JP5152055B2 - 光記録媒体及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、光記録媒体及びその製造方法に係わり、追記型の光記録媒体に用いて好適なものである。
従来の赤色レーザを使用した追記型光ディスクにおいては、記録層に有機色素を使用していた。
しかし、青色レーザを使用した追記型光ディスクにおいては、青色レーザを照射できる適切な有機色素がないため、無機材料を使用することが検討されている。
無機材料を使用する場合には、充分な反射率を得るためや、レーザ照射による熱を放射させる目的で、記録層を多層膜により形成することが提案されている（例えば、特許文献１を参照）。
特開２００７−１５７３１４号公報
しかしながら、多層膜により記録層を形成すると、多層膜の成膜に時間を要すると共に、数個の成膜室を備えた高価な成膜装置を必要とする。
そのため、光ディスクの製造コストが増大してしまう。
上述した問題の解決のために、本発明においては、光記録媒体の製造コストを低減することを可能にする光記録媒体及びその製造方法を提供するものである。
本発明の光記録媒体は、基板と、この基板上に形成され、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含み、酸素原子がＩｎ及びＳｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多く含有されている記録層と、この記録層上に形成された光透過層とを含むものである。
本発明の光記録媒体の製造方法は、基板上に記録層が形成され、記録層上に光透過層が形成された光記録媒体を製造する方法である。そして、Ｉｎ２Ｏ３ターゲットとＳｎＯ２ターゲットとＰｄターゲットとを使用して、酸素ガスを流しながら、スパッタ法により、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層を、基板上に形成する工程を含む。
上述の本発明の光記録媒体の構成によれば、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層の、酸素の含有量がＩｎ及びＳｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多くなっている。これにより、少なくとも一部のＰｄ原子には酸素原子が結合していることになり、酸素の含有量等により、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することが可能になり、記録層の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
また、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層は、１層のみで記録層を構成することが可能であり、無機材料の多層膜を記録層に採用した場合と比較して、記録層を構成する層の数を低減することができる。
上述の本発明の光記録媒体の製造方法によれば、スパッタ法により記録層を形成する工程において、酸素ガスを流すことにより、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層における、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することができる。これにより、記録層の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
本発明の光記録媒体によれば、酸素の含有量等により、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することが可能になり、記録層の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
また、本発明の光記録媒体の製造方法によれば、記録層の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
従って、本発明により、記録層の透過率及び反射率を最適化して、良好な記録特性を有する光記録媒体を実現することができる。
そして、本発明では、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層を形成するので、１層のみで記録層を構成することが可能であることから、記録層を構成する層の数を低減して、光記録媒体の製造コストを低減することができる。
本発明の光記録媒体の第１の実施の形態の概略構成図（断面図）である。 本発明の光記録媒体の第２の実施の形態の概略構成図（断面図）である。 本発明の光記録媒体の第２の実施の形態の変形例の概略構成図（断面図）である。 各試料の記録パワーとジッターとの関係を示す図である。 各試料の記録パワーと変調度との関係を示す図である。 酸素の流量による、記録層の反射率Ｒ及び透過率Ｔの変化を示す図である。
以下、発明を実施するための最良の形態（以下、実施の形態とする）について説明する。
なお、説明は以下の順序で行う。
１．本発明の概要
２．第１の実施の形態
３．第２の実施の形態
４．変形例
５．実験例
＜１．本発明の概要＞
