JP6492086B2 - マスク上の構造体の位置を測定し、それによってマスク製造誤差を決定する方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 37
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 274
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 73
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 53
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 33
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 21
- 238000009877 rendering Methods 0.000 claims description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 6
- 238000003702 image correction Methods 0.000 claims 2
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 19
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 16
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 101100269850 Caenorhabditis elegans mask-1 gene Proteins 0.000 description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 10
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- 239000010438 granite Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/001—Industrial image inspection using an image reference approach
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
Description
a)計測ツールによって、マスク上の構造体の位置測定に対する光学近接効果の影響を複数の測定サイトから決定するステップ、
b)計測ツールによって測定される構造体のデータ表現を含むマスク設計データから、マスク上の領域を選択するステップ、
c)構造体のデータ表現の画像レンダリングを実施するステップであって、マスク設計データの少なくとも1つのレンダリングされた画像が取得されるステップ、
d)計測ツールの測定テーブルをマスクの表面に平行な面において移動させ、それによってマスクの領域を計測ツールの結像系の視野に配置するステップであって、マスクの領域が、マスク設計データから選択された領域の位置に対応するマスク上の位置に位置付けられるステップ、
e)計測ツールの結像系によって、マスク上の領域内にあるパターンの少なくとも1つの光学像を取り込むステップ、ならびに
f)マスク上の特定の領域の構造体のマスク設計データおよび少なくとも1つの光学像に従って、構造体の少なくとも1つのレンダリングされた画像から残差を決定するステップ。
a. 使用者が、パターン間隔、類似または非類似のダイ中パターンを使用する選択の他、標準的な標的を制御したまま、測定サイトを選択する。アルゴリズムは、データベースから測定の不確実性が小さい適切なパターンを検索し、使用者のためにリストをソート/提案することができる。
b. 計測ツールのステージ位置およびフォーカスセンサデータを記録しつつ、スルーフォーカス像のスタックが測定サイトにおいて取り込まれる。
c. CCD非線形応答(シェーディング)の他に測定対物レンズの視野歪みについて光学像が補正される。歪みは、倍率およびテレセントリシティ誤差を考慮し、位置合わせ精度を高めるために、スルーフォーカスで較正されるものとする。
d. データベースから、視野(FOV)における1つ以上の測定フィールド内のマスクパターンが追加のマージンとともに抽出されて、光学近接効果の計算を可能にする。
e. 各測定フィールドに対応するスルーフォーカススタックが抽出される。
f. 測定サイトに対応する試験画像が、データベースからのデータならびに波長、開口数(NA)および画素サイズなどの光学パラメータに基づいて計算される。光学システムの収差は、オフラインで測定され、画像計算に含まれる。対物レンズのアポダイゼーションは画像計算に含まれる。
g. 光学像とレンダリングされた画像のスタック間の差のL2ノルムがX方向およびY方向における位置合わせおよび画像スタックについてのグローバルフォーカス位置に応じて最小化されるように、すなわち、X方向の位置合わせ、Y方向の位置合わせおよびグローバルフォーカス位置をパラメータとした最小二乗法での最小化が行われるように、最小化問題が測定フィールドごとに解かれる。
h. ステップ(f)で計算された位置合わせ結果が測定フィールドごとに報告される。
第4の測定サイト414における第1の誤差成分42は以下によって特定される:
第4の測定サイト414における第2の誤差成分43は以下によって特定される:
前の知識を利用してマスク製造時非対称を推定する。「エッジアルゴリズム」(図8A参照)などの位置合わせ測定アルゴリズムは近接効果を補正しない。次いで「モデルベースの位置合わせアルゴリズム」(図8B参照)は、モデルベースの位置合わせアルゴリズムが近接誤差のほとんどを確かに補正していることを強く示唆する。
Claims (13)
- マスク上の構造体の位置を測定し、それによってマスク製造誤差を決定する方法であって、
計測ツールによって、前記マスク上の構造体の位置測定に対する光学近接効果の影響を複数の測定サイトから決定するステップと、
前記計測ツールによって測定される前記構造体のデータ表現を含むマスク設計データから、前記マスク上の領域を選択するステップと、
前記構造体の前記データ表現の画像レンダリングを実施するステップであって、前記マスク設計データの少なくとも1つのレンダリングされた画像が取得されるステップと、
前記計測ツールの測定テーブルを前記マスクの表面に平行な面において移動させ、それによって前記マスクの領域を前記計測ツールの結像系の視野に配置するステップであって、前記マスクの前記領域が、マスク設計データから選択された前記マスク上の前記領域の位置に対応する前記マスク上の位置に位置付けられるステップと、
前記計測ツールの前記結像系によって、前記マスクの前記領域内にあるパターンの少なくとも1つの光学像を取り込むステップと、
前記マスクの前記領域の前記構造体の前記マスク設計データおよび少なくとも1つの光学像並びに前記決定するステップにより決定された前記光学近接効果の影響を用いて、前記構造体の少なくとも1つのレンダリングされた画像から残差を決定するステップと
