JP2003344680A - 光導波路および光導波路の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ミラー部におけるコアの位置を容易に認識で
き、導波路上の光軸位置を正確に測定できるため、他の
光学部品との正確な位置決めが容易にできる光導波路
と、その製造方法を提供する。 【解決手段】 平らで使用するレーザ光に対して透明な
材料からなる下部クラッド１と、下部クラッドの上に形
成され下部クラッドに比べ屈折率が高く使用するレーザ
光に対して透明な材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、２
ｃ）と、コアを被い下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持
ち使用するレーザ光に対して透明な材料からなる上部ク
ラッド３と、前記下部クラッド１とコア２と上部クラッ
ド３からなる光導波路１０の端部で下面側が鋭角となる
様に形成された４５度の角度のミラー部４と、少なくと
もミラー部４及びミラー部４の近傍においてコア２の上
面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜５と、
少なくともミラー部４及びミラー部４の近傍において下
部クラッド１の上面と上部クラッド３との間に形成され
た金属薄膜６とから構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信に用いられ
る光学部品とその製造方法に関し、特にシート状の光導
波路で、光を導波路と略直角方向に取りだすことができ
るミラー付きの光導波路とその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光通信における光伝搬素子として、複数
本の光伝搬路を有するシート状の光導波路がある。

【０００３】図１４は、従来の光導波路の実施形態の一
例を示す斜視図である。図に示す従来の光導波路１１０
は、平らで使用するレーザ光に対して透明な材料からな
る下部クラッド１０１と、下部クラッドの上に形成され
下部クラッドに比べ屈折率が高く使用するレーザ光に対
して透明な材料よりなるコア１０２と、コアを被い下部
クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち使用するレーザ光に対
して透明な材料からなる上部クラッド１０３とからな
り、また、光導波路１１０の端部を４５度にカットして
ミラー部１０４を形成している。

【０００４】このような従来の光導波路製造方法の一例
としては、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッド
の上にコアを形成した後に、上部クラッドを形成し、最
後に端部にミラー部を形成するものがある（図示せ
ず）。

【０００５】また、このような従来の光導波路製造方法
の別の一例としては、下部クラッドを形成し、下部クラ
ッドにコアとなる部分を凹型に成型した後に、下部クラ
ッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、
別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、
コアを硬化させた後、端部にミラー部を形成するものが
ある（図示せず）。

【０００６】図１４において、コア１０２は、下部クラ
ッド１０１や上部クラッド１０３に比べ屈折率がやや高
い材料が使用されるため、コア１０２にレーザ光を通す
と、レーザ光がコア１０２内に閉じ込められ、コアに沿
って進むことになる。コア内を進むレーザ光がミラー部
１０４に当たると、レーザ光が反射されて直角方向に曲
げられるため、下部クラッド１０１を通り抜けて光導波
路の外にレーザ光が出る。このようにレーザ光を光導波
路と直角方向に曲げ、他の光学部品と容易に光結合が行
なえるように構成されている。

【０００７】他の光学部品との光結合に際しては、結合
損失をできるだけ少なくするため、通常１μｍオーダー
の位置決めが要求される。このような正確な位置決めを
行なうためには、レーザ光の取り出し位置を正確に把握
する必要があり、すなわち、ミラー面上のコアの位置を
光導波路の上面側又は下面側から正確に測定しておく必
要がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光導波
路のコアとクラッドとの屈折率差は通常は１％程度以下
で、多くても３％程度なので、光学顕微鏡で位置を測定
しようとしてもコアとクラッドの境目がはっきりせず、
測定誤差が大きく正確な位置決めができないと言う問題
があった。また、あらかじめ位置決めしやすいように、
位置決めマークを光導波路上に形成する方法も提案され
ているが、位置決めマークに対して光導波路を斜めに切
断し正確な位置にミラーを形成することは難しく、ま
た、ミラー形成後もコア位置が良く見えないためミラー
面が正確に形成できたか確認できないと言う問題があっ
た。したがって、他の光学部品と正確な組立てができな
いために光機器の品質低下、歩留まり悪化を招き、ま
た、製造コストが上昇するという問題があった。

【０００９】また、実際に光導波路のコア内にレーザ光
を通して、他の光学部品との光結合状態をモニタしなが
ら組立てる方法も考えられているが、これによれば、正
確な組立てが可能となるものの、組立ての前段階とし
て、光導波路のコアにレーザ光を通す等余分な作業が必
要となり、さらに、実際の位置決めの際にも、位置を少
しずつ移動させながら結合状態を測定して行かなければ
ならないため、位置決めに時間がかかるとともに、複雑
で高価な位置決め装置が必要となる等問題があった。

【００１０】本発明は、上記従来技術の問題点を解決
し、ミラー部におけるコアの位置を容易に認識でき、導
波路上の光軸位置を正確に測定できるため、他の光学部
品との正確な位置決めが容易にできる光導波路と、その
製造方法を提供するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明による光導波路は、（Ａ）使用するレーザ光
に対して透明な材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下
部クラッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率
が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料より
なるコアと、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同
じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な
材料からなる上部クラッドと、（Ｄ）前記下部クラッド
とコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で下面側
または上面側が鋭角となる様に形成されたミラー部とを
有する光導波路であって、（Ｅ）少なくともミラー部及
びミラー部近傍において、コアとクラッドとの境界部が
少なくともその一部において有色とされていることを特
徴とする。

【００１２】前記構成により、ミラー部におけるコアと
クラッドとの境界部の色識別によりコアの正確な位置を
容易に確認でき、また、他の光学部品との正確な光軸合
わせが容易に行なうことができる光導波路が実現され
る。

【００１３】また本発明による光導波路は、コアとクラ
ッドとの境界部に有色の部材を介在させるか、あるいは
クラッドの一部に有色の材料を用いることにより、コア
とクラッドとの境界部が少なくともその一部において有
色とされているものであることを特徴とする。

【００１４】前記構成により、比較的簡便な構造にて、
ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認でき、
また、他の光学部品との正確な光軸合わせが容易に行な
うことができる光導波路が実現される。

【００１５】また本発明による光導波路は、（Ａ）使用
するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッド
と、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッド
に比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して透
明な材料よりなるコアと、（Ｃ）コアを被い、下部クラ
ッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に
対して透明な材料からなる上部クラッドと、（Ｄ１）前
記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波路
の端部で下面側が鋭角となる様に形成されたミラー部
と、（Ｅ１）少なくともミラー部及びミラー部近傍にお
いて、コア上面と上部クラッドとの間、及び下部クラッ
ドの上面と上部クラッドとの間のどちらか一方、又はそ
の両方に形成された金属薄膜とからなることを特徴とす
る。

【００１６】前記構成により、ミラー部における金属薄
膜の位置からコアの正確な位置を容易に確認でき、ま
た、他の光学部品との正確な光軸合わせが容易に行なう
ことができる光導波路が実現される。

【００１７】また、本発明による光導波路は、（Ａ）使
用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッ
ドと、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッ
ドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して
透明な材料よりなるコアと、（Ｃ）コアを被い、下部ク
ラッドとほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光
に対して透明な材料からなる上部クラッドと、（Ｄ２）
前記下部クラッドとコアと上部クラッドからなる光導波
路の端部で上面側が鋭角となる様に形成されたミラー部
と、（Ｅ２）少なくともミラー部及びミラー部近傍にお
いて、下部クラッドの上面と上部クラッドとの間に形成
された金属薄膜とからなることを特徴とする。

【００１８】前記構成により、ミラー部における金属薄
膜の位置からコアの正確な位置を容易に確認でき、ま
た、他の光学部品との正確な光軸合わせが容易に行なう
ことができる光導波路が実現される。

【００１９】また、本発明による光導波路は、（Ａ）使
用するレーザ光に対して透明な材料からなる下部クラッ
ドと、（Ｂ）下部クラッドの上に形成され、下部クラッ
ドに比べ屈折率が高く、かつ使用するレーザ光に対して
透明な材料よりなるコアと、（Ｃ１）コアを被い、下部
クラッドとほぼ同じ屈折率を持つ有色の上部クラッド
と、（Ｄ１）前記下部クラッドとコアと上部クラッドか
らなる光導波路の端部で下面側が鋭角となる様に形成さ
れたミラー部とからなることを特徴とする。

【００２０】上記構成により、ミラー部における色のつ
いた上部クラッドの位置からコアの正確な位置を容易に
確認でき、また、他の光学部品との正確な光軸合わせが
容易に行なうことができる光導波路が実現される。

【００２１】さらに、本発明の光導波路の製造方法は、
下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコア
を形成した後に、下部クラッド及びコアの光導波路の端
部となる近傍の上面に金属薄膜を形成し、下部クラッ
ド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成した
後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する
ことを特徴とする。

【００２２】前記構成により、ミラー部におけるコア上
面と上部クラッドの境及び上下クラッドの境に金属薄膜
を容易に形成することができるため、ミラー部における
コアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との
正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路
を安価に製造できる。

【００２３】また、本発明の光導波路の製造方法は、下
部クラッドを形成し、下部クラッドにコアとなる部分を
凹型に成型した後に、下部クラッドの光導波路の端部と
なる近傍の上面及び凹部の底面に金属薄膜を形成し、下
部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形
成し、別に形成した上部クラッドを上から加圧接合し、
コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミ
ラー部を形成することを特徴とする。

【００２４】前記構成により、ミラー部におけるコア上
面と上部クラッドの境及び上下クラッドの境に金属薄膜
を容易に形成することができるため、ミラー部における
コアの正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との
正確な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路
を安価に製造できる。

【００２５】また、本発明の光導波路の製造方法は、下
部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコア層
を平らに形成し、少なくとも光導波路の端部となるコア
層の近傍の上面に金属薄膜を形成した後に、コア層と金
属薄膜を同時にコアとなる部分以外を取り除くことでコ
アを形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上
部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様
にミラー部を形成することを特徴とする。

【００２６】前記構成により、ミラー部におけるコア上
面と上部クラッドの境に金属薄膜を容易に形成すること
ができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容
易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容
易に行なうことができる光導波路を安価に製造できる。

【００２７】また、本発明の光導波路の製造方法は、下
部クラッドを形成し、少なくとも光導波路の端部となる
近傍の下部クラッドの上に金属薄膜を形成した後に、下
部クラッドと金属薄膜を同時にコアとなる部分を取り除
くことでコア部を凹型に成型し、下部クラッドの上側に
凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した
平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化さ
せた後、端部を上面側または下面側が鋭角となる様にミ
ラー部を形成することを特徴とする。

【００２８】前記構成により、ミラー部における下部ク
ラッドと上部クラッドの境に金属薄膜を容易に形成する
ことができるため、ミラー部におけるコアの正確な位置
を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせ
を容易に行なうことができる光導波路を安価に製造でき
る。

【００２９】また、本発明の光導波路の製造方法は、透
明な材料により下部クラッドを形成し、その上面に、コ
アとなる領域以外の領域に金属薄膜パターンを形成し、
その上に光硬化性材料より成るコア層を形成し、下部ク
ラッドの下から、露光することで、金属薄膜の開口部分
の光硬化性材料を露光硬化させ、未硬化部分を溶解除去
することでコアパターンを形成し、下部クラッド及びコ
アの上に上部クラッドを形成した後、端部にミラー部を
形成する光導波路製造方法。

【００３０】前記構成により、下部クラッドと上部クラ
ッドの境に金属薄膜を容易に形成することができるた
め、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に確認で
き、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に行なう
ことができる光導波路を安価に製造できる。

【００３１】さらに、本発明の光導波路の製造方法は、
下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上にコア
を形成した後に、下部クラッド及びコアの上面に、有色
の材料を用いて上部クラッドを形成した後、端部を下面
側が鋭角となる様にミラー部を形成することを特徴とす
る。

【００３２】前記構成により、有色の上部クラッドを容
易に形成することができるため、ミラー部におけるコア
の正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確
な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安
価に製造できる。

【００３３】さらに、本発明の光導波路の製造方法は、
有色の材料を用いて下部クラッドを形成し、下部クラッ
ドにコアとなる部分を凹部に成型した後に、下部クラッ
ドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別
に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コ
アを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる様にミラ
ー部を形成することを特徴とする。

【００３４】前記構成により、有色の下部クラッドを容
易に形成することができるため、ミラー部におけるコア
の正確な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確
な光軸合わせを容易に行なうことができる光導波路を安
価に製造できる。

【００３５】

【発明の実施形態】以下、図面を参照し、本発明の実施
形態を説明する。

【００３６】本発明は、（Ａ）使用するレーザ光に対し
て透明な材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラ
ッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高
く、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料よりなる
コアと、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈
折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料
からなる上部クラッドと、（Ｄ）前記下部クラッドとコ
アと上部クラッドからなる光導波路の端部で下面側また
は上面側が鋭角となる様に形成されたミラー部を有する
光導波路において、（Ｅ）少なくともミラー部及びミラ
ー部近傍で、コアとクラッドとの境界部を、少なくとも
その一部において有色とすることにより、ミラー部にお
けるコアとクラッドとの境界部を色によって視認するこ
とができるようにし、コアの正確な位置を容易に確認で
き、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易としよう
とするものである。

【００３７】なお、本明細書において「有色」とは、コ
アの部分と区別できる色であれば特に限定されず、有彩
色、無彩色のいずれであっても良く、また、透明色、半
透明色、不透明色のいずれであってもよく、さらに金属
色等であってもよい。

【００３８】コアとクラッドとの境界部を有色とするに
は、例えば、以下に具体的に述べるように金属薄膜等の
有色の部材をコアとクラッドとの間に介在させるか、あ
るいはクラッドの一部を有色の材料で構成すればよい。

【００３９】図１は、本発明に係る光導波路の第１の実
施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図であ
る。

【００４０】図に示すように、本発明の第１の実施形態
は、（Ａ）シート状であり、平らで使用するレーザ光に
対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の
材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの
上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ
使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキ
シ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、
２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ
屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対して透明なポ
リイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からなる上部
クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１とコア２と
上部クラッド３からなる光導波路１０の端部で下面側が
鋭角となる様に形成された４５度の角度のミラー部４
と、（Ｅ１）ミラー部４及びミラー部４の近傍でコア２
の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜５
と、ミラー部４及びミラー部４の近傍で下部クラッド１
の上面と上部クラッド３との間に形成された金属薄膜６
とから構成される（ａ）。この構成において、上部から
ミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’は金属薄
膜５及び金属薄膜６に３方向を囲まれて見える（ｂ）。

【００４１】図２は、図１に示す光導波路を説明する３
面図である。

【００４２】図において、コア２は、下部クラッド１や
上部クラッド３に比べ屈折率がやや高い材料が使用され
るため、コア２にレーザ光を通すと、レーザ光がコア内
に閉じ込められ、コアに沿って進むことになる。光導波
路１０の端部にはコア２の上面に金属薄膜５が形成され
ているが、コアの大きさは通常数μｍ程度以上であるの
に対し、薄膜の厚みはサブミクロンレベルであり、レー
ザ光の散乱・吸収等による光損失はほとんど問題になら
ない。コア２内をＸ方向に進むレーザ光は光導波路１０
の端部に設けられたミラー部４で反射され、Ｘ方向と直
角方向であるＹ方向に進み、下部クラッド１を通り抜け
て外部に出る。また、逆にミラー部４にＹと反対方向か
らレーザ光を照射するとミラー部４で反射されて、コア
２内に閉じ込められコア２内をＸと反対方向に進むこと
になる。

【００４３】図に示すミラー部４には、コア２上面と上
部クラッド３との間に形成された金属薄膜５の端部と、
下部クラッド１と上部クラッド３の間に形成された金属
薄膜６の端部がそれぞれ出ている。そのため、光導波路
１０を上部クラッド３の上方から、又は下部クラッド１
の下方からそれぞれ観察すると、ミラー部４におけるコ
ア２’（２ａ’、２ｂ’、２ｃ’）の外形の３辺が、金
属薄膜５（５ａ、５ｂ、５ｃ）及び金属薄膜６（６ａ、
６ｂ、６ｃ、６ｄ）で囲まれて見えるので、ミラー部４
におけるコア２（２ａ’、２ｂ’、２ｃ’）の位置を正
確に測定できる。よって、ミラー部におけるコアの中心
を通る光軸を正確に測定できるので、光導波路１０と他
の光学部品との正確な光軸調整を容易に行なうことがで
きる。

【００４４】図３は、本発明に係る光導波路の第２の実
施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図であ
る。

【００４５】図に示すように、本発明の第２の実施形態
は、（Ａ）シート状であり、平らで、かつ使用するレー
ザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラ
ス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラ
ッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高
く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミ
ド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２
ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い、下部クラッド
とほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対し
て透明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料か
らなる上部クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１
とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部
で下面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミ
ラー部４と、（Ｅ１）ミラー部４及びミラー部４の近傍
でコア２の上面と上部クラッド３との間に形成された金
属薄膜５とから構成される（ａ）。この構成において、
上部からミラー部を見るとミラー面におけるコア部２’
の一辺が金属薄膜５に接し他の２辺が金属薄膜５のエッ
ジの延長線と接して見える（ｂ）。

【００４６】一般に、コアの厚みは精度良く管理できる
ため、また、必要に応じてコアの厚みを容易に測定して
おくことができるため、ミラー部４における金属薄膜５
の位置からコア２’の位置を正確に測定できる。よっ
て、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測
定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な
光軸調整を容易に行なうことができる。

【００４７】図４は、本発明に係る光導波路の第３の実
施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図であ
る。

【００４８】図に示すように、本発明の第３の実施形態
は、（Ａ）シート状であり、平らで、かつ使用するレー
ザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラ
ス等の材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラ
ッドの上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高
く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミ
ド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２
ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い、下部クラッド
とほぼ同じ屈折率を持ち、かつ使用するレーザ光に対し
て透明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料か
らなる上部クラッド３と、（Ｄ１）前記下部クラッド１
とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端部
で下面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度のミ
ラー部４と、（Ｅ１）ミラー部４及びミラー部４の近傍
で下部クラッド１の上面と上部クラッド３との間に形成
された金属薄膜６とから構成される（ａ）。この構成に
おいて、上部からミラー部を見るとミラー面におけるコ
ア部２’の２辺は金属薄膜６に接し他の一辺は金属薄膜
のエッジの延長線と接して見える（ｂ）。

【００４９】一般に、コアの厚みは精度良く管理できる
ため、また、必要に応じてコアの厚みを容易に測定して
おくことができるため、ミラー部４における金属薄膜６
の位置からコア２’の位置を正確に測定できる。よっ
て、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測
定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な
光軸調整を容易に行なうことができる。

【００５０】図５は、本発明に係る光導波路の第４の実
施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図であ
る。

【００５１】図に示すように、本発明の第４の実施形態
は、（Ａ）シート状であり、使用するレーザ光に対して
透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料か
らなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの上面に
設けられた凹部に形成され、下部クラッドに比べ屈折率
が高く、かつ使用するレーザ光に対して透明な、ポリイ
ミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２
（２ａ、２ｂ、２ｃ）と、（Ｃ）コアを被い下部クラッ
ドとほぼ同じ屈折率を持ち使用するレーザ光に対して透
明なポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の材料からな
る平らな上部クラッド３と、（Ｄ２）前記下部クラッド
１とコア２と上部クラッド３からなる光導波路１０の端
部で上面側が鋭角となる様に形成された４５度の角度の
ミラー部４と、（Ｅ２）ミラー部４及びミラー部４の近
傍で下部クラッド１の上面と上部クラッド３との間に形
成された金属薄膜６とから構成される（ａ）。この構成
において、上部からミラー部を見るとミラー面における
コア部２’の３辺が金属薄膜６のエッジの延長線と接し
て見える（ｂ）。

【００５２】一般に、コアの厚みは精度良く管理できる
ため、また、必要に応じてコアの厚みを容易に測定して
おくことができるため、ミラー部４における金属薄膜６
の位置からコア２’の位置を正確に測定できる。よっ
て、ミラー部におけるコアの中心を通る光軸を正確に測
定できるので、光導波路１０と他の光学部品との正確な
光軸調整を容易に行なうことができる。

【００５３】図６は、本発明に係る光導波路の第５の実
施形態を説明する斜視図及びミラー部の部分拡大図であ
る。

【００５４】図に示すように、本発明の第５の実施形態
は、（Ａ）シート状であり、平らで使用するレーザ光に
対して透明な、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の
材料からなる下部クラッド１と、（Ｂ）下部クラッドの
上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ
使用するレーザ光に対して透明な、ポリイミド、エポキ
シ樹脂、ガラス等の材料よりなるコア２（２ａ、２ｂ、
２ｃ）と、（Ｃ１）コアを被い、下部クラッドとほぼ同
じ屈折率を持ち、かつ有色のポリイミド、エポキシ樹
脂、ガラス等の材料からなる上部クラッド３と、（Ｄ
１）前記下部クラッド１とコア２と上部クラッド３から
なる光導波路１０の端部で下面側が鋭角となる様に形成
された４５度の角度のミラー部４とから構成される
（ａ）。この構成において、上部からミラー部を見ると
ミラー面におけるコア部２’は色の付いた上部クラッド
３に３方向を囲まれて見える（ｂ）。

【００５５】図７は、本発明に係る光導波路の製造方法
の第１の実施形態の製造方法を説明する図である。

【００５６】図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、
ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板９上に
ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料によ
り下部クラッド１を平らに形成し（ａ）、下部クラッド
１の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な
材料によりコア２を形成した後に（ｂ）、少なくとも下
部クラッド及びコアの光導波路の端部となる近傍の上面
に金、アルミニウム、金属クロムなどの約０．１μｍか
ら１μｍ程度までの厚さの金属薄膜５及び６を形成し
（ｃ）、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上にポリイ
ミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により上部
クラッド３を形成した後（ｄ）、その光導波路のコア層
と上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機
械的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と
化学的研磨の併用により切断することで端部に下面側が
鋭角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この
工法により形成されるミラー部を上方から見ると、図１
（ｂ）のようになる。

【００５７】下部クラッドやコア及び上部クラッドの形
成は、従来の光導波路製造方法と同じであり、金属薄膜
の形成方法としても、スパッタや蒸着等一般的な工法が
採用される。しかも、コアの上面及び下部クラッド上面
に金属薄膜を一括形成でき、また、コアの側面に金属薄
膜が回りこんでも特に問題ないので、マスクの精密な位
置合わせ等も必要ない。

【００５８】したがって、ミラー部におけるコアの正確
な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸
合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製
造方法を提供できる。

【００５９】図８は、本発明に係る光導波路の製造方法
の第２の実施形態の製造方法を説明する図である。

【００６０】図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、
ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板１９上
に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料
により下部クラッド１１を形成し（ａ）、下部クラッド
１１にコアの形状をした凸型の治具（図示せず）を押し
付け、コア形成部分１７を凹型に成型した後に（ｂ）、
少なくとも下部クラッドの光導波路の端部となる近傍の
上面及び凹部の底面に金、アルミニウム、金属クロムな
どの約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さの金属薄膜
１５及び１６を形成し（ｃ）、下部クラッドの上側に凹
部を含めてポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明
な材料からなり未硬化のコア材料１８を形成し、ポリイ
ミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料で別に形成
した平らな上部クラッド１３を上に載せ（ｄ）、上から
加圧接合し、コア部以外の余分なコア材を押し出し、コ
ア１２を硬化させた後（ｅ）、その光導波路のコア層と
上下クラッド層を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械
的研削・研磨処理、あるいは機械的研削・研磨処理と化
学的研磨の併用により切断することで端部に上面側が鋭
角となる様にミラー部（図示せず）を形成する。この工
法により形成されるミラー部を反転させて上方から見る
と、図１（ｂ）のようになる。

【００６１】下部クラッドやコア及び上部クラッドの形
成は、従来の光導波路製造方法と同じである。下部クラ
ッドにコアの凹部を形成するのに凸型治具を用いたが、
エッチングで形成しても良い。また、コアの形成方法と
して下部クラッド上に未硬化のコア材を形成し、上部ク
ラッドを加圧して余分なコア材を押し出した後にコアを
硬化させているが、下部クラッド上の凹部にコア材を積
層してコアを形成しても良い。

【００６２】金属薄膜の形成方法としては、スパッタや
蒸着等一般的な工法が採用される。しかも、コア部の底
面及び下部クラッド上面に金属薄膜を一括形成でき、ま
た、コア部の側面に金属薄膜が回りこんでも特に問題な
いので、マスクの精密な位置合わせ等も必要ない。

【００６３】したがって、ミラー部におけるコアの正確
な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸
合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製
造方法を提供できる。

【００６４】図９は、本発明に係る光導波路の製造方法
の第３の実施形態の製造方法を説明する図である。

【００６５】図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、
ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板９上に
ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料によ
り下部クラッド１を平らに形成し、下部クラッド１の上
にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料に
よりコア層２を平らに形成し、少なくともコア層２の光
導波路の端部となる近傍の上面に金、アルミニウム、金
属クロムなどの約０．１μｍから１μｍ程度までの厚さ
の金属薄膜５を形成した後に（ａ）、金属薄膜及びコア
層の内コア形成部分以外を取り除き（ｂ）、下部クラッ
ド、コア及び金属薄膜の上にポリイミド、エポキシ樹
脂、ガラス等の透明な材料により上部クラッド３を形成
した後（ｃ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層
を、斜め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処
理、あるいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用
により切断することで端部に下面側が鋭角となる様にミ
ラー部（図示せず）を形成する。この工法により形成さ
れるミラー部を上方から見ると、図３（ｂ）のようにな
る。

【００６６】下部クラッドやコア及び上部クラッドの形
成は、従来の光導波路製造方法と同じであり、金属薄膜
の形成方法としては、スパッタや蒸着等一般的な工法が
採用される。マスクの精密な位置合わせ等も必要なく、
コアの上面のみに金属薄膜を容易に形成できる。

【００６７】したがって、ミラー部におけるコアの正確
な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸
合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製
造方法を提供できる。

【００６８】図１０は、本発明に係る光導波路の製造方
法の第４の実施形態の製造方法を説明する図である。

【００６９】図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、
ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板１９上
に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料
により下部クラッド１１を形成し、少なくとも下部クラ
ッド１１の光導波路の端部となる近傍の上面に金、アル
ミニウム、金属クロムなどの約０．１μｍから１μｍ程
度までの厚さの金属薄膜１６を形成した後（ａ）、金属
薄膜１６及び下部クラッド１１にコアとなる部分を取り
除いてコア形成部分１７を凹型に成型し（ｂ）、下部ク
ラッド１１の上側に凹部を含めてポリイミド、エポキシ
樹脂、ガラス等の透明な材料からなり未硬化のコア材料
１８を形成し、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の
透明な材料で別に形成した平らな上部クラッド１３を上
に載せ（ｃ）、上から加圧接合し、コア部以外の余分な
コア材を押し出し、コア１２を硬化させた後（ｄ）、そ
の光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の紫
外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機械
的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断するこ
とで端部に上面側または下面側が鋭角となる様にミラー
部（図示せず）を形成する。この工法により形成される
ミラー部を見ると、図４（ｂ）または、図５（ｂ）のよ
うになる。

【００７０】下部クラッドやコア及び上部クラッドの形
成は、従来の光導波路製造方法と同じである。

【００７１】下部クラッドにコアの凹部を形成するのに
は機械的加工やエッチング等の工法で良い。また、コア
の形成方法として下部クラッド上に未硬化のコア材を形
成し、上部クラッドを加圧して余分なコア材を押し出し
た後にコアを硬化させているが、下部クラッド上の凹部
にコア材を積層しコアを形成しても良い。

【００７２】金属薄膜の形成方法としては、スパッタや
蒸着等一般的な工法が採用される。しかも、コア部を除
く下部クラッド上面のみに金属薄膜を容易に形成でき、
マスクの精密な位置合わせ等も必要ない。

【００７３】したがって、ミラー部におけるコアの正確
な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸
合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製
造方法を提供できる。

【００７４】図１１は、本発明に係る光導波路の製造方
法の第５の実施形態の製造方法を説明する図である。

【００７５】図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、
ガラス等の透明なベース基板１９上に、ポリイミド、エ
ポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料により下部クラッド
１１を形成し（ａ）、その上面に、マスクレジストパタ
ーンを形成し、その上から約０．１μｍから１μｍ程度
までの厚さの金属薄膜を蒸着した後に、マスクレジスト
パターンをリフトオフすることで、光導波路部分以外の
領域に金属薄膜パターンを形成する（ｂ）。次に、光硬
化性の感光性ポリイミド、感光性エポキシ樹脂等の感光
性樹脂から成るコア層をその上に形成し、基板の下か
ら、露光することで、金属膜の開口部分の感光性樹脂を
露光し硬化させ、未硬化部分を溶解除去することでコア
パターンを形成する（ｃ）。その上にクラッド層を形成
し光導波路フィルムを形成する（ｄ）。次に、その光導
波路フィルムのコア層と上下クラッド層を、斜め方向の
紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機
械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断する
ことで端部に下面側または上面側が鋭角となる様にミラ
ー部（図示せず）を形成する。この工法により形成され
るミラー部を見ると、図４（ｂ）または、図５（ｂ）の
ようになる。

【００７６】コアの形状をしたマスクを用いて下部クラ
ッド上の金属薄膜を形成し、また、金属薄膜をマスクと
してコアを形成するため、あらかじめ用意するマスクパ
ターンは一つでよい。

【００７７】また、コアが金属薄膜に接して形成される
ため、コアに接する金属薄膜が容易に形成できることに
なる。

【００７８】したがって、ミラー部におけるコアの正確
な位置を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸
合わせを容易に行なうことができる光導波路の安価な製
造方法を提供できる。

【００７９】図１２は、本発明に係る光導波路の製造方
法の第６の実施形態の製造方法を説明する図である。

【００８０】図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、
ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板９上に
ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な材料によ
り下部クラッド１を平らに形成し（ａ）、下部クラッド
１の上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の透明な
材料によりコア２を形成した後に（ｂ）、下部クラッド
及びコアの上にポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の
色の付いた材料により上部クラッド３を形成した後
（ｃ）、その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜
め方向の紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あ
るいは機械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により
切断することで端部に下面側が鋭角となる様にミラー部
（図示せず）を形成する。この工法により形成されるミ
ラー部を上方から見ると、図６（ｂ）のようになる。

【００８１】上部クラッド材料に色の付いたものを用い
ること以外は、従来の光導波路の製造方法と全く同じで
あるため、ミラー部におけるコアの正確な位置を容易に
確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせを容易に
行なうことができる光導波路の安価な製造方法を提供で
きる。

【００８２】図１３は、本発明に係る光導波路の製造方
法の第７の実施形態の製造方法を説明する図である。

【００８３】図において、ポリイミド、エポキシ樹脂、
ガラス、シリコン、セラミックス等のベース基板１９上
に、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等の有色な材料
により下部クラッド１１を形成し（ａ）、下部クラッド
１１にコアの形状をした凸型の治具（図示せず）を押し
付け、コア形成部分１７を凹型に成型した後に（ｂ）、
下部クラッドの上側に凹部を含めてポリイミド、エポキ
シ樹脂、ガラス等の透明な材料からなり未硬化のコア材
料１８を形成し、ポリイミド、エポキシ樹脂、ガラス等
の透明な材料で別に形成した平らな上部クラッド１３を
上に載せ（ｃ）、上から加圧接合し、コア部以外の余分
なコア材を押し出し、コア１２を硬化させた後（ｄ）、
その光導波路のコア層と上下クラッド層を、斜め方向の
紫外線照射あるいは機械的研削・研磨処理、あるいは機
械的研削・研磨処理と化学的研磨の併用により切断する
ことで端部に上面側が鋭角となる様にミラー部（図示せ
ず）を形成する。この工法により形成されるミラー部を
反転させて上方から見ると、図６（ｂ）のようになる。

【００８４】下部クラッド材料に色の付いたものを用い
ること以外は、従来の光導波路の製造方法と全く同じで
ある。説明では、下部クラッドにコアの凹部を形成する
のに凸型治具を用いたが、エッチングで形成しても良
い。また、コアの形成方法として下部クラッド上に未硬
化のコア材を形成し、上部クラッドを加圧して余分なコ
ア材を押し出した後にコアを硬化させているが、下部ク
ラッド上の凹部にコア材を積層してコアを形成しても良
い。

【００８５】以上のように下部クラッドに有色の材料を
用いるだけなので、ミラー部におけるコアの正確な位置
を容易に確認でき、他の光学部品との正確な光軸合わせ
を容易に行なうことができる光導波路の安価な製造方法
を提供できる。

【００８６】以上、本発明をいくつかの実施態様の場合
を例にとり説明したが、上述の説明において、図では、
光導波路の一端のみにミラー部を設けて説明したが、光
導波路の両端に設けても何ら問題ない。

【００８７】また、本発明において「使用するレーザー
光に対して透明」とは、光導波路の長さ、および損失を
どこまで許容するか等によって左右されるため、一概に
は規定できない。例えば、光導波路としての総合的な損
失は、ポリマー系のもので０．１〜０．５ｄＢ／ｃｍ程
度のものが多く用いられているが、１ｄＢ／ｃｍ以上の
ものでも、１ｃｍ以下の短距離ならば光導波路として使
用可能となるので、本発明で言う透明な材料に包含され
る。

【００８８】また、長波長レーザを使用する場合は、Ｓ
ｉやＧａＡｓ等の材料も使用波長に対して透明となるの
で、これも本発明で言う使用するレーザー光に対して透
明な材料に包含される。

【００８９】また、本発明において「クラッドの屈折率
に比べコアの屈折率が高い」というコアとクラッドの屈
折率差に関しても、上記と同様に損失をどこまで許容す
るか等によって左右されるため、一概には規定できな
い。一般的には、例えば、その差が０．２５〜３％程度
のものが多く用いられているが、この範囲外のものであ
っても光導波路として使用できれば本発明に包含され
る。

【００９０】さらに、本発明において「上部クラッドと
下部クラッドとの屈折率がほぼ同じ」に関しても、上記
と同様に損失をどこまで許容するか等によって左右され
るため、一概には規定できないが、一般的に、コアとク
ラッドの屈折率差の１／１０程度以下に抑えたものであ
ることが好ましく、その範囲内であれば、上部クラッド
と下部クラッドとを構成する材質が異なるものであって
も構わない。もちろん、同一の部材であることがより好
ましい。

【００９１】さらに、ミラー部に関し、下面側または上
面側が「鋭角」とは、斜めにカットされた面の「鋭角」
と「鈍角」とのどちらを上にするか、下にするかという
ことを説明するための用語である。

【００９２】図では、ミラーを斜めにカットしただけ
で、コアと空気との屈折率差を利用した全反射ミラーと
して説明しているが、ミラー面に金属膜を形成した物で
も良い。金属膜を形成した金属ミラーの場合は、ミラー
の鈍角側からは金属ミラーが直接見えてコアの位置が見
えなくなるが、ミラーの鋭角側からミラー部を見れば、
金属薄膜５、金属薄膜６およびミラー部４がそれぞれ見
える、あるいは有色のクラッド部およびミラー部４がそ
れぞれ見えるので、ミラー部におけるコアの位置が認識
できる。

【００９３】図では、鋭角なミラー角度を４５°として
説明しているが、全反射ミラーの場合は、全反射する角
度であれば、特に４５°である必要はない。一般的に
は、その角度が４５°〜５０°程度以下、多くて６０°
程度であるが、これに限定されるものではない。また、
金属ミラーの場合は、特に角度を規定する必要もない
が、現実的な配置を考慮すると、３０°〜６０°程度が
一般的である。

【００９４】なお、上記例におけるように、４５°にカ
ットして使用される場合、光の取り出し方向が直角とな
るので、他の光軸との位置合わせが容易となる。また、
シリコンなどの結晶体をエッチングして使用する場合に
は、結晶方位によって決まる角度のミラーが容易に得ら
れるためこの角度（例えば、５５°程度）を用いること
が好ましい。

【００９５】また図では、コアを３本として説明してい
るが、少なくとも１本以上あれば、何本でも良い。

【００９６】図では、コアの断面形状を四角としたが、
特に四角にこだわる必要はなく他の形状でも良い。

【００９７】金属膜を形成する態様において、図では、
ミラー部及びミラー部近傍のみに金属膜を形成している
が、光導波路全面に渡って形成されていても特に問題な
い。ここで、少なくともミラー部及びミラー部近傍に形
成するとしたのは、ミラー部（ミラー面）のみに形成す
るものであると、コアとクラッドとの界面をせっかく金
属膜形成等によって有色としても、その部位は単なる
「線」のみであって視認し難いので、少なくともその近
傍を含めて形成するものとしたものである。なお当該近
傍部の大きさとしては、有色であることが視認できるも
のであれば特に限定されないが、例えば、少なくとも、
コアと同等以上の大きさがあれば良く、コアが１０μｍ
ならその近傍部が１０μｍ程度あれば良い。

【００９８】また、材料的には、石英系をはじめ、ポリ
マー系でもコアとクラッドとして光導波路を形成できる
ものなら、特に材料を問わず適用可能である。

【００９９】さらに、クラッドの一部を有色とする態様
においても、当該有色のクラッドは、用いられる物質が
本来的に有色なもののみならず、染料、顔料等の着色剤
等により色を付けられるものであれば特に材料を問わず
適用可能である。

【０１００】また、金属薄膜は容易に形成できるので、
適しているが、光学的にクラッドとの境がはっきりと認
識できる薄膜であれば金属薄膜でなくとも実用上同じ効
果が得られることは明らかである。

【０１０１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項１に
係る光導波路は、（Ａ）使用するレーザ光に対して透明
な材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの
上に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ
使用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、
（Ｃ）コアを被い下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持ち
使用するレーザ光に対して透明な材料からなる上部クラ
ッドと、（Ｄ）前記下部クラッドとコアと上部クラッド
からなる光導波路の端部で下面側または上面側が鋭角と
なる様に形成されたミラー部を有する光導波路におい
て、（Ｅ）少なくともミラー部及びミラー部近傍におい
て、コアとクラッドとの境界部が少なくともその一部に
おいて有色とした構成により、コアとクラッドの境がは
っきりし、コアの位置を正確に測定できる。そのため、
他の光部品との正確な組立てが可能となり、光機器の品
質向上、歩留まり向上、光機器の組立てコストの削減す
ると言う効果がある。

【０１０２】また本発明の請求項２に係る光導波路は、
コアとクラッドとの境界部に有色の部材を介在させる
か、あるいはクラッドの一部に有色の材料を用いること
により、コアとクラッドとの境界部が少なくともその一
部において有色とした構成により、比較的簡便な構造
で、コアとクラッドの境がはっきりし、コアの位置を正
確に測定できる。そのため、他の光部品との正確な組立
てが可能となり、光機器の品質向上、歩留まり向上、光
機器の組立てコストの削減すると言う効果がある。

【０１０３】前記ように本発明の請求項３にかかる光導
波路は、下部クラッドと、下部クラッドの上に形成され
たコアと、コアを被う上部クラッドと、端部に形成され
た下面側が鋭角となるミラーとからなり、ミラー部近傍
において、コア上面と上部クラッドとの間及び下部クラ
ッドの上面と上部クラッドとの間のどちらか一方または
その両方に金属薄膜を配置した構成により、コアとクラ
ッドの境がはっきりし、コアの位置を正確に測定でき
る。そのため、他の光部品との正確な組立てが可能とな
り、光機器の品質向上、歩留まり向上、光機器の組立て
コストの削減すると言う効果がある。

【０１０４】本発明の請求項４にかかる光導波路は、平
らな下部クラッドと、下部クラッドの上に形成されたコ
アと、コアを被う上部クラッドと、端部に形成された上
面が鋭角となるミラーとからなり、ミラー部近傍に下部
クラッドの上面と上部クラッドとの間に金属薄膜を配置
した構成により、コアとクラッドの境がはっきりし、コ
アの位置を正確に測定できる。そのため、他の光部品と
の正確な組立てが可能となり、光機器の品質向上、歩留
まり向上、光機器の組立てコストの削減すると言う効果
がある。

【０１０５】また本発明の請求項５に係る光導波路は、
下部クラッドと、下部クラッドの上に形成されたコア
と、コアを被う有色の上部クラッドと、端部に形成され
た下面側が鋭角となるミラーとからなる構成により、コ
アと上部クラッドの境がはっきりし、コアの位置を正確
に測定できる。そのため、他の光部品との正確な組立て
が可能となり、光機器の品質向上、歩留まり向上、光機
器の組立てコストの削減すると言う効果がある。

【０１０６】本発明の請求項６にかかる光導波路製造方
法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上
にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの光導波
路の端部となる近傍の上面に金属薄膜を形成し、下部ク
ラッド、コア及び金属薄膜の上に上部クラッドを形成し
た後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成す
る構成のため、コアとクラッドの境を認識するための金
属薄膜を容易に形成できる。したがって、コアとクラッ
ドの境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路
を安価に製造できると言う効果がある。

【０１０７】さらに本発明の請求項７にかかる光導波路
製造方法は、下部クラッドを形成し、下部クラッドのコ
ア形成部分を凹型に成型した後に、下部クラッドの光導
波路の端部となる近傍の上面及び凹部の底面に金属薄膜
を形成し、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化の
コア材料を形成し、別に形成した上部クラッドを上から
加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角
となる様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラ
ッドの境を認識するための金属薄膜を容易に形成でき
る。したがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正
確な光軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言
う効果がある。

【０１０８】本発明の請求項８にかかる光導波路製造方
法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの上
にコア層を平らに形成し、光導波路の端部となるコア層
の近傍の上面に金属薄膜を形成した後に、コア層と金属
薄膜を同時にコアとなる部分以外を取り除くことでコア
を形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上部
クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様に
ミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を
認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがっ
て、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測
定できる光導波路を安価に製造できると言う効果があ
る。

【０１０９】本発明の請求項９にかかる光導波路製造方
法は、下部クラッドを形成し、少なくとも光導波路の端
部となる近傍の下部クラッドの上に金属薄膜を形成した
後に、下部クラッドと金属薄膜を同時にコアとなる部分
を取り除くことでコア部を凹型に成型し、下部クラッド
の上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成し、別に
形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合し、コア
を硬化させた後、端部を上面側または下面側が鋭角とな
る様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッド
の境を認識するための金属薄膜を容易に形成できる。し
たがって、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光
軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果
がある。

【０１１０】本発明の請求項１０にかかる光導波路製造
方法は、透明な材料により下部クラッドを形成し、その
上面に、コアとなる領域以外の領域に金属薄膜パターン
を形成し、その上に光硬化性材料より成るコア層を形成
し、下部クラッドの下から、露光することで、金属薄膜
の開口部分の光硬化性材料を露光硬化させ、未硬化部分
を溶解除去することでコアパターンを形成し、下部クラ
ッド及びコアの上に上部クラッドを形成した後、端部に
ミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの境を
認識するための金属薄膜を容易に形成できる。したがっ
て、コアとクラッドの境がはっきりし、正確な光軸を測
定できる光導波路を安価に製造できると言う効果があ
る。

【０１１１】本発明の請求項１１にかかる光導波路製造
方法は、下部クラッドを平らに形成し、下部クラッドの
上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコアの上面
に、有色の材料を用いて上部クラッドを形成した後、端
部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成する構成の
ため、コアと上部クラッドの境がはっきりし、正確な光
軸を測定できる光導波路を安価に製造できると言う効果
がある。

【０１１２】本発明の請求項１２にかかる光導波路製造
方法は、有色の材料を用いて下部クラッドを形成し、下
部クラッドにコアとなる部分を凹部に成型した後に、下
部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形
成し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接
合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭角となる
様にミラー部を形成する構成のため、コアとクラッドの
境がはっきりし、正確な光軸を測定できる光導波路を安
価に製造できると言う効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光導波路の第１の実施形態を説明
する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。

【図２】図１に示す光導波路を説明する３面図である。

【図３】本発明に係る光導波路の第２の実施形態を説明
する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。

【図４】本発明に係る光導波路の第３の実施形態を説明
する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。

【図５】本発明に係る光導波路の第４の実施形態を説明
する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。

【図６】本発明に係る光導波路の第５の実施形態を説明
する斜視図及びミラー部の部分拡大図である。

【図７】本発明に係る光導波路の製造方法の第１の実施
形態を説明する図である。

【図８】本発明に係る光導波路の製造方法の第２の実施
形態を説明する図である。

【図９】本発明に係る光導波路の製造方法の第３の実施
形態を説明する図である。

【図１０】本発明に係る光導波路の製造方法の第４の実
施形態を説明する図である。

【図１１】本発明に係る光導波路の製造方法の第５の実
施形態を説明する図である。

【図１２】本発明に係る光導波路の製造方法の第６の実
施形態を説明する図である。

【図１３】本発明に係る光導波路の製造方法の第７の実
施形態を説明する図である。

【図１４】従来の光導波路の実施形態の一例を示す斜視
図及びミラー部の部分拡大図である。

【符号の説明】

１・・・・下部クラッド ２・・・・コア ３・・・・上部クラッド ４・・・・ミラー部 ５・・・・金属薄膜 ６・・・・金属薄膜 ９・・・・ベース基板 １０・・・・光導波路

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （Ａ）使用するレーザ光に対して透明な
   材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上
   に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使
   用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、
   （Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持
   ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料からなる
   上部クラッドと、（Ｄ）前記下部クラッドとコアと上部
   クラッドからなる光導波路の端部で下面側または上面側
   が鋭角となる様に形成されたミラー部とを有する光導波
   路であって、（Ｅ）少なくともミラー部及びミラー部近
   傍において、コアとクラッドとの境界部が少なくともそ
   の一部において有色とされていることを特徴とする光導
   波路。
2. 【請求項２】 コアとクラッドとの境界部に有色の部材
   を介在させるか、あるいはクラッドの一部に有色の材料
   を用いることにより、コアとクラッドとの境界部が少な
   くともその一部において有色とされているものである請
   求項１記載の光導波路。
3. 【請求項３】 （Ａ）使用するレーザ光に対して透明な
   材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上
   に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使
   用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、
   （Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持
   ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料からなる
   上部クラッドと、（Ｄ１）前記下部クラッドとコアと上
   部クラッドからなる光導波路の端部で下面側が鋭角とな
   る様に形成されたミラー部と、（Ｅ１）少なくともミラ
   ー部及びミラー部近傍において、コア上面と上部クラッ
   ドとの間、及び下部クラッドの上面と上部クラッドとの
   間のどちらか一方、又はその両方に形成された金属薄膜
   とからなる光導波路。
4. 【請求項４】 （Ａ）使用するレーザ光に対して透明な
   材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上
   に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使
   用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、
   （Ｃ）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を持
   ち、かつ使用するレーザ光に対して透明な材料からなる
   上部クラッドと、（Ｄ２）前記下部クラッドとコアと上
   部クラッドからなる光導波路の端部で上面側が鋭角とな
   る様に形成されたミラー部と、（Ｅ２）少なくともミラ
   ー部及びミラー部近傍において、下部クラッドの上面と
   上部クラッドとの間に形成された金属薄膜とからなる光
   導波路。
5. 【請求項５】 （Ａ）使用するレーザ光に対して透明な
   材料からなる下部クラッドと、（Ｂ）下部クラッドの上
   に形成され、下部クラッドに比べ屈折率が高く、かつ使
   用するレーザ光に対して透明な材料よりなるコアと、
   （Ｃ１）コアを被い、下部クラッドとほぼ同じ屈折率を
   持つ有色の上部クラッドと、（Ｄ１）前記下部クラッド
   とコアと上部クラッドからなる光導波路の端部で下面側
   が鋭角となる様に形成されたミラー部とからなる光導波
   路。
6. 【請求項６】 下部クラッドを平らに形成し、下部クラ
   ッドの上にコアを形成した後に、少なくとも下部クラッ
   ド及びコアの光導波路の端部となる近傍の上面に金属薄
   膜を形成し、下部クラッド、コア及び金属薄膜の上に上
   部クラッドを形成した後、端部を下面側が鋭角となる様
   にミラー部を形成する光導波路の製造方法。
7. 【請求項７】 下部クラッドを形成し、下部クラッドに
   コアとなる部分を凹型に成型した後に、少なくとも下部
   クラッドの光導波路の端部となる近傍の上面及び凹部の
   底面に金属薄膜を形成し、下部クラッドの上側に凹部を
   含めて未硬化のコア材料を形成し、別に形成した平らな
   上部クラッドを上から加圧接合し、コアを硬化させた
   後、端部を上面側が鋭角となる様にミラー部を形成する
   光導波路の製造方法。
8. 【請求項８】 下部クラッドを平らに形成し、下部クラ
   ッドの上にコア層を平らに形成し、少なくとも光導波路
   の端部となるコア層の近傍の上面に金属薄膜を形成した
   後に、コア層と金属薄膜を同時にコアとなる部分以外を
   取り除くことでコアを形成し、下部クラッド、コア及び
   金属薄膜の上に上部クラッドを形成した後、端部を下面
   側が鋭角となる様にミラー部を形成する光導波路の製造
   方法。
9. 【請求項９】 下部クラッドを形成し、少なくとも光導
   波路の端部となる近傍の下部クラッドの上に金属薄膜を
   形成した後に、下部クラッドと金属薄膜を同時にコアと
   なる部分を取り除くことでコア部を凹型に成型し、下部
   クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア材料を形成
   し、別に形成した平らな上部クラッドを上から加圧接合
   し、コアを硬化させた後、端部を上面側または下面側が
   鋭角となる様にミラー部を形成する光導波路の製造方
   法。
10. 【請求項１０】 透明な材料により下部クラッドを形成
    し、その上面に、コアとなる領域以外の領域に金属薄膜
    パターンを形成し、その上に光硬化性材料より成るコア
    層を形成し、下部クラッドの下から、露光することで、
    金属薄膜の開口部分の光硬化性材料を露光硬化させ、未
    硬化部分を溶解除去することでコアパターンを形成し、
    下部クラッド及びコアの上に上部クラッドを形成した
    後、端部にミラー部を形成する光導波路の製造方法。
11. 【請求項１１】 下部クラッドを平らに形成し、下部ク
    ラッドの上にコアを形成した後に、下部クラッド及びコ
    アの上面に、有色の材料を用いて上部クラッドを形成し
    た後、端部を下面側が鋭角となる様にミラー部を形成す
    る光導波路の製造方法。
12. 【請求項１２】 有色の材料を用いて下部クラッドを形
    成し、下部クラッドにコアとなる部分を凹部に成型した
    後に、下部クラッドの上側に凹部を含めて未硬化のコア
    材料を形成し、別に形成した平らな上部クラッドを上か
    ら加圧接合し、コアを硬化させた後、端部を上面側が鋭
    角となる様にミラー部を形成する光導波路の製造方法。