JP5146414B2 - 孔内の検査用プローブおよび検査装置 - Google Patents

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Description

本発明は、孔内の検査に用いる検査用プローブおよび該検査用プローブを備える検査装置の技術に関する。
従来、目視では視認することができない程度の細さに形成された孔の内面を確認するための装置として、ボアスコープやファイバースコープ等の装置が開発されており、広く採用されている。これらの装置を用いることによって、孔の内面の状態(即ち、傷の有無や残留物の有無等)を視認により確認したり、あるいは、孔の内面の画像を撮影したりすることが可能になる。
ところで、従来の孔の内面を検査するための装置は、孔に挿入可能なプローブ部を備えており、該プローブ部の先端部分には、孔の内面の画像を取得するための画像取り込み部と、孔の内面を光を照射するための光源部が備えられている。
そして、孔の内面を撮影するためには、光源部によって光を照射することによって、孔の内面を一定以上の照度として、これにより、孔の内面の視認および画像の撮影が可能となるものである。しかしながら、光源部から照射された光が孔の内面で反射して、直接画像取り込み部に入射すると、撮影した画像にハレーションが発生し、孔の内面の視認および画像の撮影がうまくできないという問題があった。尚、ハレーションとは、強い光を撮影したときに、その光の周囲の画像がぼやける現象をいう。
そこで、このようなハレーションを防止するための技術として、例えば、以下の特許文献1に示す技術が知られており、公知となっている。
特許文献1に示された従来技術では、光源部において発生した光を導くための導光体を備える構成としており、これにより、導光体の内部で光を拡散させて、画像取り込み部に対して直接入射する反射光を低減することができる。
特開2007−130048号公報
しかしながら、特許文献1に示された従来技術では、ハレーションの発生を防止することはできるが、孔の内面の照度が不足してしまい、結局孔の内面がうまく視認および撮影できない場合があった。
本発明は、このような現状の課題を鑑みてなされたものであり、光源部から照射される光が直接画像取り込み部に入射することを防止しつつ、孔の内面を十分な照度に照らし出すことができる孔内の検査用プローブおよび検査装置を提供することによって、孔の内面の状態を的確に把握できるようにすることを目的としている。
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
即ち、請求項1においては、可撓性を有するケーブル状の部位であり撮影対象たる孔に挿入される挿入部を有するファイバースコープと、前記挿入部が挿通可能な孔である挿通孔が形成されるサヤ管と、を備えた孔内の検査用プローブであって、前記挿入部の先端部には、前記孔の内面の映像を取り込むための部位であって、前記挿入部の軸心方向に対して、略垂直な方向に視野を有する画像取り込み部と、前記孔の内面に光を照射するための部位であって、前記画像取り込み部の視野に対して、前記光を照射する光源部とが備えられ、前記挿入部を、前記挿通孔に挿通するとともに、前記サヤ管によって、前記画像取り込み部と前記光源部とが配置される前記挿入部の前記先端部を、前記サヤ管の軸心から、前記視野の方向に対して垂直な方向にオフセットした状態で前記サヤ管の外部に露出させて保持するものである。
請求項2においては、前記先端部を、前記サヤ管において該サヤ管の軸心からオフセットして形成する、前記先端部を保持するための保持孔に挿通して、保持するものである。
請求項3においては、請求項1または請求項2に係る前記検査用プローブと、該検査用プローブを、前記サヤ管の軸心方向に往復変位させる往復変位手段と、前記検査用プローブを、前記サヤ管の軸心周りに回転させる回転駆動手段と、を備えるものである。
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
請求項1においては、孔の内面を光源部によって十分な照度で照らし出すことができるとともに、光源部から照射した光が、孔の内面で反射して直接画像取り込み部に入射することが確実に防止できる。これにより、ハレーションの発生が防止でき、孔の内面の状態を的確に把握することができる。
請求項2においては、挿入部を、測定対象たる孔の軸心に対して容易にオフセットさせることができる。