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記計測ツールによる位置測定に対する前記光学近接効果の前記影響が、測定サイトの少なくとも1つの配置から決定され、第1の測定サイトが同一のサイトによって囲まれ、少なくとも第2の測定サイトと少なくとも第3の測定サイトが測定サイトの前記配置の対向するエッジに位置付けられることを特徴とする方法。
- 請求項2に記載の方法であって、測定サイトの前記配置が1つの第1の中心のサイトを有し、第2の測定サイト、第3の測定サイト、第4の測定サイト、および第5の測定サイトが測定サイトの前記配置のコーナに位置決めされることを特徴とする方法。
- 請求項2に記載の方法であって、測定サイトの複数の配置が試験マスク上に形成されることを特徴とする方法。
- 請求項2に記載の方法であって、複数のダイが製造マスク上に形成され、前記複数のダイの一部が測定サイトの配置を有し、測定サイトの前記配置が接触アレイであることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、複数の測定サイトのうちの少なくとも2つのそれぞれの測定位置での、光学近接誤差を含む近接誤差が、前記計測ツールの光学システムを用いて、前記複数の測定サイトのうちの少なくとも2つの光学測定によって決定されることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、複数の測定サイトのうちの少なくとも2つの測定サイトのそれぞれの測定位置に対する前記光学近接効果の前記影響が、
前記少なくとも2つの測定サイトのそれぞれのデータ表現の画像レンダリングを実施するステップであって、前記少なくとも2つの測定サイトの前記マスク設計データの少なくとも1つのレンダリングされた画像が取得されるステップと、
前記マスク設計データの前記測定サイトの前記位置と同一の位置における第2マスク上の前記少なくとも2つの測定サイトの少なくとも1つの光学像を取り込むステップと、
少なくとも1つの前記レンダリングされた画像を、前記光学像から差し引くステップと、
によって決定されることを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記画像レンダリングが、180°回転させたマスク設計データにも実施されることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、少なくとも1つの光学像を取り込む前記ステップが、180°回転させたマスクを用いて実施されることを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記残差が、少なくとも1つのレンダリングされた画像と少なくとも1つの補正された光学像の間の差の算術平均であることを特徴とする方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記残差が、視野内のX方向およびY方向における前記構造体の前記位置のずれの色分けされたグラフ表現であり、ずれが、マスク製造誤差にのみ基づくことを特徴とする方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記少なくとも1つの光学像のそれぞれが画像補正を受けることを特徴とする方法。
- 請求項12に記載の方法であって、前記画像補正がシェーディングおよびレンズ歪みを補正することを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201361919709P | 2013-12-21 | 2013-12-21 | |
US61/919,709 | 2013-12-21 | ||
PCT/US2014/069348 WO2015094818A1 (en) | 2013-12-21 | 2014-12-09 | A method for measuring positions of structures on a mask and thereby determining mask manufacturing errors |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017502347A JP2017502347A (ja) | 2017-01-19 |
JP2017502347A5 JP2017502347A5 (ja) | 2018-01-25 |
JP6492086B2 true JP6492086B2 (ja) | 2019-03-27 |
Family
ID=53403527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016541640A Active JP6492086B2 (ja) | 2013-12-21 | 2014-12-09 | マスク上の構造体の位置を測定し、それによってマスク製造誤差を決定する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9424636B2 (ja) |
JP (1) | JP6492086B2 (ja) |
DE (1) | DE112014005893B4 (ja) |
WO (1) | WO2015094818A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9892885B2 (en) * | 2016-03-24 | 2018-02-13 | Kla-Tencor Corporation | System and method for drift compensation on an electron beam based characterization tool |
US20230108539A1 (en) * | 2021-10-06 | 2023-04-06 | Kla Corporation | Design-assisted large field of view metrology |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3998334B2 (ja) * | 1997-09-22 | 2007-10-24 | 株式会社東芝 | 欠陥検査方法 |
DE60239401D1 (de) * | 2001-05-18 | 2011-04-21 | Koninkl Philips Electronics Nv | Lithographische methode zur erzeugung eines elements |
US20030121021A1 (en) * | 2001-12-26 | 2003-06-26 | Numerical Technologies, Inc. | System and method for determining manufacturing error enhancement factor |
