JP5143584B2 - 研磨装置 - Google Patents

研磨装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5143584B2
JP5143584B2 JP2008031843A JP2008031843A JP5143584B2 JP 5143584 B2 JP5143584 B2 JP 5143584B2 JP 2008031843 A JP2008031843 A JP 2008031843A JP 2008031843 A JP2008031843 A JP 2008031843A JP 5143584 B2 JP5143584 B2 JP 5143584B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
abrasive
polishing
container
moisture
exhaust
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008031843A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009190108A (ja
Inventor
利昌 高木
健治 山下
Original Assignee
株式会社 テクトリア
株式会社 ヤマシタワークス
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社 テクトリア, 株式会社 ヤマシタワークス filed Critical 株式会社 テクトリア
Priority to JP2008031843A priority Critical patent/JP5143584B2/ja
Publication of JP2009190108A publication Critical patent/JP2009190108A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5143584B2 publication Critical patent/JP5143584B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Description

この発明は、研磨材の水分を最適な状態に保ち、最適な研磨状態を持続することができる研磨装置に関するものである。
従来の研磨装置は、研磨材を繰り返して研磨に使用する場合、研磨材中の水分量が所定量を維持するように研磨装置内において研磨材に水分を補給するものであった(例えば、特許文献1参照)。
特開2003−211359号公報
従来の研磨装置は、研磨材に水分を補給する際に、研磨装置内の下部において連続的に研磨に使用している研磨材に対して全体的に水分を供給するため、水分が十分に研磨材に浸透しないまま研磨材が研磨に使用されたり、研磨材が自重により密接しているため研磨材に十分に水分が行き渡らなかったりする場合が発生し、最適な研磨状態を持続することができないという問題点があった。
この発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、研磨材の水分量を最適に保ち、最適な研磨状態を持続することができる研磨装置を提供することを目的とする。
この発明は、容器内にて水分を含有する研磨材を被研磨材に噴射して研磨する研磨装置において、
容器内に形成され研磨材を貯留する貯留部と、
貯留部の上部に連結して形成され貯留部上にて上昇気流を発生させて容器内の排気を行う排気部と、
貯留部と排気部との間に介在して配設され研磨材に水分を供給する水分供給部と、
貯留部内に形成され研磨材を攪拌する攪拌部と、
貯留部の下部にて連結され被研磨材に研磨材を噴射する噴射ノズル部とを備えたものである。
この発明の研磨装置は、容器内にて水分を含有する研磨材を被研磨材に噴射して研磨する研磨装置において、
容器内に形成され研磨材を貯留する貯留部と、
貯留部の上部に連結して形成され貯留部上にて上昇気流を発生させて容器内の排気を行う排気部と、
貯留部と排気部との間に介在して配設され研磨材に水分を供給する水分供給部と、
貯留部内に形成され研磨材を攪拌する攪拌部と、
貯留部の下部にて連結され被研磨材に研磨材を噴射する噴射ノズル部とを備えたので、
研磨材の水分を最適な状態に保ち、最適な研磨状態を持続することができる。
実施の形態1.
以下、本願発明の実施の形態について説明する。図1はこの発明の実施の形態1である研磨装置の構成を示す図、図2は図1に示した研磨装置の貯留部および排気部の構成を示す図、図3は図2に示した研磨装置の排気部の構成を示す上面図である。尚、各図面上において、”実線の矢印”は空気の流れを、”点線の矢印”は研磨材3の流れを示している。図において、研磨装置1は容器2内にて水分を含有する研磨材3を被研磨材4に噴射して研磨するものである。そして、容器2内に形成され研磨材3を貯留する貯留部5と、貯留部5の上部に連結して形成され貯留部5上にて上昇気流を発生させて容器1内の排気を行う排気部6と、貯留部5と排気部6との間に介在して配設され研磨材3に水分を供給する水分供給部7と、貯留部5内に形成され研磨材3を攪拌する攪拌部8と、貯留部5の下部にて連結され被研磨材4に研磨材3を噴射する噴射ノズル部9と、被研磨材4に噴射された研磨材3を容器2の下部から貯留部5に送出する送出管10とを備えている。
研磨材3とは、例えば、水を含有すると所望の弾力性および粘着性を有するゼラチンにて成る核体と、核体に含有される水と、核体表面の粘着性により表面に粘着され、また、その一部が核体内部に取り込まれる複数の砥粒と、核体からの水分蒸発を防止する水溶性オイル等の蒸発防止材とから成る。そして、核体と水との重量比率は10対2ないし5にて成る。砥粒としては、例えばダイヤモンド、炭化珪素、アルミナのいずれかまたは全てを用いるものである。このようにして成る研磨材3の核体の径は、0.5mmから1.5mm程度のものであり、これらを多数使用することと成る。
