JP2002131566A - 光導波路間隔変換部を有する光部品、光回路及び光回路製造方法 - Google Patents
光導波路間隔変換部を有する光部品、光回路及び光回路製造方法Info
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- JP2002131566A JP2002131566A JP2000322139A JP2000322139A JP2002131566A JP 2002131566 A JP2002131566 A JP 2002131566A JP 2000322139 A JP2000322139 A JP 2000322139A JP 2000322139 A JP2000322139 A JP 2000322139A JP 2002131566 A JP2002131566 A JP 2002131566A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光導波路の本数が多い場合でも、接続損失を
増加させることなく光部品を作製することを可能とする
光部品の構造を提供する点にある。 【解決手段】 基板上に形成され、少なくとも２本以上
の光導波路１１３を含む入力導波路群１１１又は出力導
波路群の少なくとも一方を有する光部品において、入力
導波路群１１１及び出力導波路群の中の隣り合う光導波
路１１３は、入力端又は出力端の近傍で平行ではないあ
る角度をなし、光導波路１１３同士の間隔は入力端又は
出力端に近づくにつれて広く又は狭く形成されている光
導波路間隔変換部１１６を有することを特徴とする。
増加させることなく光部品を作製することを可能とする
光部品の構造を提供する点にある。 【解決手段】 基板上に形成され、少なくとも２本以上
の光導波路１１３を含む入力導波路群１１１又は出力導
波路群の少なくとも一方を有する光部品において、入力
導波路群１１１及び出力導波路群の中の隣り合う光導波
路１１３は、入力端又は出力端の近傍で平行ではないあ
る角度をなし、光導波路１１３同士の間隔は入力端又は
出力端に近づくにつれて広く又は狭く形成されている光
導波路間隔変換部１１６を有することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路間隔変換
部を有する光部品、光回路及び光回路製造方法に関す
る。例えば、光通信などの分野に適用される光部品に関
するものである。
部を有する光部品、光回路及び光回路製造方法に関す
る。例えば、光通信などの分野に適用される光部品に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】基板上に作製された光導波路から成る光
回路は、その光学特性を測定、あるいはその光回路を実
用化する場合に、信号のインターフェースとして入出力
部に光ファイバを接続する。この際、接続部での損失を
抑えるため、光導波路と光ファイバの光軸は高精度に合
致させて接続することが必要となる。
回路は、その光学特性を測定、あるいはその光回路を実
用化する場合に、信号のインターフェースとして入出力
部に光ファイバを接続する。この際、接続部での損失を
抑えるため、光導波路と光ファイバの光軸は高精度に合
致させて接続することが必要となる。
【０００３】例えば、１．３μｍ零分散シングルモード
ファイバと光導波路を接続する場合、０．１ｄＢ以下の
接続損失を得るためには、ファイバと光導波路のモード
フィールドが一致しているときでさえ、両者の光軸ズレ
が１μｍ以下になるように接続する必要がある。複数本
の光導波路と光ファイバを接続する場合、隣接する光導
波路の間隔及び整列されている光ファイバの間隔も、高
精度に制御され、両者が一致するように作製する必要が
ある。
ファイバと光導波路を接続する場合、０．１ｄＢ以下の
接続損失を得るためには、ファイバと光導波路のモード
フィールドが一致しているときでさえ、両者の光軸ズレ
が１μｍ以下になるように接続する必要がある。複数本
の光導波路と光ファイバを接続する場合、隣接する光導
波路の間隔及び整列されている光ファイバの間隔も、高
精度に制御され、両者が一致するように作製する必要が
ある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、接続する光導
波路・光ファイバの本数が多くなると、角度や間隔のズ
レが累積するため、作製精度が無視できなくなってく
る。図４は従来の技術を説明するために概略図である。
入力導波路群４１１のなかの光導波路４１３はフォトリ
ソグラフィ技術を用いて作製することによって、光導波
路間隔ｄを設計通りの値に作製することが可能である。
しかし、ファイバ部品を接続する光導波路の入力端は切
断・研磨され、この際にわずかな角度ずれθが生じる。
この角度ずれによって生じる間隔ずれδwは次式で与え