請求項3においては、ハレーションの発生がない状態で孔の内面の画像を撮影することができ、的確に孔の内面の状態を検査することができる。
本発明の一実施例に係る検査装置の全体構成を示す模式図。 本発明の一実施例に係る検査装置における検査用プローブの支持状態を示す模式図。 本発明の一実施例に係る検査用プローブを示す模式図。 本発明の一実施例に係る検査用プローブを構成するファイバースコープを示す模式図。 本発明の一実施例に係る検査用プローブを構成するサヤ管を示す模式図、(a)サヤ管の全体構成を示す模式図、(b)サヤ管の全体構成を示す断面模式図、(c)キャップの別実施態様を示す模式図。 本発明の一実施例に係る検査用プローブにおけるキャップと孔との関係を示す模式図。 本発明の一実施例に係る検査用プローブを構成するサヤ管の取付治具を示す模式図。 本発明の一実施例に係る検査用プローブにおけるサヤ管の取り付け状態および孔に対するサヤ管の挿入状態を示す断面模式図。 本発明の一実施例に係る検査用プローブにおける光源部から照射した光の反射状態を示す模式図。 従来の検査用プローブ(ファイバースコープ)における光源部から照射した光の反射状態を示す模式図、(a)軸心方向視における模式図、(b)側面方向視における模式図。 本発明の一実施例に係る検査装置における孔内面の撮影状況を示す模式図、(a)撮影状況を示す平面および側面断面模式図、(b)生成した孔内面の展開図を示す模式図。
次に、発明の実施の形態を説明する。
まず始めに、本発明の一実施例に係る検査装置について、図1および図2を用いて説明をする。
図1に示す如く、本発明の一実施例に係る検査装置1は、検査者が目視では確認することが困難な孔の内面の画像を撮影することができる装置であり、また、撮影した画像に基づいて、孔の内面における傷の有無や切粉等の残留物の有無を検査することができる装置である。
本実施例に示す検査装置1は、エンジンを構成するシリンダブロック2に形成される給油孔3の内部(内面)を検査する用途に用いられる装置であり、フレーム4、往復変位装置5、回転駆動装置6、検査用プローブ7、制御装置8等を備えている。尚、本発明に係る検査装置の用途はこれに限定するものではなく、検査対象物の種類を問わず、孔の内面の検査の用途に広く適用することができる。
図1および図2に示す如く、フレーム4は、検査装置1の各構成物品を支持するための構造体を形成する部位であり、フレーム本体4aおよび支持脚4b・4b・・・等からなる構成としている。そしてフレーム4は、検査対象物であるシリンダブロック2との関係において、相対的な姿勢および位置が所定の配置となるよう位置決めして配置される。
本実施例では、フレーム4を、シリンダブロック2の搬送経路たるコンベア10を跨ぐ態様で配置し、フレーム本体4aの下方において、コンベア10によって所定の姿勢で搬送されてくるシリンダブロック2を所定の位置で位置決めして停止させることによって、フレーム本体4aとシリンダブロック2の相対的な姿勢および位置を所定の配置状態に保持する構成としている。
尚、本発明に係る検査装置におけるフレームの配置態様は、本実施例の態様に限定されるものではなく、フレームが、検査対象物に対して側方や下方に配置される態様であってもよい。また、所定の姿勢で停止している検査対象物に対して、フレームを変位させるとともに位置決めして停止させることによって、フレームと検査対象物との相対的な位置および姿勢を所定の配置状態に保持する構成とすることも可能である。
そして、フレーム4とシリンダブロック2が所定の配置状態に保持されているときには、フレーム4から突設されるガイドブッシュ11が、検査対象部位となる給油孔3に対応する位置に配置される。ガイドブッシュ11は、いわゆる姿見の役割を果たす部位であり、ステー11bを介してフレーム4に固定されている。また、ガイドブッシュ11には、後述するサヤ管17を挿入する位置の基準となる孔11aが形成されている。
そして、ガイドブッシュ11は、フレーム4とシリンダブロック2が所定の配置状態に保持された状態において、ガイドブッシュ11の孔11aの軸心と、シリンダブロック2の給油孔3の軸心を一致させるようにして、シリンダブロック2から一定距離だけ離間した位置に配置される。
これにより、孔11aの軸心に沿ってガイドブッシュ11に挿入される部材は、確実にシリンダブロック2の給油孔3に沿って挿入されることになる。
つまり、ガイドブッシュ11を用いることによって、給油孔3に対する芯出し作業を容易に行うことが可能になる。
