JP2007171608A - 光導波路モジュールの製造方法 - Google Patents
光導波路モジュールの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007171608A JP2007171608A JP2005369854A JP2005369854A JP2007171608A JP 2007171608 A JP2007171608 A JP 2007171608A JP 2005369854 A JP2005369854 A JP 2005369854A JP 2005369854 A JP2005369854 A JP 2005369854A JP 2007171608 A JP2007171608 A JP 2007171608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- core
- thin film
- metal thin
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】電気回路部品の実装時等に容易な方法で高精度な位置合わせが可能となり、導波光の光学特性が劣化することもない精密な光導波路モジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】コア1とコア1の上面、下面及びコア1の長手方向に沿った側面を覆うクラッド2とからなる光導波路板3の上面部分で、コア1の側面とクラッド2との境界であるコア境界線を光導波路の上面で跨ぐように金属薄膜4を形成し、この金属薄膜4をマーカーとして光導波路板3の上面に電気回路部品5を実装する光導波路モジュールの製造方法。
【選択図】図1
【解決手段】コア1とコア1の上面、下面及びコア1の長手方向に沿った側面を覆うクラッド2とからなる光導波路板3の上面部分で、コア1の側面とクラッド2との境界であるコア境界線を光導波路の上面で跨ぐように金属薄膜4を形成し、この金属薄膜4をマーカーとして光導波路板3の上面に電気回路部品5を実装する光導波路モジュールの製造方法。
【選択図】図1
Description
本願発明は,コアとクラッドとからなる光導波路板において、電気回路部品の実装並びに光学部品の結合及び光導波路板の切断、光軸調芯時における高精度な位置合わせを可能とする光導波路モジュールの製造方法に関するものである。
従来から、特開2000−241774号公報(特許文献1)に示されるように、光導波路板3に電気回路部品5を実装した光導波路モジュールについては知られている。この光導波路モジュールは、図8に示すようにコア1とクラッド2とからなる光導波路板3と、光導波路板3上に形成されるヒーター10とで構成されている。このヒーター10は加熱電力を与えることでヒーター10近傍のコア1を屈折率の高い熱誘起コア部とし、この熱誘起コア部中の導波光を減衰させる作用がある。
したがって、この光導波路モジュールはヒーターによる導波光の減衰作用を活用して、光信号強度の調節や光信号の遮断に用いられる可変光減衰器として利用できるとされている。
又、特開2003−344680号公報(特許文献2)に示されるように、光導波路モジュールの製造方法については知られている。この光導波路モジュールの製造方法は、図9に示すようにアンダークラッド21とコア1とオーバークラッド22とからなる光導波路板3において、光導波路板3の端面8付近におけるコア1の上面とアンダークラッド21の上面とに金属薄膜4が形成されており、この金属薄膜4をマーカーとして電気回路部品5の実装及び光学部品の結合を行うものである。
したがって、金属薄膜4を設けたことでコア1とクラッド2との境界がはっきりしコア1の視認性が向上するため、電気回路部品5の実装及び光学部品の結合時における高精度な位置合わせが可能となるものである。
特開2000−241774号公報
特開2003−344680号公報
しかしながら、上記従来例である光導波路モジュール(特許文献1)にあっては、導波光の減衰量のヒーター加熱電力依存性はヒーター10とコア1との距離が数μmずれるだけで大きく変化してしまう。したがって、ヒーター10となる金属薄膜4の形成には高精度の位置合わせが必要となる。
又、上記従来例である光導波路モジュールの製造方法(特許文献2)にあっては、コア1の上面に金属薄膜4を形成するため、金属薄膜4が形成されたコア1部分を通過する導波光の光学特性が劣化するという問題が生じる。電気回路部品5の実装及び光学部品の結合後に、金属薄膜4を除去することも考えられるが、この場合、コア1とオーバークラッド22との間に金属薄膜4が形成されているため、除去は容易ではなく製造工程が複雑化するという問題が生じる。