られる。
波路・光ファイバの本数が多くなると、角度や間隔のズ
レが累積するため、作製精度が無視できなくなってく
る。図４は従来の技術を説明するために概略図である。
入力導波路群４１１のなかの光導波路４１３はフォトリ
ソグラフィ技術を用いて作製することによって、光導波
路間隔ｄを設計通りの値に作製することが可能である。
しかし、ファイバ部品を接続する光導波路の入力端は切
断・研磨され、この際にわずかな角度ずれθが生じる。
この角度ずれによって生じる間隔ずれδwは次式で与え
られる。
【０００５】
【数１】
【０００６】一方、入力ファイバ部品４２１の光ファイ
バ４２３の間隔は、光ファイバ４２３の整列精度及び端
面を切断・研磨する際の角度ずれによって、導波路間隔
ｄから僅かなずれが生じる。ここで、ｉ番目の間隔ずれ
をδfiとする。通常、間隔ずれδw、δfiは０．１μｍ
以下であり、接続損失に与える影響は十分小さい。
バ４２３の間隔は、光ファイバ４２３の整列精度及び端
面を切断・研磨する際の角度ずれによって、導波路間隔
ｄから僅かなずれが生じる。ここで、ｉ番目の間隔ずれ
をδfiとする。通常、間隔ずれδw、δfiは０．１μｍ
以下であり、接続損失に与える影響は十分小さい。
【０００７】しかし、光導波路の本数ｎが増えるに連れ
て、δw、δfiのずれが累積してくるため、接続損失に
与える影響を無視できなくなるという問題がある。角度
ずれθに着目してみると、例えば光導波路間隔を２５０
μｍで、角度ずれθが０．６度であった場合、光導波路
の本数ｎが１６のとき、接続損失は、０．０１ｄＢ以下
と十分小さいのに対して、光導波路の本数ｎが１２８の
とき、接続損失は０．１ｄＢ以上となり、無視できなく
なる。
て、δw、δfiのずれが累積してくるため、接続損失に
与える影響を無視できなくなるという問題がある。角度
ずれθに着目してみると、例えば光導波路間隔を２５０
μｍで、角度ずれθが０．６度であった場合、光導波路
の本数ｎが１６のとき、接続損失は、０．０１ｄＢ以下
と十分小さいのに対して、光導波路の本数ｎが１２８の
とき、接続損失は０．１ｄＢ以上となり、無視できなく
なる。
【０００８】また、ファイバ部品の間隔ずれδfiに着目
してみると、例えばが間隔ずれδfiが０．０１μｍであ
った場合、ｎが１００芯を越えると累積ピッチずれΣδ
fiは１μｍを越えてるため、その接続損失が無視できな
くなる。従って、多芯の光導波路と光ファイバを接続す
る場合には、僅かな作製誤差であっても大きな接続損失
につながるため、従来の技術では対応できないという問
題があった。本発明の目的は、上述した従来の問題点を
解決し、光導波路の本数が多い場合でも、接続損失を増
加させることなく光部品を作製することを可能とする光
部品の構造を提供する点にある。
してみると、例えばが間隔ずれδfiが０．０１μｍであ
った場合、ｎが１００芯を越えると累積ピッチずれΣδ
fiは１μｍを越えてるため、その接続損失が無視できな
くなる。従って、多芯の光導波路と光ファイバを接続す
る場合には、僅かな作製誤差であっても大きな接続損失
につながるため、従来の技術では対応できないという問
題があった。本発明の目的は、上述した従来の問題点を
解決し、光導波路の本数が多い場合でも、接続損失を増
加させることなく光部品を作製することを可能とする光
部品の構造を提供する点にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成する本
発明の請求項１に係る光部品は、基板上に形成され、少
なくとも２本以上の光導波路を含む入力導波路群又は出
力導波路群の少なくとも一方を有する光部品において、
入力導波路群及び出力導波路群の中の隣り合う光導波路
は、入力端又は出力端の近傍で平行ではないある角度を
なし、光導波路同士の間隔は入力端又は出力端に近づく
につれて広く又は狭く形成されている光導波路間隔変換
部を有することを特徴とする。
発明の請求項１に係る光部品は、基板上に形成され、少
なくとも２本以上の光導波路を含む入力導波路群又は出
力導波路群の少なくとも一方を有する光部品において、
入力導波路群及び出力導波路群の中の隣り合う光導波路
は、入力端又は出力端の近傍で平行ではないある角度を
なし、光導波路同士の間隔は入力端又は出力端に近づく
につれて広く又は狭く形成されている光導波路間隔変換
部を有することを特徴とする。
【００１０】上記目的を達成する本発明の請求項２に係
る光部品は、基板上に形成され、少なくとも２本以上の
光導波路を含む入力導波路群又は出力導波路群の少なく
とも一方を有する光部品において、入力導波路群及び出
力導波路群を構成する光導波路は、入力端又は出力端の
近傍で階段構造を有し、各階段の前後で隣り合う導波路
は平行であり、階段と階段の間の平行な部分における光
導波路同士の間隔は、入力端又は出力端に近づくにつれ
