JP5167837B2 - 貯蔵タンク及びその制御方法 - Google Patents
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前記制御手段は、前記第1の気圧と前記第2の気圧との第1の比較を行い、前記第1の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧より大きい場合には、前記第2の気圧と前記第3の気圧との第2の比較を行い、前記第1の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧以下の場合には、前記供給手段による供給量を前記第1の比較時のものより小さくした後に、前記第1の気圧と前記第2の気圧との第3の比較を行い、前記第3の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧より大きい場合には、前記第2の比較を行う。前記第2の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧より大きい場合には、前記換気用ガスの流量と予め設定されている流量との第4の比較を行い、前記第2の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧以下の場合には、前記排気手段による排気量を前記第2の比較時のものより大きくするか、又は前記供給手段による供給量を前記第2の比較時のものより小さくした後に、前記第2の気圧と前記第3の気圧との第5の比較を行い、前記第5の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧より大きい場合には、前記第4の比較を行う。前記第4の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量より大きければ、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がないか判断し、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がなければ、前記第1の比較に戻る。
この制御では、前記第1の気圧と前記第2の気圧との第1の比較を行い、前記第1の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧より大きい場合には、前記第2の気圧と前記第3の気圧との第2の比較を行い、前記第1の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧以下の場合には、前記供給手段による供給量を前記第1の比較時のものより小さくした後に、前記第1の気圧と前記第2の気圧との第3の比較を行い、前記第3の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧より大きい場合には、前記第2の比較を行う。前記第2の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧より大きい場合には、前記換気用ガスの流量と予め設定されている流量との第4の比較を行い、前記第2の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧以下の場合には、前記排気手段による排気量を前記第2の比較時のものより大きくするか、又は前記供給手段による供給量を前記第2の比較時のものより小さくした後に、前記第2の気圧と前記第3の気圧との第5の比較を行い、前記第5の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧より大きい場合には、前記第4の比較を行う。前記第4の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量より大きければ、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がないか判断し、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がなければ、前記第1の比較に戻る。
缶体と、
前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、
前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、
前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、
前記通気性シート内の気体を排気する排気手段と、
を有することを特徴とする貯蔵タンク。
前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行う制御手段を有することを特徴とする付記1に記載の貯蔵タンク。
前記貯蔵タンク内の気圧を測定する第1の気圧測定手段と、
前記換気用ガスの通流経路の気圧を測定する第2の気圧測定手段と、
前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧を測定する第3の気圧測定手段と、
を有し、
前記制御手段は、前記第1の気圧測定手段、前記第2の気圧測定手段及び前記第3の気圧測定手段による測定の結果に基づいて、前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行うことを特徴とする付記2に記載の貯蔵タンク。
前記供給手段は、前記換気用ガスとして不活性ガス又は乾燥空気を供給することを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載の貯蔵タンク。
前記耐薬品性シート及び前記通気性シートは、同一の材料から構成されていることを特徴とする付記1乃至4のいずれか1項に記載の貯蔵タンク。
缶体と、
前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、
前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、
前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、
前記通気性シート内の気体を排気する排気手段と、
を有する貯蔵タンクに対し、
前記貯蔵タンク内の気圧を測定するステップと、
前記換気用ガスの通流経路の気圧を測定するステップと、
前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧を測定するステップと、
前記貯蔵タンク内の気圧、前記換気用ガスの通流経路の気圧及び前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧に基づいて、前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行うステップと、
を有することを特徴とする貯蔵タンクの制御方法。
貯蔵タンクに貯蔵された薬液を用いて半導体基板のエッチングを行う工程を有し、
前記貯蔵タンクとして、
缶体と、
前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、
前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、
前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、
前記貯蔵タンク内の気体を排気する排気手段と、
を有するものを用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。
1a:排気口
1b:吸気口
2:通気性シート
3:耐薬品性シート
4:薬液
5:制御部
6:排気管
7:吸気管
Claims (4)
- 缶体と、
前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、
前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、
前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、
前記通気性シート内の気体を排気する排気手段と、
