JP5150684B2 - 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態に係る半導体発光素子を例示する模式断面図である。
図1に示すように、半導体発光素子1には、基板2、半導体層3(第1の半導体層)、発光層4、半導体層5(第2の半導体層)、透光層6、透光性電極7、電極8、電極9、絶縁層10が設けられている。
また、周縁領域には突起部2aが形成され、中央領域には突起部2bが形成されている。なお、突起部2a、突起部2bに関する詳細については後述する。
発光層4は、正孔および電子が再結合して光を発生する井戸層と、井戸層よりも大きなバンドギャップを有する障壁層(クラッド層)と、によって構成された量子井戸構造とすることができる。
この場合、単一量子井戸(SQW;Single Quantum Well)構造としてもよいし、多重量子井戸(MQW;Multiple Quantum Well)構造としてもよい。また、単一量子井戸構造のものを複数積層するようにしてもよい。
多重量子井戸構造のものとしては、GaN(窒化ガリウム)からなる障壁層、InGaN(窒化インジウムガリウム)からなる井戸層、GaN(窒化ガリウム)からなる障壁層、InGaN(窒化インジウムガリウム)からなる井戸層、GaN(窒化ガリウム)からなる障壁層がこの順で積層されたものを例示することができる。
この場合、前述した半導体層3を障壁層とすることもできる。
なお、発光層4は量子井戸構造に限定されるわけではなく、発光可能な構造を適宜選択することができる。
半導体層5は、p形となるようにドープされた半導体(p形半導体)からなるものとすることができる。この場合、p形の窒化物半導体からなるものとすることができる。窒化物半導体としては、例えば、GaN(窒化ガリウム)、AlN(窒化アルミニウム)、AlGaN(窒化アルミニウムガリウム)、InGaN(窒化インジウムガリウム)などを例示することができる。
透光層6は、入射した光を透過させる。例えば、発光層4から発せられ透光層6に入射した光や基板2などにより反射され透光層6に入射した光を透過させる。そのため、透光層6は光を透過させることのできる材料から形成されている。
また、透光層6は、透過部7aに露出した半導体層5の表面を絶縁する。
透光層6は、例えば、SiO2(二酸化シリコン)から形成されたものとすることができる。
なお、透光層6は必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜設けるようにすることができる。例えば、透過部7aが貫通していない場合や、透過部7aに露出した半導体層5の表面を絶縁する必要がない場合には透光層6を設けないようにすることもできる。
この場合、透光性電極7は、例えば、ITO(Indium Tin Oxide;酸化インジウムスズ)などからなるものとすることができる。
透過部7aは、透光性電極7における光の吸収を低減させて光取り出し効率(light extraction efficiency)を向上させるために設けられる。なお、透過部7aに関する詳細は後述する。
電極9は、半導体層3上に形成されている。電極9は、例えば、Al(アルミニウム)/Ti(チタン)の二重層などの金属材料からなるものとすることができる。
図2は、比較例に係る半導体発光素子の要部を例示する模式断面図である。なお、図2は、基板202の半導体層3側の主面に突起部202aを等ピッチ寸法で設けた場合を例示する模式断面図である。
図2に示すように、半導体発光素子200には、基板202、半導体層3、発光層4、半導体層5が設けられ、基板202の半導体層3側の主面には突起部202aが等ピッチ寸法で設けられている。
この場合、基板202の中央領域において入射した光L10は、基板202の半導体層3側とは反対側の主面に入射することになるため、基板202の半導体層3側とは反対側の主面において入射した光の一部が反射され、残りが基板202の外部に向けて出射される。なお、反射された光は基板202内を反射しながら伝播して基板202の端部から外部に向けて出射される。そのため、光の減衰量が増加し、光取り出し効率が低下することになる。
図3(a)は突起部のピッチ寸法P、高さ寸法H、突起部側面の角度θを例示するための模式図、図3(b)は突起部のピッチ寸法P、高さ寸法H、突起部側面の角度θと、光の透過率との関係を例示するための模式グラフ図である。なお、図3(b)中の線Aは突起部が設けられていない場合、B1は突起部の高さ寸法Hが0.5μm、突起部側面の角度θが80°の場合、B2は突起部の高さ寸法Hが1μm、突起部側面の角度θが80°の場合、C1は突起部の高さ寸法Hが0.5μm、突起部側面の角度θが60°の場合、C2は突起部の高さ寸法Hが1μm、突起部側面の角度θが60°の場合である。
また、高さ寸法Hを小さくすれば光の透過率を低くすることができる。これは、高さ寸法Hを小さくすれば光の反射率を高くすることができることをも意味する。またこのことは、突起部のピッチ寸法Pを大きくするほど顕著となる。
また、突起部側面の角度θを大きくすれば光の透過率を低くすることができる。これは、突起部側面の角度θを大きくすれば光の反射率を高くすることができることをも意味する。またこのことは、突起部のピッチ寸法Pを大きくするほど顕著となる。
一方、突起部のピッチ寸法Pを大きくすれば、透過光の分布範囲、反射光の分布範囲を狭めることができる。これは、突起部のピッチ寸法Pを大きくすれば、回折により曲がる成分が少なくなり0次光となる成分が多くなるからであると考えられる。
図7は、基板の領域に応じて突起部のピッチ寸法Pを変化させた場合について例示をするための模式平面図である。なお、図7(a)は図1における基板2の周縁領域の様子を例示する模式平面図、図7(b)は図1における基板2の中央領域の様子を例示する模式平面図である。
そのため、基板2の周縁領域における突起部2aのピッチ寸法Paを2μmを超え、6μm以下とすることができる。
そのため、基板2の中央領域における突起部2bのピッチ寸法Pbを2μm以下とすることができる。
そのため、基板2の周縁領域における突起部2aの側面の角度θを60°以下とすることができる。
なお、発光層4から半導体層5側に出射した光L3は、半導体層5、透光層6、透光性電極7を介して外部に出射される。
また、突起部のピッチ寸法P、高さ寸法H、突起部側面の角度θの少なくともいずれかを徐々に変化させるようにしてもよい。
図8は、他の実施形態に係る突起部2a1、2b1を例示するための模式平面図である。なお、図8(a)は図1における基板2の周縁領域の様子を例示する模式平面図、図8(b)は図1における基板2の中央領域の様子を例示する模式平面図である。
なお、ピッチ寸法を一定とした場合には、「ピッチ寸法」と「平均ピッチ寸法」とが等しいものとなる。そのため、本明細書においては、「平均ピッチ寸法」に前述した「ピッチ寸法」が含まれるものとする。
図9は、透過部7aを例示するための模式図である。なお、図9(a)は模式斜視図、図9(b)は図9(a)におけるD部の模式拡大図である。
前述したように、発光層4から半導体層5側に出射した光L3や基板2により反射された光L1は、透光性電極7を介して外部に出射される。そのため、透光性電極7はITO(Indium Tin Oxide;酸化インジウムスズ)などの光を透過させることのできる材料から形成される。
そのため、本実施の形態においては、透光性電極7に光をより透過させ易い透過部7aを設けることで光の吸収を抑制させて光取り出し効率を向上させるようにしている。
なお、図10(a)は厚み350nmの透光層6がSiO2(二酸化シリコン)から形成され、厚み170nmの透光性電極7がITO(Indium Tin Oxide;酸化インジウムスズ)から形成された場合である。
図10(b)は厚み350nmの透光層6がSiO2(二酸化シリコン)から形成され、厚み70nmの透光性電極7がITO(Indium Tin Oxide;酸化インジウムスズ)から形成された場合である。
また、図10(a)の「E1」、図10(b)の「F1」は透過部7aが設けられていない場合である。図10(a)の「E2」、図10(b)の「F2」は透光性電極7を貫通する透過部7aをマトリクス状に設け、開口率を27%とした場合である。
図10(b)において、「F1」と「F2」とを比較すると、光取り出し効率を3%程度向上させることができることが分かる。
また、光の吸収が大きくなる厚みの厚い透光性電極7に透過部7aを設けるようにすれば、光取り出し効率の向上をより効果的に行うことができることが分かる。
なお、透光性電極7を貫通する透過部7aを例示したが、透光性電極7を貫通しない凹状の透過部としてもよい。例えば、有底の孔状や溝状の透過部としてもよい。凹状の透過部とすれば、透過部を透過する光の吸収が増加するが、電極としての特性(順方向降下電圧Vfや電流の広がりなど)を向上させることができる。そのため、透光性電極7が設けられる領域に電流が流れやすいように、凹状の透過部を設けるようにしてもよい。
図11は、他の実施形態に係る透光性電極を例示するための模式平面図である。
図11(a)は縦溝状の透過部17aを有する透光性電極17、図11(b)は横溝状の透過部27aを有する透光性電極27、図11(c)は四角柱の周りに設けられた溝状の透過部37aを有する透光性電極37、図11(d)は円柱の周りに設けられた溝状の透過部47aを有する透光性電極47、図11(e)は大きさの異なる円柱の周りに設けられた溝状の透過部57aを有する透光性電極57を例示する模式平面図である。