て広く又は狭く形成されている光導波路間隔変換部を有
することを特徴とする。
る光部品は、基板上に形成され、少なくとも２本以上の
光導波路を含む入力導波路群又は出力導波路群の少なく
とも一方を有する光部品において、入力導波路群及び出
力導波路群を構成する光導波路は、入力端又は出力端の
近傍で階段構造を有し、各階段の前後で隣り合う導波路
は平行であり、階段と階段の間の平行な部分における光
導波路同士の間隔は、入力端又は出力端に近づくにつれ
て広く又は狭く形成されている光導波路間隔変換部を有
することを特徴とする。
【００１１】上記目的を達成する本発明の請求項３に係
る光部品は、請求項１又は２に記載の光部品であって、
前記光導波路間隔変換部の形状が線対称であることを特
徴とする。
る光部品は、請求項１又は２に記載の光部品であって、
前記光導波路間隔変換部の形状が線対称であることを特
徴とする。
【００１２】上記目的を達成する本発明の請求項４に係
る光部品は、請求項１又は２に記載の光部品であって、
前記導波路群の一番外側に当たる２つの光導波路の一つ
を第１の光導波路とし、もう一つを第２の光導波路とし
たとき、前記光導波路間隔変換部を入力端又は出力端に
平行な任意の直線で切ったとき、隣り合う光導波路の間
隔が前記第１の光導波路から前記第２の導波路に向かっ
て増大することを特徴とする。
る光部品は、請求項１又は２に記載の光部品であって、
前記導波路群の一番外側に当たる２つの光導波路の一つ
を第１の光導波路とし、もう一つを第２の光導波路とし
たとき、前記光導波路間隔変換部を入力端又は出力端に
平行な任意の直線で切ったとき、隣り合う光導波路の間
隔が前記第１の光導波路から前記第２の導波路に向かっ
て増大することを特徴とする。
【００１３】上記目的を達成する本発明の請求項５に係
る光回路は、請求項１，２，３又は４に記載の光部品
と、前記光部品とは異なる基板に光ファイバを整列して
なる光ファイバ部品が前記入力群又は前記出力導波路群
と前記光ファイバの光路が一致するように接続固定され
たことを特徴とする。
る光回路は、請求項１，２，３又は４に記載の光部品
と、前記光部品とは異なる基板に光ファイバを整列して
なる光ファイバ部品が前記入力群又は前記出力導波路群
と前記光ファイバの光路が一致するように接続固定され
たことを特徴とする。
【００１４】上記目的を達成する本発明の請求項６に係
る光回路製造方法は、請求項１，２，３又は４に記載の
前記光部品に、導波路群を挟む少なくとも１対のマーカ
を、その位置がマーカ間を結ぶように引いた線分上で測
った導波路の間隔を示すように配置する工程と、前記マ
ーカに基づいて入力用導波路又は出力用導波路を切断又
は研磨する工程と、前記入力導波路群又は前記出力導波
路群と光ファイバ部品の光路が一致するように接続固定
する工程からなることを特徴とする。
る光回路製造方法は、請求項１，２，３又は４に記載の
前記光部品に、導波路群を挟む少なくとも１対のマーカ
を、その位置がマーカ間を結ぶように引いた線分上で測
った導波路の間隔を示すように配置する工程と、前記マ
ーカに基づいて入力用導波路又は出力用導波路を切断又
は研磨する工程と、前記入力導波路群又は前記出力導波
路群と光ファイバ部品の光路が一致するように接続固定
する工程からなることを特徴とする。
【００１５】上記目的を達成する本発明の請求項７に係
る光回路製造方法は、請求項２に記載の前記光部品に、
導波路群を挟む少なくとも１対のマーカを、その位置が
マーカ間を結ぶように引いた線分上で測った導波路の間
隔を示し、かつマーカ間を結ぶように引いた線分と導波
路の交点と階段との位置関係を示すように配置する工程
と、前記マーカに基づいて入力用導波路又は出力用導波
路を切断又は研磨する工程と、前記入力導波路群又は前
記出力導波路群と光ファイバ部品の光路が一致するよう
に接続固定する工程からなることを特徴とする。
る光回路製造方法は、請求項２に記載の前記光部品に、
導波路群を挟む少なくとも１対のマーカを、その位置が
マーカ間を結ぶように引いた線分上で測った導波路の間
隔を示し、かつマーカ間を結ぶように引いた線分と導波
路の交点と階段との位置関係を示すように配置する工程
と、前記マーカに基づいて入力用導波路又は出力用導波
路を切断又は研磨する工程と、前記入力導波路群又は前
記出力導波路群と光ファイバ部品の光路が一致するよう
に接続固定する工程からなることを特徴とする。
【００１６】〔作用〕本発明によれば、光導波路の入力
導波路群又は出力導波路群の光導波路間隔が光導波路の
入力端又は出力端へ近づくにつれて所望の角度で広く又
は狭くなるように作製されているため、作製された光フ
ァイバの間隔に合う位置で光導波路の端面を切り出すこ
とによって、入出力導波路群の導波路間隔と光ファイバ
部品の光ファイバ間隔を一致させることが可能である。
また、光導波路間隔の変化が階段状に変化することによ
