JP5143584B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
容器内に形成され研磨材を貯留する貯留部と、
貯留部の上部に連結して形成され貯留部上にて上昇気流を発生させて容器内の排気を行う排気部と、
貯留部と排気部との間に介在して配設され研磨材に水分を供給する水分供給部と、
貯留部内に形成され研磨材を攪拌する攪拌部と、
貯留部の下部にて連結され被研磨材に研磨材を噴射する噴射ノズル部とを備えたものである。
容器内に形成され研磨材を貯留する貯留部と、
貯留部の上部に連結して形成され貯留部上にて上昇気流を発生させて容器内の排気を行う排気部と、
貯留部と排気部との間に介在して配設され研磨材に水分を供給する水分供給部と、
貯留部内に形成され研磨材を攪拌する攪拌部と、
貯留部の下部にて連結され被研磨材に研磨材を噴射する噴射ノズル部とを備えたので、
研磨材の水分を最適な状態に保ち、最適な研磨状態を持続することができる。
以下、本願発明の実施の形態について説明する。図1はこの発明の実施の形態1である研磨装置の構成を示す図、図2は図1に示した研磨装置の貯留部および排気部の構成を示す図、図3は図2に示した研磨装置の排気部の構成を示す上面図である。尚、各図面上において、”実線の矢印”は空気の流れを、”点線の矢印”は研磨材3の流れを示している。図において、研磨装置1は容器2内にて水分を含有する研磨材3を被研磨材4に噴射して研磨するものである。そして、容器2内に形成され研磨材3を貯留する貯留部5と、貯留部5の上部に連結して形成され貯留部5上にて上昇気流を発生させて容器1内の排気を行う排気部6と、貯留部5と排気部6との間に介在して配設され研磨材3に水分を供給する水分供給部7と、貯留部5内に形成され研磨材3を攪拌する攪拌部8と、貯留部5の下部にて連結され被研磨材4に研磨材3を噴射する噴射ノズル部9と、被研磨材4に噴射された研磨材3を容器2の下部から貯留部5に送出する送出管10とを備えている。
攪拌部8は、貯留部5の研磨材3を攪拌するために複数の羽根にて成る羽根部81と、羽根部81を回転駆動させ容器1の外部に配設されている駆動部82とにて構成されている。
噴射ノズル部9は、圧縮空気を容器1の外部から供給する圧縮空気供給部91と、貯留部5の下部にて連結されている連結部92と、連結部92から研磨材3と空気とを混合して被研磨材4に研磨材3を噴射するノズル93とにて構成されている。
図4はこの発明の実施の形態2である研磨装置の構成を示す図である。図において、上記実施の形態1と同様の部分は同一符号を付して省略する。研磨装置100は、排気部6の外筒部63に形成された開口部69にて送出管10と連結され、上昇気流68を形成するものである。そして、排気部6には仕切り部70が形成されている。
6 排気部、7 水分供給部、8 攪拌部、9 噴出ノズル部、10 排出管、
67,68 上昇気流。
Claims (3)
- 容器内にて水分を含有する研磨材を被研磨材に噴射して研磨する研磨装置において、
上記容器内に形成され上記研磨材を貯留する貯留部と、
上記貯留部の上部に連結して形成され上記貯留部上にて上昇気流を発生させて上記容器内の排気を行う排気部と、
上記貯留部と上記排気部との間に介在して配設され上記研磨材に水分を供給する水分供給部と、
上記貯留部内に形成され上記研磨材を攪拌する攪拌部と、
上記貯留部の下部にて連結され上記被研磨材に上記研磨材を噴射する噴射ノズル部とを備えたことを特徴とする研磨装置。 - 上記排気部は、サイクロン気流にてなる上昇気流にて排気を行うことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 上記被研磨材に噴射された上記研磨材を上記容器の下部から上記貯留部に送出する送出管を備え、
上記排気部は、上記上昇気流にて上記送出管を介して上記容器の下部から上記貯留部に上記研磨材を移動させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008031843A JP5143584B2 (ja) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | 研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009190108A JP2009190108A (ja) | 2009-08-27 |
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Family Applications (1)
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JP2008031843A Expired - Fee Related JP5143584B2 (ja) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | 研磨装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5143584B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105415201A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-03-23 | 江南大学 | 磨料水射流抛光实验装置 |
CN117124224B (zh) * | 2023-10-28 | 2024-01-26 | 山西通远磁材有限公司 | 一种平面研磨抛光机 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5636617Y2 (ja) * | 1979-07-28 | 1981-08-28 | ||
JPH0773826B2 (ja) * | 1988-05-17 | 1995-08-09 | ヤマキ工業株式会社 | ブラスト装置 |
JPH0453680A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-02-21 | Nec Corp | サンドブラスト装置 |
JPH0487772A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Fuji Seisakusho:Kk | ブラスト加工装置 |
JP3013053B2 (ja) * | 1991-06-04 | 2000-02-28 | 澁谷工業株式会社 | ブラスト装置 |
JP2684292B2 (ja) * | 1992-03-10 | 1997-12-03 | 株式会社不二精機製造所 | 研削砥石のドレッシング方法及び装置 |
JP3921258B2 (ja) * | 1996-06-03 | 2007-05-30 | 株式会社不二製作所 | ブラスト装置 |
JP3376334B2 (ja) * | 1999-11-19 | 2003-02-10 | 株式会社 ヤマシタワークス | 研磨材および研磨材を用いた研磨方法 |
JP2003211359A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-29 | Tectoria:Kk | 研磨方法および研磨装置 |
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2008
- 2008-02-13 JP JP2008031843A patent/JP5143584B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009190108A (ja) | 2009-08-27 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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