JP5199300B2 - 導波路型光素子 - Google Patents
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Description
図3(a)に、実施形態1に係る導波路型光素子の上面図、図3(b)に、当該導波路型光素子の研磨方法を説明するための一連の端面図を示す。図3(a)の上面図では説明を容易にするためヤトイを図示していない。導波路型光素子300は、導波路型光素子300の端面300Aで一端が露出した光導波路301と、当該端面300Aで一部が露出した研磨マーカ302とを備える。研磨マーカ302の幅302Aは、端面300Aからの距離に応じて増加または減少する。図3(a)には、三角形状で、端面300Aからの距離に比例して幅302Aが減少する研磨マーカ302の例が示されているが、幅302Aが増加するようにしてもよい。導波路型光素子300の研磨の際、研磨マーカ302を端面方向から観察し、その幅302Aを測定することにより、切削量を容易にモニタすることができる。ここで、必要な切削量制度に対して幅302Aの変化率を十分大きく取ることが望ましい。
図4(a)に、実施形態2に係る導波路型光素子の上面図、図4(b)に、当該導波路型光素子の研磨方法を説明するための一連の端面図を示す。図4(a)の上面図では説明を容易にするためヤトイを図示していない。導波路型光素子400は、導波路型光素子400の端面400Aで一端が露出した光導波路401と、当該端面400Aで一部が露出した研磨マーカ402とを備える。研磨マーカ402は、複数のマーカパタンを有し、端面400Aからの距離に応じて、端面400Aに平行な面400B内に存在するマーカパタンの数が増加または減少する。図4(a)では、研磨前にすべてのマーカパタンが端面400Aに露出し、研磨が進むにつれてマーカパタンの数が減少する。導波路型光素子400の研磨の際、研磨マーカ402を端面方向から観察し、端面400Aに露出しているマーカパタンの数を数えることにより、切削量を容易にモニタすることができる。
図7(a)に、実施形態3に係る導波路型光素子の上面図、図7(b)に、当該導波路型光素子の研磨方法を説明するための一連の端面図を示す。図7(a)の上面図では説明を容易にするためヤトイを図示していない。導波路型光素子700は、導波路型光素子700の端面700Aで一端が露出した光導波路701と、当該端面700Aで一部が露出した研磨マーカ702とを備える。研磨マーカ702は、端面700Aからの距離に応じて、端面700Aに平行な方向の位置が増加または減少する。換言すれば、研磨マーカ702は、端面700Aに対して斜めに延びており、端面700Aからの距離に応じて、端面700Aに平行な面700B内における位置が変化する。図7(a)には、端面700Aからの距離に比例して、端面700Aに平行な方向の位置が増加または減少する研磨マーカ702の例が示されている。図7(a)において、研磨マーカ702の露出する位置を原点として、光導波路701が存在する方向を負の方向とすれば、研磨マーカ702は、端面700Aからの距離に比例して、端面700Aに平行な方向の位置が減少している。導波路型光素子700の研磨の際、研磨マーカ702を端面方向から観察し、基準位置(たとえば、研磨マーカ702が研磨前に露出していた位置)からの距離(変位量)を測定することにより、切削量を容易にモニタすることができる。
300A 導波路型光素子300の端面
301 光導波路
302 研磨マーカ
302A 研磨マーカ302の幅
400 導波路型光素子
400A 導波路型光素子400の端面
400B 端面400Aに平行な面
401 光導波路
402 研磨マーカ
700 導波路型光素子
700A 導波路型光素子700の端面
700B 端面700Aに平行な面
701 光導波路
702 研磨マーカ
Claims (4)
- 端面を有する導波路型光素子であって、
前記端面で一端が露出した光導波路と、
前記端面で一部が露出した研磨マーカと、
前記端面で一部が露出した研磨マーカの位置を示すマーカと
を備え、
前記研磨マーカは、前記端面からの距離に応じて、前記端面に平行な面内における形状が変化し、
前記研磨マーカの位置を示すマーカは、前記研磨マーカの両側に配置され、前記端面に平行な面内における形状が常に前記光導波路とは異なる形状であり、かつ前記端面からの距離に依らず一定である
ことを特徴とする導波路光素子。 - 前記研磨マーカの幅が、前記端面からの距離に応じて増加または減少することを特徴とする請求項1に記載の導波路光素子。
- 前記研磨マーカは、複数のマーカパタンを有し、
前記端面からの距離に応じて、前記端面に平行な面内に存在するマーカパタンの数が増加または減少することを特徴とする請求項1に記載の導波路光素子。 - 前記研磨マーカは、前記端面からの距離に応じて、前記端面に平行な面内における位置が変化することを特徴とする請求項1に記載の導波路型光素子。
Priority Applications (1)
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JP2010050922A JP5199300B2 (ja) | 2010-03-08 | 2010-03-08 | 導波路型光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010050922A JP5199300B2 (ja) | 2010-03-08 | 2010-03-08 | 導波路型光素子 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2011186171A JP2011186171A (ja) | 2011-09-22 |
JP5199300B2 true JP5199300B2 (ja) | 2013-05-15 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010050922A Active JP5199300B2 (ja) | 2010-03-08 | 2010-03-08 | 導波路型光素子 |
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- 2010-03-08 JP JP2010050922A patent/JP5199300B2/ja active Active
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