JP5165010B2 - コンテインメント装置のポート構成部材及びコンテインメント装置 - Google Patents
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Description
この特許文献1に開示されたコンテインメント装置は、チャンバーの両側面、上面、下面、及びこれらを接合するフレーム部分は、基本的には金属板で構成されているが、正面側には(場合によっては背面側にも)強化ガラス又はプラスチック製の透明板がはめ込まれ、内部が観察できるようになっている。そして、このコンテイメント装置に封じ込められた各種処理装置を用いて上記の作業を行なう場合は、透明板を円形又は楕円形にくり抜いて開口を形成し、そこに固定された筒状のポートに取り付けられたゴム又はプラスチック製のアームグローブに腕を挿入して行なっている。
ここで、上記透明軟質合成樹脂シートは、フレームの前面,後面,側面等に張設されたものであっても、封じ込める機器のほぼ全体又は機器の封じ込めを必要とする部分全体を覆う袋状のものであってもよい。
また、上記筒状部材は、断面が円形又は楕円形が好ましい。
ここで、上記透明軟質合成樹脂シートは、フレームの前面,後面,側面等に張設されたものであっても、封じ込める機器のほぼ全体又は機器の封じ込めを必要とする部分全体を覆う袋状のものであってもよい。
また、上記筒状部材は、断面が円形又は楕円形が好ましい。
ここで、上記環状溝にOリングを介して嵌着される軟質合成樹脂部材としては、アームグローブ,封じ込めバッグ等が挙げられる。
一方、外側筒状部材22は、端部内周縁全周に亘る切欠き22aが形成され、外周面に2本の環状溝22b,22cが形成されている。
ここで、内側筒状部材21と外側筒状部材22の材質としては、高密度ポリエチレン(HDPE)、テトラフルオロエチレン等の各種合成樹脂材料であることが好ましいが、ステンレス等の金属材料であってもよい。また、内側筒状部材22の爪21bのみを比較的柔らかい合成樹脂材料で形成する等、異種材料の組合せ、異種材料を接合して用いてもよい。
より詳しくは、透明軟質合成樹脂シート4を挟んでチャンバー6側に内側筒状部材21を置き、チャンバー6の外側に外側筒状部材22を置き、透明軟質合成樹脂シート4を表裏から挟む状態で内側筒状部材21の爪21bを外側筒状部材22の切欠き22aに係合するまで両筒状部材21,22を相手方に押し付け、内側筒状部材21の外周面に外側筒状部材22を嵌合させる。そして、内側筒状部材21の内周面に沿って透明軟質合成樹脂シート4を切り取り、ポート形成孔4aを形成する。なお、以下に示す他の実施形態の各ポート構成部材の取付方法も、同様である。
一方、外側筒状部材32は、端部に放射方向へ延びる爪32aを備えている。
この図において、52(52a,52b)はアームグローブ、70は該アームグローブの取付用のポート構成部材、53はバグフィルター交換用の封じ込めバッグ、80は該封じ込めバッグの取付用のポート構成部材である。これらのポート構成部材70,80の構成は、上記したポート構成部材20と同一である。
一方、外側筒状部材92は、端部に放射方向へ延びる爪92aを備えている。
一方、外側筒状部材102は、端部に放射方向へ延びる爪102aを備えている。
また、このポート構成部材100は、その内側筒状部材101の孔101aに、末端にコンセント部を有する電源ケーブルの端部(図示せず)を挿通することにより、電源ケーブル接続用のポート構成部材としても使用することができる。
2 フレーム
2a,2b 開口
2c,2d 突起
2e 天井板
2f 底板
2g 側板
3a,3b クリップ
4 透明軟質合成樹脂シート
4a,4b,4c ポート形成孔
5 透明軟質合成樹脂シート
5a ポート形成孔
6 チャンバー
7,7a,7b,7x アームグローブ
