JP3096926U - 加工用マーカー及び光導波路部品 - Google Patents

Abstract

【課題】加工位置を高精度に加工するための加工用マーカー及びこの加工されたフィルタ挿入用溝を有する光導波路部品を提供する。
【解決手段】本考案にかかる加工用マーカーは、切り込み位置２３上に設けられる加工用マーカー１４１と、切り込み位置２３上に加工用マーカー１４１とは別個に設けられ、加工用マーカー１４１と対峙する加工用マーカー１４２とを備える。そして、加工用マーカー１４１、１４２は、互いに対峙する側の側面に、加工用マーカー１４１、１４２における切り込み位置２３の位置決めをする目盛として、段組２２１、２２２を有する凹部２１１、２１２を備え、この目盛となる段組２２１、２２２が直線的な加工の基準となる。
【選択図】　図２

Description

【０００１】
【考案の属する技術分野】
本考案は、加工用マーカー及び光導波路部品に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、光導波路基板の端面をダイシングソーにより切断したり、光導波路基板上に溝を形成したりする場合には、ダイシングソーによる加工位置を示す加工用マーカーを設けることが一般に行われている。
例えば、波長分波素子では、光導波路基板に形成された光導波路を横断するフィルタ挿入用の溝内に誘電体フィルタが挿入されて固着されている。このフィルタ挿入用の溝は、ダイシングソーによって基板を切削して形成される。ダイシングソーにより光導波路基板を切削して溝を形成するとき、図８（ａ）に示すように、ダイシングソーの位置合わせのために光導波路基板に加工用マーカー１００１４を設け、この部分を切削する。
【０００３】
切削時には、切削位置近傍を顕微鏡で観察するか、又はＴＶカメラで写してＣＲＴ画面上を観察しながら、加工用マーカー１００１４とダイシングソーのカーソルを合わせる。そして、このカーソルの位置を目安にしてダイシングソーにより加工位置１００２３を切削し、フィルタ挿入用溝１００１３を形成する（図８（ｂ））。その後、測定用の目盛のついた高価な高機能顕微鏡を用いて、この測定用の目盛により微細な精度確認を行なっていた。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】
このように、従来の加工用マーカーを用いた場合には、高機能顕微鏡を用いて微細な精度確認を行わなければならないため、加工後の加工精度を確認するための設備コストが上昇し、また効率良く加工精度を確認することができないという問題があった。
また、従来の加工用マーカーは、予め設計段階で設定された一箇所に対する位置合わせのみを行うことができ、製作状況に応じて光導波路基板上の任意の位置で加工を行うことができないという問題もあった。
本考案は、このような問題点を解決するためになされたもので、加工精度を簡易かつ正確に判断することができる加工用マーカー、光導波路部品を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本考案にかかる加工用マーカーは、光導波路部品における切断又は溝切り込みの基準となる位置に設けられる加工用マーカーであって、切断又は溝切り込みの方向と略平行な第１の方向の長さが、当該第１の方向と垂直な第２の方向に亘って段階的に異なることを特徴とするものである。このような構成により、加工後に残された加工用マーカーの長さを観察することにより、極めて容易かつ正確に加工位置を把握することができる。また、任意の位置で加工を行うことができる。
【０００６】
好適な実施の形態における加工用マーカーは、前記第１の方向に延在し、それぞれ長さの異なる複数の独立した小マーカーにより構成されている。また、前記第２の方向に延在し、それぞれ長さの異なる複数の独立した小マーカーにより構成するようにしてもよい。さらに、複数の楕円形状又は円形状の小マーカーにより構成してもよい。
【０００７】