本願発明は、上記背景技術に鑑みて発明されたものであり、その課題は、電気回路部品の実装時等に容易な方法で高精度な位置合わせが可能となり、更に、導波光の光学特性が劣化することもない精密な光導波路モジュールの製造方法を提供することである。
上記課題を解決するために、本願請求項1記載の発明では、コアとコアの上面、下面及びコアの長手方向に沿った側面を覆うクラッドとからなる光導波路板の上面部分で、コアの側面とクラッドとの境界であるコア境界線を光導波路の上面で跨ぐように金属薄膜を形成し、この金属薄膜をマーカーとして光導波路板の上面に電気回路部品を実装する。
又、本願請求項2記載の発明では、上記請求項1記載の光導波路モジュールの製造方法において、電気回路部品は前記金属薄膜の一部からなることを特徴としている。
又、本願請求項3記載の発明では、上記請求項1又は2記載の光導波路モジュールの製造方法において、前記金属薄膜は前記金属薄膜の積層位置のずれを検出するための検査図形を有しており、検査図形は光導波路の上面で互いに別々のコア境界線と交差する二箇所の左右対称となる外辺部を有しており、各外辺部の左右対称の軸となる中心線と光軸方向に平行なコアの中心線とが光導波路の上面で重なるように検査図形を形成した後、外辺部とコア境界線との二つの交点の光軸方向のずれ幅を測定することで、前記金属薄膜のコアにたいする光導波路幅方向のずれ幅を検出する検査工程を設けたことを特徴としている。
又、本願請求項4記載の発明では、上記請求項1〜3いずれか一項記載の光導波路モジュールの製造方法において、光導波路板は光軸方向と交差する端面を形成するために切断を行うものであって、光導波路板の上面における切断箇所を覆うように前記金属薄膜を形成した後、切断することを特徴としている。
又、本願請求項5記載の発明では、上記請求項1〜4いずれか一項記載の光導波路モジュールの製造方法において、コアと前記金属薄膜との間に、クラッドよりも屈折率の低い低屈折率層を設けることを特徴としている。
本願請求項1記載の発明の光導波路モジュールの製造方法においては、光導波路板の上面には、直下にコアが設けられているクラッド上面と、直下にコアが設けられていないクラッド上面との間で生じる厚みのずれを反映した凸部或いは凹部が形成されており、この凸部或いは凹部の上から金属薄膜を形成することで、凸部或いは凹部の光の反射率が増加する。したがって、光の反射率が増加することで、凸部或いは凹部の視認性が向上し、この部分の金属薄膜をマーカーとして光導波路板への電気回路部品の実装並びに光学部品の結合及び光導波路板の切断、光軸調芯時における高精度な位置合わせが可能となるものである。
更に、金属薄膜は光導波路板の上面に形成されるため、光導波路板内のコア上面に金属薄膜が形成されたものと比べて、光学特性の劣化の原因となる金属薄膜による導波光の電界の吸収が減少するため、より精密な光導波路モジュールを製造することができる。
又、本願請求項2記載の発明の光導波路モジュールの製造方法においては、電気回路部品はその一部又は全部が金属薄膜からなっており、マーカーとなる金属薄膜と同時に形成するため、別々に形成する場合に比べて製造工程を短縮することができる。特に、電気回路部品としてヒーターを光導波路板の上面に実装する場合、マーカーとして用いた金属薄膜をそのまま薄膜ヒーターの抵抗体としても利用することができる。
又、本願請求項3記載の発明の光導波路モジュールの製造方法においては、金属薄膜からなる検査図形を既定の位置に形成することで、金属薄膜全体のコアに対する光導波路幅方向のずれ幅を検出することができる。ここで用いられる検査図形は、例えば二等辺三角形のような単純な形状でよく、マーカーや電気回路部品となる金属薄膜と同時に形成することができるため、製造工程を複雑化することなく金属薄膜のずれを検出することができる。
又、本願請求項4記載の発明の光導波路モジュールの製造方法においては、切断箇所を覆うように金属薄膜を形成することで切断箇所を補強し、その後、切断箇所から光導波路板を切断することで、切断面でのチッピングを防ぐことができる。又、切断箇所の光導波路の視認性が向上するため、高精度な切断が可能となる。更に、切断後に残った端面付近の金属薄膜は、光ファイバ等の光学部品を端面に結合させる時に、光学調芯の基準となるコア位置を示すマーカーとしても利用できる。
なお、切断箇所を覆う金属薄膜は、マーカーや電気回路部品や検査図形となる金属薄膜と同時に形成することができるため、製造工程を複雑化することなくチッピングを防いだ高精度な切断が可能となる。
又、本願請求項5記載の発明の光導波路モジュールの製造方法においては、光導波路の上面に金属薄膜を形成したことで、コアから上方に漏れ出した光が金属薄膜の影響を受けて光学特性の劣化を生じさせるが、コアと金属薄膜との間にクラッドよりも屈折率の低い低屈折率層を設けることで、コアから上方に漏れ出す光を低減し、金属薄膜による光学特性の劣化を抑制することができる。