本発明の光記録媒体は、基板と、基板上に形成された記録層と、記録層上に形成された光透過層とを含む。そして、記録層は、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含み、酸素の含有量がＩｎ及びＳｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多くなっている構成である。
本発明の光記録媒体の製造方法は、基板上に形成された記録層と、記録層上に形成された光透過層とを含む光記録媒体を製造するときの、記録層を形成する工程に特徴を有している。そして、この記録層を形成する工程において、Ｉｎ２Ｏ３ターゲットと、ＳｎＯ２ターゲットと、Ｐｄターゲットとを使用して、酸素ガスを流しながら、スパッタ法により、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層を形成する。
本発明の光記録媒体において、基板の材料としては、例えば、光ディスク等の光記録媒体に通常使用されている基板材料を使用することができる。具体的には、ポリカーボネート樹脂等が挙げられる。
本発明の光記録媒体において、光透過層は、いわゆるカバー層と呼ばれる層である。
情報の記録や情報の読み出しの際には、この光透過層（カバー層）の側から記録層へレーザ光を照射する。
この光透過層の材料としては、例えば、ＵＶレジン（紫外線硬化樹脂）を紫外線照射により硬化させたものを使用することができる。
光透過層は、ＵＶレジン（紫外線硬化樹脂）を塗布した後に、紫外線を照射してＵＶレジンを硬化させることにより、形成することができる。
本発明の光記録媒体において、記録層は、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む。
Ｉｎ、Ｓｎ、Ｐｄ、酸素の各成分の含有率は、特に限定されず、任意の含有率とすることが可能である。
記録層の各成分の含有率は、記録層の形成方法の原料や条件を変えることにより、制御することが可能である。スパッタ法によって記録層を形成する場合には、使用するターゲットの組成、各ターゲットに加える電力量、形成時に流すガスの種類と流量等の条件を変えることによって、制御することが可能である。
本発明の光記録媒体の記録層は、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含むので、レーザ光等を照射することにより、照射された部分の反射率を変化させることができる。これにより、反射率が変化して周囲とは反射率が異なる部分を、記録マークとして形成することができるので、記録層に情報を記録することができる。
また、本発明の光記録媒体の記録層は、酸素の含有量がＩｎ及びＳｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多くなっている。これにより、記録層中に含有されているＰｄ原子のうち、少なくとも一部のＰｄ原子には酸素原子が結合していることになる。そして、酸素の含有量等により、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することが可能になるため、Ｐｄと酸素との結合状態を制御して記録層の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
このとき、記録層中のＰｄ原子には、Ｐｄ原子単独で存在して酸素原子と結合していないもの（Ｐｄ）と、１つの酸素原子と結合しているもの（ＰｄＯ）と、２つの酸素原子と結合しているもの（ＰｄＯ２）の３つの状態がある。そして、酸素の含有量により、これらのうち、１つ〜３つの状態が存在している。
酸素原子と結合していない状態のＰｄ原子の比率が高いと、金属的な特性が強くなるため、記録層の透過率が低くなり、記録層の反射率が高くなる。一方、酸素原子と結合している状態のＰｄ原子の比率が高いと、酸化物的な特性が強くなるため、記録層の透過率が高くなり、記録層の反射率が低くなる。
ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層をスパッタ法により形成する際に、酸素ガスを流すと、酸素ガスの流量によって、形成される記録層中の酸素の含有量を制御することができる。これにより、記録層中のＰｄと酸素との結合状態を制御することができる。
また、酸素ガスの流量は、任意の量とすることが可能であるが、より好ましくは、酸素ガスの流量を１０ｓｃｃｍ〜１００ｓｃｃｍの範囲内とする。
光記録媒体の大容量化を考えた場合に、記録層を２層（Ｄｕａｌ）にすれば、当然容量は２倍になる。現在の光ディスクでは、１層構造の場合の記録容量が２５ＧＢであり、２層構造の場合の記録容量が５０ＧＢである。
記録層が２層以上である多層の光記録媒体を実現するためには、最も光の入射側、即ち、最も光透過層側にある記録層の反射率及び透過率を制御することが、非常に重要である。この記録層の反射率及び透過率を制御することにより、基板側の他の記録層に良好な記録を行うことが可能になる。
本発明の光記録媒体の製造方法において、２層以上の記録層を形成する場合には、少なくとも１層の記録層を形成する際には、酸素ガスを流しながら、スパッタ法により、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層を形成する。これにより、この記録層の透過率及び反射率を、所望の値に制御することが可能になる。
２層以上の記録層を設ける場合、少なくとも１層の記録層は、本発明に係る記録層の構成、即ち、酸素の含有量がＩｎ及びＳｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多い、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層とする。