って、光導波路の端面で切り出す位置が設定しやすくな
る。
導波路群又は出力導波路群の光導波路間隔が光導波路の
入力端又は出力端へ近づくにつれて所望の角度で広く又
は狭くなるように作製されているため、作製された光フ
ァイバの間隔に合う位置で光導波路の端面を切り出すこ
とによって、入出力導波路群の導波路間隔と光ファイバ
部品の光ファイバ間隔を一致させることが可能である。
また、光導波路間隔の変化が階段状に変化することによ
って、光導波路の端面で切り出す位置が設定しやすくな
る。
【００１７】また、光導波路間隔に対応した切断用マー
カを具備し、切断用マーカを基準として、入力導波路又
は出力導波路を切断、又は研磨して光導波路を形成する
ことによって、切断位置の設定、及び端面の角度制御が
容易となり、加工精度が向上する。入・出力導波路群の
入・出力端での角度は接続損失と導波路サイズを考慮し
て、できるだけ浅く、かつ効率的に設計される必要があ
る。
カを具備し、切断用マーカを基準として、入力導波路又
は出力導波路を切断、又は研磨して光導波路を形成する
ことによって、切断位置の設定、及び端面の角度制御が
容易となり、加工精度が向上する。入・出力導波路群の
入・出力端での角度は接続損失と導波路サイズを考慮し
て、できるだけ浅く、かつ効率的に設計される必要があ
る。
【００１８】図１は、この問題を解決する本発明に係る
請求項３の作用を説明するための概略的な構成図であ
る。入力導波路群１１１が中心線１１４を軸として線対
称となるように入力端に向かって広がっている。このと
き最も外側の光導波路１１３の広がり角度φとし、各導
波路１１３の端面における間隔は等しくなるようにする
と、端面での導波路の累積間隔Ｄは、次式で表される。
請求項３の作用を説明するための概略的な構成図であ
る。入力導波路群１１１が中心線１１４を軸として線対
称となるように入力端に向かって広がっている。このと
き最も外側の光導波路１１３の広がり角度φとし、各導
波路１１３の端面における間隔は等しくなるようにする
と、端面での導波路の累積間隔Ｄは、次式で表される。
【００１９】
【数２】
【００２０】ここで、ｎは導波路の本数、ａwは導波路
を傾ける前の導波路間隔（図１においてｄwは、所望の
導波路間隔ｄより狭い場合を図示している。）、δwは
端面での各導波路間隔のズレｉ（ａwとの差）、Ｌは光
導波路間隔変換部１１６（傾いた導波路の端面まで）の
距離である。数２からＬを適切に選ぶことによって任意
の間隔ずれを設定可能であることがわかる。従って、接
続する入力光ファイバ部品１２１の累積ピッチずれに対
応する距離Ｌに端面を形成することによって、接続損失
を抑制することが可能となる。距離Ｌは次式から求ま
る。
を傾ける前の導波路間隔（図１においてｄwは、所望の
導波路間隔ｄより狭い場合を図示している。）、δwは
端面での各導波路間隔のズレｉ（ａwとの差）、Ｌは光
導波路間隔変換部１１６（傾いた導波路の端面まで）の
距離である。数２からＬを適切に選ぶことによって任意
の間隔ずれを設定可能であることがわかる。従って、接
続する入力光ファイバ部品１２１の累積ピッチずれに対
応する距離Ｌに端面を形成することによって、接続損失
を抑制することが可能となる。距離Ｌは次式から求ま
る。
【００２１】
【数３】
【００２２】実際、距離Ｌの位置に端面を形成する場
合、入力側切断マーカ１３１を基準として切断・研磨す
ることによって、容易に端面位置１１５（距離Ｌ及び端
面角度）を設定可能となる。入力側切断マーカ１３１は
刻み幅ｘ1、ｘ2、…の間隔で形成されている。導波路間
隔ｄ近傍で刻み幅を細かくすることによって端面の位置
精度は向上する。以上より、請求項３の発明によって光
導波路の本数が多い場合でも、接続損失を増大させるこ
となく光部品を作製可能であることが明かである。
合、入力側切断マーカ１３１を基準として切断・研磨す
ることによって、容易に端面位置１１５（距離Ｌ及び端
面角度）を設定可能となる。入力側切断マーカ１３１は
刻み幅ｘ1、ｘ2、…の間隔で形成されている。導波路間
隔ｄ近傍で刻み幅を細かくすることによって端面の位置
精度は向上する。以上より、請求項３の発明によって光
導波路の本数が多い場合でも、接続損失を増大させるこ
となく光部品を作製可能であることが明かである。
【００２３】また、光導波路との間隔ずれが光ファイバ
部品の接続端面での角度ずれに起因する場合は、光導波
路の入・出力導波路群の傾きによって、光ファイバ部品
との接続角度が増大し、接続損失が大きくならないよう
に接続する必要がある。図２は、この問題を解決する本
発明に係る請求項４の作用を説明するための概略的な構
成図である。入力導波路群２１１が端の導波路から反対
の端の導波路に向かって広がり角を大きくするように形
成されている。このとき最も外側の導波路の広がり角度
φとし、各導波路間隔は等しくなるようにすると、端面
での導波路の累積間隔Ｄは、次式で表される。
