JP3941589B2 - 光導波路および光導波路の製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信に用いられる光学部品とその製造方法に関し、特にシート状の光導波路で、光を導波路と略直角方向に取りだすことができるミラー付きの光導波路とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信における光伝搬素子として、複数本の光伝搬路を有するシート状の光導波路がある。
【０００３】
図１４は、従来の光導波路の実施形態の一例を示す斜視図である。図に示す従来の光導波路１１０は、平らで使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッド１０１と、下部クラッドの上に形成され下部クラッドに比べ屈折率が高く使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコア１０２と、コアを被い下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち使用するレーザ光に対して透明な材料からなる上部クラッド１０３とからなり、また、光導波路１１０の端部を４５度にカットしてミラー部１０４を形成している。
【０００４】
このような従来の光導波路製造方法の一例としては、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、上部クラッドを形成し、最後に端部にミラー部を形成するものがある（図示せず）。
【０００５】
また、このような従来の光導波路製造方法の別の一例としては、下部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹型に成型した後に、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部にミラー部を形成するものがある（図示せず）。
【０００６】
図１４において、コア１０２は、下部クラッド１０１や上部クラッド１０３に比べ屈折率がやや高い材料が使用されるため、コア１０２にレーザ光を通すと、レーザ光がコア１０２内に閉じ込められ、コアに沿って進むことになる。コア内を進むレーザ光がミラー部１０４に当たると、レーザ光が反射されて直角方向に曲げられるため、下部クラッド１０１を通り抜けて光導波路の外にレーザ光が出る。このようにレーザ光を光導波路と直角方向に曲げ、他の光学部品と容易に光結合が行なえるように構成されている。
【０００７】
他の光学部品との光結合に際しては、結合損失をできるだけ少なくするため、通常１μｍオーダーの位置決めが要求される。このような正確な位置決めを行なうためには、レーザ光の取り出し位置を正確に把握する必要があり、すなわち、ミラー面上のコアの位置を光導波路の上面側又は下面側から正確に測定しておく必要がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、光導波路のコアとクラッドとの屈折率差は通常は１％程度以下で、多くても３％程度なので、光学顕微鏡で位置を測定しようとしてもコアとクラッドの境目がはっきりせず、測定誤差が大きく正確な位置決めができないと言う問題があった。また、あらかじめ位置決めしやすいように、位置決めマークを光導波路上に形成する方法も提案されているが、位置決めマークに対して光導波路を斜めに切断し正確な位置にミラーを形成することは難しく、また、ミラー形成後もコア位置が良く見えないためミラー面が正確に形成できたか確認できないと言う問題があった。したがって、他の光学部品と正確な組立てができないために光機器の品質低下、歩留まり悪化を招き、また、製造コストが上昇するという問題があった。
【０００９】
また、実際に光導波路のコア内にレーザ光を通して、他の光学部品との光結合状態をモニタしながら組立てる方法も考えられているが、これによれば、正確な組立てが可能となるものの、組立ての前段階として、光導波路のコアにレーザ光を通す等余分な作業が必要となり、さらに、実際の位置決めの際にも、位置を少しずつ移動させながら結合状態を測定して行かなければならないため、位置決めに時間がかかるとともに、複雑で高価な位置決め装置が必要となる等問題があった。
【００１０】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決し、ミラー部におけるコアの位置を容易に認識でき、導波路上の光軸位置を正確に測定できるため、他の光学部品との正確な位置決めが容易にできる光導波路と、その製造方法を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記課題を解決するため、本発明の光導波路は、光導波路は、（Ａ）使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料からなる上部クラッドと、（Ｄ１）前記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で下面側が鋭角となる様に形成されたミラー部と、（Ｅ１）少なくともミラー部及びミラー部近傍において、コア上面と上部クラッドとの間、及び下部クラッドの上面と上部クラッドとの間のコアの両側面に接する位置のどちらか一方、又はその両方に形成された金属薄膜とからなり、金属薄膜の端部がミラー部に達していることを特徴とする。
【００１３】
前記構成により、ミラー部における金属薄膜の位置からコアの正確な位置を容易に確認でき、また、他の光学部品との正確な光軸合わせが容易に行なうことができる光導波路が実現される。
【００１４】
また、本発明による光導波路は、（Ａ）使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料からなる上部クラッドと、（Ｄ２）前記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で上面側が鋭角となる様に形成されたミラー部と、（Ｅ２）少なくともミラー部及びミラー部近傍において、下部クラッドの上面と上部クラッドとの間のコアの両側面に接する位置のどちらか一方、又はその両方に形成された金属薄膜とからなり、金属薄膜の端部がミラー部に達していることを特徴とする。
【００１５】
前記構成により、ミラー部における金属薄膜の位置からコアの正確な位置を容易に確認でき、また、他の光学部品との正確な光軸合わせが容易に行なうことができる光導波路が実現される。
【００１６】
また、本発明による光導波路は、（Ａ）使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、（Ｃ１）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持つ有色の上部クラッドと、（Ｄ１）前記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で下面側が鋭角となる様に形成されたミラー部とからなることを特徴とする。
【００１７】
上記構成により、ミラー部における色のついた上部クラッドの位置からコアの正確な位置を容易に確認でき、また、他の光学部品との正確な光軸合わせが容易に行なうことができる光導波路が実現される。
【００１８】
さらに、本発明の光導波路の製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの光導波路の端部となる近傍の上面に金属薄膜を形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００１９】
前記構成により、ミラー部におけるコア上面と上部クラッドの境及び上下クラッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００２０】
また、本発明の光導波路の製造方法は、下部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹型に成型した後に、下部クラッドの光導波路の端部となる近傍の上面及び凹部の底面に金属薄膜を形成し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００２１】
前記構成により、ミラー部におけるコア上面と上部クラッドの境及び上下クラッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００２２】
また、本発明の光導波路の製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコア層を平らに形成し、少なくとも光導波路の端部となるコア層の近傍の上面に金属薄膜を形成した後に、コア層と金属薄膜を同時にコアとなる部分以外を取り除くことでコアを形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００２３】
前記構成により、ミラー部におけるコア上面と上部クラッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００２４】
また、本発明の光導波路の製造方法は、下部クラッドを形成し、少なくとも光導波路の端部となる近傍の下部クラッドの上に金属薄膜を形成した後に、下部クラッドと金属薄膜を同時にコアとなる部分を取り除くことでコア部を凹型に成型し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側または下面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００２５】
前記構成により、ミラー部における下部クラッドと上部クラッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００２６】
また、本発明の光導波路の製造方法は、透明な材料により下部クラッドを形成し、その上面に、コアとなる領域以外の領域に金属薄膜パターンを形成し、その上に光硬化性材料より成るコア層を形成し、下部クラッドの下から、露光することで、金属薄膜の開口部分の光硬化性材料を露光硬化させ、未硬化部分を溶解除去することでコアパターンを形成し、下部クラッド及びコアの上に上部クラッドを形成した後、端部にミラー部を形成する光導波路製造方法。
【００２７】
前記構成により、下部クラッドと上部クラッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００２８】
さらに、本発明の光導波路の製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの上面に、有色の材料を用いて上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００２９】
前記構成により、有色の上部クラッドを容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００３０】
さらに、本発明の光導波路の製造方法は、有色の材料を用いて下部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹部に成型した後に、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００３１】
前記構成により、有色の下部クラッドを容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００３２】
【発明の実施形態】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。
【００３３】
図１は、本発明に係る光導波路の第１の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【００３４】
