JP5152111B2 - 集束イオンビーム加工装置用プローブ、プローブ装置、及びプローブの製造方法 - Google Patents
集束イオンビーム加工装置用プローブ、プローブ装置、及びプローブの製造方法 Download PDFInfo
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(1)集束イオンビーム加工装置において、試料をマニピュレート操作するためのプローブ装置の先端部材として用いる集束イオンビーム加工装置用プローブであって、前記プローブ装置に設けた支持部の内部に挿通する線材の先端部に形成され、該線材は順次先端方向へ送り出すことにより前記支持部への挿入深さが任意の位置で固定され、前記支持部に取り付けられる固定部から先端までの断面が同一半径の円である細長い円柱状の線材の先端に、nを0または正の整数として、断面の多角形が前記線材の断面の円より小さくかつ互いに異なるn個の多角柱が前記線材の中心軸上に同軸に先端に向けて多角形の断面が小さく極細になっていく順に継ぎ足された形状、若しくは、断面の円の半径が前記線材の断面の半径より小さくかつ互いに異なるn個の円柱が前記線材の中心軸上に同軸に先端に向けて半径が小さく極細になっていく順に継ぎ足された形状であることを特徴とする集束イオンビーム加工装置用プローブ。
(2)前記線材の断面の半径が10μm以上30μm以下であることを特徴とする(1)に記載の集束イオンビーム加工装置用プローブ。
(3)前記nが0であることを特徴とする(1)または(2)に記載の集束イオンビーム加工装置用プローブ。
(4)前記nが1であり、前記継ぎ足された多角柱の断面の縦および横寸法、若しくは、前記継ぎ足された円柱の断面の半径が1μm以上5μm以下であることを特徴とする(1)または(2)に記載の集束イオンビーム加工装置用プローブ。
(5)前記nが2であり、前記継ぎ足された最先端部の多角柱の断面の縦および横寸法、若しくは、前記継ぎ足された最先端部の円柱の断面の半径が0.1μm以上1μm以下であることを特徴とする(1)または(2)に記載の集束イオンビーム加工装置用プローブ。
(6)(1)〜(5)のいずれか1項に記載のプローブを用いた集束イオンビーム加工装置用プローブ装置であって、前記固定部が前記支持部に挿入され、前記固定部の挿入深さが任意の位置で固定可能であることを特徴とする集束イオンビーム加工装置用プローブ装置。
(7)前記nが1以上のとき、(1)、(2)、(4)、(5)のいずれか1項に記載の集束イオンビーム加工装置用プローブの先端を極細多角柱形状、或いは円柱形状に加工するために、その先端部を導体部分に接触させてイオンビーム加工することを特徴とするプローブの製造方法。
2 イオンビーム光学系
3 画像表示装置
4 ガスデポジション機構
5 二次電子検出器
6 試料ステージ
7 試料
9 プローブ装置
10 プローブ装置先端部
11 プローブ
12 ベローズ
15 線材
16 管状ホルダー
17 導電性ペースト
18 固定部
21 針状プローブ
31 試料支持台
Claims (7)
- 集束イオンビーム加工装置において、試料をマニピュレート操作するためのプローブ装置の先端部材として用いる集束イオンビーム加工装置用プローブであって、
前記プローブ装置に設けた支持部の内部に挿通する線材の先端部に形成され、該線材は順次先端方向へ送り出すことにより前記支持部への挿入深さが任意の位置で固定され、前記支持部に取り付けられる固定部から先端までの断面が同一半径の円である細長い円柱状の線材の先端に、nを0または正の整数として、断面の多角形が前記線材の断面の円より小さくかつ互いに異なるn個の多角柱が前記線材の中心軸上に同軸に先端に向けて多角形の断面が小さく極細になっていく順に継ぎ足された形状、若しくは、断面の円の半径が前記線材の断面の半径より小さくかつ互いに異なるn個の円柱が前記線材の中心軸上に同軸に先端に向けて半径が小さく極細になっていく順に継ぎ足された形状であることを特徴とする集束イオンビーム加工装置用プローブ。 - 前記線材の断面の半径が10μm以上30μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の集束イオンビーム加工装置用プローブ。
- 前記nが0であることを特徴とする請求項1または2に記載の集束イオンビーム加工装置用プローブ。
- 前記nが1であり、前記継ぎ足された多角柱の断面の縦および横寸法、若しくは、前記継ぎ足された円柱の断面の半径が1μm以上5μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の集束イオンビーム加工装置用プローブ。
- 前記nが2であり、前記継ぎ足された最先端部の多角柱の断面の縦および横寸法、若しくは、前記継ぎ足された最先端部の円柱の断面の半径が0.1μm以上1μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の集束イオンビーム加工装置用プローブ。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローブを用いた集束イオンビーム加工装置用プローブ装置であって、
前記固定部が前記支持部に挿入され、前記固定部の挿入深さが任意の位置で固定可能であることを特徴とする集束イオンビーム加工装置用プローブ装置。 - 前記nが1以上のとき、請求項1、2、4、5のいずれか1項に記載の集束イオンビーム加工装置用プローブの先端を極細多角柱形状、或いは円柱形状に加工するために、その先端部を導体部分に接触させてイオンビーム加工することを特徴とするプローブの製造方法。
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