 前記マスクシートはNiめっきによって形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項10の何れか1つに記載の有機EL表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008153018A JP5215742B2 (ja) | 2008-06-11 | 2008-06-11 | 有機el表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008153018A JP5215742B2 (ja) | 2008-06-11 | 2008-06-11 | 有機el表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009301789A JP2009301789A (ja) | 2009-12-24 |
JP5215742B2 true JP5215742B2 (ja) | 2013-06-19 |
Family
ID=41548500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008153018A Active JP5215742B2 (ja) | 2008-06-11 | 2008-06-11 | 有機el表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5215742B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102110787B (zh) * | 2010-11-05 | 2012-07-25 | 四川虹视显示技术有限公司 | Oled掩膜板对位方法 |
JP6035548B2 (ja) * | 2013-04-11 | 2016-11-30 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 蒸着マスク |
JP6229483B2 (ja) * | 2013-12-24 | 2017-11-15 | コニカミノルタ株式会社 | 成膜用マスク、マスク成膜方法、および有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
JP2015140464A (ja) * | 2014-01-29 | 2015-08-03 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク装置及び熱バリア材 |
KR102300029B1 (ko) * | 2017-07-27 | 2021-09-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 프레임 조립체와 이의 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법 |
JP6919145B2 (ja) * | 2017-08-09 | 2021-08-18 | 株式会社飯沼ゲージ製作所 | マスク製造装置及びマスク製造方法 |
KR101909582B1 (ko) | 2018-06-04 | 2018-10-18 | 주식회사 케이피에스 | 풀 사이즈 마스크 조립체와 그 제조방법 |
KR20200092524A (ko) * | 2019-01-24 | 2020-08-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리 |
JP2021038436A (ja) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 蒸着マスク |
JP2020176333A (ja) * | 2020-07-14 | 2020-10-29 | 株式会社飯沼ゲージ製作所 | マスク製造装置及びマスク製造方法 |
CN113690396B (zh) * | 2021-08-25 | 2023-03-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜组件及其制造方法、目标结构的制造方法、显示装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4006173B2 (ja) * | 2000-08-25 | 2007-11-14 | 三星エスディアイ株式会社 | メタルマスク構造体及びその製造方法 |
JP4373086B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2009-11-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
JP2006124761A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Canon Inc | 蒸着装置 |
JP4662808B2 (ja) * | 2005-05-17 | 2011-03-30 | 大日本印刷株式会社 | メタルマスク用フレーム及びその製造方法 |
JP2007095324A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Hitachi Displays Ltd | 有機el表示パネルの製造方法、及びこの製造方法により製造した有機el表示パネル |
-
2008
- 2008-06-11 JP JP2008153018A patent/JP5215742B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009301789A (ja) | 2009-12-24 |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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