なお、それ以外の他の記録層の構成及び形成方法については、特に限定されない。
他の記録層を、同様にＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層としても、全く異なる材料や記録方式の記録層としても、いずれでも構わない。
他の記録層も含めて、２層以上の記録層をＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層とした場合には、追記型記録の記録容量を増大させることができる。また、この場合に、それぞれの記録層で、酸素ガスの流量を変えることにより、透過率及び反射率を変えることも可能である。
本発明における、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層は、特に、一回だけ記録する、追記型の記録を行う記録層に用いて好適である。
また、このＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層は、１層のみで記録層を構成することが可能であり、無機材料の多層膜を記録層に採用した場合と比較して、記録層を構成する層の数を低減することができる。これにより、光記録媒体の材料コスト及び製造コストを低減して、安価に光記録媒体を構成することができる。
本発明の光記録媒体は、通常光記録媒体として採用されているディスク形状とすることができるが、カード形状等、その他の形状とすることも可能である。
＜２．第１の実施の形態＞
本発明の光記録媒体の第１の実施の形態の概略構成図（断面図）を、図１に示す。
この光記録媒体１０は、基板１上に情報の記録を行うための記録層２が形成され、記録層２上に光透過層３が形成されて成る。
光記録媒体１０は、従来の光ディスクと同様の、ディスク形状とすることができる。また、光記録媒体１０に、カード形状等、その他の形状を採用することも可能である。
基板１の材料としては、例えば、ポリカーボネート樹脂を使用することができる。
光透過層（いわゆるカバー層）３の材料としては、例えば、ＵＶレジン（紫外線硬化樹脂）を紫外線照射により硬化させたものを使用することができる。
本実施の形態の光記録媒体１０においては、特に、記録層２が、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含み、酸素の含有量がＩｎ及びＳｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多くなっている。
このような記録層２は、例えば、スパッタ法により、Ｉｎ２Ｏ３ターゲットと、ＳｎＯ２ターゲットと、Ｐｄターゲットとを使用して、酸素ガスを流すことにより、形成することができる。
また、記録層２の酸素の含有量がＩｎ及びＳｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多くなっているので、記録層２中に含有されているＰｄ原子のうち、少なくとも一部のＰｄ原子には酸素原子が結合していることになる。
そして、酸素の含有量等により、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することが可能になるため、Ｐｄと酸素との結合状態を制御して記録層２の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
本実施の形態の光記録媒体１０は、例えば、以下のようにして製造することができる。
まず、例えば、ポリカーボネート樹脂から成る基板１を用意する。光記録媒体１０を例えばディスク形状とする場合には、トラッキング用の溝を表面に形成した基板１を作製する。
次に、基板１上に、スパッタ法により、Ｉｎ２Ｏ３ターゲットと、ＳｎＯ２ターゲットと、Ｐｄターゲットとを使用して、酸素ガスを流しながら、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層２を形成する。
次に、記録層２の上に、ＵＶレジン（紫外線硬化樹脂）を塗布する。その後、紫外線を照射してＵＶレジンを硬化させることにより、光透過層３を形成することができる。
このようにして、図１に示す光記録媒体１０を製造することができる。
上述の本実施の形態の光記録媒体１０によれば、記録層２の酸素の含有量がＩｎ及びＳｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多くなっている。これにより、記録層２中に含有されているＰｄ原子のうち、少なくとも一部のＰｄ原子には酸素原子が結合していることになる。そして、酸素の含有量等により、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することが可能になるため、Ｐｄと酸素との結合状態を制御して、記録層２の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
また、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層２は、１層のみで記録層２を構成することが可能であり、無機材料の多層膜を記録層に採用した場合と比較して、記録層２を構成する層の数を低減することができる。これにより、光記録媒体１０の材料コスト及び製造コストを低減して、安価に光記録媒体１０を構成することができる。