図に示すように、本発明の第１の実施形態は、（Ａ）シート状であり、平らで使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる上部クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で下面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４と、（Ｅ１）ミラー部４及びミラー部４の近傍でコア２の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜５と、ミラー部４及びミラー部４の近傍で下部クラッド１の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜６とから構成される（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’は金属薄膜５及び金属薄膜６に３方向を囲まれて見える（ｂ）。
【００３５】
図２は、図１に示す光導波路を説明する３面図である。
【００３６】
図において、コア２は、下部クラッド１や上部クラッド３に比べ屈折率がやや高い材料が使用されるため、コア２にレーザ光を通すと、レーザ光がコア内に閉じ込められ、コアに沿って進むことになる。光導波路１０の端部にはコア２の上面に金属薄膜５が形成されているが、コアの大きさは通常数μｍ程度以上であるのに対し、薄膜の厚みはサブミクロンレベルであり、レーザ光の散乱・吸収等による光損失はほとんど問題にならない。コア２内をＸ方向に進むレーザ光は光導波路１０の端部に設けられたミラー部４で反射され、Ｘ方向と直角方向であるＹ方向に進み、下部クラッド１を通り抜けて外部に出る。また、逆にミラー部４にＹと反対方向からレーザ光を照射するとミラー部４で反射されて、コア２内に閉じ込められコア２内をＸと反対方向に進むことになる。
【００３７】
図に示すミラー部４には、コア２上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜５の端部と、下部クラッド１と上部クラッド３の間に形成された金属薄膜６の端部がそれぞれ出ている。そのため、光導波路１０を上部クラッド３の上方から、又は下部クラッド１の下方からそれぞれ観察すると、ミラー部４におけるコア２’（２ａ’、２ｂ’、２ｃ’）の外形の３辺が、金属薄膜５（５ａ、５ｂ、５ｃ）及び金属薄膜６（６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ）で囲まれて見えるので、ミラー部４におけるコア２（２ａ’、２ｂ’、２ｃ’）の位置を正確に測定できる。よって、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な光軸調整を容易に行なうことができる。
【００３８】
図３は、本発明に係る光導波路の第２の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【００３９】
図に示すように、本発明の第２の実施形態は、（Ａ）シート状であり、平らで、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる上部クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で下面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４と、（Ｅ１）ミラー部４及びミラー部４の近傍でコア２の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜５とから構成される（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’の一辺が金属薄膜５に接し他の２辺が金属薄膜５のエッジの延長線と接して見える（ｂ）。
【００４０】
一般に、コアの厚みは精度良く管理できるため、また、必要に応じてコアの厚みを容易に測定しておくことができるため、ミラー部４における金属薄膜５の位置からコア２’の位置を正確に測定できる。よって、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な光軸調整を容易に行なうことができる。
【００４１】
図４は、本発明に係る光導波路の第３の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【００４２】
図に示すように、本発明の第３の実施形態は、（Ａ）シート状であり、平らで、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる上部クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で下面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４と、（Ｅ１）ミラー部４及びミラー部４の近傍で下部クラッド１の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜６とから構成される（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’の２辺は金属薄膜６に接し他の一辺は金属薄膜のエッジの延長線と接して見える（ｂ）。
【００４３】
一般に、コアの厚みは精度良く管理できるため、また、必要に応じてコアの厚みを容易に測定しておくことができるため、ミラー部４における金属薄膜６の位置からコア２’の位置を正確に測定できる。よって、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な光軸調整を容易に行なうことができる。
【００４４】
図５は、本発明に係る光導波路の第４の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【００４５】
図に示すように、本発明の第４の実施形態は、（Ａ）シート状であり、使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上面に設けられた凹部に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち使用するレーザ光に対して透明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる平らな上部クラッド３と、（Ｄ２）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で上面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４と、（Ｅ２）ミラー部４及びミラー部４の近傍で下部クラッド１の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜６とから構成される（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’の３辺が金属薄膜６のエッジの延長線と接して見える（ｂ）。
【００４６】
一般に、コアの厚みは精度良く管理できるため、また、必要に応じてコアの厚みを容易に測定しておくことができるため、ミラー部４における金属薄膜６の位置からコア２’の位置を正確に測定できる。よって、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な光軸調整を容易に行なうことができる。
【００４７】
図６は、本発明に係る光導波路の第５の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【００４８】
図に示すように、本発明の第５の実施形態は、（Ａ）シート状であり、平らで使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ１）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ有色のポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる上部クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で下面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４とから構成される（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’は色の付いた上部クラッド３に３方向を囲まれて見える（ｂ）。
【００４９】
図７は、本発明に係る光導波路の製造方法の第１の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００５０】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板９上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１を平らに形成し（ａ）、下部クラッド１の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料によりコア２を形成した後に（ｂ）、少なくとも下部クラッド及びコアの光導波路の端部となる近傍の上面に金、アルミニウム、金属クロムなどの約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜５及び６を形成し（ｃ）、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により上部クラッド３を形成した後（ｄ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に下面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を上方から見ると、図１（ｂ）のようになる。
【００５１】
下部クラッドやコア及び上部クラッドの形成は、従来の光導波路製造方法と同じであり、金属薄膜の形成方法としても、スパッタや蒸着等一般的な工法が採用される。しかも、コアの上面及び下部クラッド上面に金属薄膜を一括形成でき、また、コアの側面に金属薄膜が回りこんでも特に問題ないので、マスクの精密な位置合わせ等も必要ない。
【００５２】
したがって、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００５３】
図８は、本発明に係る光導波路の製造方法の第２の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００５４】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板１９上に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１１を形成し（ａ）、下部クラッド１１にコアの形状をした凸型の治具（図示せず）を押し付け、コア形成部分１７を凹型に成型した後に（ｂ）、少なくとも下部クラッドの光導波路の端部となる近傍の上面及び凹部の底面に金、アルミニウム、金属クロムなどの約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜１５及び１６を形成し（ｃ）、下部クラッドの上側に凹部を含めてポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料からなり未硬化のコア材料１８を形成し、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料で別に形成した平らな上部クラッド１３を上に載せ（ｄ）、上から加圧接合し、コア部以外の余分なコア材を押し出し、コア１２を硬化させた後（ｅ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に上面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を反転させて上方から見ると、図１（ｂ）のようになる。
【００５５】
下部クラッドやコア及び上部クラッドの形成は、従来の光導波路製造方法と同じである。下部クラッドにコアの凹部を形成するのに凸型治具を用いたが、エッチングで形成しても良い。また、コアの形成方法として下部クラッド上に未硬化のコア材を形成し、上部クラッドを加圧して余分なコア材を押し出した後にコアを硬化させているが、下部クラッド上の凹部にコア材を積層してコアを形成しても良い。