US7111276B2 (en) * | 2004-02-05 | 2006-09-19 | Synopsys, Inc. | Correcting 3D effects in phase shifting masks using sub-resolution features |
ATE451223T1 (de) * | 2004-07-30 | 2009-12-15 | Novartis Ag | Verfahren zur herstellung ophthalmischer linsen mit modulierter energie |
US20060192310A1 (en) * | 2005-02-23 | 2006-08-31 | Lindacher Joseph M | Method of manufacturing ophthalmic lenses using modulated energy |
DE102005009536A1 (de) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Verfahren zur Maskeninspektion im Rahmen des Maskendesigns und der Maskenherstellung |
JP2008139688A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toshiba Corp | 半導体集積回路の製造方法、マスクの製造方法、半導体マスクデータ製造装置、マスクパターンの修正方法、及び設計レイアウトの修正方法 |
DE102007047924B4 (de) * | 2007-02-23 | 2013-03-21 | Vistec Semiconductor Systems Jena Gmbh | Verfahren zur automatischen Detektion von Fehlmessungen mittels Qualitätsfaktoren |
CN104111588B (zh) * | 2007-07-18 | 2016-08-03 | 株式会社尼康 | 测量方法、载台装置、及曝光装置 |
JP5274293B2 (ja) * | 2008-09-22 | 2013-08-28 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マスク検査装置、それを用いた露光方法及びマスク検査方法 |
DE102008060293B4 (de) | 2008-12-03 | 2015-07-30 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung des relativen lokalen Lagefehlers eines der Abschnitte eines abschnittsweise belichteten Objektes |
US8240849B2 (en) * | 2009-03-31 | 2012-08-14 | Johnson & Johnson Vision Care, Inc. | Free form lens with refractive index variations |
JP2011137901A (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン計測条件設定装置 |
DE102010045135B4 (de) * | 2010-09-10 | 2021-03-18 | Carl Zeiss Meditec Ag | Verfahren zur Ermittlung eines Platzierungsfehlers eines Strukturelements auf einer Maske, Verfahren zur Simulation eines Luftbildes aus Struktur-Vorgaben einer Maske und Positionsmessvorrichtung |
DE102011078999A1 (de) | 2011-07-12 | 2013-01-17 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Positionsbestimmung von Strukturen auf einer Maske für die Mikrolithographie |
US8726202B2 (en) * | 2012-04-13 | 2014-05-13 | International Business Machines Corporation | Mitigation of mask defects by pattern shifting |
US9311700B2 (en) | 2012-09-24 | 2016-04-12 | Kla-Tencor Corporation | Model-based registration and critical dimension metrology |
US9201312B2 (en) * | 2013-04-16 | 2015-12-01 | Kla-Tencor Corporation | Method for correcting position measurements for optical errors and method for determining mask writer errors |
-
2014
- 2014-12-09 JP JP2016541640A patent/JP6492086B2/ja active Active
- 2014-12-09 WO PCT/US2014/069348 patent/WO2015094818A1/en active Application Filing
- 2014-12-09 DE DE112014005893.9T patent/DE112014005893B4/de active Active
-
2015
- 2015-03-10 US US14/643,610 patent/US9424636B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9424636B2 (en) | 2016-08-23 |
DE112014005893T5 (de) | 2016-09-22 |
DE112014005893B4 (de) | 2023-02-16 |
US20150248756A1 (en) | 2015-09-03 |
JP2017502347A (ja) | 2017-01-19 |
WO2015094818A1 (en) | 2015-06-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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|
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|
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