部品の接続端面での角度ずれに起因する場合は、光導波
路の入・出力導波路群の傾きによって、光ファイバ部品
との接続角度が増大し、接続損失が大きくならないよう
に接続する必要がある。図２は、この問題を解決する本
発明に係る請求項４の作用を説明するための概略的な構
成図である。入力導波路群２１１が端の導波路から反対
の端の導波路に向かって広がり角を大きくするように形
成されている。このとき最も外側の導波路の広がり角度
φとし、各導波路間隔は等しくなるようにすると、端面
での導波路の累積間隔Ｄは、次式で表される。
【００２４】
【数４】
【００２５】ここで、ｎは導波路の本数、ｄwは導波路
を傾ける前の導波路間隔（図２においてｄwは、所望の
導波路間隔ｄより狭い場合を図示している。）、δwは
端面での各導波路間隔のズレ量（ｄwとの差）、Ｌは光
導波路間隔変換部２１６（傾いた導波路の端面まで）の
距離である。数４からＬを適切に選ぶことによって任意
の間隔ずれを設定可能であることがわかる。また、接続
する入力光ファイバ部品２２１の端面ずれをψとし、見
通しを良くするために光ファイバ２２３の整列ずれは無
いと仮定した場合、間隔ずれδfは、次式で表される。
を傾ける前の導波路間隔（図２においてｄwは、所望の
導波路間隔ｄより狭い場合を図示している。）、δwは
端面での各導波路間隔のズレ量（ｄwとの差）、Ｌは光
導波路間隔変換部２１６（傾いた導波路の端面まで）の
距離である。数４からＬを適切に選ぶことによって任意
の間隔ずれを設定可能であることがわかる。また、接続
する入力光ファイバ部品２２１の端面ずれをψとし、見
通しを良くするために光ファイバ２２３の整列ずれは無
いと仮定した場合、間隔ずれδfは、次式で表される。
【００２６】
【数５】
【００２７】更に、距離Ｌは次式から求まる。
【００２８】
【数６】
【００２９】実際、距離Ｌの位置に端面を形成する場
合、入力側切断マーカ２３１を基準として切断・研磨す
ることによって、容易に端面位置２１５（距離Ｌ及び端
面角度）を設定可能となる。入力側切断マーカ２３１は
刻み幅ｘ1、ｘ2、…の間隔で形成されている。導波路間
隔ｄ近傍で刻み幅を細かくすることによって端面の位置
精度は向上する。
合、入力側切断マーカ２３１を基準として切断・研磨す
ることによって、容易に端面位置２１５（距離Ｌ及び端
面角度）を設定可能となる。入力側切断マーカ２３１は
刻み幅ｘ1、ｘ2、…の間隔で形成されている。導波路間
隔ｄ近傍で刻み幅を細かくすることによって端面の位置
精度は向上する。
【００３０】また、光導波路の傾斜角度φがファイバ部
品の角度ずれψの差を小さくする方向に傾けておくこと
によって、接続角度ずれ（φ−ψ）を小さくすることが
可能である。以上より、請求項４の発明によってファイ
バ部品の角度ずれがあり、かつ光導波路の本数が多い場
合でも、接続損失を増大させることなく光部品を作製可
能であることが明かである。以上の作用により、本発明
の目的である、導波路の本数が多い場合でも、接続損失
を増加させることなく光部品を作製することが可能とな
る。
品の角度ずれψの差を小さくする方向に傾けておくこと
によって、接続角度ずれ（φ−ψ）を小さくすることが
可能である。以上より、請求項４の発明によってファイ
バ部品の角度ずれがあり、かつ光導波路の本数が多い場
合でも、接続損失を増大させることなく光部品を作製可
能であることが明かである。以上の作用により、本発明
の目的である、導波路の本数が多い場合でも、接続損失
を増加させることなく光部品を作製することが可能とな
る。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の実施の形態を詳細に説明する。 〔実施例１〕本実施例は、１２８ｃｈアレイ導波路格子
に１２８芯ファイバ部品を接続して作製した光部品に関
するものである。図３（ａ）は、本発明に係る光部品の
実施形態を概略的に示す構成図であり、図３（ｂ）は入
力導波路群３１１の拡大図である。アレイ導波路格子３
４１はシリコン基板上にプレーナ光波回路作製技術を用
いて作製した。
の実施の形態を詳細に説明する。 〔実施例１〕本実施例は、１２８ｃｈアレイ導波路格子
に１２８芯ファイバ部品を接続して作製した光部品に関
するものである。図３（ａ）は、本発明に係る光部品の
実施形態を概略的に示す構成図であり、図３（ｂ）は入
力導波路群３１１の拡大図である。アレイ導波路格子３
４１はシリコン基板上にプレーナ光波回路作製技術を用
いて作製した。
【００３２】アレイ導波路格子３４１の入力導波路群３
１１及び出力導波路群３１２の導波路間隔は入・出力端
に向かって各導波路群の中心を軸として線対称となるよ
うな角度で広げている。その光導波路間隔変換部の角度
は両端の光導波路でθ＝ｔａｎ-1（１／１０００）とし
た。入力導波路群３１１は、図３（ｂ）に示すように光