図1および図2に示す如く、往復変位装置5は、フレーム本体4aに対して後述する回転駆動装置6を支持する役割を果たすとともに、該回転駆動装置6を往復変位させることができる部位であり、ガイドレール5a、支持部5b、モータ5c等を備えている。
往復変位装置5は、モータ5cにより発生する回転力をガイドレール5aに対して平行な方向への直線的な変位に変換する機構を備えており、モータ5cを駆動することによって、ガイドレール5a上に支持される支持部5bをガイドレール5aに沿って、往復方向に変位させることができる装置である。
尚、本発明に係る検査装置に備えられる往復変位装置の構成は、本実施例の構成に限定するものではなく、例えば、駆動源としてアクチュエータを採用し、該アクチュエータの伸縮作用を利用して、往復変位を実現する構成とすることも可能である。
また、往復変位装置5は、ガイドレール5aが、フレーム4に対して支持軸12によって、回動可能に支持されており、フレーム4に対する往復変位装置5の仰角を自由に変更することが可能であるとともに、一定の仰角を成す状態を保持することが可能な構成としている。
回転駆動装置6は、往復変位装置5に対して、後述する検査用プローブ7を支持する役割を果たすとともに、該検査用プローブ7を軸心回りに回転駆動することができる装置であり、本体部6a、駆動モータ6b、駆動ギア6c、従動ギア6d等からなる構成としている。
本体部6aは、回転駆動装置6を往復変位装置5に対して固定するための基部6eと、該基部6eから立設され、検査用プローブ7および駆動モータ6bのモータ軸6fを支持するための各孔6g・6hが形成される支持部6jと、該支持部6jから突設される駆動モータ6bを支持するためのプレート部6k等を備えている。
そして、本体部6aの孔6gにおいて、ベアリング13・13・・・および介設部材14・15等を介して検査用プローブ7を回転可能に支持し、本体部6aの孔6hにおいて、ベアリング13・13・・を介してモータ軸6fを回転可能に支持する構成としている。
そして、介設部材14上に固設される従動ギア6dは、モータ軸6f上に固設される駆動ギア6cと噛合している。
これにより、駆動モータ6bを駆動することによって、駆動ギア6cが回転し、この回転力が、従動ギア6dを介して検査用プローブ7に伝達されるため、検査用プローブ7を回転駆動することができる。
尚、本発明に係る検査装置に備えられる回転駆動機構の構成は、本実施例の構成に限定されるものではなく、例えば、駆動モータによる回転駆動力を、Vベルトを介して検査用プローブに伝達する構成とする等、その他様々な構成である回転駆動機構を採用することができる。
検査用プローブ7は、サヤ管17を備えており、該サヤ管17の軸心を、従動ギア6dの回転軸心に一致させた状態で、回転駆動装置6に対して、回転可能な状態で支持されている。そして、検査用プローブ7は、往復変位装置5によって、ガイドレール5aに沿って、往復変位可能な状態で支持されている。
図1に示す如く、制御装置8は、往復変位装置5、回転駆動装置6、検査用プローブ7等と接続されている。そして、制御装置8によって、往復変位装置5および回転駆動装置6の動作を制御することにより、検査用プローブ7の位置(即ち、サヤ管17の挿入位置および挿入深さ)や回転角度(即ち、サヤ管17の回転位相)等を調整することができる。
また、検査用プローブ7によって撮影された給油孔3の内面の画像は、制御装置8に取り込まれ、制御装置8によって、撮影した画像データの表示・解析・保存等を行うことができる。具体的には、制御装置8によれば、サヤ管17の回転位相が異なる角度として撮影した複数の画像データを結合することができ、これにより、給油孔3内面の展開図(図10参照)を生成することが可能である。
ここで、本発明の一実施例に係る検査装置に備えられる検査用プローブについて、図3〜図8を用いて説明をする。
図3に示す如く、検査用プローブ7は、ファイバースコープ16、サヤ管17、取付治具18、マウント部19、ラインセンサカメラ20等によって構成されている。
図4に示す如く、ファイバースコープ16は、本体部21、挿入部22、光源装置23等からなる装置であり、挿入部22の先端部22aには、画像取り込み部24、光源部25を備えている。
本体部21は、内部に光を伝達するためのファイバ芯線等が収容されており、この各種のファイバ芯線は挿入部22の内部に連続している。挿入部22は、可撓性を有するケーブル状の部位であり、曲がった孔の内部にも挿入しやすい態様に構成されている。