前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行う制御手段と、
前記貯蔵タンク内の第1の気圧を測定する第1の気圧測定手段と、
前記換気用ガスの通流経路の第2の気圧を測定する第2の気圧測定手段と、
前記排気手段により排気される気体の通流経路の第3の気圧を測定する第3の気圧測定手段と、
を有し、
前記制御手段は、
前記第1の気圧と前記第2の気圧との第1の比較を行い、
前記第1の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧より大きい場合には、前記第2の気圧と前記第3の気圧との第2の比較を行い、
前記第1の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧以下の場合には、前記供給手段による供給量を前記第1の比較時のものより小さくした後に、前記第1の気圧と前記第2の気圧との第3の比較を行い、
前記第3の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧より大きい場合には、前記第2の比較を行い、
前記第2の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧より大きい場合には、前記換気用ガスの流量と予め設定されている流量との第4の比較を行い、
前記第2の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧以下の場合には、前記排気手段による排気量を前記第2の比較時のものより大きくするか、又は前記供給手段による供給量を前記第2の比較時のものより小さくした後に、前記第2の気圧と前記第3の気圧との第5の比較を行い、
前記第5の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧より大きい場合には、前記第4の比較を行い、
前記第4の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量より大きければ、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がないか判断し、
前記排気手段により排気される気体の成分に異常がなければ、前記第1の比較に戻ることを特徴とする貯蔵タンク。 - 前記制御手段は、
前記第3の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧以下、
前記第4の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量以下、又は
前記第5の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧以下、
のいずれかの条件が満たされた場合には、換気に異常がある旨の警報を発し、
前記排気手段により排気される気体の成分に異常がある場合には、故障が生じている旨の警報を発することを特徴とする請求項1に記載の貯蔵タンク。 - 缶体と、
前記缶体の内面に貼り付けられた耐薬品性シートと、
前記缶体と前記耐薬品性シートとの間に設けられた通気性シートと、
前記通気性シートに対して換気用ガスを供給する供給手段と、
前記通気性シート内の気体を排気する排気手段と、
前記貯蔵タンク内の第1の気圧を測定する第1の気圧測定手段と、
前記換気用ガスの通流経路の第2の気圧を測定する第2の気圧測定手段と、
前記排気手段により排気される気体の通流経路の第3の気圧を測定する第3の気圧測定手段と、
を有する貯蔵タンクに対し、
前記貯蔵タンク内の気圧を測定するステップと、
前記換気用ガスの通流経路の気圧を測定するステップと、
前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧を測定するステップと、
前記貯蔵タンク内の気圧、前記換気用ガスの通流経路の気圧及び前記排気手段により排気される気体の通流経路の気圧に基づいて、前記供給手段及び前記排気手段の動作の制御を行うステップと、
を有し、
前記制御を行うステップは、
前記第1の気圧と前記第2の気圧との第1の比較を行うステップと、
前記第1の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧より大きい場合には、前記第2の気圧と前記第3の気圧との第2の比較を行うステップと、
前記第1の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧以下の場合には、前記供給手段による供給量を前記第1の比較時のものより小さくした後に、前記第1の気圧と前記第2の気圧との第3の比較を行うステップと、
前記第3の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧より大きい場合には、前記第2の比較を行うステップと、
前記第2の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧より大きい場合には、前記換気用ガスの流量と予め設定されている流量との第4の比較を行うステップと、
前記第2の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧以下の場合には、前記排気手段による排気量を前記第2の比較時のものより大きくするか、又は前記供給手段による供給量を前記第2の比較時のものより小さくした後に、前記第2の気圧と前記第3の気圧との第5の比較を行うステップと、
前記第5の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧より大きい場合には、前記第4の比較を行うステップと、
前記第4の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量より大きければ、前記排気手段により排気される気体の成分に異常がないか判断するステップと、
前記排気手段により排気される気体の成分に異常がなければ、前記第1の比較に戻るステップと、
を有することを特徴とする貯蔵タンクの制御方法。 - 前記制御を行うステップは、
前記第3の比較において前記第1の気圧が前記第2の気圧以下、
前記第4の比較において前記換気用ガスの流量が予め設定されている流量以下、又は
前記第5の比較において前記第2の気圧が前記第3の気圧以下、
のいずれかの条件が満たされた場合には、換気に異常がある旨の警報を発するステップと、
前記排気手段により排気される気体の成分に異常がある場合には、故障が生じている旨の警報を発するステップと、
を有することを特徴とする請求項3に記載の貯蔵タンクの制御方法。
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JP2008018083A JP5167837B2 (ja) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 貯蔵タンク及びその制御方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008018083A JP5167837B2 (ja) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 貯蔵タンク及びその制御方法 |
Publications (2)
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JP2009179335A JP2009179335A (ja) | 2009-08-13 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008018083A Expired - Fee Related JP5167837B2 (ja) | 2008-01-29 | 2008-01-29 | 貯蔵タンク及びその制御方法 |
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- 2008-01-29 JP JP2008018083A patent/JP5167837B2/ja not_active Expired - Fee Related
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