本考案にかかる加工用マーカーは、光導波路部品における切断又は溝切り込みの基準となる位置に設けられる加工用マーカーであって、切断又は溝切り込みの方向と略平行な第１の方向の長さが、当該第１の方向と垂直な第２の方向に亘って異なる第１の加工用マーカーと、前記第１の加工用マーカーと略同じ形状を有し、前記第２の方向に延びる線分に対して対称となるように配置された第２の加工用マーカーを備えたものである。このような構成により、加工後に残された加工用マーカーの長さを観察することにより、極めて容易かつ正確に加工位置を把握することができる。また、任意の位置で加工を行うことができる。さらに、第１の加工用マーカーと第２の加工用マーカーのそれぞれにおいて残された加工用マーカーの長さを比較すると、角度ずれを容易かつ精確に確認することができる。
【０００８】
好適な実施の形態における第１の加工用マーカー及び第２の加工用マーカーは、前記第１の方向に延在し、それぞれ長さの異なる複数の独立した小マーカーにより構成されている。前記第１の加工用マーカー及び前記第２の加工用マーカーは、前記第２の方向に延在し、それぞれ長さの異なる複数の独立した小マーカーにより構成されていてもよい。さらに、前記第１の加工用マーカー及び前記第２の加工用マーカーは、複数の楕円形状又は円形状の小マーカーにより構成されていてもよい。
また、上記の加工用マーカーでは、前記加工用マーカーが光導波路コアと同層に設けられている。これにより、加工用マーカーを、光導波路コアと同時に効率良く形成することができる。
【０００９】
【考案の実施の形態】
以下、本考案の実施の形態について図を参照して説明する。
本考案の実施の形態においては、本考案にかかる加工用マーカーを用いて光導波路基板上に誘電体フィルムを固着するフィルム挿入用溝を形成する場合について説明するが、これに限らず、本考案にかかる加工用マーカーは、基板のダイシングによる切断加工、基板の単なる溝加工等にも用いることができる。
【００１０】
考案の実施の形態１．
まず、図１を用いて、本考案にかかる光導波路部品について説明する。図１は、本考案にかかる光導波路部品を示す斜視図である。
図１に示すように、光導波路部品１０は、光導波路コア１１、誘電体フィルタ１２、フィルタ挿入用溝１３を備えている。光導波路コア１１は、シリコン基板等の光導波路部品１０のコア部分である。また、光導波路部品１０は、図１には図示しないが、光導波路コア１１の上面にオーバークラッド、下面にアンダークラッドが形成された平面導波路を構成している。また、光導波路１８１、１８２、１８３のそれぞれは、入射光１５、反射光１６、透過光１７の導波路を示している。
誘電体フィルタ１２は、この誘電体フィルタ１２へ入射する入射光１５の誘電体フィルタ１２による反射光１６と、誘電体フィルタ１２を透過する透過光１７とを分離し、反射光１６を光導波路コア１１から取り出す。フィルタ挿入用溝１３は、誘電体フィルタ１２を挿入されて固着する。
【００１１】
加工用マーカー１４は、次に説明するように、光導波路コア１１にフィルタ挿入用溝１３を形成するための基準となる。この加工用マーカー１４は、光導波路部品１０に一定の間隔でパターニングされた表面凹凸パターンである。より具体的には、図示しないアンダークラッド上に、例えば光導波路となるシリコン層をＣＶＤ、ＰＶＤ等により積層した後、このシリコン層上にパターニングされたマスクを形成し、選択的にエッチングしてパターニングする。これにより、加工用マーカー１４が光導波路コア１１と同時に効率良く形成される。したがって、加工用マーカー１４と光導波路コア１１とは、図示しないアンダークラッド上において同層に形成されている。
【００１２】
続いて、本考案にかかる加工用マーカー１４について説明する。
まず、図２を用いて、加工用マーカー１４の一構成例について説明する。図２は、本考案にかかる加工用マーカーの構成を示す平面図である。
図２に示すように、加工用マーカー１４は、１組の加工用マーカー１４１、１４２から構成され、これらの加工用マーカー１４１、１４２を合わせて矩形形状を有する。加工用マーカー１４は、光導波路１８１から光導波路１８２、光導波路１８３に分岐する分岐部分に配置されている。
【００１３】
加工用マーカー１４１、１４２は、同一形状を有し、互いに対峙した状態で形成されている。また、図２に示すように、加工用マーカー１４１、１４２は、切込み位置２３の長手方向、即ち切り込み方向と垂直な線分に対して対称に配置されている。すなわち、加工用マーカー１４１、１４２は、透過光１７の光導波路１８３を挟んで透過光１７の両側（図中で光導波路１８３の上下両脇）に、それぞれ１個づつ形成されている。
【００１４】