図1〜5は、本願請求項1〜4に対応した第一の実施形態である光導波路モジュールの製造方法を示している。この光導波路モジュールの製造方法は、光導波路板3の上面に金属薄膜4を積層させる工程を有するものである。この金属薄膜4は、コア1とコア1の上面、下面及びコア1の長手方向に沿った側面を覆うクラッド2とからなる光導波路板3の上面部分で、コア1の側面とクラッド2との境界であるコア境界線を光導波路の上面で跨ぐように形成されており、この金属薄膜4をマーカーとして光導波路板3の上面に電気回路部品5を実装する。更に、電気回路部品5は前記金属薄膜4の一部からなっている。
又、前記金属薄膜4は前記金属薄膜4の積層位置のずれを検出するための検査図形6を有している。この検査図形6は光導波路の上面で互いに別々のコア境界線と交差する二箇所の左右対称となる外辺部7を有しており、各外辺部7の左右対称の軸となる中心線と光軸方向に平行なコア1の中心線とが光導波路の上面で重なるように検査図形6を形成した後、外辺部7とコア境界線との二つの交点の光軸方向のずれ幅を測定することで、前記金属薄膜4のコア1に対する光導波路幅方向のずれ幅を検出する検査工程に用いられる。
又、この実施形態の光導波路板3は光軸方向と交差する端面を形成するために切断を行うものであって、光導波路板3の上面における切断箇所18を覆うように前記金属薄膜4を形成している。なお、この実施形態に用いられる金属薄膜4は全て同じ金属薄膜4積層工程で形成されるものである。
以下、この実施形態の光導波路モジュールの製造方法を、より具体的詳細に説明する。図1に示す光導波路板3はコア1がY分岐したものであり、光導波路板3の上面はオーバークラッド22となる。オーバークラッド22の上面は直下にコア1が設けられている部分と、直下にコア1が設けられていない部分との間で生じる厚みのずれを反映した凸部11或いは凹部12が形成されている(図2、3)。
図2に凸部11が形成される場合の光導波路板3の製造方法を示す。まず、基板13の上にアンダークラッド21とコア1との二層をスピンコートする(図2(a))。次に、スピンコートしたコア1の上からマスク14を介しての直接露光を行い所定のコア1の形状を形成する(図2(b)(c))。ここで、図2(c)に示すように、形成されたコア1とアンダークラッド21とはコア1部分がでっぱった凸型となる。最後に、この凸型となったコア1とアンダークラッド21との上からオーバークラッド22をスピンコートすることで光導波路板3となる(図2(d))。この時、オーバークラッド22の上面は下層の凸型を反映し、コア1の直上部分がでっぱった凸部11が形成される。更に、この凸部11の上から蒸着等により金属薄膜4を積層させ、この凸部11に形成された金属薄膜4が電気回路部品5の実装並びに光学部品の結合、光導波路板3の切断、光軸調芯時に基準として活用できるマーカーとなる(図2(e))。
図3に凹部12が形成される場合の光導波路板3の製造方法を示す。まず、基板13の上にアンダークラッド21をスピンコートする(図3(a))。次に、所定の形に作製された電鋳型をアンダークラッド21の上面にプレスすることでコア溝23を形成し、形成したコア溝23にコア1をスピンコートする(図3(b)(c))。ここで、スピンコートしたコア1はコア溝23を完全に満たすことはなく、図2(c)に示すように、コア溝23を満たしきっていない部分においてコア溝23が残り凹型となる。最後に、この凹型となったコア1とアンダークラッド21との上からオーバークラッド22をスピンコートすることで光導波路板3となる(図3(d))。この時、オーバークラッド21の上面は下層の凹型を反映し、コア1の直上部分がくぼんだ凹部12が形成される。更に、この凹部12の上から金属薄膜4を積層させ、この凹部12に形成された金属薄膜4が、前記凸型部分と同様、マーカーとなる(図3(e))。
コア1及びクラッド2の材料としては樹脂を用いており、この光導波路はシングルモードの伝搬をするものであるため、コア1とクラッド2との屈折率差は0.2%〜0.5%程度で、コア形状5〜10μmが望ましい。なお、オーバークラッド22の材料としては粘性が0.5〜5.0Pa・secであるポリマーを用いており、具体的なポリマー材料としては、アクリル系、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系などの高分子材料やそれらにSiO2等を取り入れた複合材料等を用いることができる。これらのポリマー材料は溶剤揮発によるポリマー層の収縮が起こるため、オーバークラッド22の厚みの違いによって、ポリマー層の収縮差が生じ、凸部11或いは凹部12が顕著に形成される。