【００５６】
金属薄膜の形成方法としては、スパッタや蒸着等一般的な工法が採用される。しかも、コア部の底面及び下部クラッド上面に金属薄膜を一括形成でき、また、コア部の側面に金属薄膜が回りこんでも特に問題ないので、マスクの精密な位置合わせ等も必要ない。
【００５７】
したがって、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００５８】
図９は、本発明に係る光導波路の製造方法の第３の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００５９】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板９上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１を平らに形成し、下部クラッド１の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料によりコア層２を平らに形成し、少なくともコア層２の光導波路の端部となる近傍の上面に金、アルミニウム、金属クロムなどの約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜５を形成した後に（ａ）、金属薄膜及びコア層の内コア形成部分以外を取り除き（ｂ）、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により上部クラッド３を形成した後（ｃ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に下面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を上方から見ると、図３（ｂ）のようになる。
【００６０】
下部クラッドやコア及び上部クラッドの形成は、従来の光導波路製造方法と同じであり、金属薄膜の形成方法としては、スパッタや蒸着等一般的な工法が採用される。マスクの精密な位置合わせ等も必要なく、コアの上面のみに金属薄膜を容易に形成できる。
【００６１】したがって、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００６２】
図１０は、本発明に係る光導波路の製造方法の第４の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００６３】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板１９上に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１１を形成し、少なくとも下部クラッド１１の光導波路の端部となる近傍の上面に金、アルミニウム、金属クロムなどの約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜１６を形成した後（ａ）、金属薄膜１６及び下部クラッド１１にコアとなる部分を取り除いてコア形成部分１７を凹型に成型し（ｂ）、下部クラッド１１の上側に凹部を含めてポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料からなり未硬化のコア材料１８を形成し、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料で別に形成した平らな上部クラッド１３を上に載せ（ｃ）、上から加圧接合し、コア部以外の余分なコア材を押し出し、コア１２を硬化させた後（ｄ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に上面側または下面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を見ると、図４（ｂ）または、図５（ｂ）のようになる。
【００６４】
下部クラッドやコア及び上部クラッドの形成は、従来の光導波路製造方法と同じである。
【００６５】
下部クラッドにコアの凹部を形成するのには機械的加工やエッチング等の工法で良い。また、コアの形成方法として下部クラッド上に未硬化のコア材を形成し、上部クラッドを加圧して余分なコア材を押し出した後にコアを硬化させているが、下部クラッド上の凹部にコア材を積層しコアを形成しても良い。
【００６６】
金属薄膜の形成方法としては、スパッタや蒸着等一般的な工法が採用される。しかも、コア部を除く下部クラッド上面のみに金属薄膜を容易に形成でき、マスクの精密な位置合わせ等も必要ない。
【００６７】
したがって、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００６８】
図１１は、本発明に係る光導波路の製造方法の第５の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００６９】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明なベース基板１９上に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１１を形成し（ａ）、その上面に、マスクレジストパターンを形成し、その上から約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜を蒸着した後に、マスクレジストパターンをリフトオフすることで、光導波路部分以外の領域に金属薄膜パターンを形成する（ｂ）。次に、光硬化性の感光性ポリイミド、感光性エポキシ樹脂等の感光性樹脂から成るコア層をその上に形成し、基板の下から、露光することで、金属膜の開口部分の感光性樹脂を露光し硬化させ、未硬化部分を溶解除去することでコアパターンを形成する（ｃ）。その上にクラッド層を形成し光導波路フィルムを形成する（ｄ）。次に、その光導波路フィルムのコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に下面側または上面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を見ると、図４（ｂ）または、図５（ｂ）のようになる。
【００７０】
コアの形状をしたマスクを用いて下部クラッド上の金属薄膜を形成し、また、金属薄膜をマスクとしてコアを形成するため、あらかじめ用意するマスクパターンは一つでよい。
【００７１】
また、コアが金属薄膜に接して形成されるため、コアに接する金属薄膜が容易に形成できることになる。
【００７２】
したがって、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００７３】
図１２は、本発明に係る光導波路の製造方法の第６の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００７４】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板９上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１を平らに形成し（ａ）、下部クラッド１の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料によりコア２を形成した後に（ｂ）、下部クラッド及びコアの上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の色の付いた材料により上部クラッド３を形成した後（ｃ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に下面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を上方から見ると、図６（ｂ）のようになる。
【００７５】上部クラッド材料に色の付いたものを用いること以外は、従来の光導波路の製造方法と全く同じであるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００７６】
図１３は、本発明に係る光導波路の製造方法の第７の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００７７】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板１９上に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の有色な材料により下部クラッド１１を形成し（ａ）、下部クラッド１１にコアの形状をした凸型の治具（図示せず）を押し付け、コア形成部分１７を凹型に成型した後に（ｂ）、下部クラッドの上側に凹部を含めてポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料からなり未硬化のコア材料１８を形成し、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料で別に形成した平らな上部クラッド１３を上に載せ（ｃ）、上から加圧接合し、コア部以外の余分なコア材を押し出し、コア１２を硬化させた後（ｄ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に上面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を反転させて上方から見ると、図６（ｂ）のようになる。
【００７８】
下部クラッド材料に色の付いたものを用いること以外は、従来の光導波路の製造方法と全く同じである。説明では、下部クラッドにコアの凹部を形成するのに凸型治具を用いたが、エッチングで形成しても良い。また、コアの形成方法として下部クラッド上に未硬化のコア材を形成し、上部クラッドを加圧して余分なコア材を押し出した後にコアを硬化させているが、下部クラッド上の凹部にコア材を積層してコアを形成しても良い。
【００７９】
以上のように下部クラッドに有色の材料を用いるだけなので、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００８０】
以上、本発明をいくつかの実施態様の場合を例にとり説明したが、上述の説明において、図では、光導波路の一端のみにミラー部を設けて説明したが、光導波路の両端に設けても何ら問題ない。
【００８１】
また、本発明において「使用するレーザー光に対して透明」とは、光導波路の長さ、および損失をどこまで許容するか等によって左右されるため、一概には規定できない。例えば、光導波路としての総合的な損失は、ポリマー系のもので０．１〜０．５ｄＢ／ｃｍ程度のものが多く用いられているが、１ｄＢ／ｃｍ以上のものでも、１ｃｍ以下の短距離ならば光導波路として使用可能となるので、本発明で言う透明な材料に包含される。
【００８２】
また、長波長レーザを使用する場合は、ＳｉやＧａＡｓ等の材料も使用波長に対して透明となるので、これも本発明で言う使用するレーザー光に対して透明な材料に包含される。
【００８３】
また、本発明において「クラッドの屈折率に比べコアの屈折率が高い」というコアとクラッドの屈折率差に関しても、上記と同様に損失をどこまで許容するか等によって左右されるため、一概には規定できない。一般的には、例えば、その差が０．２５〜３％程度のものが多く用いられているが、この範囲外のものであっても光導波路として使用できれば本発明に包含される。
【００８４】
さらに、本発明において「上部クラッドと下部クラッドとの屈折率がほぼ同じ」に関しても、上記と同様に損失をどこまで許容するか等によって左右されるため、一概には規定できないが、一般的に、コアとクラッドの屈折率差の１／１０程度以下に抑えたものであることが好ましく、その範囲内であれば、上部クラッドと下部クラッドとを構成する材質が異なるものであっても構わない。もちろん、同一の部材であることがより好ましい。
【００８５】
