JP5202944B2 - 発光素子の最大変調速度を改善する方法及び最大変調速度の改善された発光素子、並びにその量子井戸構造 - Google Patents
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Description
図1Aは、本発明による発光素子100の実施形態の部分を断面図により概略的に示す。示す例示において、発光素子100は、面発光レーザ(VCSEL)である。
図2は、本発明の実施形態による発光素子の変調速度を高めるための方法200を示す流れ図である。高められた変調速度は、発光素子の量子井戸のキャリアの閉じ込めを増大させることに主に起因する。この実施形態では、増大したキャリアの閉じ込めが、障壁層の有効バンドギャップエネルギーを増大させ、より深い量子井戸を形成することによって達成される。
キャリアの閉じ込め係数=γcapture /γescape (1)
キャリアの捕獲率γcaptureは、キャリア捕獲の可能性として記述され、キャリア捕獲の時間に対して反比例する。換言すれば、より高いキャリア捕獲率、より高いキャリア捕獲の可能性は、量子井戸内のキャリアを捕獲するのに必要な時間をより短くする。また、キャリアの逃避率γescapeは、キャリア逃避の可能性として記述され、キャリア逃避の時間に対して反比例する。キャリアの逃避率の低減は、捕獲されたキャリアが逃避する可能性を低減することを導き、量子井戸内で捕獲されたキャリアが逃避するのに長時間を要するということを示す。
電流密度=(電流密度)×(キャリアの閉じ込め係数) (2)
材料利得対電流密度特性の傾きは差動利得を画定する。言い換えると、量子井戸の緩和周波数は、差動利得に直接比例する。緩和周波数は、VCSELが光を発生する際に、電子と光子の固有振動を特徴付け、VCSELの変調速度を制限する。より高い緩和周波数は、VCSELの最大変調速度をより高くする。したがって、キャリアの閉じ込めを増大することは、材料利得対電流密度特性の傾斜を増大し、すなわち差動利得を増大する。増大した差動利得は、緩和周波数を増大し、すなわちVCSELの最大変調速度を高める。
図3Aは、本発明の実施形態により改善されたキャリアの閉じ込めをもたらす量子井戸構造300を示す線図である。一実施形態において、量子井戸構造300は、VCSELの活性領域の部分を形成する。より詳細には、一実施形態では、量子井戸構造300は、おおよそ980 nmの波長の光を発生するVCSELの活性領域の部分を形成する。
本発明の実施形態のInGaAs/AlxGa1-xAs量子井戸構造300は、従来の量子井戸構造よりも高いバンドギャップエネルギーオフセット因子Qcを有する。バンドギャップエネルギーオフセット因子は、量子井戸層と障壁層の間のバンドギャップエネルギーのオフセットに対して、伝導帯と価電子帯の相対的な寄与を特徴付ける。バンドギャップエネルギーオフセット因子を以下の式3に示す。
Qc=ΔEc/ΔEg (3)
式3において、ΔEcは上記のように、障壁層の高さΔEc 340に関する。ΔEgは、以下の式4に示すように、障壁層のバンドギャップエネルギー(すなわちEgb 360)と量子井戸層320のバンドギャップエネルギー(すなわちEgq 330)の間の差である。
ΔEg=Egb-Egq (4)
InGaAs/AlxGa1-xAs量子井戸構造300の実施形態は、特に従来のInGaAs/GaAsP量子井戸と比較した際に、高い値のQcを与える。例えば、従来のInGaAs/GaAsP量子井戸構造がおおよそ0.4のQcの値を有するのに対して、InGaAs/AlxGa1-xAs量子井戸構造300はおおよそ0.65のQcの値を有する。
図4は、本発発明の実施形態による多重量子井戸構造400の伝導帯のエネルギー線図である。例示として980 nmのVCSELの多重量子井戸構造を示すが、他の実施形態は、他の波長において動作するVCSEL内おいて使用されるのに十分適合する。
GaAsの障壁層を越えるAlGaAsの障壁層の付加的な利点は、多重量子井戸構造の量子井戸間の結合が減少することにある。量子井戸間の高い結合は、利得の低下を導くことがある。図5Aは、7.0 nmの厚みのGaAsからなる5層の障壁層で挟まれた4.3ナノメートル(nm)の厚みのIn0.23Ga0.77Asからなる4層の量子井戸層より構成されている多重量子井戸構造を有する例示的な活性領域のエネルギー線図である。エネルギー線図に、量子井戸構造に閉じ込められている電子の波動関数を示す曲線を重ねてある。図5Aは、中括弧420により示す範囲の量子井戸の外に実質的な波動関数の漏れを示す。図5Aに示す波動関数に関する計算された閉じ込め係数は約69%であり、量子井戸構造の第1の固有状態に対する計算されたミニバンドの幅が約1.0 meVである。
図6Aは、本発明の一実施形態による、界面層が量子井戸層と障壁層の間に挟まれている例示的な量子井戸構造600を示す。界面層は、量子井戸構造のキャリアの閉じ込めを改善する。量子井戸構造600は、VCSELのような発光素子の活性領域の部分を構成する。本実施形態において、量子井戸構造は、980 nmの波長の光を発生するVCSELの活性領域の部分を構成する。しかしながら、量子井戸構造600の他の実施形態も、他の波長の光を発生するVCSELに組み込まれるのに十分に適する。界面層によりもたらされる改善されたキャリアの閉じ込めは、従来の量子井戸構造に対して、増大した差動利得と緩和周波数を量子井戸構造600に与える。増大した緩和周波数は、量子井戸構造の600の最大変調速度を高め、量子井戸構造600が部分を形成するVCSELの最大変調速度を高める。
Claims (5)
- 発光素子(100)の最大変調速度を高める方法であって、
AlGaAsからなる障壁層(610及び650)を形成し(ステップ210)、
前記障壁層(610及び650)の間にInGaAsからなる量子井戸層(630)を形成し(ステップ220)、
前記量子井戸層(630)と、前記障壁層(610及び650)のそれぞれの間に界面層(620及び640)を形成する(ステップ230)ことからなり、
