JP5180137B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜図9は本発明の第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す図である。図1〜図9において、上側図が平面図であり、下側図が上側図のI−Iに沿った断面図である。
図11及び図12には本発明の第2実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。第2実施形態の特徴は、マスキングテープ30の開口部30aより小さな面積の封止用樹脂材50を使用することにある。
図13及び図14は本発明の第3実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。第3実施形態の特徴は、配線基板にマスキングテープを貼付した後に、配線基板の全面に封止用樹脂材を形成する点にある。第2実施形態では、第1実施形態と同一工程についてはその詳しい説明を省略する。また、第3実施形態では断面図のみを参照して説明する。平面イメージは第1実施形態と同様である。
図15は本発明の第4実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。第4実施形態の特徴は、封止用樹脂材として液状樹脂を使用することにある。第4実施形態では、第1実施形態と同一工程については、その詳しい説明を省略する。また、第4実施形態では断面図のみを参照して説明する。平面イメージは第1実施形態と同様である。
Claims (8)
- チップ実装領域を備えた配線基板の上に、前記チップ実装領域の上にマスク材の開口部が配置された前記マスク材を形成する工程と、
前記配線基板の前記チップ実装領域及び前記マスク材の上に封止用樹脂材を形成する工程と、
前記封止用樹脂材を前記配線基板に圧着することにより、未硬化の封止樹脂を得る工程と、
前記マスク材を前記配線基板から剥離し、前記マスク材上の前記封止樹脂を引き裂いて除去することにより、前記チップ実装領域に前記封止樹脂を残す工程と、
前記チップ実装領域内の前記未硬化の封止樹脂に半導体チップを押し込むことにより、フリップチップ実装する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1の熱処理工程により、前記未硬化の封止樹脂を前記配線基板に密着させること、及び、第2の熱処理工程により、前記未硬化の封止樹脂を硬化させることを含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記マスク材を剥離する工程の後に、前記半導体チップをフリップチップ実装する工程を有し、
前記半導体チップをフリップチップ実装する工程の後に、前記第2の熱処理工程を有することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記マスク材を剥離する工程の前に、前記半導体チップをフリップチップ実装する工程を有し、
前記マスクを剥離する工程の後に、前記第2の熱処理工程を有することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記封止用樹脂部材は、樹脂フィルムとその上に形成されたベースフィルムとから構成され、
前記ベースフィルムを剥離した後に、前記マスクを剥離する工程を有することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記封止用樹脂部材は、樹脂フィルムとその上に形成されたベースフィルムとから構成され、
前記ベースフィルムを剥離した後に、前記半導体チップをフリップチップ実装する工程を有することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記封止用樹脂材は、樹脂フィルムとその上に形成されたベースフィルムとから構成され、
前記チップ実装領域上に形成された封止用樹脂部材において、前記マスク材を剥離する工程と同時に前記ベースフィルムを前記樹脂フィルムから剥離することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記封止用樹脂材を形成する工程において、
液状樹脂を前記配線基板の前記チップ実装領域及び前記マスク材の上に形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009095790A JP5180137B2 (ja) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009095790A JP5180137B2 (ja) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010251346A JP2010251346A (ja) | 2010-11-04 |
JP2010251346A5 JP2010251346A5 (ja) | 2012-04-05 |
JP5180137B2 true JP5180137B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=43313408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009095790A Active JP5180137B2 (ja) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5180137B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8993358B2 (en) * | 2011-12-28 | 2015-03-31 | Ledengin, Inc. | Deposition of phosphor on die top by stencil printing |
JP2014042748A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Glory Ltd | 各台装置、遊技システム及び遊技媒体管理方法 |
JP6196893B2 (ja) * | 2012-12-18 | 2017-09-13 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP6232633B1 (ja) * | 2017-03-03 | 2017-11-22 | 山栄化学株式会社 | 部品の実装方法 |
JP6351004B1 (ja) * | 2017-09-29 | 2018-07-04 | 山栄化学株式会社 | 活性樹脂組成物及びクリーム半田、並びにプリント配線板 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000022040A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP3350454B2 (ja) * | 1998-09-24 | 2002-11-25 | 三菱電機株式会社 | 半導体集積回路装置およびその製造方法並びに製造装置 |
JP4973837B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2012-07-11 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
2009
- 2009-04-10 JP JP2009095790A patent/JP5180137B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010251346A (ja) | 2010-11-04 |
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