JP5169589B2 - 接着用シート、及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係る接着用シートの概略構成を示す平面図である。図2は、図1のII−II線に沿う断面図である。図3は、接着用シートに被接着物を接着固定した状態を示す断面図である。図4は、接着用シートに被接着物を接着固定した状態を示す平面図である。図5は、支持部材の厚さhを説明するための断面図であり、(a)は、被接着物を接着用シートに接着固定していない状態を示し、(b)は、被接着物を接着用シートに接着固定した状態を示す。図6は、第1実施形態に係る接着用シートの製造方法を説明するための断面図であり、(a)は、塗布工程を示し、(b)は、凹部形成工程を示し、(c)は、成長工程を示している。なお、図2〜図4においては、便宜上、後述する触媒14と接着剤15を省略している。また、以下においては、基板表面に対して水平な方向を単に水平方向と示し、基板表面に対して垂直な方向を単に垂直方向と示す。
次に、本発明の第2実施形態を、図11に基づいて説明する。図11は、第2実施形態に係る接着用シートの概略構成を示す断面図であり、第1実施形態で示した図2に対応している。
次に、本発明の第3実施形態を、図12〜図14に基づいて説明する。図12〜図14は、第2実施形態に係る接着用シートの製造方法を説明するための断面図であり、第1実施形態で示した図6に対応している。図12(a)は、第1塗布工程を示し、(b)は、成長工程を示している。図13(a)は、凹部形成工程を示し、(b)は、第2塗布工程を示している。図14(a)は、接着工程を示しており、(b)は、転写工程を示している。
11・・・ベース基板
12・・・支持部材
13・・・凹部
20・・・カーボンナノチューブ
30・・・被接着物
100・・・接着用シート
Claims (8)
- 基板と、該基板に固定された複数のナノファイバーとを有し、前記ナノファイバーに接触させた被接着物と前記ナノファイバーとの間に作用する分子間力によって、前記被接着物を前記ナノファイバーの表面に接着保持する接着用シートであって、
前記基板には、該基板の表面に開口する凹部が設けられ、前記ナノファイバーは、前記凹部の底面に固定されるとともに、その一部が前記基板の表面よりも上方に位置しており、前記被接着物は前記基板の表面と接触し、
前記基板として、ベース基板と、該ベース基板の表面の一部に積層配置された支持部材とを有し、
前記凹部の底面は、前記ベース基板の表面であり、
前記基板の表面は、前記支持部材における、前記ベース基板との対向面の裏面であることを特徴とする接着用シート。 - 前記支持部材は、前記基板よりも弾性率が高い材料を用いて形成されていることを特徴とする請求項1に記載の接着用シート。
- 前記ナノファイバーは、カーボンナノチューブであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の接着用シート。
- 前記カーボンナノチューブは、前記基板の表面よりも上方に位置する側の端部付近のほうが、前記凹部の底面側の端部付近よりも密度が高いことを特徴とする請求項3に記載の接着用シート。
- 基板と、該基板に固定された複数のナノファイバーとを有し、前記ナノファイバーに接触させた被接着物と前記ナノファイバーとの間に作用する分子間力によって、前記被接着物を前記ナノファイバーの表面に接着保持する接着用シートの製造方法であって、
ベース基板の表面に、前記ナノファイバーを成長させるための触媒を塗布する塗布工程と、
前記ベース基板の表面の一部に、支持部材を設けることで、前記ベース基板と前記支持部材からなる前記基板を形成し、前記ベース基板の表面を底面とし、且つ前記支持部材を側面とする凹部を形成する凹部形成工程と、
前記ナノファイバーの一部が、前記支持部材における前記ベース基板との対向面の裏面よりも上方に位置するように、前記凹部の底面から前記ナノファイバーを成長させる成長工程と、を有することを特徴とする接着用シートの製造方法。 - 基板と、該基板に固定された複数のナノファイバーとを有し、前記ナノファイバーに接触させた被接着物と前記ナノファイバーとの間に作用する分子間力によって、前記被接着物を前記ナノファイバーの表面に接着保持する接着用シートの製造方法であって、
ベース基板の表面に、前記ナノファイバーを成長させるための触媒を塗布する塗布工程と、
前記ベース基板の表面に、前記ナノファイバーを成長させる成長工程と、
前記ベース基板の表面の一部に、前記ナノファイバーを押しつぶしながら支持部材を配置することで、前記ベース基板と前記支持部材からなる前記基板を形成し、前記ベース基板の表面を底面とし、且つ前記支持部材を側面とする凹部を形成する凹部形成工程と、を備え、
前記凹部形成工程では、前記支持部材における前記基板との対向面の裏面上に、前記凹部の底面に固定された前記ナノファイバーの一部が位置するように、前記凹部を有する前記基板を形成することを特徴とする接着用シートの製造方法。 - 基板と、該基板に固定された複数のナノファイバーとを有し、前記ナノファイバーに接触させた被接着物と前記ナノファイバーとの間に作用する分子間力によって、前記被接着物を前記ナノファイバーの表面に接着保持する接着用シートの製造方法であって、
前記基板とは異なる成長用基板の表面に、前記ナノファイバーとしてのカーボンナノチューブを成長させるための触媒を塗布する第1塗布工程と、
前記成長用基板の表面に、前記カーボンナノチューブを成長させる成長工程と、
前記基板の表面に、凹部を形成する凹部形成工程と、
前記凹部の底面に、前記カーボンナノチューブを接着固定するための接着剤を塗布する第2塗布工程と、
前記成長用基板の表面と前記基板の表面とを対向させ、且つ前記カーボンナノチューブにおける前記接着剤と対向する部位を前記接着剤に接触させることで、前記成長用基板と前記基板とを前記カーボンナノチューブを介して接着固定する接着工程と、
前記カーボンナノチューブの一部が前記基板の表面よりも上方に位置するように、前記カーボンナノチューブと前記成長用基板とを切り離し、前記基板に前記カーボンナノチューブを転写する転写工程と、を有することを特徴とする接着用シートの製造方法。 - 前記第1塗布工程において、前記成長用基板の表面のうち、前記凹部に対応する領域のみに、前記触媒を塗布することを特徴とする請求項7に記載の接着用シート製造方法。
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