JP5162828B2 - 大気圧プラズマ処理方法及び装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の大気圧プラズマ処理装置の第1の実施形態について、図1〜図9を参照しながら説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ処理装置の第2の実施形態について、図10を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明においては、先行する実施形態と同一の構成要素について同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点について説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ処理装置の第3の実施形態について、図11〜図13を参照して説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ処理装置の第4の実施形態について、図14、図15を参照して説明する。
2 被処理物
3 搬送コンベア(移動手段)
4 大気圧ブラズマ発生部
5 処理開始認識手段
6 処理終了認識手段
7 ガス供給部
8 流量制御部
9 高周波発生部
10 制御部
11 プラズマ
12 流量コントローラ
13 圧力調整手段
14 不活性ガス供給部
15 流量制御部
16 反応性ガス供給部
17 流量制御部
31 ガス供給通路
32 混合領域
41 大気圧プラズマ処理装置
51 大気圧プラズマ処理装置
Claims (7)
- 所定の空間にガスを供給し、前記所定の空間に高周波電圧を印加して大気圧近傍でプラズマを発生させ、プラズマにて被処理物を処理する大気圧プラズマ処理方法において、
プラズマにて処理する被処理物を大気圧プラズマ発生部に対して相対的に移動させる移動手段と、大気圧プラズマ発生部に対して、前記移動手段の移動方向の上手側配置された、被処理物に対するプラズマ処理開始のタイミングを認識する処理開始認識手段からの信号を入力とし、被処理物に対する処理開始決定により、プラズマ処理に必要な流量である処理流量までガスの流量を増加させて被処理物をプラズマ処理し、
大気圧プラズマ発生部に対して、前記移動手段の移動方向の下手側配置された、被処理物に対するプラズマ処理終了のタイミングを認識する処理終了認識手段からの信号を入力とし、被処理物に対する処理終了決定により、前記処理流量より少ない流量であってプラズマを安定して点灯可能な最小の流量である点灯流量までガスの流量を減少させ、次の処理開始決定までガスの流量を前記点灯流量に維持させることにより、プラズマ処理の開始時にプラズマを再点灯する必要がないように制御部により制御することを特徴とする大気圧プラズマ処理方法。 - 前記制御部は、前記処理終了認識手段からの信号により、更に、印加する高周波電圧の電力をプラズマ点灯を維持した状態で低下させることを特徴とする請求項1記載の大気圧プラズマ処理方法。
- 供給するガスは、アルゴン、ネオン、キセノン、ヘリウム、窒素から選択された単独ガス又は複数の混合ガスからなる不活性ガスを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の大気圧プラズマ処理方法。
- 供給するガスに、反応性ガスを含むことを特徴とする請求項3記載の大気圧プラズマ処理方法。
- 所定の空間にガスを供給し、前記所定の空間に高周波電圧を印加して大気圧近傍でプラズマを発生させる大気圧プラズマ発生部と、高周波電圧を発生させる高周波発生部と、ガスを供給するガス供給部と、所定の空間に流すガス流量を制御する流量制御部と、プラズマにて処理する被処理物を大気圧プラズマ発生部に対して相対的に移動させる移動手段と、前記大気圧プラズマ発生部に対して、前記移動手段の移動方向の上手側配置された、被処理物に対するプラズマ処理開始のタイミングを認識する処理開始認識手段と、前記大気圧プラズマ発生部に対して、前記移動手段の移動方向の下手側配置された、被処理物に対するプラズマ処理終了のタイミングを認識する処理終了認識手段と、処理開始認識手段と処理終了認識手段からの信号を入力とし、流量制御部による流量制御を指令する制御部とを備え、
前記制御部は、前記処理開始認識手段からの信号により、プラズマ処理に必要な流量である処理流量までガスの流量を増加させて被処理物をプラズマ処理し、前記処理終了認識手段からの信号により、前記処理流量より少ない流量であってプラズマを安定して点灯可能な最小の流量である点灯流量までガスの流量を減少させ、次の処理開始決定までガスの流量を前記点灯流量に維持させることにより、プラズマ処理の開始時にプラズマを再点灯する必要がないことを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。 - 前記制御部が、前記処理流量、前記点灯流量を記憶しておき、前記処理開始認識手段からの信号によりガス流量を前記処理流量に増加させ、前記処理終了認識手段からの信号によりガス流量を前記点灯流量に減少させるように制御することを特徴とする請求項5記載の大気圧プラズマ処理装置。
- 前記制御部は、前記処理終了認識手段からの信号により、更に、印加する高周波電圧の電力をプラズマ点灯を維持した状態で低下させることを特徴とする請求項5又は6記載の大気圧プラズマ処理装置。
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