さらに、ミラー部に関し、下面側または上面側が「鋭角」とは、斜めにカットされた面の「鋭角」と「鈍角」とのどちらを上にするか、下にするかということを説明するための用語である。
【００８６】
図では、ミラーを斜めにカットしただけで、コアと空気との屈折率差を利用した全反射ミラーとして説明しているが、ミラー面に金属膜を形成した物でも良い。金属膜を形成した金属ミラーの場合は、ミラーの鈍角側からは金属ミラーが直接見えてコアの位置が見えなくなるが、ミラーの鋭角側からミラー部を見れば、金属薄膜５、金属薄膜６およびミラー部４がそれぞれ見える、あるいは有色のクラッド部およびミラー部４がそれぞれ見えるので、ミラー部におけるコアの位置が認識できる。
【００８７】
図では、鋭角なミラー角度を４５°として説明しているが、全反射ミラーの場合は、全反射する角度であれば、特に４５°である必要はない。一般的には、その角度が４５°〜５０°程度以下、多くて６０°程度であるが、これに限定されるものではない。また、金属ミラーの場合は、特に角度を規定する必要もないが、現実的な配置を考慮すると、３０°〜６０°程度が一般的である。
【００８８】
なお、上記例におけるように、４５°にカットして使用される場合、光の取り出し方向が直角となるので、他の光軸との位置合わせが容易となる。また、シリコンなどの結晶体をエッチングして使用する場合には、結晶方位によって決まる角度のミラーが容易に得られるためこの角度（例えば、５５°程度）を用いることが好ましい。
【００８９】
また図では、コアを３本として説明しているが、少なくとも１本以上あれば、何本でも良い。
【００９０】
図では、コアの断面形状を四角としたが、特に四角にこだわる必要はなく他の形状でも良い。
【００９１】
金属膜を形成する態様において、図では、ミラー部及びミラー部近傍のみに金属膜を形成しているが、光導波路全面に渡って形成されていても特に問題ない。ここで、少なくともミラー部及びミラー部近傍に形成するとしたのは、ミラー部（ミラー面）のみに形成するものであると、コアとクラッドとの界面をせっかく金属膜形成等によって有色としても、その部位は単なる「線」のみであって視認し難いので、少なくともその近傍を含めて形成するものとしたものである。なお当該近傍部の大きさとしては、有色であることが視認できるものであれば特に限定されないが、例えば、少なくとも、コアと同等以上の大きさがあれば良く、コアが１０μｍならその近傍部が１０μｍ程度あれば良い。
【００９２】
また、材料的には、石英系をはじめ、ポリマー系でもコアとクラッドとして光導波路を形成できるものなら、特に材料を問わず適用可能である。
【００９３】
さらに、クラッドの一部を有色とする態様においても、当該有色のクラッドは、用いられる物質が本来的に有色なもののみならず、染料、顔料等の着色剤等により色を付けられるものであれば特に材料を問わず適用可能である。
【００９４】
また、金属薄膜は容易に形成できるので、適しているが、光学的にクラッドとの境がはっきりと認識できる薄膜であれば金属薄膜でなくとも実用上同じ効果が得られることは明らかである。
【００９５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の請求項１にかかる光導波路は、下部クラッドと、下部クラッドの上に形成されたコアと、コアを被う上部クラッドと、端部に形成された下面側が鋭角となるミラーとからなり、ミラー部近傍において、コア上面と上部クラッドとの間及び下部クラッドの上面と上部クラッドとの間のどちらか一方またはその両方に金属薄膜を配置した構成により、コアとクラッドの境がはっきりし、コアの位置を正確に測定できる。そのため、他の光部品との正確な組立てが可能となり、光機器の品質向上、歩留まり向上、光機器の組立てコストの削減すると言う効果がある。
【００９６】
本発明の請求項２にかかる光導波路は、平らな下部クラッドと、下部クラッドの上に形成されたコアと、コアを被う上部クラッドと、端部に形成された上面が鋭角となるミラーとからなり、ミラー部近傍に下部クラッドの上面と上部クラッドとの間に金属薄膜を配置した構成により、コアとクラッドの境がはっきりし、コアの位置を正確に測定できる。そのため、他の光部品との正確な組立てが可能となり、光機器の品質向上、歩留まり向上、光機器の組立てコストの削減すると言う効果がある。
【００９７】
また本発明の請求項３に係る光導波路は、下部クラッドと、下部クラッドの上に形成されたコアと、コアを被う有色の上部クラッドと、端部に形成された下面側が鋭角となるミラーとからなる構成により、コアと上部クラッドの境がはっきりし、コアの位置を正確に測定できる。そのため、他の光部品との正確な組立てが可能となり、光機器の品質向上、歩留まり向上、光機器の組立てコストの削減すると言う効果がある。
【００９８】
本発明の請求項４にかかる光導波路製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの光導波路の端部となる近傍の上面に金属薄膜を形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【００９９】
さらに本発明の請求項５にかかる光導波路製造方法は、下部クラッドを形成し、下部クラッドのコア形成部分を凹型に成型した後に、下部クラッドの光導波路の端部となる近傍の上面及び凹部の底面に金属薄膜を形成し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【０１００】
本発明の請求項６にかかる光導波路製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコア層を平らに形成し、光導波路の端部となるコア層の近傍の上面に金属薄膜を形成した後に、コア層と金属薄膜を同時にコアとなる部分以外を取り除くことでコアを形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【０１０１】
本発明の請求項７にかかる光導波路製造方法は、下部クラッドを形成し、少なくとも光導波路の端部となる近傍の下部クラッドの上に金属薄膜を形成した後に、下部クラッドと金属薄膜を同時にコアとなる部分を取り除くことでコア部を凹型に成型し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側または下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【０１０２】
本発明の請求項８にかかる光導波路製造方法は、透明な材料により下部クラッドを形成し、その上面に、コアとなる領域以外の領域に金属薄膜パターンを形成し、その上に光硬化性材料より成るコア層を形成し、下部クラッドの下から、露光することで、金属薄膜の開口部分の光硬化性材料を露光硬化させ、未硬化部分を溶解除去することでコアパターンを形成し、下部クラッド及びコアの上に上部クラッドを形成した後、端部にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【０１０３】
本発明の請求項９にかかる光導波路製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの上面に、有色の材料を用いて上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアと上部クラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【０１０４】
本発明の請求項１０にかかる光導波路製造方法は、有色の材料を用いて下部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹部に成型した後に、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光導波路の第１の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【図２】図１に示す光導波路を説明する３面図である。
【図３】本発明に係る光導波路の第２の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【図４】本発明に係る光導波路の第３の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【図５】本発明に係る光導波路の第４の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【図６】本発明に係る光導波路の第５の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【図７】本発明に係る光導波路の製造方法の第１の実施形態を説明する図である。
【図８】本発明に係る光導波路の製造方法の第２の実施形態を説明する図である。
【図９】本発明に係る光導波路の製造方法の第３の実施形態を説明する図である。
【図１０】本発明に係る光導波路の製造方法の第４の実施形態を説明する図である。
【図１１】本発明に係る光導波路の製造方法の第５の実施形態を説明する図である。
【図１２】本発明に係る光導波路の製造方法の第６の実施形態を説明する図である。
【図１３】本発明に係る光導波路の製造方法の第７の実施形態を説明する図である。
【図１４】従来の光導波路の実施形態の一例を示す斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【符号の説明】
１・・・・下部クラッド
２・・・・コア
３・・・・上部クラッド
４・・・・ミラー部
５・・・・金属薄膜
６・・・・金属薄膜
９・・・・ベース基板
１０・・・・光導波路
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信に用いられる光学部品とその製造方法に関し、特にシート状の光導波路で、光を導波路と略直角方向に取りだすことができるミラー付きの光導波路とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信における光伝搬素子として、複数本の光伝搬路を有するシート状の光導波路がある。
【０００３】
図１４は、従来の光導波路の実施形態の一例を示す斜視図である。図に示す従来の光導波路１１０は、平らで使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッド１０１と、下部クラッドの上に形成され下部クラッドに比べ屈折率が高く使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコア１０２と、コアを被い下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち使用するレーザ光に対して透明な材料からなる上部クラッド１０３とからなり、また、光導波路１１０の端部を４５度にカットしてミラー部１０４を形成している。
【０００４】
このような従来の光導波路製造方法の一例としては、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、上部クラッドを形成し、最後に端部にミラー部を形成するものがある（図示せず）。
【０００５】
また、このような従来の光導波路製造方法の別の一例としては、下部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹型に成型した後に、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部にミラー部を形成するものがある（図示せず）。
【０００６】
図１４において、コア１０２は、下部クラッド１０１や上部クラッド１０３に比べ屈折率がやや高い材料が使用されるため、コア１０２にレーザ光を通すと、レーザ光がコア１０２内に閉じ込められ、コアに沿って進むことになる。コア内を進むレーザ光がミラー部１０４に当たると、レーザ光が反射されて直角方向に曲げられるため、下部クラッド１０１を通り抜けて光導波路の外にレーザ光が出る。このようにレーザ光を光導波路と直角方向に曲げ、他の光学部品と容易に光結合が行なえるように構成されている。
【０００７】