8,8x,8y 封じ込めバッグ
9 吸気フィルター部
10 操作盤
11 排気フィルター部
12,12x フィルター
13,13x 工具
20 ポート構成部材
21 内側筒状部材(一方の筒状部材)
21a フランジ
21b 爪
22 外側筒状部材(他方の筒状部材)
22a 切欠き
22b,22c 環状溝
23a,23b,23x,23y Oリング
30 ポート構成部材
31 内側筒状部材(一方の筒状部材)
31a 通気孔
31b 切欠き
31c 爪
32 外側筒状部材(他方の筒状部材)
32a 爪
33 フィルター
34 環状スペーサー
50 コンテインメント装置
51 透明軟質合成樹脂シート
51a,51b ポート形成孔
52,52a,52b アームグローブ
53 封じ込めバッグ
54 ワイヤー
55 天井
56 柱
57 洗浄ノズル
57a 雄ねじ部
57b ナット
60 バグコレクター
70,80 ポート構成部材
90 ポート構成部材
91 内側筒状部材(一方の筒状部材)
91a 孔
91b 切欠き
91c 爪
92 外側筒状部材(他方の筒状部材)
92a 爪
93 アイボルト
100 ポート構成部材
101 内側筒状部材(一方の筒状部材)
101a 孔
101b 切欠き
101c 爪
102 外側筒状部材(他方の筒状部材)
102a 爪
Claims (7)
- チャンバーの少なくとも一部を画成する透明軟質合成樹脂シートに形成されたポート形成孔の周縁を外周面に嵌着させる一方の筒状部材と、上記透明軟質合成樹脂シートのポート形成孔の周縁を挟むようにして上記一方の筒状部材に外嵌させる他方の筒状部材とを備えたコンテインメント装置のポート構成部材であって、上記一方の筒状部材は、一端部にフランジを備え、他端部に放射方向に突出する爪を備え、上記他方の筒状部材は、上記一方の筒状部材の爪に対応する位置に、上記爪に係合する切欠きを備え、上記他方の筒状部材を上記一方の筒状部材のフランジと上記爪との間に拘束させるようにしたことを特徴とする、コンテインメント装置のポート構成部材。
- 上記他方の筒状部材の外周面にOリングを嵌着させる環状溝を形成したことを特徴とする、請求項1に記載のコンテインメント装置のポート構成部材。
- 上記他方の筒状部材の環状溝を複数本形成したことを特徴とする、請求項2に記載のコンテインメント装置のポート構成部材。
- チャンバーの少なくとも一部を画成し、その一部にポート形成孔を有する透明軟質合成樹脂シートを備え、上記透明軟質合成樹脂シートのポート形成孔の周縁を一方の筒状部材の外周面に嵌着させ、上記透明軟質樹脂シートのポート形成孔の周縁を挟むようにして上記一方の筒状部材に他方の筒状部材を外嵌させたコンテインメント装置であって、上記一方の筒状部材は、一端部にフランジを備え、他端部に放射方向に突出する爪を備え、上記他方の筒状部材は、上記一方の筒状部材の爪に対応する位置に、上記爪に係合する切欠きを備え、上記他方の筒状部材を上記一方の筒状部材のフランジと上記爪との間に拘束させるようにしたことを特徴とする、コンテインメント装置。
- 上記他方の筒状部材の外周面に環状溝を形成し、上記他方の筒状部材の外周面に軟質合成樹脂部材の端部を嵌着させるとともに、上記軟質合成樹脂部材を挟むようにして上記環状溝にOリングを嵌着させたことを特徴とする、請求項4に記載のコンテインメント装置。
- 上記他方の筒状部材の環状溝を複数本形成したことを特徴とする、請求項5に記載のコンテインメント装置。
- 上記チャンバーが、封じ込める機器のほぼ全体又は機器の封じ込めを必要とする部分の全体を覆う袋状の透明軟質合成樹脂シートで画成されていることを特徴とする,請求項4〜6のいずれかに記載のコンテインメント装置。
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