この様に、任意の平面形状からなる透過部を有する透光性電極とすることができる。
また、透過部の大きさ、配設ピッチ寸法、数、開口率などは、電極としての特性(順方向降下電圧Vfや電流の広がりなど)を考慮しつつ適宜決定するようにすることができる。
本実施の形態に係る半導体発光素子の製造方法は、例えば、基板の半導体層3が設けられる側の主面(第1の主面)に、当該主面の周縁に沿った周縁領域(第1の領域)と、周縁領域よりも当該主面の中心側に周縁領域における反射率よりも高い反射率を有する中央領域(第2の領域)と、を形成する工程と、基板の当該主面の上に半導体層3(第1の半導体層)を形成する工程と、半導体層3の上に発光層4を形成する工程と、発光層4の上に半導体層5(第2の半導体層)を形成する工程と、を備えたものとすることができる。
すなわち、突起部のピッチ寸法、高さ寸法、突起部側面の角度などを変化させることで、光の透過率または反射率を変化させることができる。
そのため、周縁領域、中央領域における反射率、または、周縁領域、中央領域における透過率が前述した関係となるような突起部を周縁領域、中央領域にそれぞれ形成するようにすることができる。
なお、突起部のピッチ寸法、高さ寸法、突起部側面の角度などに関しては、前述したものと同様のため詳細な説明は省略する。
また、半導体層3、発光層4、半導体層5の形成には、既知の成膜法、例えば、有機金属気相成長法(MOCVD法)、分子線結晶成長法(MBE法)、ハライド系気相成長法(HVPE法)、スパッタ法、イオンプレーティング法などを用いることができる。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、または、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、半導体発光素子1が備える各要素の形状、寸法、材質、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
Claims (8)
- 第1の主面の周縁に沿って設けられた第1の領域と、前記第1の領域よりも前記第1の主面の中心側に設けられた第2の領域と、を有する基板と、
前記基板の第1の主面の上に設けられた第1の半導体層と、
前記第1の半導体層の上に設けられた発光層と、
前記発光層の上に設けられた第2の半導体層と、
前記第2の半導体層の上に設けられた透光性電極と、
を備え、
前記第1の主面には、複数の突起部が設けられ、
前記第2の領域における突起部の平均ピッチ寸法は、前記第1の領域における突起部の平均ピッチ寸法よりも小さく、
前記第1の領域における突起部の平均ピッチ寸法は、2μmを超え、6μm以下であること、を特徴とする半導体発光素子。 - 前記第1の領域の幅寸法は、前記基板の厚み寸法以下であることを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
- 前記突起部の高さ寸法、および突起部側面の角度の少なくともいずれかが前記第1の領域と前記第2の領域とで異なること、を特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光素子。
- 前記第2の領域における反射率は、前記第1の領域における反射率よりも高いこと、を特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記第1の領域における透過率は、前記第2の領域における透過率よりも高いこと、を特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記透光性電極は、凹状の透過部を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記透光性電極は、前記透光性電極を貫通する透過部を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 基板の第1の主面に、前記第1の主面の周縁に沿った第1の領域と、前記第1の領域よりも前記第1の主面の中心側に第2の領域と、を形成する工程と、
前記基板の第1の主面の上に第1の半導体層を形成する工程と、
前記第1の半導体層の上に発光層を形成する工程と、
前記発光層の上に第2の半導体層を形成する工程と、
を備え、
前記第1の領域と、前記第2の領域と、を形成する工程において、
前記第1の主面には、複数の突起部を形成し、
前記第2の領域における突起部の平均ピッチ寸法は、前記第1の領域における突起部の平均ピッチ寸法よりも小さくされ、
前記第1の領域における突起部の平均ピッチ寸法は、2μmを超え、6μm以下とされること、を特徴とする半導体発光素子の製造方法。
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