本実施の形態の光記録媒体１０の前述した製造方法によれば、スパッタ法により、酸素ガスを流しながら、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層２を形成している。
このように、酸素ガスを流すことにより、記録層２における、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することができる。これにより、記録層２の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
従って、本実施の形態により、記録層２の透過率及び反射率を最適化して、良好な記録特性を有する光記録媒体１０を実現することができる。
上述の実施の形態の光記録媒体１０は、基板１と記録層２と光透過層３によって構成されていたが、本発明においては、光記録媒体のコストがあまり増大しない範囲であれば、その他の層（例えば、保護層）を有していても構わない。
＜３．第２の実施の形態＞
本発明の光記録媒体の第２の実施の形態の概略構成図（断面図）を、図２に示す。
この光記録媒体２０は、基板１と光透過層３との間に、２層の記録層２，５が形成されて成る。２層の記録層２，５の間には、中間層４が形成されている。
その他の構成は、図１に示した第１の実施の形態の光記録媒体１０と同様である。
２層の記録層のうち、最も光の入射側、即ち、最も光透過層３側にある上層の記録層５がＬ１層となり、下層の記録層２がＬ０層となる。
基板１及び光透過層３の材料は、第１の実施の形態の光記録媒体１０と同様の材料を使用することができる。
中間層４の材料としては、記録層２，５へ記録を行うレーザ光の透過率が高い材料を使用する。例えば、ＵＶレジン（紫外線硬化樹脂）を紫外線照射により硬化させたものを使用することができる。
本実施の形態の光記録媒体２０においては、特に、最も光透過層３側の記録層（Ｌ１層）５が、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含み、酸素の含有量がＩｎ及びＳｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多くなっている。
記録層（Ｌ１層）５は、例えば、スパッタ法により、Ｉｎ２Ｏ３ターゲットと、ＳｎＯ２ターゲットと、Ｐｄターゲットとを使用して、酸素ガスを流すことにより、形成することができる。
また、記録層（Ｌ１層）５の酸素の含有量等により、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することが可能になるため、Ｐｄと酸素との結合状態を制御して記録層（Ｌ１層）５の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
なお、下層の記録層（Ｌ０層）２の構成は、特に限定されない。
上層の記録層（Ｌ１層）５と同様に、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層としても、全く異なる材料や記録方式の記録層としても、いずれでも構わない。
下層の記録層（Ｌ０層）２を、上層の記録層（Ｌ１層）５と同様に、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層とした場合には、追記型記録の記録容量を２倍に増やすことができる。
下層の記録層（Ｌ０層）２を、上層の記録層（Ｌ１層）５とは全く異なる記録方式の記録層（例えば、再生専用の記録層や書き換え可能な記録層）とした場合には、２層の記録層２，５で異なる機能を実現することができる。
本実施の形態の光記録媒体２０は、例えば、以下のようにして製造することができる。
まず、例えば、ポリカーボネート樹脂から成る基板１を用意する。光記録媒体１０を例えばディスク形状とする場合には、トラッキング用の溝を表面に形成した基板１を作製する。
次に、基板１上に、スパッタ法により、下層の記録層（Ｌ０層）２を形成する。
次に、記録層（Ｌ０層）２の上に、ＵＶレジン（紫外線硬化樹脂）を塗布する。その後、紫外線を照射してＵＶレジンを硬化させることにより、中間層４を形成することができる。
次に、中間層４の上に、スパッタ法により、Ｉｎ２Ｏ３ターゲットと、ＳｎＯ２ターゲットと、Ｐｄターゲットとを使用して、酸素ガスを流しながら、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む上層の記録層（Ｌ１層）５を形成する。
次に、記録層（Ｌ１層）５の上に、ＵＶレジン（紫外線硬化樹脂）を塗布する。その後、紫外線を照射してＵＶレジンを硬化させることにより、光透過層３を形成することができる。
このようにして、図２に示す光記録媒体２０を製造することができる。
ここで、下層の記録層（Ｌ０層）２を、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層とする場合には、Ｌ０層２とＬ１層５とで、各ガスの流量を変えることにより、透過率及び反射率を各記録層２，５で変えることも可能である。