他の光学部品との光結合に際しては、結合損失をできるだけ少なくするため、通常１μｍオーダーの位置決めが要求される。このような正確な位置決めを行なうためには、レーザ光の取り出し位置を正確に把握する必要があり、すなわち、ミラー面上のコアの位置を光導波路の上面側又は下面側から正確に測定しておく必要がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、光導波路のコアとクラッドとの屈折率差は通常は１％程度以下で、多くても３％程度なので、光学顕微鏡で位置を測定しようとしてもコアとクラッドの境目がはっきりせず、測定誤差が大きく正確な位置決めができないと言う問題があった。また、あらかじめ位置決めしやすいように、位置決めマークを光導波路上に形成する方法も提案されているが、位置決めマークに対して光導波路を斜めに切断し正確な位置にミラーを形成することは難しく、また、ミラー形成後もコア位置が良く見えないためミラー面が正確に形成できたか確認できないと言う問題があった。したがって、他の光学部品と正確な組立てができないために光機器の品質低下、歩留まり悪化を招き、また、製造コストが上昇するという問題があった。
【０００９】
また、実際に光導波路のコア内にレーザ光を通して、他の光学部品との光結合状態をモニタしながら組立てる方法も考えられているが、これによれば、正確な組立てが可能となるものの、組立ての前段階として、光導波路のコアにレーザ光を通す等余分な作業が必要となり、さらに、実際の位置決めの際にも、位置を少しずつ移動させながら結合状態を測定して行かなければならないため、位置決めに時間がかかるとともに、複雑で高価な位置決め装置が必要となる等問題があった。
【００１０】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決し、ミラー部におけるコアの位置を容易に認識でき、導波路上の光軸位置を正確に測定できるため、他の光学部品との正確な位置決めが容易にできる光導波路と、その製造方法を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記課題を解決するため、本発明の光導波路は、光導波路は、（Ａ）使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料からなる上部クラッドと、（Ｄ１）前記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で下面側が鋭角となる様に形成されたミラー部と、（Ｅ１）少なくともミラー部及びミラー部近傍において、コア上面と上部クラッドとの間、及び下部クラッドの上面と上部クラッドとの間のコアの両側面に接する位置のどちらか一方、又はその両方に形成された金属薄膜とからなり、金属薄膜の端部がミラー部に達していることを特徴とする。
【００１３】
前記構成により、ミラー部における金属薄膜の位置からコアの正確な位置を容易に確認でき、また、他の光学部品との正確な光軸合わせが容易に行なうことができる光導波路が実現される。
【００１４】
また、本発明による光導波路は、（Ａ）使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料からなる上部クラッドと、（Ｄ２）前記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で上面側が鋭角となる様に形成されたミラー部と、（Ｅ２）少なくともミラー部及びミラー部近傍において、下部クラッドの上面と上部クラッドとの間のコアの両側面に接する位置のどちらか一方、又はその両方に形成された金属薄膜とからなり、金属薄膜の端部がミラー部に達していることを特徴とする。
【００１５】
前記構成により、ミラー部における金属薄膜の位置からコアの正確な位置を容易に確認でき、また、他の光学部品との正確な光軸合わせが容易に行なうことができる光導波路が実現される。
【００１６】
また、本発明による光導波路は、（Ａ）使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、（Ｃ１）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持つ有色の上部クラッドと、（Ｄ１）前記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で下面側が鋭角となる様に形成されたミラー部とからなることを特徴とする。
【００１７】
上記構成により、ミラー部における色のついた上部クラッドの位置からコアの正確な位置を容易に確認でき、また、他の光学部品との正確な光軸合わせが容易に行なうことができる光導波路が実現される。
【００１８】
さらに、本発明の光導波路の製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの光導波路の端部となる近傍の上面に金属薄膜を形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００１９】
前記構成により、ミラー部におけるコア上面と上部クラッドの境及び上下クラッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００２０】
また、本発明の光導波路の製造方法は、下部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹型に成型した後に、下部クラッドの光導波路の端部となる近傍の上面及び凹部の底面に金属薄膜を形成し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００２１】
前記構成により、ミラー部におけるコア上面と上部クラッドの境及び上下クラッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００２２】
また、本発明の光導波路の製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコア層を平らに形成し、少なくとも光導波路の端部となるコア層の近傍の上面に金属薄膜を形成した後に、コア層と金属薄膜を同時にコアとなる部分以外を取り除くことでコアを形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００２３】
前記構成により、ミラー部におけるコア上面と上部クラッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００２４】
また、本発明の光導波路の製造方法は、下部クラッドを形成し、少なくとも光導波路の端部となる近傍の下部クラッドの上に金属薄膜を形成した後に、下部クラッドと金属薄膜を同時にコアとなる部分を取り除くことでコア部を凹型に成型し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側または下面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００２５】
前記構成により、ミラー部における下部クラッドと上部クラッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００２６】
また、本発明の光導波路の製造方法は、透明な材料により下部クラッドを形成し、その上面に、コアとなる領域以外の領域に金属薄膜パターンを形成し、その上に光硬化性材料より成るコア層を形成し、下部クラッドの下から、露光することで、金属薄膜の開口部分の光硬化性材料を露光硬化させ、未硬化部分を溶解除去することでコアパターンを形成し、下部クラッド及びコアの上に上部クラッドを形成した後、端部にミラー部を形成する光導波路製造方法。
【００２７】
前記構成により、下部クラッドと上部クラッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００２８】
さらに、本発明の光導波路の製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの上面に、有色の材料を用いて上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００２９】
前記構成により、有色の上部クラッドを容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００３０】
さらに、本発明の光導波路の製造方法は、有色の材料を用いて下部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹部に成型した後に、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とする。
【００３１】
前記構成により、有色の下部クラッドを容易に形成することができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。
【００３２】
【発明の実施形態】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。
【００３３】
図１は、本発明に係る光導波路の第１の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【００３４】
図に示すように、本発明の第１の実施形態は、（Ａ）シート状であり、平らで使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる上部クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で下面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４と、（Ｅ１）ミラー部４及びミラー部４の近傍でコア２の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜５と、ミラー部４及びミラー部４の近傍で下部クラッド１の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜６とから構成される（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’は金属薄膜５及び金属薄膜６に３方向を囲まれて見える（ｂ）。
【００３５】
図２は、図１に示す光導波路を説明する３面図である。
【００３６】
図において、コア２は、下部クラッド１や上部クラッド３に比べ屈折率がやや高い材料が使用されるため、コア２にレーザ光を通すと、レーザ光がコア内に閉じ込められ、コアに沿って進むことになる。光導波路１０の端部にはコア２の上面に金属薄膜５が形成されているが、コアの大きさは通常数μｍ程度以上であるのに対し、薄膜の厚みはサブミクロンレベルであり、レーザ光の散乱・吸収等による光損失はほとんど問題にならない。コア２内をＸ方向に進むレーザ光は光導波路１０の端部に設けられたミラー部４で反射され、Ｘ方向と直角方向であるＹ方向に進み、下部クラッド１を通り抜けて外部に出る。また、逆にミラー部４にＹと反対方向からレーザ光を照射するとミラー部４で反射されて、コア２内に閉じ込められコア２内をＸと反対方向に進むことになる。
【００３７】
図に示すミラー部４には、コア２上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜５の端部と、下部クラッド１と上部クラッド３の間に形成された金属薄膜６の端部がそれぞれ出ている。そのため、光導波路１０を上部クラッド３の上方から、又は下部クラッド１の下方からそれぞれ観察すると、ミラー部４におけるコア２’（２ａ’、２ｂ’、２ｃ’）の外形の３辺が、金属薄膜５（５ａ、５ｂ、５ｃ）及び金属薄膜６（６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ）で囲まれて見えるので、ミラー部４におけるコア２（２ａ’、２ｂ’、２ｃ’）の位置を正確に測定できる。よって、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な光軸調整を容易に行なうことができる。
【００３８】