挿入部22の先端部22aに備えられる画像取り込み部24は、図示しない対物レンズを備えており、本体部21および挿入部22に内蔵される図示しないファイバ芯線の一端部が該対物レンズに接続されている。これにより、対物レンズの視野に存在する光(画像)をファイバ芯線を介して本体部21に伝達することができる。
そして、本体部21に伝達された画像は、マウント部19を介して本体部21に接続するラインセンサカメラ20に伝達される。
これにより、画像取り込み部24の視野の画像をラインセンサカメラ20によって、撮影することができる構成としている。
また、挿入部22の先端部22aに備えられる光源部25は、先端部22aの外部に露出する透明体によって形成されており、本体部21および挿入部22に内蔵される図示しないファイバ芯線の一端部が光源部25に接続され、他端部には、光源装置23が接続される構成としている。そして、光源装置23によって発生させた光を、ファイバ芯線を介して光源部25に伝達することによって、光源部25から光を照射することができる構成としている。これにより、外部からの光が届きにくい給油孔3の内面に対して光源部25から光を照射することができ、給油孔3の内部において、撮影に適した照度を確保することができる。
図5(a)に示す如く、サヤ管17は、可撓性がある挿入部22の姿勢を直線状に保持する役割を果たす部位であり、本体部17a、取付部17b、キャップ17c等からなる構成としている。
また、図5(b)に示す如く、本体部17aは、細管状の部材であり、挿入部22が挿通可能な径である挿通孔17dが形成されている。また、取付部17bは、ファイバースコープ16から挿入部22が突出する部位の形状に合わせて挿通孔17dに比して拡径された部位である拡径部17eが形成されている。
キャップ17cは、サヤ管17の先端部分に設けられる部位であり、挿入部22の先端部22aをサヤ管17から外部に露出させるとともに、保持することができる保持孔17fが形成されている。本実施例では、保持孔17fは、キャップ17cの軸心から距離aだけオフセットさせた位置に形成されており、該キャップ17cが本体部17aに装着された状態において、保持孔17fの軸心がサヤ管17の軸心に対して距離aだけオフセットする構成としている。また、キャップ17cに形成される保持孔17fは、図5(c)に示すように、サヤ管17の軸心に対して傾斜させた態様で形成することも可能である。
このように、キャップ17cに保持孔17fを形成し、該保持孔17fによって、挿入部22(先端部22a)を保持する構成とすることにより、容易かつ確実に、画像取り込み部24および光源部25を、給油孔3の軸心に対してオフセットさせることが可能になる。
尚、ここで言うオフセットとは、基準となる軸芯(ここでは、給油孔3の軸心およびキャップ17cの軸心)に対して、対象部位(ここでは、保持孔17f、先端部22a、画像取り込み部24、光源部25等)がその軸心上に位置していない状態にあることを意味している。
またキャップ17cは、ハレーションを防止するために必要なオフセット量を確保するための役割を果たす部位となっている。
図6に示す如く、給油孔3およびキャップ17cの直径をそれぞれRおよびr、保持孔17fのサヤ管17の軸心に対するオフセット量をa、係るオフセット量の下限値をzとするとき、キャップ17cの直径rを、以下の数式1を満たす値に設定するようにしている。
オフセット量が小さいと、ハレーションを効果的に防止することができないため、一定値以上のオフセット量を安定的に確保することが望ましいためである。
Figure 0005146414
これにより、例えば、ガイドブッシュ11の軸心が、給油孔3の軸心に対してオフセットしていたり、あるいは、傾斜していたりする場合であっても、キャップ17cが給油孔3の内面に接触した状態でのオフセット量は最低限確保することができるため、安定的にハレーションを防止することが可能になる。
即ち、本発明の一実施例に係る検査用プローブ7は、先端部22aを、サヤ管17において該サヤ管17の軸心からオフセットして形成する先端部22aを保持するための保持孔17fに挿通して、保持するものである。
このような構成により、挿入部22を給油孔3の軸心に対して容易にオフセットさせることができる。
そして、検査装置1では、このようなサヤ管17とファイバースコープ16を取付治具18を用いて一体化する構成としている。