前記界面層を形成する(ステップ230)ことが、前記障壁層(610及び650)のAlGaAsよりも少ない割合のアルミニウムを含むAlGaAsの界面層(620及び640)を形成することを含み、
前記界面層が0.1 nmから2nmの厚みを有する方法。 - 前記量子井戸層(630)のInGaAsのインジウムの割合が20パーセントよりも多い請求項1に記載の方法。
- 前記量子井戸層を形成する(ステップ220)ことが、前記障壁層(610及び650)に挟まれている、InGaAsからなる複数の量子井戸層(630)を形成することを含み、
前記界面層を形成する(ステップ230)ことが、前記量子井戸層(630)のそれぞれと、前記障壁層(620及び640)の隣接する1つとの間に、界面層(620及び640)を形成することを含む請求項1に記載の方法。 - 前記障壁層を形成する(ステップ210)ことが、アルミニウムの割合が5パーセントよりも多い、AlGaAsからなる障壁層(620及び640)を形成することを含む請求項1に記載の方法。
- 付加的に、前記発光素子(100)を980 nmの波長の光を生成するように構造化することを含む請求項1に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/885,952 | 2004-07-06 | ||
US10/885,952 US7269196B2 (en) | 2004-07-06 | 2004-07-06 | Method for increasing maximum modulation speed of a light emitting device, and light emitting device with increased maximum modulation speed and quantum well structure thereof |
PCT/US2005/023292 WO2006014308A1 (en) | 2004-07-06 | 2005-06-29 | Method for increasing maximum modulation speed of a light emitting device, and light emitting device with increased maximum modulation speed and quantum well structure thereof |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008506257A JP2008506257A (ja) | 2008-02-28 |
JP2008506257A5 JP2008506257A5 (ja) | 2008-08-21 |
JP5202944B2 true JP5202944B2 (ja) | 2013-06-05 |
Family
ID=35541323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007520378A Expired - Fee Related JP5202944B2 (ja) | 2004-07-06 | 2005-06-29 | 発光素子の最大変調速度を改善する方法及び最大変調速度の改善された発光素子、並びにその量子井戸構造 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7269196B2 (ja) |
JP (1) | JP5202944B2 (ja) |
CN (1) | CN1981413A (ja) |
DE (1) | DE112005001569B4 (ja) |
TW (1) | TWI368369B (ja) |
WO (1) | WO2006014308A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1906496B1 (de) * | 2006-09-29 | 2010-01-06 | OSRAM Opto Semiconductors GmbH | Halbleiterlaser und Verfahren zur Herstellung eines solchen |
JP2012119585A (ja) * | 2010-12-02 | 2012-06-21 | Showa Denko Kk | 発光ダイオード、発光ダイオードランプ及び照明装置 |
EP2686924A4 (en) * | 2011-03-17 | 2015-04-01 | Finisar Corp | LOW INDIUM HIGH ALUMINUM QUENTIC WELL LASERS WITH BARRIER LAYERS HAVING A HIGH ALUMINUM CONTENT AND LOW INDIUM WITH REDUCED TRAPS |
TWI502757B (zh) * | 2013-03-07 | 2015-10-01 | Nat Univ Chung Hsing | Coupled with indium gallium arsenide quantum dotted in the well of the solar cell |
US11093667B2 (en) * | 2017-05-22 | 2021-08-17 | Purdue Research Foundation | Method and system for realistic and efficient simulation of light emitting diodes having multi-quantum-wells |
KR20200049026A (ko) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 표면발광 레이저소자 및 이를 포함하는 발광장치 |
CN112398001B (zh) * | 2020-10-10 | 2022-04-05 | 华芯半导体研究院(北京)有限公司 | 新型复合量子阱结构的vcsel芯片结构及制备方法 |