この光導波路モジュールは、Y分岐した光導波路板3の上面に電気回路部品5としてヒーター10を実装した光導波路スイッチである。このヒーター10はTiとAuの金属薄膜4で形成された薄膜抵抗ヒーター10であり、Tiの膜厚は10〜50nm、Auの膜厚は100〜500nmに成膜されている。この光導波路モジュールは金属薄膜4積層工程と、ヒーター10実装工程と、光導波路板3を切断する切断工程と検査工程とを経て製造されるものである。
図4にヒーター10を実装した光導波路モジュールの製造過程を示す。実際には、この光導波路板3は全体として複数のY分岐したコア1を有しており、切断工程を経て複数のチップに分けられるものであるが、図4では一つのチップ部分に注目して示している。まず、オーバークラッド22の上面全体にTi薄膜15を積層させ、更にヒーター10を実装する領域において、Ti薄膜15の上からAu薄膜16を積層する(図4(a)(b))。ここまでの工程を金属薄膜4積層工程とする。
次に、金属薄膜が積層された光導波路板3の上面にレジストを塗布し、その上から実装用マスク25を載置する。この時、実装用マスク25の四つのアライメントパターン17が、クラッド2の上面において分岐した二つのコア1を両側面から挟みこむ位置にくるように実装用マスク25の位置合わせを行う(図4(c))。次に、実装用マスク25を載置した状態で紫外線によるレジストのパターニングを行う。その後、実装用マスク25をはずし、パターニングされたレジストの上からエッチングを施し、電気回路部品5、検査図形6、切断箇所18の金属薄膜4を除いた他の余分な金属薄膜4を除去する(図4(d))。なお、アライメントパターン17が載置されていた位置の金属薄膜4も除去されずに残ることとなる。実装用マスク25の載置から、エッチングを施すまでを電気回路部品5の実装工程とする。次に、切断工程において切断箇所18に積層された金属薄膜4部分を基準にして、光導波路板3のA1−A2間およびB1−B2間をブレードで切断することで一つのチップとする。
最後に、検査工程において、チップ化された光導波路モジュールの金属薄膜4の積層位置のずれを検出する。図5(a)にこの実施形態で用いられた検査図形6及びコア1を示す。検査図形6は二等辺三角形であり、検査図形6の二等分線19と光軸方向に平行なコア1の中心線であるコア中心線20とが光導波路の上面で重なれば、金属薄膜4は正確な位置に積層されていることになる。
しかし、図5(a)に示すように、検査図形6の二等分線19とコア中心線20とがずれた場合は、検査図形6の外辺部7とコア1側面とクラッド2との境界線であるコア境界線との二つの交点は、光軸方向に一定のずれ幅xを持つ。したがって、このずれ幅xを測定することで、金属薄膜4の光導波路幅方向のずれ幅yを測定することができる。ずれ幅xはずれ幅yよりも大きくなるため、直接yを測定するよりは、金属薄膜4のずれ幅を測定しやすくなるものである。なお、図5(b)に示すように、Y分岐したコア1部分に検査図形6を積層する場合は、検査図形6を長方形にすることで、二等辺三角形の検査図形6を用いた場合と同様に、金属薄膜4の光導波路幅方向のずれ幅を測定することができる。
したがって、この実施形態の光導波路モジュール製造方法においては、オーバークラッド22の上面の凸部11或いは凹部12に金属薄膜4を形成することで、凸部11或いは凹部12の光の反射率が増加する。光の反射率が増加することで、凸部11或いは凹部12の視認性は向上するため、この部分の金属薄膜4をマーカーとして光導波路板3への電気回路部品5の実装並びに光学部品の結合及び光導波路板3の切断、光軸調芯時における高精度な位置合わせが可能となる。
更に、金属薄膜4は光導波路板3の上面に形成されるため、光導波路板3内のコア1上面に金属薄膜4が形成されたものと比べて、光学特性の劣化の原因となる金属薄膜4による導波光の電界の吸収が減少するため、より精密な光導波路モジュールを製造することができる。
又、電気回路部品5として用いられたヒーター10は金属薄膜4からなっており、マーカーとなる金属薄膜4と同時に形成するため、別々に形成する場合に比べて製造工程を短縮することができる。
又、切断箇所18に形成された金属薄膜4は切断箇所18を補強し、その後、切断箇所18から光導波路板3を切断することで、切断面でのチッピングを防ぐことができる。又、切断箇所18の光導波路の視認性が向上するため、高精度な切断が可能となる。更に、切断後に残った端面付近の金属薄膜4は、光ファイバ等の光学部品を端面に結合させる時に、光軸調芯の基準となるコア1位置を示すマーカーとしても利用できる。
なお、切断箇所18を覆う金属薄膜4は、マーカーや電気回路部品5や検査図形6となる金属薄膜4と同時に形成することができるため、製造工程を複雑化することなくチッピングを防いだ高精度な切断が可能となる。