図３は、本発明に係る光導波路の第２の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【００３９】
図に示すように、本発明の第２の実施形態は、（Ａ）シート状であり、平らで、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる上部クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で下面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４と、（Ｅ１）ミラー部４及びミラー部４の近傍でコア２の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜５とから構成される（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’の一辺が金属薄膜５に接し他の２辺が金属薄膜５のエッジの延長線と接して見える（ｂ）。
【００４０】
一般に、コアの厚みは精度良く管理できるため、また、必要に応じてコアの厚みを容易に測定しておくことができるため、ミラー部４における金属薄膜５の位置からコア２’の位置を正確に測定できる。よって、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な光軸調整を容易に行なうことができる。
【００４１】
図４は、本発明に係る光導波路の第３の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【００４２】
図に示すように、本発明の第３の実施形態は、（Ａ）シート状であり、平らで、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる上部クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で下面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４と、（Ｅ１）ミラー部４及びミラー部４の近傍で下部クラッド１の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜６とから構成される（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’の２辺は金属薄膜６に接し他の一辺は金属薄膜のエッジの延長線と接して見える（ｂ）。
【００４３】
一般に、コアの厚みは精度良く管理できるため、また、必要に応じてコアの厚みを容易に測定しておくことができるため、ミラー部４における金属薄膜６の位置からコア２’の位置を正確に測定できる。よって、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な光軸調整を容易に行なうことができる。
【００４４】
図５は、本発明に係る光導波路の第４の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【００４５】
図に示すように、本発明の第４の実施形態は、（Ａ）シート状であり、使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上面に設けられた凹部に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち使用するレーザ光に対して透明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる平らな上部クラッド３と、（Ｄ２）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で上面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４と、（Ｅ２）ミラー部４及びミラー部４の近傍で下部クラッド１の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜６とから構成される（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’の３辺が金属薄膜６のエッジの延長線と接して見える（ｂ）。
【００４６】
一般に、コアの厚みは精度良く管理できるため、また、必要に応じてコアの厚みを容易に測定しておくことができるため、ミラー部４における金属薄膜６の位置からコア２’の位置を正確に測定できる。よって、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な光軸調整を容易に行なうことができる。
【００４７】
図６は、本発明に係る光導波路の第５の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【００４８】
図に示すように、本発明の第５の実施形態は、（Ａ）シート状であり、平らで使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ１）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ有色のポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる上部クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で下面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４とから構成される（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’は色の付いた上部クラッド３に３方向を囲まれて見える（ｂ）。
【００４９】
図７は、本発明に係る光導波路の製造方法の第１の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００５０】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板９上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１を平らに形成し（ａ）、下部クラッド１の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料によりコア２を形成した後に（ｂ）、少なくとも下部クラッド及びコアの光導波路の端部となる近傍の上面に金、アルミニウム、金属クロムなどの約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜５及び６を形成し（ｃ）、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により上部クラッド３を形成した後（ｄ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に下面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を上方から見ると、図１（ｂ）のようになる。
【００５１】
下部クラッドやコア及び上部クラッドの形成は、従来の光導波路製造方法と同じであり、金属薄膜の形成方法としても、スパッタや蒸着等一般的な工法が採用される。しかも、コアの上面及び下部クラッド上面に金属薄膜を一括形成でき、また、コアの側面に金属薄膜が回りこんでも特に問題ないので、マスクの精密な位置合わせ等も必要ない。
【００５２】
したがって、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００５３】
図８は、本発明に係る光導波路の製造方法の第２の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００５４】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板１９上に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１１を形成し（ａ）、下部クラッド１１にコアの形状をした凸型の治具（図示せず）を押し付け、コア形成部分１７を凹型に成型した後に（ｂ）、少なくとも下部クラッドの光導波路の端部となる近傍の上面及び凹部の底面に金、アルミニウム、金属クロムなどの約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜１５及び１６を形成し（ｃ）、下部クラッドの上側に凹部を含めてポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料からなり未硬化のコア材料１８を形成し、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料で別に形成した平らな上部クラッド１３を上に載せ（ｄ）、上から加圧接合し、コア部以外の余分なコア材を押し出し、コア１２を硬化させた後（ｅ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に上面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を反転させて上方から見ると、図１（ｂ）のようになる。
【００５５】
下部クラッドやコア及び上部クラッドの形成は、従来の光導波路製造方法と同じである。下部クラッドにコアの凹部を形成するのに凸型治具を用いたが、エッチングで形成しても良い。また、コアの形成方法として下部クラッド上に未硬化のコア材を形成し、上部クラッドを加圧して余分なコア材を押し出した後にコアを硬化させているが、下部クラッド上の凹部にコア材を積層してコアを形成しても良い。
【００５６】
金属薄膜の形成方法としては、スパッタや蒸着等一般的な工法が採用される。しかも、コア部の底面及び下部クラッド上面に金属薄膜を一括形成でき、また、コア部の側面に金属薄膜が回りこんでも特に問題ないので、マスクの精密な位置合わせ等も必要ない。
【００５７】
したがって、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００５８】
図９は、本発明に係る光導波路の製造方法の第３の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００５９】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板９上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１を平らに形成し、下部クラッド１の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料によりコア層２を平らに形成し、少なくともコア層２の光導波路の端部となる近傍の上面に金、アルミニウム、金属クロムなどの約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜５を形成した後に（ａ）、金属薄膜及びコア層の内コア形成部分以外を取り除き（ｂ）、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により上部クラッド３を形成した後（ｃ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に下面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を上方から見ると、図３（ｂ）のようになる。
【００６０】
下部クラッドやコア及び上部クラッドの形成は、従来の光導波路製造方法と同じであり、金属薄膜の形成方法としては、スパッタや蒸着等一般的な工法が採用される。マスクの精密な位置合わせ等も必要なく、コアの上面のみに金属薄膜を容易に形成できる。
【００６１】したがって、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００６２】