CN114361941B (zh) * | 2022-03-18 | 2022-06-17 | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 | 一种垂直腔边发射激光器 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5461637A (en) * | 1994-03-16 | 1995-10-24 | Micracor, Inc. | High brightness, vertical cavity semiconductor lasers |
JPH0856045A (ja) * | 1994-08-11 | 1996-02-27 | Hitachi Ltd | 半導体レーザ装置 |
JP3470282B2 (ja) * | 1995-02-27 | 2003-11-25 | 富士通株式会社 | 面発光半導体レーザとその製造方法 |
JPH0945985A (ja) * | 1995-07-27 | 1997-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザおよびその製造方法 |
JP3428797B2 (ja) * | 1996-02-08 | 2003-07-22 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザ素子 |
US6229153B1 (en) | 1996-06-21 | 2001-05-08 | Wisconsin Alumni Research Corporation | High peak current density resonant tunneling diode |
JPH1084158A (ja) * | 1996-09-06 | 1998-03-31 | Hitachi Ltd | 半導体レーザ装置 |
US5719894A (en) * | 1996-09-25 | 1998-02-17 | Picolight Incorporated | Extended wavelength strained layer lasers having nitrogen disposed therein |
JP2933051B2 (ja) * | 1997-03-21 | 1999-08-09 | 日本電気株式会社 | 多重量子井戸構造光半導体装置およびその製造方法 |
US7072373B2 (en) | 1998-11-30 | 2006-07-04 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Ridge waveguide semiconductor laser diode |
US6973109B2 (en) | 2000-02-28 | 2005-12-06 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Semiconductor laser device having strain buffer layer between compressive-strain quantum well layer and tensile-strain barrier layer |
US6816525B2 (en) * | 2000-09-22 | 2004-11-09 | Andreas Stintz | Quantum dot lasers |
US6782027B2 (en) | 2000-12-29 | 2004-08-24 | Finisar Corporation | Resonant reflector for use with optoelectronic devices |
-
2004
- 2004-07-06 US US10/885,952 patent/US7269196B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-06-29 JP JP2007520378A patent/JP5202944B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-06-29 CN CNA2005800228854A patent/CN1981413A/zh active Pending
- 2005-06-29 WO PCT/US2005/023292 patent/WO2006014308A1/en active Application Filing
- 2005-06-29 DE DE112005001569T patent/DE112005001569B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2005-07-05 TW TW094122687A patent/TWI368369B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008506257A (ja) | 2008-02-28 |
US20060007974A1 (en) | 2006-01-12 |
WO2006014308A1 (en) | 2006-02-09 |
TW200625741A (en) | 2006-07-16 |
TWI368369B (en) | 2012-07-11 |
DE112005001569B4 (de) | 2010-06-17 |
US7269196B2 (en) | 2007-09-11 |
CN1981413A (zh) | 2007-06-13 |
DE112005001569T5 (de) | 2007-09-06 |
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Legal Events
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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