排気部6は、上昇気流67にて送出管10を介して容器1の下部から貯留部5に研磨材3を空気とともに移動させるものであり、容器2外に排出するためのブロワ60およびフィルタ61を有する換気部62を備える。また、貯留部5の連結箇所には、外筒部63と、その外筒部63の内部に換気部62に連結される内筒部64とが形成されている。そして、外筒部63の外周には排出管10と連結する開口部65が形成されている。また、内筒部64の下部には円錐状の仕切り部66が配設されている。よって、排気部6はブロワ60を駆動して容器1内の排気を行うと、容器1の下部から空気および研磨材3を送出管10を介して移動させる。尚、上昇気流67の気流の強さは、研磨材3がその自重により貯留部5に落下できる程度の強さであることは言うまでない。そして、小さな異物および空気が上昇気流67により排気できるものである。
水分供給部7は、貯留部5に貯留されている研磨材3に対して研磨材3の水分量が所望量となるように水分を供給するもので、例えば、下部に複数の開口を有してシャワー状に水を研磨材3に供給することができるように構成されている。水の供給量は適宜制御することが可能であることは言うまでもない。
攪拌部8は、貯留部5の研磨材3を攪拌するために複数の羽根にて成る羽根部81と、羽根部81を回転駆動させ容器1の外部に配設されている駆動部82とにて構成されている。
噴射ノズル部9は、圧縮空気を容器1の外部から供給する圧縮空気供給部91と、貯留部5の下部にて連結されている連結部92と、連結部92から研磨材3と空気とを混合して被研磨材4に研磨材3を噴射するノズル93とにて構成されている。
次に上記のように構成された実施の形態1の研磨装置の動作について説明する。まず、水分を所定量含有する研磨材3を準備する。次に、研磨材3を容器1内の貯留部5に投入して、研磨材3を貯留部5の下部の連結部92からの圧縮空気とともに、ノズル93から被研磨材4に噴出して衝突させる。そしてこれと同時に、排気部6のブロワ60を動作させる。すると、排気部6の排気による上昇気流67が発生し、研磨材3は容器1の下部から送出管10を介して貯留部5に移動する。そして、開口部65から排気部6に導入された研磨材3および空気は、外筒部63と内筒部64との間を通りサイクロン気流にてなる上昇気流67となる。この際、研磨材3はその自重により仕切り部66を介して貯留部5に落下する。また、空気および小さな異物などは上昇気流67にのって、換気部62からフィルタ61を介して排気される。このようにして研磨材3を連続して使用すると、研磨材3に含有されている水分が蒸発して、研磨材3に所望量の水分を不足する。
よって、研磨材3に水分を補うために以下の動作を行う。まず、貯留部5に貯留された研磨材3に、所定量の水を水分供給部7から供給する。この場合、貯留部5に貯留されている研磨材3には上昇気流67により重力と反する力が作用している。よって、研磨材3には若干浮き上がるような現象が生じている。よって、研磨材3同士が自重により密接している状態ではなく、研磨材3同士に隙間が生じている状態となる。よって、この箇所において研磨材3に水分を供給して、攪拌部8の羽根部81を駆動部82によって回転させ研磨材3を攪拌しているため、研磨材3の全体に水分を効率よく行き渡らせることができる。そして、研磨材3に均一に水分を吸収させることが可能となる。そして、このような動作を繰り返して行うことにより、研磨材3の水分を所望の状態に保つことができ、被研磨材4の研磨を所望の研磨状態に保つことが可能と成る。
上記のように構成された実施の形態1の研磨装置によれば、研磨材に重力とは反する力が生じている状態にて水分を供給することができるため、研磨材に水分を効率よくかつ確実に供給することが可能となる。また、上昇気流をサイクロン気流に形成してるため、その重力と反する力を貯留部に貯留されている研磨材全体的に作用させることができる。
実施の形態2.
図4はこの発明の実施の形態2である研磨装置の構成を示す図である。図において、上記実施の形態1と同様の部分は同一符号を付して省略する。研磨装置100は、排気部6の外筒部63に形成された開口部69にて送出管10と連結され、上昇気流68を形成するものである。そして、排気部6には仕切り部70が形成されている。
次に上記のように構成された実施の形態2の研磨装置の動作ついて説明する。まず、上記実施の形態1と同様に、水分を所定量含有する研磨材3を準備する。次に、研磨材3を容器2の貯留部5内に投入して上記実施の形態1と同様に研磨を行う。そして、貯留部5に貯留された研磨材3は、上昇気流68により重力とは反する力が生じることとなる。よって、上記実施の形態1と同様に研磨材3に水分供給部7にて水分を供給して攪拌部8により攪拌することにより、研磨材3の全体に水分を効率よく行き渡らせることができる。そして、研磨材3に均一に水分を吸収させることが容易に可能となる。
上記のように構成された実施の形態2の研磨装置によれば、上記実施の形態1と同様の効果を奏するのはもちろんのこと、上昇気流をサイクロン気流にて形成していないため、構成が簡便となり低コストにて装置を制作することができる。
尚、上記各実施の形態においては、研磨材としてゼラチンを核として成るものを例に示したが、これに限られることはなく、研磨時に水分を必要とする、例えば、寒天、デンプン、木、海綿、多孔質ゴムなど、研磨材を連続して使用することにより、その水分が蒸発するものにおいては、上記各実施の形態にて示した研磨方法と同様に行うことにより、同様の効果を奏することができることは言うまでもない。
また、上記各実施の形態にて示した研磨装置以外にも、水分を所定量含有する研磨材を被研磨材に噴射して衝突させる研磨動作を行い被研磨材の表面を研磨する研磨方法を行うことが可能なものであれば、同様に実施することができ、同様の効果を奏することは言うまでもない。
この発明の実施の形態1の研磨装置の構成を示す図である。 図1に示した研磨装置の貯留部および排気部の構成を示す図である。 図2に示した研磨装置の排気部の構成を示す上面図である。 この発明の実施の形態2の研磨装置の構成を示す図である。
符号の説明
1,100 研磨装置、2 容器、3 研磨材、4 被研磨材、5 貯留部、
6 排気部、7 水分供給部、8 攪拌部、9 噴出ノズル部、10 排出管、
67,68 上昇気流。