図１０は、本発明に係る光導波路の製造方法の第４の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００６３】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板１９上に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１１を形成し、少なくとも下部クラッド１１の光導波路の端部となる近傍の上面に金、アルミニウム、金属クロムなどの約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜１６を形成した後（ａ）、金属薄膜１６及び下部クラッド１１にコアとなる部分を取り除いてコア形成部分１７を凹型に成型し（ｂ）、下部クラッド１１の上側に凹部を含めてポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料からなり未硬化のコア材料１８を形成し、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料で別に形成した平らな上部クラッド１３を上に載せ（ｃ）、上から加圧接合し、コア部以外の余分なコア材を押し出し、コア１２を硬化させた後（ｄ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に上面側または下面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を見ると、図４（ｂ）または、図５（ｂ）のようになる。
【００６４】
下部クラッドやコア及び上部クラッドの形成は、従来の光導波路製造方法と同じである。
【００６５】
下部クラッドにコアの凹部を形成するのには機械的加工やエッチング等の工法で良い。また、コアの形成方法として下部クラッド上に未硬化のコア材を形成し、上部クラッドを加圧して余分なコア材を押し出した後にコアを硬化させているが、下部クラッド上の凹部にコア材を積層しコアを形成しても良い。
【００６６】
金属薄膜の形成方法としては、スパッタや蒸着等一般的な工法が採用される。しかも、コア部を除く下部クラッド上面のみに金属薄膜を容易に形成でき、マスクの精密な位置合わせ等も必要ない。
【００６７】
したがって、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００６８】
図１１は、本発明に係る光導波路の製造方法の第５の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００６９】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明なベース基板１９上に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１１を形成し（ａ）、その上面に、マスクレジストパターンを形成し、その上から約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜を蒸着した後に、マスクレジストパターンをリフトオフすることで、光導波路部分以外の領域に金属薄膜パターンを形成する（ｂ）。次に、光硬化性の感光性ポリイミド、感光性エポキシ樹脂等の感光性樹脂から成るコア層をその上に形成し、基板の下から、露光することで、金属膜の開口部分の感光性樹脂を露光し硬化させ、未硬化部分を溶解除去することでコアパターンを形成する（ｃ）。その上にクラッド層を形成し光導波路フィルムを形成する（ｄ）。次に、その光導波路フィルムのコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に下面側または上面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を見ると、図４（ｂ）または、図５（ｂ）のようになる。
【００７０】
コアの形状をしたマスクを用いて下部クラッド上の金属薄膜を形成し、また、金属薄膜をマスクとしてコアを形成するため、あらかじめ用意するマスクパターンは一つでよい。
【００７１】
また、コアが金属薄膜に接して形成されるため、コアに接する金属薄膜が容易に形成できることになる。
【００７２】
したがって、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００７３】
図１２は、本発明に係る光導波路の製造方法の第６の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００７４】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板９上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド１を平らに形成し（ａ）、下部クラッド１の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料によりコア２を形成した後に（ｂ）、下部クラッド及びコアの上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の色の付いた材料により上部クラッド３を形成した後（ｃ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に下面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を上方から見ると、図６（ｂ）のようになる。
【００７５】上部クラッド材料に色の付いたものを用いること以外は、従来の光導波路の製造方法と全く同じであるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００７６】
図１３は、本発明に係る光導波路の製造方法の第７の実施形態の製造方法を説明する図である。
【００７７】
図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板１９上に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の有色な材料により下部クラッド１１を形成し（ａ）、下部クラッド１１にコアの形状をした凸型の治具（図示せず）を押し付け、コア形成部分１７を凹型に成型した後に（ｂ）、下部クラッドの上側に凹部を含めてポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料からなり未硬化のコア材料１８を形成し、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料で別に形成した平らな上部クラッド１３を上に載せ（ｃ）、上から加圧接合し、コア部以外の余分なコア材を押し出し、コア１２を硬化させた後（ｄ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断することで端部に上面側が鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を反転させて上方から見ると、図６（ｂ）のようになる。
【００７８】
下部クラッド材料に色の付いたものを用いること以外は、従来の光導波路の製造方法と全く同じである。説明では、下部クラッドにコアの凹部を形成するのに凸型治具を用いたが、エッチングで形成しても良い。また、コアの形成方法として下部クラッド上に未硬化のコア材を形成し、上部クラッドを加圧して余分なコア材を押し出した後にコアを硬化させているが、下部クラッド上の凹部にコア材を積層してコアを形成しても良い。
【００７９】
以上のように下部クラッドに有色の材料を用いるだけなので、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供できる。
【００８０】
以上、本発明をいくつかの実施態様の場合を例にとり説明したが、上述の説明において、図では、光導波路の一端のみにミラー部を設けて説明したが、光導波路の両端に設けても何ら問題ない。
【００８１】
また、本発明において「使用するレーザー光に対して透明」とは、光導波路の長さ、および損失をどこまで許容するか等によって左右されるため、一概には規定できない。例えば、光導波路としての総合的な損失は、ポリマー系のもので０．１〜０．５ｄＢ／ｃｍ程度のものが多く用いられているが、１ｄＢ／ｃｍ以上のものでも、１ｃｍ以下の短距離ならば光導波路として使用可能となるので、本発明で言う透明な材料に包含される。
【００８２】
また、長波長レーザを使用する場合は、ＳｉやＧａＡｓ等の材料も使用波長に対して透明となるので、これも本発明で言う使用するレーザー光に対して透明な材料に包含される。
【００８３】
また、本発明において「クラッドの屈折率に比べコアの屈折率が高い」というコアとクラッドの屈折率差に関しても、上記と同様に損失をどこまで許容するか等によって左右されるため、一概には規定できない。一般的には、例えば、その差が０．２５〜３％程度のものが多く用いられているが、この範囲外のものであっても光導波路として使用できれば本発明に包含される。
【００８４】
さらに、本発明において「上部クラッドと下部クラッドとの屈折率がほぼ同じ」に関しても、上記と同様に損失をどこまで許容するか等によって左右されるため、一概には規定できないが、一般的に、コアとクラッドの屈折率差の１／１０程度以下に抑えたものであることが好ましく、その範囲内であれば、上部クラッドと下部クラッドとを構成する材質が異なるものであっても構わない。もちろん、同一の部材であることがより好ましい。
【００８５】
さらに、ミラー部に関し、下面側または上面側が「鋭角」とは、斜めにカットされた面の「鋭角」と「鈍角」とのどちらを上にするか、下にするかということを説明するための用語である。
【００８６】
図では、ミラーを斜めにカットしただけで、コアと空気との屈折率差を利用した全反射ミラーとして説明しているが、ミラー面に金属膜を形成した物でも良い。金属膜を形成した金属ミラーの場合は、ミラーの鈍角側からは金属ミラーが直接見えてコアの位置が見えなくなるが、ミラーの鋭角側からミラー部を見れば、金属薄膜５、金属薄膜６およびミラー部４がそれぞれ見える、あるいは有色のクラッド部およびミラー部４がそれぞれ見えるので、ミラー部におけるコアの位置が認識できる。
【００８７】
図では、鋭角なミラー角度を４５°として説明しているが、全反射ミラーの場合は、全反射する角度であれば、特に４５°である必要はない。一般的には、その角度が４５°〜５０°程度以下、多くて６０°程度であるが、これに限定されるものではない。また、金属ミラーの場合は、特に角度を規定する必要もないが、現実的な配置を考慮すると、３０°〜６０°程度が一般的である。
【００８８】
なお、上記例におけるように、４５°にカットして使用される場合、光の取り出し方向が直角となるので、他の光軸との位置合わせが容易となる。また、シリコンなどの結晶体をエッチングして使用する場合には、結晶方位によって決まる角度のミラーが容易に得られるためこの角度（例えば、５５°程度）を用いることが好ましい。
【００８９】
また図では、コアを３本として説明しているが、少なくとも１本以上あれば、何本でも良い。
【００９０】
図では、コアの断面形状を四角としたが、特に四角にこだわる必要はなく他の形状でも良い。
【００９１】
金属膜を形成する態様において、図では、ミラー部及びミラー部近傍のみに金属膜を形成しているが、光導波路全面に渡って形成されていても特に問題ない。ここで、少なくともミラー部及びミラー部近傍に形成するとしたのは、ミラー部（ミラー面）のみに形成するものであると、コアとクラッドとの界面をせっかく金属膜形成等によって有色としても、その部位は単なる「線」のみであって視認し難いので、少なくともその近傍を含めて形成するものとしたものである。なお当該近傍部の大きさとしては、有色であることが視認できるものであれば特に限定されないが、例えば、少なくとも、コアと同等以上の大きさがあれば良く、コアが１０μｍならその近傍部が１０μｍ程度あれば良い。
【００９２】
また、材料的には、石英系をはじめ、ポリマー系でもコアとクラッドとして光導波路を形成できるものなら、特に材料を問わず適用可能である。
【００９３】