導波路間隔変換部３１６の角度が階段状に変化するよう
に形成した。また、アレイ導波路格子３４１には１ｍｍ
ごとに入力側切断用マーカ３３１と出力側切断マーカ３
３２を形成した。
１１及び出力導波路群３１２の導波路間隔は入・出力端
に向かって各導波路群の中心を軸として線対称となるよ
うな角度で広げている。その光導波路間隔変換部の角度
は両端の光導波路でθ＝ｔａｎ-1（１／１０００）とし
た。入力導波路群３１１は、図３（ｂ）に示すように光
導波路間隔変換部３１６の角度が階段状に変化するよう
に形成した。また、アレイ導波路格子３４１には１ｍｍ
ごとに入力側切断用マーカ３３１と出力側切断マーカ３
３２を形成した。
【００３３】入力ファイバ部品３２１、及び出力ファイ
バ部品３２２はＶ溝基板上に１２８本の光ファイバ３２
３を整列して作製した。光ファイバの間隔は２５０μｍ
とした。作製した入力ファイバ部品３２１、及び出力フ
ァイバ部品３２２の累積ピッチずれはそれぞれ＋２μ
ｍ、＋３μｍであった。従って、アレイ導波路格子３４
１の入出力端は、入力側切断用マーカ３３１、出力側切
断用マーカ３３２でそれぞれのピッチずれに対応する位
置で切断し、研磨した。最後にアレイ導波路格子３４１
と入力ファイバ部品３２１、及び出力ファイバ部品３２
２は、高精度に光軸を調心した後、接着剤で固定するこ
とによって光部品を作製した。
バ部品３２２はＶ溝基板上に１２８本の光ファイバ３２
３を整列して作製した。光ファイバの間隔は２５０μｍ
とした。作製した入力ファイバ部品３２１、及び出力フ
ァイバ部品３２２の累積ピッチずれはそれぞれ＋２μ
ｍ、＋３μｍであった。従って、アレイ導波路格子３４
１の入出力端は、入力側切断用マーカ３３１、出力側切
断用マーカ３３２でそれぞれのピッチずれに対応する位
置で切断し、研磨した。最後にアレイ導波路格子３４１
と入力ファイバ部品３２１、及び出力ファイバ部品３２
２は、高精度に光軸を調心した後、接着剤で固定するこ
とによって光部品を作製した。
【００３４】作製した光部品の接続過剰損失は０．１ｄ
Ｂ以下であり、高精度な接続が実現されてことを確認し
た。本実施例は、光導波路が入力導波路群、及び出力導
波路群の中心を軸として線対称に広がっている構造であ
ったが、入力ファイバ部品、あるいは出力ファイバ部品
の端面に角度ずれがある場合にはその角度ずれの方向に
対応するように入力導波路群、あるいは出力導波路群の
広がりを形成した光導波路を本実施例と同様の手順で接
続することによって、低損失な光部品を実現することが
可能である。
Ｂ以下であり、高精度な接続が実現されてことを確認し
た。本実施例は、光導波路が入力導波路群、及び出力導
波路群の中心を軸として線対称に広がっている構造であ
ったが、入力ファイバ部品、あるいは出力ファイバ部品
の端面に角度ずれがある場合にはその角度ずれの方向に
対応するように入力導波路群、あるいは出力導波路群の
広がりを形成した光導波路を本実施例と同様の手順で接
続することによって、低損失な光部品を実現することが
可能である。
【００３５】このように説明したように本発明は、光導
波路部品の入出力端部において、光導波路間隔が端部に
向かって徐々に広がるように構成した点に特徴があり、
従って、本発明によれば、光ファイバ部品の導波路間隔
と精密な位置合わせが可能となる。また、本発明は、前
記光導波路部品の端部を適当な位置で切断することによ
って、所望の端部導波路間隔を得ることが特徴であり、
同様に、光ファイバ部品の導波路間隔と精密な位置合わ
せが可能となる。
波路部品の入出力端部において、光導波路間隔が端部に
向かって徐々に広がるように構成した点に特徴があり、
従って、本発明によれば、光ファイバ部品の導波路間隔
と精密な位置合わせが可能となる。また、本発明は、前
記光導波路部品の端部を適当な位置で切断することによ
って、所望の端部導波路間隔を得ることが特徴であり、
同様に、光ファイバ部品の導波路間隔と精密な位置合わ
せが可能となる。
【００３６】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、導波路の本数が多い場合でも、接続損失を増加させ
ることなく光部品を作製することが可能となるという利
点がある。作製された光部品は、多波長の波長合分波
器、あるいは多チャンネルの光スイッチ回路を実現でき
ることから、多チャンネル波長合分波（Wave-length Di
vision Multiplexing:ＷＤＭ）システムにおいて応用さ
れる。
ば、導波路の本数が多い場合でも、接続損失を増加させ
ることなく光部品を作製することが可能となるという利
点がある。作製された光部品は、多波長の波長合分波
器、あるいは多チャンネルの光スイッチ回路を実現でき
ることから、多チャンネル波長合分波（Wave-length Di
vision Multiplexing:ＷＤＭ）システムにおいて応用さ