上述の本実施の形態の光記録媒体２０によれば、記録層（Ｌ１層）５の酸素の含有量がＩｎ及びＳｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多くなっている。これにより、記録層（Ｌ１層）５中に含有されているＰｄ原子のうち、少なくとも一部のＰｄ原子には酸素原子が結合していることになる。そして、酸素の含有量等により、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することが可能になるため、Ｐｄと酸素との結合状態を制御して、記録層（Ｌ１層）５の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
また、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層（Ｌ１層）５は、１層のみで記録層５を構成することが可能であり、無機材料の多層膜を記録層に採用した場合と比較して、記録層５を構成する層の数を低減することができる。これにより、光記録媒体２０の材料コスト及び製造コストを低減して、安価に光記録媒体２０を構成することができる。
下層の記録層（Ｌ０層）２も、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む構成とした場合には、２層の記録層２，５において、構成する層の数を低減することができるため、光記録媒体２０の材料コスト及び製造コストをさらに低減することができる。
本実施の形態の光記録媒体２０の前述した製造方法によれば、スパッタ法により、酸素ガスを流しながら、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層（Ｌ１層）５を形成している。
このように、酸素ガスを流すことにより、記録層（Ｌ１層）５における、Ｐｄと酸素との結合状態を制御することができる。これにより、記録層（Ｌ１層）５の透過率及び反射率を所望の値に制御することが可能になる。
従って、本実施の形態により、特にＬ１層となる記録層５の透過率及び反射率を最適化することができ、２層の記録層２，５を有し、かつ良好な記録特性を有する光記録媒体２０を実現することができる。
上述の実施の形態の光記録媒体２０は、基板１、記録層２、中間層４、記録層５、光透過層３の５層によって構成されていたが、本発明においては、光記録媒体のコストがあまり増大しない範囲であれば、その他の層（例えば、保護層）を有していても構わない。
また、上述の実施の形態の光記録媒体２０では、上層の記録層（Ｌ１層）５をＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層として、下層の記録層（Ｌ０層）２を任意の構成の記録層とするように説明した。
これに対して、下層の記録層（Ｌ０層）２をＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層として、上層の記録層（Ｌ１層）を任意の構成の記録層としてもよく、本発明はそのような構成も含むものである。
＜４．変形例＞
第２の実施の形態では、記録層を２層有する構造としていたが、本発明では記録層を３層以上有する構造とすることも可能である。
第２の実施の形態の変形例として、記録層を３層有する構造とした光記録媒体の断面図を、図３に示す。
図３に示すように、この光記録媒体３０は、基板１と光透過層３との間に、３層の記録層２，５，６が形成されて成る。３層の記録層２，５，６のそれぞれの間には、中間層４が形成されている。３層の記録層２，５，６のうち、最も光透過層３側にある最上層の記録層６がＬ２層となり、真ん中の記録層５がＬ１層となり、最下層の記録層２がＬ０層となる。
この構成の場合、３層の記録層２，５，６のうち少なくとも１層の記録層について、第２の実施の形態における記録層（Ｌ１層）５について説明したように、本発明の構成及び製造方法を適用すればよい。
＜５．実験例＞
［実験１．酸素ガスの流量による、光記録媒体の特性の変化］
実際に、光記録媒体を作製して、記録層の反射率及び透過率を調べた。
（試料１）
図１の光記録媒体１０を、以下のようにして作製した。
基板１として、ディスク形状の厚さ１．１ｍｍのポリカーボネート樹脂を用意した。
次に、この基板１上に、スパッタ法により、記録層２として、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ膜を膜厚４０ｎｍで形成した。このとき、ターゲットとしては、Ｉｎ２Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｐｄの３つのターゲットを使用した。また、アルゴンガスの流量を８０ｓｃｃｍとし、酸素ガスの流量を２０ｓｃｃｍとして、それぞれのガスを流しながら、各ターゲットのスパッタ電力をコントロールすることで組成を調整して、スパッタを行った。組成は、Ｉｎ２Ｏ３：ＳｎＯ２＝９：１、（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）：Ｐｄ＝８：２、となるように調整した。このようにして、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｐｄ−Ｏ膜の単層の記録層２を形成した。
さらに、記録層２の上に紫外線硬化樹脂を塗布して、紫外線照射により硬化させることにより、厚さ１００μｍの光透過層３を形成して、ディスク形状であり、図１に示した断面構造の光記録媒体１０を作製した。これを、光記録媒体１０の試料１とした。
（試料２）
アルゴンガスの流量を７０ｓｃｃｍとし、酸素ガスの流量を３０ｓｃｃｍとして、その他は試料１と同様にして、図１に示した構造の光記録媒体１０を作製した。これを、光記録媒体１０の試料２とした。
（試料３）
アルゴンガスの流量を６０ｓｃｃｍとし、酸素ガスの流量を４０ｓｃｃｍとして、その他は試料１と同様にして、図１に示した構造の光記録媒体１０を作製した。これを、光記録媒体１０の試料３とした。
（記録特性の評価）
作製した試料１〜試料３の各試料の光記録媒体に対して、レーザ光を照射して、記録層２への情報の記録を行った。
具体的には、１Ｘ記録（１倍速；４．９２ｍ／ｓ）にて、光記録媒体１０の連続５トラックに記録を行った。
中央のトラック（３番目のトラック）のジッターを評価した。
また、記録パワーを変えて、その記録パワーにおけるジッターを測定した。
測定結果として、各試料の記録パワーとジッターとの関係を、図４に示す。
図４に示すように、酸素ガスを流して記録層を形成する際に、酸素ガスの流量を多くして十分に酸素を供給することにより、ジッターが大きく低減することがわかる。また、流量を２０ｓｃｃｍから３０ｓｃｃｍに増やすと、曲線が横に拡がり、記録パワーマージンが大きく拡大していることがわかる。
また、各試料の変調度を測定した。
測定結果として、各試料の記録パワーと変調度との関係を、図５に示す。
図５に示すように、酸素の流量が少ないものは、変調度が５５％程度とまだ小さなところで飽和しているのに対し、酸素の流量を多くしたものは、７０〜８０％程度の非常に大きな変調度を示すことが分かった。
以上のことから、酸素の流量を多くして、酸素を多く供給することにより、記録特性が大幅に向上することが分かった。
中央のトラック（３番目のトラック）において、記録後の記録層２の反射率及び透過率を測定した。反射率に関しては記録再生装置で測定し、透過率に関しては基板のグルーブ面をエリプソにて測定している。
測定結果として、記録層２の形成時の酸素ガスの流量（２０〜４０ｓｃｃｍ）による、記録層２の反射率Ｒ及び透過率Ｔの変化を、図６に示す。
図６より、酸素ガス（Ｏ２）の流量の増大に伴い、透過率はそれほど変化しないが、反射率は増大していくことがわかった。つまり、記録層２の吸収率は酸素ガスの量の増大にともない減少し、これがジッターの低減と記録パワーマージンの増大とに繋がったと考えられる。
実際に、作製した光記録媒体の記録層をＸＰＳにて分析したところ、Ｉｎは完全に酸化されたＩｎ２Ｏ３という形で存在しており、Ｓｎも完全に酸化されたＳｎＯ２という形で存在していることがわかった。
また、Ｐｄについては、Ｐｄ単体、ＰｄＯ、ＰｄＯ２の３つの状態で存在していることが分かり、膜中の酸素の量は、Ｉｎ及びＳｎが完全に酸化される量以上に入っていることがわかった。
ここで、試料１と試料２の光記録媒体の各試料について、ＸＰＳを使用することにより、記録層２の表面付近のＰｄ原子の状態として、ＰｄとＰｄＯとＰｄＯ２の３つの状態の比率を測定した。
測定結果を、表１に示す。
Figure 0005152055
表１より、酸素ガスの流量を３０ｓｃｃｍとした試料２では、酸素ガスの流量が２０ｓｃｃｍの試料１と比較すると、ＰｄＯ２の状態の比率が増えている。また、試料２では酸素原子と結合していないＰｄ原子がなくなっている。
この結果から、酸素ガスの流量により、Ｐｄと酸素との結合状態を制御して、記録層の反射率及び透過率を制御することが可能になることが推測される。
上述した実験例は、記録層を１層のみとして光記録媒体を作製していたが、図２及び図３に示した２層以上の記録層を有する光記録媒体を作製しても同様に、記録層の反射率及び透過率を制御することが可能になることが推測される。
本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
１ 基板、２，５，６ 記録層、３ 光透過層、４ 中間層、１０，２０，３０ 光記録媒体

Claims (5)

  1. 基板と、
    前記基板上に形成され、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含み、酸素原子が前記Ｉｎ及び前記Ｓｎが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多く含有されている記録層と、
    前記記録層上に形成された光透過層とを含む
    光記録媒体。
  2. ２層以上の前記記録層が各前記記録層の間に中間層を挟んで形成されている、請求項１に記載の光記録媒体。
  3. 基板上に記録層が形成され、前記記録層上に光透過層が形成された光記録媒体を製造する方法であって、
    Ｉｎ２Ｏ３ターゲットとＳｎＯ２ターゲットとＰｄターゲットとを使用して、酸素ガスを流しながら、スパッタ法により、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む前記記録層を、前記基板上に形成する工程を含む
    光記録媒体の製造方法。
  4. 前記酸素ガスの流量を１０ｓｃｃｍ以上１００ｓｃｃｍ以下とする請求項３に記載の光記録媒体の製造方法。
  5. 前記基板上に２層以上の記録層を各記録層の間に中間層を挟んで形成し、２層以上の記録層のうち少なくとも１層において、Ｉｎ２Ｏ３ターゲットとＳｎＯ２ターゲットとＰｄターゲットとを使用して、酸素ガスを流しながら、スパッタ法により、ＩｎとＳｎとＰｄと酸素とを含む記録層を形成する、請求項３に記載の光記録媒体の製造方法。
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