さらに、クラッドの一部を有色とする態様においても、当該有色のクラッドは、用いられる物質が本来的に有色なもののみならず、染料、顔料等の着色剤等により色を付けられるものであれば特に材料を問わず適用可能である。
【００９４】
また、金属薄膜は容易に形成できるので、適しているが、光学的にクラッドとの境がはっきりと認識できる薄膜であれば金属薄膜でなくとも実用上同じ効果が得られることは明らかである。
【００９５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の請求項１にかかる光導波路は、下部クラッドと、下部クラッドの上に形成されたコアと、コアを被う上部クラッドと、端部に形成された下面側が鋭角となるミラーとからなり、ミラー部近傍において、コア上面と上部クラッドとの間及び下部クラッドの上面と上部クラッドとの間のどちらか一方またはその両方に金属薄膜を配置した構成により、コアとクラッドの境がはっきりし、コアの位置を正確に測定できる。そのため、他の光部品との正確な組立てが可能となり、光機器の品質向上、歩留まり向上、光機器の組立てコストの削減すると言う効果がある。
【００９６】
本発明の請求項２にかかる光導波路は、平らな下部クラッドと、下部クラッドの上に形成されたコアと、コアを被う上部クラッドと、端部に形成された上面が鋭角となるミラーとからなり、ミラー部近傍に下部クラッドの上面と上部クラッドとの間に金属薄膜を配置した構成により、コアとクラッドの境がはっきりし、コアの位置を正確に測定できる。そのため、他の光部品との正確な組立てが可能となり、光機器の品質向上、歩留まり向上、光機器の組立てコストの削減すると言う効果がある。
【００９７】
また本発明の請求項３に係る光導波路は、下部クラッドと、下部クラッドの上に形成されたコアと、コアを被う有色の上部クラッドと、端部に形成された下面側が鋭角となるミラーとからなる構成により、コアと上部クラッドの境がはっきりし、コアの位置を正確に測定できる。そのため、他の光部品との正確な組立てが可能となり、光機器の品質向上、歩留まり向上、光機器の組立てコストの削減すると言う効果がある。
【００９８】
本発明の請求項４にかかる光導波路製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの光導波路の端部となる近傍の上面に金属薄膜を形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【００９９】
さらに本発明の請求項５にかかる光導波路製造方法は、下部クラッドを形成し、下部クラッドのコア形成部分を凹型に成型した後に、下部クラッドの光導波路の端部となる近傍の上面及び凹部の底面に金属薄膜を形成し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【０１００】
本発明の請求項６にかかる光導波路製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコア層を平らに形成し、光導波路の端部となるコア層の近傍の上面に金属薄膜を形成した後に、コア層と金属薄膜を同時にコアとなる部分以外を取り除くことでコアを形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【０１０１】
本発明の請求項７にかかる光導波路製造方法は、下部クラッドを形成し、少なくとも光導波路の端部となる近傍の下部クラッドの上に金属薄膜を形成した後に、下部クラッドと金属薄膜を同時にコアとなる部分を取り除くことでコア部を凹型に成型し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側または下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【０１０２】
本発明の請求項８にかかる光導波路製造方法は、透明な材料により下部クラッドを形成し、その上面に、コアとなる領域以外の領域に金属薄膜パターンを形成し、その上に光硬化性材料より成るコア層を形成し、下部クラッドの下から、露光することで、金属薄膜の開口部分の光硬化性材料を露光硬化させ、未硬化部分を溶解除去することでコアパターンを形成し、下部クラッド及びコアの上に上部クラッドを形成した後、端部にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【０１０３】
本発明の請求項９にかかる光導波路製造方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの上面に、有色の材料を用いて上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアと上部クラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【０１０４】
本発明の請求項１０にかかる光導波路製造方法は、有色の材料を用いて下部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹部に成型した後に、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光導波路の第１の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【図２】図１に示す光導波路を説明する３面図である。
【図３】本発明に係る光導波路の第２の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【図４】本発明に係る光導波路の第３の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【図５】本発明に係る光導波路の第４の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【図６】本発明に係る光導波路の第５の実施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【図７】本発明に係る光導波路の製造方法の第１の実施形態を説明する図である。
【図８】本発明に係る光導波路の製造方法の第２の実施形態を説明する図である。
【図９】本発明に係る光導波路の製造方法の第３の実施形態を説明する図である。
【図１０】本発明に係る光導波路の製造方法の第４の実施形態を説明する図である。
【図１１】本発明に係る光導波路の製造方法の第５の実施形態を説明する図である。
【図１２】本発明に係る光導波路の製造方法の第６の実施形態を説明する図である。
【図１３】本発明に係る光導波路の製造方法の第７の実施形態を説明する図である。
【図１４】従来の光導波路の実施形態の一例を示す斜視図及びミラー部の部分拡大図である。
【符号の説明】
１・・・・下部クラッド
２・・・・コア
３・・・・上部クラッド
４・・・・ミラー部
５・・・・金属薄膜
６・・・・金属薄膜
９・・・・ベース基板
１０・・・・光導波路
Claims (10)
- （Ａ）使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッドと、
（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、
（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料からなる上部クラッドと、
（Ｄ１）前記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で下面側が鋭角となる様に形成されたミラー部と、
（Ｅ１）少なくともミラー部及びミラー部近傍において、コア上面と上部クラッドとの間、及び下部クラッドの上面と上部クラッドとの間のコアの両側面に接する位置のどちらか一方、又はその両方に形成された金属薄膜とからなり、金属薄膜の端部がミラー部に達している光導波路。 - （Ａ）使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッドと、
（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、
（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料からなる上部クラッドと、
（Ｄ２）前記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で上面側が鋭角となる様に形成されたミラー部と、
（Ｅ２）少なくともミラー部及びミラー部近傍において、下部クラッドの上面と上部クラッドとの間のコアの両側面に接する位置に形成された金属薄膜とからなり、金属薄膜の端部がミラー部に達している光導波路。 - （Ａ）使用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、（Ｃ１）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持つ有色の上部クラッドと、（Ｄ１）前記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で下面側が鋭角となる様に形成されたミラー部とからなる光導波路。
- 下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、少なくとも下部クラッド及びコアの光導波路の端部となる近傍の上面に金属薄膜を形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する光導波路の製造方法。
- 下部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹型に成型した後に、少なくとも下部クラッドの光導波路の端部となる近傍の上面及び凹部の底面に金属薄膜を形成し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成する光導波路の製造方法。
- 下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコア層を平らに形成し、少なくとも光導波路の端部となるコア層の近傍の上面に金属薄膜を形成した後に、コア層と金属薄膜を同時にコアとなる部分以外を取り除くことでコアを形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する光導波路の製造方法。
- 下部クラッドを形成し、少なくとも光導波路の端部となる近傍の下部クラッドの上に金属薄膜を形成した後に、下部クラッドと金属薄膜を同時にコアとなる部分を取り除くことでコア部を凹型に成型し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側または下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する光導波路の製造方法。
- 透明な材料により下部クラッドを形成し、その上面に、コアとなる領域以外の領域に金属薄膜パターンを形成し、その上に光硬化性材料より成るコア層を形成し、下部クラッドの下から、露光することで、金属薄膜の開口部分の光硬化性材料を露光硬化させ、未硬化部分を溶解除去することでコアパターンを形成し、下部クラッド及びコアの上に上部クラッドを形成した後、端部にミラー部を形成する光導波路の製造方法。
- 下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの上面に、有色の材料を用いて上部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する光導波路の製造方法。
- 有色の材料を用いて下部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹部に成型した後に、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成する光導波路の製造方法。
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