図7および図8に示す如く、ファイバースコープ16の挿入部22をサヤ管17の挿通孔17dに挿通した状態で、該サヤ管17を取付治具18の挿通孔18cに挿通する。そして、サヤ管17をボルト孔18a・18aに螺合されるボルト18b・18bを用いて締結することによって、サヤ管17とファイバースコープ16を一体化する構成としている。
また、取付治具18は、支持ステー18eを備えており、該支持ステー18eの取付部18fには孔18gが形成されている。そして、孔18gを利用して、孔18gにボルト18hを挿通した状態で、介設部材15に対してボルト18hを螺合し、取付治具18を介設部材15に固定する構成としている。これにより、ファイバースコープ16が介設部材15に対して固定されるため、回転駆動装置6によって、ファイバースコープ16が回転駆動されるときに、サヤ管17を含む検査用プローブ7を一体的に回転させることができる。
ここで、光源部25による照明光の照射状態について、図9および図10を用いて説明をする。
図10(a)に示す如く、従来は、キャップ17cに形成される保持孔17fがサヤ管17の軸心に対してオフセットされていなかったため、給油孔3の内面を撮影しようとする場合には、サヤ管17を、該サヤ管17の軸心を給油孔3の軸心に沿うようにして挿入すると、挿入部22を、その軸心が給油孔3の軸心に沿うようにして挿入されていた。このとき、画像取り込み部24および光源部25は、給油孔3の軸心から画像取り込み部24の視野の方向にオフセットされた状態に配置される。
この場合、光源部25から給油孔3の内面に照射された光は、給油孔3の軸心から放射状に照射され、給油孔3の内面で反射した光の一部(図10(b)中においてパターン模様を付加した部分)は、直接的に画像取り込み部24に入射する。そして、この直接的に画像取り込み部24に入射した光がハレーションを発生させる原因となっている。
一方、図9に示す如く、本発明の一実施例に係る検査用プローブ7を用いて、給油孔3の内面を撮影しようとする場合には、サヤ管17を、該サヤ管17の軸心を給油孔3の軸心に沿うようにして挿入すると、画像取り込み部24および光源部25は、給油孔3の軸心から画像取り込み部24の視野の方向に対して垂直な方向にオフセットされた状態に配置される。
この場合、光源部25から給油孔3の内面に照射された光は、給油孔3の軸心から放射状に照射されるが、給油孔3の内面で反射した光は拡散し、直接的に画像取り込み部24に入射することがない。よって、このとき画像取り込み部24によって取り込まれた画像には、ハレーションが発生することがなく、さらに、給油孔3の内部において撮影に十分な照度を確保することができるため、検査用プローブ7によって、良好な撮影条件下で給油孔3の内面の画像を撮影することができる。
即ち、本発明の一実施例に係る検査用プローブ7は、可撓性を有するケーブル状の部位であり撮影対象たる給油孔3に挿入される挿入部22を有するファイバースコープ16と、挿入部22が挿通可能な孔である挿通孔17dが形成されるサヤ管17と、を備え、挿入部22の先端部22aには、給油孔3の内面の映像を取り込むための部位であって、挿入部22の軸心方向に対して、略垂直な方向に視野を有する画像取り込み部24と、給油孔3の内面に光を照射するための部位であって、画像取り込み部24の視野に対して、光を照射する光源部25とが備えられ、挿入部22を、挿通孔17dに挿通するとともに、サヤ管17によって、画像取り込み部24と光源部25とが配置される挿入部22の先端部22aを、サヤ管17の軸心から、前記視野の方向に対して垂直な方向にオフセットした状態でサヤ管17の外部に露出させて保持するものである。
このような構成により、給油孔3の内面を光源部25によって十分な照度で照らし出すことができるとともに、光源部25から照射した光が、給油孔3の内面で反射して直接画像取り込み部24に入射することが確実に防止できる。これにより、ハレーションの発生が防止でき、給油孔3の内面の状態を的確に把握することができる。
次に、本発明の一実施例に係る検査装置1による給油孔3の内面の撮影状況について、図11を用いて説明をする。
図11に示す如く、例えば、給油孔3の長さがLである場合、まず始めに、回転駆動装置6によって、画像取り込み部24の視野が0°の方向となるように検査用プローブ7の回転位相を調整しておく。尚、このとき画像取り込み部24は、サヤ管17の軸心(即ち、回転中心)に対して、一定距離aだけオフセットされた状態に保持されている。
次に、検査用プローブ7の回転位相を保持した状態で、往復変位装置5によって、画像取り込み部24が、給油孔3の入口(即ち、長さ0の部位)から出口(即ち、長さLの部位)まで変位するように検査用プローブ7を変位させる。