れる。
【図１】本発明に係る請求項３を示す概略図である。
【図２】本発明に係る請求項４を示す概略図である。
【図３】本発明に係る光部品の実施例を示す概略図であ
る。
る。
【図４】本発明に係る従来技術を示す概略図である。
１１１，２１１，３１１，４１１ 入力導波路群 ３１２ 出力導波路群 １１３，２１３ 光導波路 １１４ 中心線 １１５，２１５ 端面位置 １１６，２１６，３１６ 光導波路間隔変換部 １２１，２２１，３２１，４２１ 入力ファイバ部品 ３２２ 出力ファイバ部品 １２３，２２３，３２３，４２３ 光ファイバ １３１，２３１，３３１ 入力側切断用マーカ ３３２ 出力側切断用マーカ ３４１ アレイ導波路格子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高木 章宏 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 肥田 安弘 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 Ｆターム(参考） 2H037 BA24 CA34 DA04 DA06 2H047 KA03 KA11 KA15 KB09 MA05 TA32
Claims (7)
- 【請求項１】 基板上に形成され、少なくとも２本以上
の光導波路を含む入力導波路群又は出力導波路群の少な
くとも一方を有する光部品において、入力導波路群及び
出力導波路群の中の隣り合う光導波路は、入力端又は出
力端の近傍で平行ではないある角度をなし、光導波路同
士の間隔は入力端又は出力端に近づくにつれて広く又は
狭く形成されている光導波路間隔変換部を有することを
特徴とする光部品。 - 【請求項２】 基板上に形成され、少なくとも２本以上
の光導波路を含む入力導波路群又は出力導波路群の少な
くとも一方を有する光部品において、入力導波路群及び
出力導波路群を構成する光導波路は、入力端又は出力端
の近傍で階段構造を有し、各階段の前後で隣り合う導波
路は平行であり、階段と階段の間の平行な部分における
光導波路同士の間隔は、入力端又は出力端に近づくにつ
れて広く又は狭く形成されている光導波路間隔変換部を
有することを特徴とする光部品。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の光部品であっ
て、前記光導波路間隔変換部の形状が線対称であること
を特徴とする光部品。 - 【請求項４】 請求項１又は２に記載の光部品であっ
て、前記導波路群の一番外側に当たる２つの光導波路の
一つを第１の光導波路とし、もう一つを第２の光導波路
としたとき、前記光導波路間隔変換部を入力端又は出力
端に平行な任意の直線で切ったとき、隣り合う光導波路
の間隔が前記第１の光導波路から前記第２の導波路に向
かって増大することを特徴とする光部品。 - 【請求項５】 請求項１，２，３又は４に記載の光部品
と、前記光部品とは異なる基板に光ファイバを整列して
なる光ファイバ部品が前記入力群又は前記出力導波路群
と前記光ファイバの光路が一致するように接続固定され
たことを特徴とする光回路。 - 【請求項６】 請求項１，２，３又は４に記載の前記光
部品に、導波路群を挟む少なくとも１対のマーカを、そ
の位置がマーカ間を結ぶように引いた線分上で測った導
波路の間隔を示すように配置する工程と、前記マーカに
基づいて入力用導波路又は出力用導波路を切断又は研磨
する工程と、前記入力導波路群又は前記出力導波路群と
光ファイバ部品の光路が一致するように接続固定する工
程からなることを特徴とする光回路製造方法。 - 【請求項７】 請求項２に記載の前記光部品に、導波路
群を挟む少なくとも１対のマーカを、その位置がマーカ
間を結ぶように引いた線分上で測った導波路の間隔を示
し、かつマーカ間を結ぶように引いた線分と導波路の交
点と階段との位置関係を示すように配置する工程と、前
記マーカに基づいて入力用導波路又は出力用導波路を切
断又は研磨する工程と、前記入力導波路群又は前記出力
導波路群と光ファイバ部品の光路が一致するように接続
固定する工程からなることを特徴とする光回路製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000322139A JP2002131566A (ja) | 2000-10-23 | 2000-10-23 | 光導波路間隔変換部を有する光部品、光回路及び光回路製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000322139A JP2002131566A (ja) | 2000-10-23 | 2000-10-23 | 光導波路間隔変換部を有する光部品、光回路及び光回路製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002131566A true JP2002131566A (ja) | 2002-05-09 |
Family
ID=18800062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000322139A Pending JP2002131566A (ja) | 2000-10-23 | 2000-10-23 | 光導波路間隔変換部を有する光部品、光回路及び光回路製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002131566A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004334057A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Omron Corp | 光導波路およびその製造方法 |
| WO2009154206A1 (ja) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路用フィルム、積層型光導波路用フィルム、光導波路、光導波路集合体、光配線、光電気混載基板および電子機器 |
| JP2010002724A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路フィルム |
| JP2010197505A (ja) * | 2009-02-23 | 2010-09-09 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路、光配線、光電気混載基板および電子機器 |
| JP2010231091A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路集合体、光配線、光電気混載基板および電子機器 |
| JP2010250084A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路用フィルム、光導波路、光配線、光電気混載基板および電子機器 |
| US11493705B2 (en) * | 2017-06-07 | 2022-11-08 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Connection structure of optical waveguide chips |
-
2000
- 2000-10-23 JP JP2000322139A patent/JP2002131566A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004334057A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Omron Corp | 光導波路およびその製造方法 |
| WO2009154206A1 (ja) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路用フィルム、積層型光導波路用フィルム、光導波路、光導波路集合体、光配線、光電気混載基板および電子機器 |
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| US8705925B2 (en) | 2008-06-20 | 2014-04-22 | Sumitomo Bakelite Company Limited | Optical waveguide film, laminated type optical waveguide film, optical waveguide, optical waveguide assembly, optical wiring line, optical/electrical combination substrate and electronic device |
| JP2010197505A (ja) * | 2009-02-23 | 2010-09-09 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路、光配線、光電気混載基板および電子機器 |
| JP2010231091A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路集合体、光配線、光電気混載基板および電子機器 |
| JP2010250084A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 光導波路用フィルム、光導波路、光配線、光電気混載基板および電子機器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040608 |