Claims (3)

  1. 容器内にて水分を含有する研磨材を被研磨材に噴射して研磨する研磨装置において、
    上記容器内に形成され上記研磨材を貯留する貯留部と、
    上記貯留部の上部に連結して形成され上記貯留部上にて上昇気流を発生させて上記容器内の排気を行う排気部と、
    上記貯留部と上記排気部との間に介在して配設され上記研磨材に水分を供給する水分供給部と、
    上記貯留部内に形成され上記研磨材を攪拌する攪拌部と、
    上記貯留部の下部にて連結され上記被研磨材に上記研磨材を噴射する噴射ノズル部とを備えたことを特徴とする研磨装置。
  2. 上記排気部は、サイクロン気流にてなる上昇気流にて排気を行うことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
  3. 上記被研磨材に噴射された上記研磨材を上記容器の下部から上記貯留部に送出する送出管を備え、
    上記排気部は、上記上昇気流にて上記送出管を介して上記容器の下部から上記貯留部に上記研磨材を移動させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の研磨装置。
JP2008031843A 2008-02-13 2008-02-13 研磨装置 Expired - Fee Related JP5143584B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008031843A JP5143584B2 (ja) 2008-02-13 2008-02-13 研磨装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008031843A JP5143584B2 (ja) 2008-02-13 2008-02-13 研磨装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009190108A JP2009190108A (ja) 2009-08-27
JP5143584B2 true JP5143584B2 (ja) 2013-02-13