又、この実施形態の金属薄膜4は、Tiの膜厚を10〜50nmとすることで引張応力状態とし、Auの膜厚を100〜500nmとすることで圧縮応力状態としているため、Ti/Auの二層膜形成時に膜応力が相殺され、はがれにくい安定した膜を形成している。
なお、この実施形態では、金属薄膜4として、TiとAuを用いているが、金属薄膜4の材料としては、他にAl、Si、Zr、Mg、In、Sn、などを用いることができる。又、電気回路部品5の実装後に残った金属薄膜4を熱処理、イオン注入等により窒化又は酸化させてもよい。この場合、窒化又は酸化することで金属薄膜4の屈折率が低くなり、金属薄膜4による導波光の電界の吸収が抑制されるため、導波光の光学特性の劣化をさらに小さくすることができる。
図6は、本願請求項1〜5に対応した第二の実施形態である光導波路モジュールの製造方法を示している。なお、ここでは、上記第一の実施形態と相違する事項についてのみ説明し、その他の事項(構成、作用効果等)については、上記第一の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。この光導波路モジュール製造方法は、オーバークラッド22の上面から窒素をドープすることでクラッド2よりも屈折率の低い低屈折率層9を設け、この低屈折率層9の上面に金属薄膜4を形成する。
この場合、金属薄膜4の直下のオーバークラッド22の屈折率が低下し低屈折率層9となることで、オーバークラッド22から金属薄膜4へと漏れ出す光を低減でき、金属薄膜4による導波光の電界の吸収が抑制されるため、導波光の光学特性の劣化をさらに小さくすることができる。
なお、アンダークラッド21及びコア1の上に低屈折率層9を形成してもよい。この場合も、同様にコア1からオーバークラッド22へと漏れ出す光を低減できるため、導波光の光学特性の劣化をさらに小さくすることができる。
図7は、本願請求項1に対応した第三の実施形態である光導波路モジュールの製造方法を示している。なお、ここでは、上記第一の実施形態と相違する事項についてのみ説明し、その他の事項(構成、作用効果等)については、上記第一の実施形態と同様であるのでその説明を省略する。この光導波路モジュールは光導波路板3の上面に接着剤にて、ガラスカバー24を接着させるものであって、ガラスカバー24が接着されるクラッド2上面のコア1直上付近にあらかじめ金属薄膜4を積層させ、積層した金属薄膜4の上からガラスカバー24を接着させる。
この場合、コア1付近のクラッド2は金属薄膜4で補強されるため、接着剤の強化収縮による応力が緩和され、光導波路にクラックが発生するのを防ぐことができる。なお、この実施形態は本願請求項2〜5の効果は奏さない。
1 コア
2 クラッド
3 光導波路板
4 金属薄膜
5 電気回路部品
6 検査図形
7 外辺部
8 端面
9 低屈折率層
2 クラッド
3 光導波路板
4 金属薄膜
5 電気回路部品
6 検査図形
7 外辺部
8 端面
9 低屈折率層
Claims (5)
- コアとコアの上面、下面及びコアの長手方向に沿った側面を覆うクラッドとからなる光導波路板の上面部分で、コアの側面とクラッドとの境界であるコア境界線を光導波路の上面で跨ぐように金属薄膜を形成し、この金属薄膜をマーカーとして光導波路板の上面に電気回路部品を実装する光導波路モジュールの製造方法。
- 電気回路部品は前記金属薄膜の一部からなることを特徴とする請求項1記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 前記金属薄膜は前記金属薄膜の積層位置のずれを検出するための検査図形を有しており、検査図形は光導波路の上面で互いに別々のコア境界線と交差する二箇所の左右対称となる外辺部を有しており、各外辺部の左右対称の軸となる中心線と光軸方向に平行なコアの中心線とが光導波路の上面で重なるように検査図形を形成した後、外辺部とコア境界線との二つの交点の光軸方向のずれ幅を測定することで、前記金属薄膜のコアに対する光導波路幅方向のずれ幅を検出する検査工程を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の光導波路モジュールの製造方法。
- 光導波路板は光軸方向と交差する端面を形成するために切断を行うものであって、光導波路板の上面における切断箇所を覆うように前記金属薄膜を形成した後、切断することを特徴とする請求項1〜3いずれか一項記載の光導波路モジュールの製造方法。