図２に示すように、加工用マーカー１４１は、光導波路１８３側に凹部２１１が形成されている。この凹部２１１は、Ｖ字状の形状を有し、図において上下方向、即ち切り込み方向に延びる線分に対して対称な形状を有する。凹部２１１の幅は、フィルタ挿入用溝１３を形成する切り込み位置２３の幅よりも広い幅とすることができる。また、切り込み位置２３の幅は、フィルタ挿入用溝１３の設計上の幅とすることができる。
【００１５】
凹部２１１の内側面には、さらに、階段状の段組２２１が形成されている。この段組２２１は、一定間隔ごとに図において上下方向に長さの違う段組構造をなしている。即ち、切り込み方向に長さが段階的に異なる段組構造を有している。図２においてはその段数が下り４段、上り４段の計８段ある段組構造となっている。また、段組２２１の各段の幅は、切り込み位置２３の幅よりも小さい幅とすることができ、例えば、段組２２１の各段の幅を数マイクロメートル以下のオーダーとすることができる。
【００１６】
図２に示すように、加工用マーカー１４２も、加工用マーカー１４１と同様に、光導波路１８３側の側面に、内側面に段組２２２が形成された凹部２１２を有する。凹部２１１の段組２２１と凹部２１２の段組２２２とは、切り込み方向に垂直な線分に対して対称に形成されている。
【００１７】
さらに続いて、本考案にかかる加工用マーカー１４に基づいて形成されるフィルタ挿入用溝１３について説明する。
加工用マーカー１４１、１４２の段組２２１、２２２は、フィルタ挿入用溝１３を形成する際、切り込み位置２３の位置決めをする目盛として機能する。従って、フィルタ挿入用溝１３を形成するための切り込み位置２３は、加工用マーカー１４１、１４２に対して一義的に決まるものではなく、段組２２１、２２２の任意の位置にすることができる。
【００１８】
具体的には、まず、切り込み位置２３の場所を段組２２１において確認し、それとともに切り込み位置２３の場所を段組２２２において確認する。そして、これらの確認された段組２２１、２２２上の切り込み位置２３を目安にして溝加工し、フィルタ挿入用溝１３を形成する。これにより、任意の位置の切り込み位置２３の場所にフィルタ挿入用溝１３を精度良く形成することができる。さらに、段組２２１、２２２を基準に切り込み位置２３を確認するため、実体顕微鏡のような目盛測定用の機器を持ち合わせていない顕微鏡を用いて、設計位置を容易に確認することができる。
【００１９】
図３を用いて、図２に示した切り込み位置２３を溝加工したフィルタ挿入用溝１３について、より具体的に説明する。図３（ａ）は、加工用マーカー１４に基づいて形成されたフィルタ挿入用溝１３を示す平面図であり、図３（ｂ）は、このフィルタ挿入用溝１３に固着された誘電体フィルタ１２を示す平面図である。なお、図２においては、切り込み位置２３が加工用マーカー１４１、１４２の左側面と右側面から３段目の段組２２１、２２２の側面との間にあり、この位置にフィルタ挿入用溝１３が形成されるように設計されている。
【００２０】
まず、切り込み位置２３の左端を観察し、切り込み位置２３の左端が、加工用マーカー１４１、１４２の段差２２１、２２２の左側面上に位置することを確認する。それとともに、切り込み位置２３の右端を観察し、切り込み位置２３の右端が、段差２２１、２２２の右側面から３段目の側面上に位置することを確認する。
【００２１】
そして、これらの段差２２１、２２２の左側面が同一線上にあるので、切り込み位置２３の左端、つまり加工用マーカー１４１、１４２の段組２２１、２２２の左側面に沿ってダイシングが行われる。このとき、段組２２１、２２２の右側面から３段目の側面も同一線上にあるので、段組２２１、２２２の右側面から３段目の側面を結ぶ直線も右側の目安にしてダイシングが行われる。これにより、図３（ａ）に示すように、切り込み位置２３にフィルタ挿入用溝１３が形成される。なお、このダイシングにより、切り込み位置２３にある加工用マーカー１４１、１４２も切り込まれ、切れ残りマーカー１４１０、１４２０が残る。
【００２２】
