JP5147618B2 - 評価方法及び露光装置 - Google Patents
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Description
20 原版ステージ
30 投影光学系
40 基板ステージ
M1、M2 原版
Claims (9)
- 原版のパターンの像を基板上に投影する投影光学系と、
露光に使用されるパターンを持つ露光用原版と、前記投影光学系の光学性能の評価に使用されるパターンを持つ評価用原版と、を搭載する原版ステージと、
前記原版ステージを走査方向である第1方向に駆動させる第1駆動機構と、
前記評価用原版を前記原版ステージ上で駆動させる第2駆動機構と、
を有し、
前記評価用原版の前記第1方向と直交する方向である第2方向の幅は、前記露光用原版の第2方向の幅よりも短く、
前記第2駆動機構は、前記評価用原版を第2方向に駆動させることを特徴とする露光装置。 - 前記露光用原版の照明領域を照明する照明光学系を更に有し、
前記評価用原版の第2方向の幅は、前記露光用原版の照明領域の第2方向の幅よりも短いことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記評価用原版の第1方向の幅は、前記露光用原版の第1方向の幅よりも短いことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記露光用原版は少なくとも250mmよりも大きい辺を有し、前記評価用原版は一辺が50mm以上250mm以下に設定されていることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか一項に記載の露光装置。
- 露光用原版の露光用パターンの像を投影光学系で基板上に投影し、前記露光用原版及び前記基板を走査方向である第1方向に移動して前記基板を走査露光する露光装置の前記投影光学系の光学性能を評価する評価方法であって、
前記投影光学系の光学性能の評価に使用される評価用パターンを持つ評価用原版を前記第1方向と直交する第2方向に移動するステップと、
前記評価用パターンの像を前記投影光学系で投影するステップと、
を有し、
前記評価用原版の第2方向の幅は、前記露光用原版の第2方向の幅よりも短いことを特徴とする評価方法。 - 前記投影光学系の露光で使用される範囲に前記評価用原版が移動した後、
前記評価用原版の前記評価用パターンの像を前記投影光学系で投影し、
前記投影光学系で投影された前記評価用パターンの像に基づいて、前記投影光学系の光学性能を評価することを特徴とする請求項5に記載の評価方法。 - 前記評価用原版を照明する照明領域は前記露光用原版を照明する照明領域よりも小さいことを特徴とする請求項5又は6に記載の評価方法。
- 前記評価用原版を駆動する駆動機構を含む前記投影光学系以外の部材が露光結果に与える影響を相殺するように前記投影光学系を予め調節するステップを更に有することを特徴とする請求項5〜7のうちいずれか一項に記載の評価方法。
- 請求項1〜4のうちいずれか一項に記載された露光装置を用いて基板を露光するステップと、
露光された基板を現像するステップと、
を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
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