JP5207037B2 - 接着剤注入装置 - Google Patents
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Claims (6)
- 少なくとも2枚のウェハを貼り合わせた積層ウェハの隣接するウェハ間の隙間に接着剤を注入する装置であって、
前記積層ウェハの外周端面にシール材の樹脂を塗布する塗布手段を備える塗布室と、
前記塗布した樹脂を硬化させるシール材硬化手段を備えるシール硬化室と、
前記シールを形成した積層ウェハの隣接するウェハの隙間に、真空差圧法によって接着剤を注入する接着剤注入室と、
前記接着剤注入室で用いる接着剤を用意する接着剤準備室とをインラインに配して備え、
前記接着剤注入室は、
この接着剤注入室内を真空排気する排気部と、
この接着剤注入室内にガスを導入するガス導入部と、
前記接着剤準備室から接着剤を受け取り、当該接着剤を積層ウェハの外周端面に形成された接着剤の注入口に接触させる接液部とを備えることを特徴とする、接着剤注入装置。 - 前記接着剤を硬化させる接着剤硬化手段を備える接着剤硬化室を、前記インライン配置の接着剤注入室の下流側に備えることを特徴とする、請求項1に記載の接着剤注入装置。
- 前記接着剤準備室は、
前記接着剤を加熱する接着剤加熱手段を有する予備加熱室と
減圧によって前記接着剤中から気泡を排出させる脱泡室とを備え、
前記予備加熱室と前記脱泡室との間、および前記脱泡室と前記接着剤注入室との間を仕切弁を介して接続し、前記予備加熱室で加熱した接着剤を前記脱泡室に送り、当該脱泡室から接着剤を前記接着剤注入室に送ることを特徴とする、請求項1又は2に記載の接着剤注入装置。 - 前記接着剤注入室は、
前記積層ウェハを加熱する積層ウェハ加熱手段を備えることを特徴とする、請求項1から3の何れか一つに記載の接着剤注入装置。 - 前記接着剤注入室が備えるガス導入部は、
前記接着剤注入室内を大気圧に戻す、あるいは前記接着剤注入室内を大気圧以上に加圧することを特徴とする、請求項1から4の何れか一つに記載の接着剤注入装置。 - 前記シール硬化室に対して、前記接着剤注入室および接着剤準備室の経路を複数備えることを特徴とする、請求項1から5の何れか一つに記載の接着剤注入装置。
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