これにより、検査装置1によって、給油孔3の0°方向の内面を全長Lに渉って撮影した画像(1)を取得することができる。そして、画像取り込み部24をオフセットさせた状態で撮影した画像(1)には、ハレーションが発生しないため、画像(1)によれば、給油孔3の0°方向の視野における内面の状態を的確に把握することができる。
そして、回転駆動装置6によって、検査用プローブ7の回転位相を45°ずつ変更しつつ(即ち、画像取り込み部24の視野が、45°・90°・135°・180°・225°・270°・315°の各方向となるように検査用プローブ7の回転位相を保持しつつ)、各状態で、往復変位装置5によって、画像取り込み部24が、給油孔3の入口(即ち、長さ0の部位)から出口(即ち、長さLの部位)まで変位するように検査用プローブ7を変位させて、さらに7回の撮影を行う。
これにより、検査装置1によって、給油孔3内部の全周方向に対して、内面を全長Lに渉って撮影した合計8個の画像(1)〜(8)を取得することができる。そして、この画像(1)〜(8)は、制御装置8に取り込まれる。
尚、本実施例では、検査用プローブ7の回転位相を45°ずつずらして給油孔3内の画像を8分割して撮影する場合を例示しているが、給油孔3内を撮影した画像の分割数(即ち、検査用プローブ7の回転位相をずらす角度)は、給油孔3の径や使用するファイバースコープ16の撮影可能範囲(視野角度)に基づいて決定されるため、8分割以外の分割数となる場合もあり、本発明に係る検査装置により撮影する画像の分割数を本実施例の態様に限定するものではない。
そして、これらの合計8個の画像(1)〜(8)を、制御装置8によって画像処理し、結合することによって、給油孔3の内面を表す画像の展開図Xを生成することができる。
そして、この展開図Xを用いることによって、給油孔3の内面における傷の有無や残留物の有無、あるいは、欠陥がある場合におけるその欠陥の位置等、を一目瞭然に確認することができ、給油孔3の内面の検査を的確に行うことが可能になる。
即ち、本発明の一実施例に係る検査装置1は、検査用プローブ7と、該検査用プローブ7を、サヤ管17の軸心方向に往復変位させる往復変位手段である往復変位装置5と、検査用プローブ7を、サヤ管17の軸心周りに回転させる回転駆動手段である回転駆動装置6と、を備えるものである。
このような構成により、ハレーションの発生がない状態で給油孔3の内面の画像を撮影することができ、的確に給油孔3の内面の状態を検査することができる。
1 検査装置
3 給油孔
5 往復変位装置
6 回転駆動装置
7 検査用プローブ
16 ファイバースコープ
17 サヤ管
24 画像取り込み部
25 光源部

Claims (3)

  1. 可撓性を有するケーブル状の部位であり撮影対象たる孔に挿入される挿入部を有するファイバースコープと、
    前記挿入部が挿通可能な孔である挿通孔が形成されるサヤ管と、
    を備えた孔内の検査用プローブであって、
    前記挿入部の先端部には、
    前記孔の内面の映像を取り込むための部位であって、前記挿入部の軸心方向に対して、略垂直な方向に視野を有する画像取り込み部と、
    前記孔の内面に光を照射するための部位であって、前記画像取り込み部の視野に対して、前記光を照射する光源部とが備えられ、
    前記挿入部を、
    前記挿通孔に挿通するとともに、
    前記サヤ管によって、
    前記画像取り込み部と前記光源部とが配置される前記挿入部の前記先端部を、
    前記サヤ管の軸心から、前記視野の方向に対して垂直な方向にオフセットした状態で前記サヤ管の外部に露出させて保持する、
    ことを特徴とする孔内の検査用プローブ。
  2. 前記先端部を、
    前記サヤ管において該サヤ管の軸心からオフセットして形成する、前記先端部を保持するための保持孔に挿通して、保持する、
    ことを特徴とする請求項1に記載の孔内の検査用プローブ。
  3. 請求項1または請求項2に係る前記検査用プローブと、
    該検査用プローブを、
    前記サヤ管の軸心方向に往復変位させる往復変位手段と、
    前記検査用プローブを、
    前記サヤ管の軸心周りに回転させる回転駆動手段と、
    を備える、
    ことを特徴とする検査装置。
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