図３（ａ）に示すようにフィルタ挿入用溝１３が形成された後、加工精度の確認が行われる。例えば、図３（ａ）においては、実際に形成されたフィルタ挿入用溝１３の左端が、加工用マーカー１４１、１４２の左端に位置することを確認することができる。また、フィルタ挿入用溝１３の右端についても同様に、段組２２１、２２２の右端から３段目の側面に位置することを確認することができる。このように、加工用マーカー１４１、１４２に段組２２１、２２２が設けられているため、段組２２１、２２２を基準にして加工精度を効率良く確認することができる。特に、段組２２１、２２２は、それぞれ、切り込みの方向の長さが、その切り込み方向と垂直な方向に亘って段階的に異なるものであるから、段組２２１、２２２の切り込み方向の長さを確認すれば、フィルタ挿入用溝１３の位置を明確に把握することができる。また、段組２２１、２２２を基準に加工精度の確認をするため、実体顕微鏡のような目盛測定用の機器を持ち合わせていない顕微鏡により、確認作業を容易に行うことができる。そのため、加工精度を確認する設備コストが上昇するのを防ぐことができる。
【００２３】
図３（ｂ）に示すように、加工用マーカー１４１、１４２をもとに形成されたフィルタ挿入用溝１３に、誘電体フィルタ１２を挿入し固着する。このとき、誘電体フィルタ１２は、加工用マーカー１４が光導波路１８１、１８２、１８３の分岐部分に装着され、入射光１５から反射光１６、透過光１７を分離することができるように装着される。また、誘電体フィルタ１２は、効率良く機能するために向きが適宜変更されて固着される。
【００２４】
以上のように、本考案にかかる光導波路部品１０は、段組２２１、２２２が形成された凹部２１１、２１２を有する１組の加工用マーカー１４１、１４２に基づいてフィルタ挿入用溝１３を形成される。段組２２１、２２２が目盛として機能し、この各段を基準にダイシングソーを合わせてダイシングするので、段組２２１、２２２の段単位でフィルタ挿入用溝１３を精度良く形成することができる。
【００２５】
さらに、段組２２１、２２２を基準にして切り込み位置２３にダイシングソーを容易に合わせることができるので、フィルタ挿入用溝１３を容易に形成することができる。さらにまた、段組２２１、２２２が複数の段から構成されるので、段組２２１、２２２から所望の段を選択することができ、フィルタ挿入用溝１３の切り込み位置２３を容易に変更することができる。また、実際に形成されたフィルタ挿入用溝１３の位置も段組２２１、２２２を基準にして観察されるので、加工精度を正確に確認することができ、さらにはその加工精度を容易にかつ効率良く確認することができる。
【００２６】
考案の実施の形態２．
まず、図４を用いて、ダイシング時にダイシングソーがぶれて、ダイシングソーによる切り込み幅が大きくなってしまった場合について説明する。図４（ａ）は、上記加工用マーカー１４に基づいて形成されたフィルタ挿入用溝の他の構成例を示す平面図であり、図４（ｂ）は、このフィルタ挿入用溝に固着された誘電体フィルタ１２の他の構成例を示す平面図である。
光学顕微鏡等を用いて、図４（ａ）の切れ残りマーカー１４１１、１４２１を図３（ａ）の切れ残りマーカー１４１０、１４２０と比較すると、図４（ａ）に示すように、段組２２１、２２２の段数が１つ少なくなっていることを確認することができる。すなわち、フィルタ挿入用溝１３１の幅が、予定の切り込み幅よりも段組２２１、２２２の１段分の間隔から２段分の間隔だけ図中右方向に広がったことがわかる。そして、図４（ｂ）に示すように、フィルタ挿入用溝１３１の幅が大きくなったことを考慮して、図３（ｂ）に示した誘電体フィルタ１２の向きとは逆の向きで挿入されている。
【００２７】
続いて、図５を用いて、ダイシング時にダイシングソーの切り込み位置がずれてしまった場合について説明する。図５（ａ）は、上記加工用マーカー１４に基づいて形成されたフィルタ挿入用溝の他の構成例を示す平面図であり、図５（ｂ）は、このフィルタ挿入用溝に固着された誘電体フィルタ１２の他の構成例を示す平面図である。
【００２８】
光学顕微鏡等を用いて、図５（ａ）の切れ残りマーカー１４１２、１４２２を観察すると、図において右側が２段分残り、左側が１段分残っている。これを図３（ａ）の切れ残りマーカー１４１０、１４２０と比較すると、図５（ａ）に示すように、段組２２１、２２２の左側部分に段数が１段増え、また右側部分で段数が１段減っていることを確認することができる。すなわち、フィルタ挿入用溝１３２の幅が、予定の切り込み幅よりも段組２２１、２２２の１段分の間隔だけ図中右方向にずれたことがわかる。そして、図５（ｂ）に示すように、フィルタ挿入用溝１３２がずれたことを考慮して、図３（ｂ）に示した誘電体フィルタ１２の向きとは逆の向きで挿入されている。
【００２９】
このように、光導波路部品１０では、段組２２１、２２２が形成された凹部２１１、２１２を有する１組の加工用マーカー１４１、１４２に基づいてフィルタ挿入用溝１３１、１３２が形成される。そのため、この形成されたフィルタ挿入用溝１３１、１３２が段組２２１、２２２のどの段に位置するかを容易に把握することができる。これにより、設計通りに加工することができなかった場合であっても、設計通りのフィルタ挿入用溝１３とのずれを容易に把握することができる。そして、設計通りのフィルタ挿入用溝１３からどの程度ずれたかを把握することができるので、誘電体フィルタ１２の挿入向き等を変更することによって、フィルタ挿入用溝１３１、１３２のずれに容易に対応することができる（図４（ｂ）、図５（ｂ））。
【００３０】
さらに続いて、図６を用いて、ダイシング時にダイシングソーの角度がずれてしまった場合について説明する。図６（ａ）は、上記加工用マーカー１４に基づいて形成されたフィルタ挿入用溝の他の構成例を示す平面図であり、図６（ｂ）は、このフィルタ挿入用溝に固着された誘電体フィルタ１２の他の構成例を示す平面図である。
【００３１】
光学顕微鏡等を用いて、図６（ａ）の切れ残りマーカー１４１３、１４２３を図３（ａ）の切れ残りマーカー１４１０、１４２０と比較すると、図６（ａ）に示すように、切れ残りマーカー１４１３、１４２３の上下の加工用マーカー１４１、１４２で切れ残っている段組２２１、２２２の場所が違っていることを確認することができ、ダイシングソーの角度がずれてしまったことがわかる。このずれた角度は、段組２２１、２２２の間隔、光導波路１８３上下の加工用マーカー１４１、１４２の間隔から、容易に算出することができる。
【００３２】
このように、光導波路部品１０は、段組２２１、２２２が形成された凹部２１１、２１２を有する１組の加工用マーカー１４１、１４２に基づいてフィルタ挿入用溝１３３を形成される。そのため、この形成されたフィルタ挿入用溝１３３が段組２２１、２２２のどの段に位置するかを容易に把握することができる。これにより、設計通りに加工することができなかった場合であっても、設計通りのフィルタ挿入用溝１３との角度のずれを容易に確認することができる。
【００３３】
そして、段組２２１、２２２の間隔と上下加工用マーカー１４１、１４２の間隔から、設計通りのフィルタ挿入用溝１３からずれた角度を容易に算出することができるので、誘電体フィルタ１２の挿入角度等を変更することによって、フィルタ挿入用溝１３３のずれに容易に対応することができる。例えば、図６（ｂ）に示すように、フィルタ挿入用溝１３３が傾いたことを考慮して、誘電体フィルタ１２がフィルタ挿入用溝１３３の中途部分に挿入されている。
【００３４】
考案の実施の形態３．
考案の実施の形態３においては、図７を用いて、本考案にかかる加工用マーカーの他の構成例について説明する。図７は、本考案にかかる加工用マーカーの他の構成を示す平面図である。
図７（ａ）に示すように、加工用マーカーは、上記加工用マーカー１４１、１４２が凹状に窪んでいたのに対して、凸状に突出した形状とすることができる。上下の加工用マーカー２４１１、２４２１は、図中上下方向、即ち切り込み方向に関して対称に形成され、それぞれのＶ字状の凸部、矩形状の段組もまた上下で対称な形状を有する。また、段組２２１、２２２と同様に、段組の各段の形状を矩形状としたが、三角形、円形、楕円形、多角形状としても良い。
【００３５】
図７（ｂ）に示すように、加工用マーカーは、不連続なマーカーの集合体とすることができる。すなわち、加工用マーカー２４１２、２４２２はともに、垂直方向に延在する大小の直線状の小マーカー２４１２０、２４２２０から構成されている。加工用マーカー２４１２、２４２２は、図における上下方向、即ち切り込み方向に関して対称に形成されている。それとともに、小マーカー２４１２０、２４２２０は、図における左右方向に関して対称に形成されている。
【００３６】
小マーカー２４１２０、２４２２０は、上記段組２２１、２２２と同様に、フィルタ挿入用溝１３を形成する際に、フィルタ挿入用溝１３の位置決めをする目盛として機能する。つまり、小マーカー２４２０、２４２２０の配置場所・配列間隔を基準にしてフィルタ挿入用溝１３を精度良く形成したり、実際に形成されたフィルタ挿入用溝１３を容易に観察したりすることができる。
【００３７】
さらに、図７（ｂ）に示すように、垂直方向に延びる直線状の小マーカー２４１２０、２４２２０を用いることにより、フィルタ挿入用溝１３が傾くことなく垂直方向に確実に形成することが可能となる。また、フィルタ挿入用溝１３が水平方向にずれた場合も、小マーカー２４１２０、２４２２０の間隔から、容易にずれた程度を算出することができる。
【００３８】
図７（ｃ）に示すように、加工用マーカーは、不連続なマーカーの集合体とすることができる。すなわち、加工用マーカー２４１３、２４２３はともに、図における左右方向、即ち切り込み方向と垂直な方向に延在する大小の直線状の小マーカー２４１３０、２４２３０から構成されている。小マーカー２４１３０、２４２３０は、それぞれ、切り込み方向に長さが異なり、光導波路１８３の近傍の方が長く、光導波路１８３より離れるに従って段階的に短くなるように構成されている。加工用マーカー２４１３と、加工用マーカー２４２３は、切り込み方向と垂直な方向の線分に対して対称に配置されている。
【００３９】
小マーカー２４１３０、２４２３０は、上記小マーカー２４１２０、２４２２０と同様に、目盛として機能し、その配置場所・配列間隔を基準にしてフィルタ挿入用溝１３を精度良く形成したり、実際に形成されたフィルタ挿入用溝１３を容易に観察したりすることができる。
【００４０】
さらに、図７（ｃ）に示すように、水平方向に延びる直線状の小マーカー２４１３０、２４２３０を用いることにより、フィルタ挿入用溝１３が水平方向にずれることなく確実に形成することが可能である。この場合、小マーカー２４１３０、２４２３０は、それぞれ、切り込み方向に長さが異なり、光導波路１８３の近傍の方が長く、光導波路１８３より離れるに従って段階的に短くなるように構成されているので、フィルタ挿入用溝１３が切り込み方向と垂直な方向にずれたとしても、小マーカー２４１３０、２４２３０の長さからずれた程度を容易に把握することができる。
【００４１】
図７（ｄ）に示すように、加工用マーカーは、不連続なマーカーの集合体とすることができる。すなわち、加工用マーカー２４１４、２４２４はともに、曲線で囲まれた楕円形状若しくは円形状の小マーカー２４１４０、２４２４０から構成されている。加工用マーカー２４１４と加工用マーカー２４２４は、図において上下方向に延びる線分に対して対称に配置されている。
【００４２】
小マーカー２４１４０、２４２４０は、上記小マーカーと同様に、目盛として機能し、その配置場所・配列間隔を基準にしてフィルタ挿入用溝１３を精度良く形成したり、実際に形成されたフィルタ挿入用溝１３を容易に観察したりすることができる。
【００４３】
特に、図７（ｄ）に示すように、楕円形状の小マーカー２４１４０、２４２４０を用いることにより、傾きを有するフィルタ挿入用溝１３を容易に形成することが可能である。この場合、小マーカー２４１４０、２４２４０が楕円形状であるので、フィルタ挿入用溝１３が傾きすぎたとしても、そのずれの程度を容易に把握することができる。
【００４４】
さらに、図７（ｄ）に示すように、楕円形状の小マーカー２４１４０、２４２４０を用いることにより、傾きを有するフィルタ挿入用溝１３を容易に形成することが可能である。この場合、小マーカー２４１４０、２４２４０が楕円形状であるので、フィルタ挿入用溝１３が傾きすぎたとしても、そのずれの程度を容易に把握することができる。
【００４５】
このように、加工用マーカーの形状を種々の形状とすることにより、フィルタ挿入用溝１３の加工形態に確実に対応することができる。なお、図７を用いて種々の形状の加工用マーカーについて説明したが、加工用マーカーの形状はこれらに限られるものではない。
【００４６】
またなお、本考案にかかる加工用マーカーは、垂直方向に関して対称性を有しているが、これに限らず、１組の対峙する加工用マーカーの間で一定の規則を有すればよい。すなわち、フィルタ挿入用溝を形成する際に、これら１組の加工用マーカーが、フィルタ挿入用溝の位置決めをする目盛として機能すればよい。
【００４７】
例えば、加工用マーカーは、特定の一点に対して点対称に配置された１組の加工用マーカーとすることができる。この場合には、傾きを有するフィルタ挿入用溝を容易に形成することができる。また例えば、加工用マーカーは、１組の対峙する加工用マーカーの一方を他方に対して水平方向にずらして構成しても良く、この場合も上記同様の効果を得ることができる。
【００４８】
【考案の効果】
本考案は、加工精度を簡易かつ正確に判断することができる加工用マーカー、光導波路部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の実施の形態における光導波路部品を示す斜視図である。
【図２】本考案の実施の形態における加工用マーカーの構成を示す平面図である。
【図３】本考案の実施の形態におけるフィルタ挿入用溝及び誘電体フィルタの構成を示す平面図である。
【図４】本考案の実施の形態におけるフィルタ挿入用溝及び誘電体フィルタの他の構成を示す平面図である。
【図５】本考案の実施の形態におけるフィルタ挿入用溝及び誘電体フィルタの他の構成を示す平面図である。
【図６】本考案の実施の形態におけるフィルタ挿入用溝及び誘電体フィルタの他の構成を示す平面図である。
【図７】本考案の実施の形態における加工用マーカーの他の構成を示す平面図である。
【図８】従来におけるフィルタ挿入用溝及び誘電体フィルタの構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１０　光導波路部品、１１　光導波路コア、１２　誘電体フィルタ、１３，１３１，１３２，１３３　フィルタ挿入用溝、１４　加工用マーカー、１５　入射光、１６　反射光、１７　透過光、１８１，１８２，１８３　光導波路、２３　切り込み位置、
１４１，１４２　加工用マーカー、２１１，２１２　凹部、２２１，２２２　段組、１４１０，１４２０，１４１１，１４２１，１４１２，１４２２，１４１３，１４２３　切り残りマーカー、
２４１１，２４１２，２４１３，２４１４，２４２１，２４２２，２４２３，２４２４加工用マーカー、２４１２０，２４１３０，２４１４０，２４２２０，２４２３０，２４２４０　小マーカー

Claims (10)

1. 光導波路部品における切断又は溝切り込みの基準となる位置に設けられる加工用マーカーであって、
   切断又は溝切り込みの方向と略平行な第１の方向の長さが、当該第１の方向と垂直な第２の方向に亘って段階的に異なることを特徴とする加工用マーカー。
2. 前記加工用マーカーは、前記第１の方向に延在し、それぞれ長さの異なる複数の独立した小マーカーにより構成されていることを特徴とする請求項１記載の加工用マーカー。
3. 前記加工用マーカーは、前記第２の方向に延在し、それぞれ長さの異なる複数の独立した小マーカーにより構成されていることを特徴とする請求項１記載の加工用マーカー。
4. 前記加工用マーカーは、複数の楕円形状又は円形状の小マーカーにより構成されていることを特徴とする請求項１記載の加工用マーカー。
5. 光導波路部品における切断又は溝切り込みの基準となる位置に設けられる加工用マーカーであって、
   切断又は溝切り込みの方向と略平行な第１の方向の長さが、当該第１の方向と垂直な第２の方向に亘って異なる第１の加工用マーカーと、
   前記第１の加工用マーカーと略同じ形状を有し、前記第２の方向に延びる線分に対して対称となるように配置された第２の加工用マーカーを備えた加工用マーカー。
6. 前記第１の加工用マーカー及び前記第２の加工用マーカーは、前記第１の方向に延在し、それぞれ長さの異なる複数の独立した小マーカーにより構成されていることを特徴とする請求項５記載の加工用マーカー。
7. 前記第１の加工用マーカー及び前記第２の加工用マーカーは、前記第２の方向に延在し、それぞれ長さの異なる複数の独立した小マーカーにより構成されていることを特徴とする請求項５記載の加工用マーカー。
8. 前記第１の加工用マーカー及び前記第２の加工用マーカーは、複数の楕円形状又は円形状の小マーカーにより構成されていることを特徴とする請求項５記載の加工用マーカー。
9. 前記加工用マーカーが光導波路コアと同層に設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の加工用マーカー。
10. 請求項１乃至請求項９いずれかの加工用マーカーを有する光導波路部品。

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