JP4563748B2 - 接着剤注入装置および接着剤注入方法 - Google Patents
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Description
11 真空チャンバ
12 接着剤供給部
13 上ステージ
14 下ステージ
15 加熱装置
16 加熱装置
18 容器
18a 上治具
18b 下治具
19 真空排気装置
20 不活性ガス導入部
21 ピストン部
22 供給路
23 バルブ
24 注入部
25 積層ウェハ
E 接着剤
Claims (12)
- 複数層からなる平板部材の隙間に接着剤を注入するための接着剤注入装置であって、
真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に固定され、前記隙間を保つ治具を介して前記平板部材を収納し、前記真空チャンバ内が真空排気されたときに、内部が真空排気される程度の隙間を有する容器と、
前記容器内および前記平板部材の隙間内を排気する排気手段と、
前記容器内に接着剤を供給する接着剤供給手段と、
前記容器内にガスを導入することによって前記容器内と前記平板部材の隙間内に圧力差を生じさせて、前記平板部材の全周から接着剤を注入させるガス導入手段とを備えたことを特徴とする接着剤注入装置。 - 請求項1記載の接着剤注入装置であって、
前記容器は、水平状態で前記平板部材を収納することを特徴とする接着剤注入装置。 - 請求項1または2記載の接着剤注入装置であって、
さらに前記容器を加熱する加熱手段を有することを特徴とする接着剤注入装置。 - 請求項3記載の接着剤注入装置であって、
前記加熱手段は、前記平板部材の平面積、前記平板部材の隙間の大きさ、前記接着剤の粘性、前記圧力差のいずれかに応じて加熱温度を変更することを特徴とする接着剤注入装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の接着剤注入装置であって、
前記排気手段は、前記容器内を真空排気するポンプであることを特徴とする接着剤注入装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の接着剤注入装置であって、
前記複数層からなる平板部材は、各層に半導体集積回路が形成され、上下層が垂直配線で接続された積層ウェハであることを特徴とする接着剤注入装置。 - 複数層からなる平板部材の隙間に接着剤を注入するための接着剤注入方法であって、
前記平板部材を、真空チャンバ内に固定され、前記真空チャンバ内が真空排気されたときに内部が真空排気される程度の隙間を有する容器内に、前記平板部材の隙間を保つ治具を介して収納する平板部材収納工程と、
前記容器内および前記平板部材の隙間内を排気する排気工程と、
前記容器内に接着剤を供給する接着剤供給工程と、
前記容器内にガスを導入することによって前記容器内と前記平板部材の隙間内に圧力差を生じさせて、前記平板部材の全周から接着剤を注入させるガス導入工程とを備えたことを特徴とする接着剤注入方法。 - 請求項7記載の接着剤注入方法であって、
前記容器は、水平状態で前記平板部材を収納することを特徴とする接着剤注入方法。 - 請求項7または8記載の接着剤注入方法であって、
さらに前記容器を加熱する加熱工程を有することを特徴とする接着剤注入方法。 - 請求項9記載の接着剤注入方法であって、
前記加熱工程は、前記平板部材の平面積、前記平板部材の隙間の大きさ、前記接着剤の粘性、前記圧力差のいずれかに応じて加熱温度を変更することを特徴とする接着剤注入方法。 - 請求項7〜10のいずれか1項に記載の接着剤注入方法であって、
前記排気工程は、前記容器内を真空排気することを特徴とする接着剤注入方法。 - 請求項7〜11のいずれか1項に記載の接着剤注入方法であって、
前記複数層からなる平板部材は、各層に半導体集積回路が形成され、上下層が垂直配線で接続された積層ウェハであることを特徴とする接着剤注入方法。
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