- コアと前記金属薄膜との間に、クラッドよりも屈折率の低い低屈折率層を設けることを特徴とする請求項1〜4いずれか一項記載の光導波路モジュールの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005369854A JP2007171608A (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 光導波路モジュールの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005369854A JP2007171608A (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 光導波路モジュールの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007171608A true JP2007171608A (ja) | 2007-07-05 |
Family
ID=38298247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005369854A Pending JP2007171608A (ja) | 2005-12-22 | 2005-12-22 | 光導波路モジュールの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007171608A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014191052A (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | 光導波路の製造方法及び光導波路 |
-
2005
- 2005-12-22 JP JP2005369854A patent/JP2007171608A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014191052A (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-06 | Hitachi Chemical Co Ltd | 光導波路の製造方法及び光導波路 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4704125B2 (ja) | 光デバイス | |
KR960014123B1 (ko) | 광도파로와 광파이버의 접속방법 | |
US6466707B1 (en) | Phasar athermalization using a slab waveguide | |
US7447400B2 (en) | Optical waveguide substrate and method of fabricating the same | |
JP2000098157A (ja) | 光分岐装置およびその製造方法 | |
KR20110138178A (ko) | 광도파로 디바이스 | |
CN112241045A (zh) | 光学系统、载体基板和用于制造光学系统的方法 | |
JP2008281624A (ja) | 光ファイバ実装導波路素子及びその製造方法 | |
US6744953B2 (en) | Planar optical waveguide with alignment structure | |
WO2015098854A1 (ja) | 光学装置の製造方法 | |
CN112241046A (zh) | 光学系统、光学部件和用于制作光学系统的方法 | |
JP2007171608A (ja) | 光導波路モジュールの製造方法 | |
JP3941589B2 (ja) | 光導波路および光導波路の製造方法 | |
TW201518797A (zh) | 光波導組件、其製造方法、以及光波導裝置 | |
JPH0660966B2 (ja) | 光デバイスの製造方法 | |
JP4562185B2 (ja) | 光導波路基板及びその製造方法 | |
JP2001297963A (ja) | 位置合わせ方法 | |
JP3855259B2 (ja) | 光導波路デバイスの製造方法及び基板 | |
JP2009098432A (ja) | 貼り合わせ多チャンネル光路変換素子とその作製方法 | |
JP4722816B2 (ja) | フレキシブル光導波路及びその製造方法 | |
JP4582136B2 (ja) | 光導波路デバイスおよびその製造方法 | |
KR100819309B1 (ko) | 파장분할다중전송 필터 장치 | |
JP4218068B2 (ja) | 光導波路デバイス | |
JP2009025552A (ja) | 光導波路及びその製造方法 | |
WO2002054125A1 (en) | Alignment of optical fibre components |