Family

ID=41072602

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008031843A Expired - Fee Related JP5143584B2 (ja) 2008-02-13 2008-02-13 研磨装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5143584B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105415201A (zh) * 2015-12-25 2016-03-23 江南大学 磨料水射流抛光实验装置
CN117124224B (zh) * 2023-10-28 2024-01-26 山西通远磁材有限公司 一种平面研磨抛光机

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5636617Y2 (ja) * 1979-07-28 1981-08-28
JPH0773826B2 (ja) * 1988-05-17 1995-08-09 ヤマキ工業株式会社 ブラスト装置
JPH0453680A (ja) * 1990-06-19 1992-02-21 Nec Corp サンドブラスト装置
JPH0487772A (ja) * 1990-07-31 1992-03-19 Fuji Seisakusho:Kk ブラスト加工装置
JP3013053B2 (ja) * 1991-06-04 2000-02-28 澁谷工業株式会社 ブラスト装置
JP2684292B2 (ja) * 1992-03-10 1997-12-03 株式会社不二精機製造所 研削砥石のドレッシング方法及び装置
JP3921258B2 (ja) * 1996-06-03 2007-05-30 株式会社不二製作所 ブラスト装置
JP3376334B2 (ja) * 1999-11-19 2003-02-10 株式会社 ヤマシタワークス 研磨材および研磨材を用いた研磨方法
JP2003211359A (ja) * 2002-01-18 2003-07-29 Tectoria:Kk 研磨方法および研磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009190108A (ja) 2009-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106463377B (zh) 基板处理装置和基板处理方法
JP6432749B2 (ja) 混気ジェット噴射装置
JP2003275696A (ja) 基板処理装置および基板洗浄方法
JP5143584B2 (ja) 研磨装置
US7052362B2 (en) Blendable blasting media and method of reusing and discharging same
KR101959052B1 (ko) 전자 부품의 코어 부재의 버(burr) 제거 처리 방법 및 그 장치
JP4969839B2 (ja) ウエットブラスト処理装置
JP4476826B2 (ja) 氷スラリーの製造装置および基板処理装置
JP4169239B2 (ja) 液中表面加工装置および加工方法
KR100393374B1 (ko) 직압식 연속 연마재 공급·분사방법 및 장치
JPH081516A (ja) 研磨材供給装置
JP2007007780A (ja) 切削具の刃部表面処理方法
JP2009107063A (ja) 研磨方法および研磨装置
JP4317114B2 (ja) 鋼構造物又は鋼材のジェットブラスト方法
JP5001327B2 (ja) 気体溶解装置
JP2007196311A (ja) 研掃用ブラスト装置
JP2004154901A (ja) 連続研磨材供給・噴射方法及び装置
JP2021147675A (ja) めっき装置及びめっき方法
JP2000100763A (ja) 基板表面の処理装置
JP3115408U (ja) 研掃用ブラスト装置
JPH0120037B2 (ja)
US20210154795A1 (en) Polishing head for use in chemical mechanical polishing and cmp apparatus having the same
JP2003220540A (ja) 極微量切削油の供給装置
JPH09155741A (ja) ブラスト装置
JP2020006479A (ja) 金属材の切削加工方法、並びに、ミスト加工用ミストオイル噴霧装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110121

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121017

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121030

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121121

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151130

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5143584

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees