JP5175570B2 - パターン評価方法、プログラムおよび半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
評価対象パターンの設計データを用いて設計パターンの輪郭を直線部とコーナ部とに分割する工程と、
前記評価対象パターンの検査画像を取得して前記検査画像中の前記評価対象パターンの輪郭を検出する工程と、
前記評価対象パターンの輪郭と前記設計パターンの輪郭との間でマッチング処理を行い、輪郭同士の対応関係を得る工程と、
前記対応関係を参照して前記評価対象パターンの輪郭を直線部とコーナ部とに分割する工程と、
前記評価対象パターンを直線部とコーナ部とで個別に評価する工程と、
を備えるパターン評価方法が提供される。
本発明の第1の実施の形態について図1乃至図7を参照しながら説明する。
次に、 本発明の第2の実施の形態について図8および図9を参照しながら説明する。図8は、本実施形態のパターン評価方法の概略工程を説明するフローチャートであり、図9は、図8に示すパターン評価方法の説明図である。
上述した実施形態のパターン評価方法の一連の工程は、コンピュータに実行させるプログラムに組み込み、フレキシブルディスクやCD−ROM等の記録媒体に収納してコンピュータに読込ませて実行させても良い。これにより、本発明にかかるパターン評価方法を画像処理可能な汎用コンピュータを用いて実現することができる。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の携帯可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でも良い。また、上述したパターン評価方法の一連の工程を組込んだプログラムをインターネット等の通信回線(無線通信を含む)を介して頒布しても良い。さらに、上述したパターン評価方法の一連の工程を組込んだプログラムを暗号化したり、変調をかけたり、圧縮した状態で、インターネット等の有線回線や無線回線を介して、または記録媒体に収納して頒布しても良い。
上述したパターン評価方法を半導体装置の製造工程中で使用すれば、パターンを高い精度で短時間に評価することができるので、より高い歩留まりおよびスループットで半導体装置を製造することができる。
CD1〜CD6:設計パターンのコーナ部
SA1〜SA6:評価対象パターンの直線部
SD1〜SD6:設計パターンの直線部
Claims (5)
- 評価対象パターンの設計データを用いて設計パターンの輪郭を第1の直線部と第1のコーナ部とに分割する工程と、
前記評価対象パターンの検査画像を取得して前記検査画像中の前記評価対象パターンの輪郭を検出する工程と、
前記設計パターンの輪郭と前記評価対象パターンの輪郭との間でマッチング処理を行い、前記設計パターンおよび前記評価対象パターンの輪郭同士の対応関係を得る工程と、
前記対応関係を参照することにより、前記設計パターンの輪郭を前記第1の直線部と前記第1のコーナ部とに分割する点に対応する前記評価対象パターン上の点を特定する工程と、
特定された前記評価対象パターン上の点を用いて前記評価対象パターンの輪郭を第2の直線部と第2のコーナ部とに分割する工程と、
前記評価対象パターンを前記第2の直線部と前記第2のコーナ部とで個別に評価する工程と、
を備えるパターン評価方法。 - 前記第2の直線部は、マッチング処理後の前記検査画像の輪郭と前記設計パターンの輪郭との距離計測を用いて評価されることを特徴とする請求項1に記載のパターン評価方法。
- 前記第2のコーナ部は、ラフネス計測により評価されることを特徴とする請求項1に記載のパターン評価方法。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載のパターン評価方法をコンピュータに実行させるプログラム。
- 基板に形成された評価対象パターンを請求項1乃至3のいずれかに記載のパターン評価方法により評価した結果、要求仕様を満たすと判定された場合に、前記基板に半導体装置の製造プロセスを実行することを備える半導体装置の製造方法。
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