JP5142497B2

JP5142497B2 - ワイヤガイド装置

Info

Publication number: JP5142497B2
Application number: JP2006218362A
Authority: JP
Inventors: 一幸宮村
Original assignee: オグラ宝石精機工業株式会社
Priority date: 2006-08-10
Filing date: 2006-08-10
Publication date: 2013-02-13
Anticipated expiration: 2026-08-10
Also published as: JP2008036809A

Description

本発明は、ワイヤガイド装置に関するものであり、より詳細には、ワイヤカット放電加工機に着脱自在に装着され、ワイヤ電極を加工位置にガイドするダイヤモンド等からなるワイヤガイドのアッセンブリ体として構成されるワイヤガイド装置に関するものである。

内部に挿通されるワイヤ電極を冷却液によって冷却するワイヤガイド装置としては、従来、特許文献１に記載されたものが知られている。例えば当該公報の図７において、ワイヤガイド装置は、ワイヤ電極を挿通させる直線状の細穴が穿孔されたケースに対してワイヤガイドを固定して形成され、上記ケースには、該ケース外部から上記細穴に対して直交方向から連通する冷却水導入口が開設される。

上記ケースはワイヤカット放電加工機本体に固定され、その外周側に被さるように配置される加工液供給部とケース外部との間に供給される加工液を冷却液として上記冷却水導入口から貫通孔内に導入し、貫通孔内でワイヤ電極を冷却する。
特開平６-５５３４８号公報

近年、ワイヤカット放電加工機には加工精度、加工速度のさらなる向上が求められており、これを実現するためにより細いワイヤ電極をより高速で走行させ、また放電時の電気的条件や加工屑の除去を良好にするために加工液の供給圧力がより高められている。一方、このような加工精度、加工速度の向上への取り組みに伴い、ワイヤ電極に大きな振動が生じやすくなり、この振動がワークの加工部位にまで達することにより加工面にすじが入り、加工品質の悪化を起こしているという問題があった。

かかる問題を解決すべく、本発明者は、鋭意研究の結果、上述した振動の一因が冷却液のワイヤガイド装置内への導入状態にあることを見出した。すなわち、上述した従来例のように冷却液導入口からワイヤガイド装置内に加工液を兼ねる冷却液を導入してワイヤ電極の発熱による溶断を防止する場合において、加工液の圧力を高めてしまうと、冷却液導入口から噴流となってワイヤガイド装置内に流れ込む冷却液がワイヤ電極に衝突し、その衝撃によってワイヤ電極に振動を生じさせてしまう。

本発明は、以上の欠点を解消すべくなされたものであって、ワイヤカット放電加工機の加工精度、加工速度を高めることが可能で、かつ、加工品質を改善することができるワイヤガイド装置の提供を目的とする。

本発明によれば上記目的は、
ワイヤ電極１が挿通されるワイヤ電極挿通部２と、
ワイヤ電極１の挿通方向に対して交差する方向からワイヤ電極挿通部２内に冷却液を導入する冷却液導入３口と、
該冷却液導入口３から導入される液流のワイヤ電極１への衝突力を緩和させる液流緩衝部４を有し、
前記ワイヤ電極挿通部２は、略円筒形状のホルダ２０の内部に形成され、
前記ホルダ２０は、該ホルダ２０の外面に対して隙間を隔てて被さるノズル１７の内壁面との間にノズル１７先端方に開放した加工液ガイド路２５を形成し、該加工液ガイド路２５によりワイヤ電極１の長手方向に沿って流れる加工液を前記ノズル１７の先端部からワーク１１の加工部位に供給し、
前記冷却液導入口３は、前記ホルダ２０に穿孔されて加工液ガイド路２５内の加工液をワイヤ電極挿通部２内に導入し、
かつ、前記液流緩衝部４は、ホル２０ダ内部においてワイヤ電極１周りに円筒形状に形成される緩衝壁５を冷却液導入口３に正対させ、緩衝壁５の外周にワイヤ電極１の挿通方向に沿って冷却液導入口２に比して流路断面積を拡大して円筒状に形成される迂回流路６を冷却液導入口３との非正対位置で緩衝壁５端縁においてワイヤ電極１の全周方向に開放して形成されるワイヤガイド装置を提供することにより達成される。

ワイヤ電極挿通部２はワイヤ電極１の挿通スペースとなる例えば直線で貫通状の細穴等により構成される中空部であり、冷却液導入口３は、上記中空部の容積等を考慮して適宜細径にされ、中空部の長手方向に対して交差する方向に開口される。上述した従来例におけるように冷却液導入口３からワイヤ電極挿通部２内に導入される冷却液の液流は、ワイヤ電極挿通部２内に挿通されるワイヤ電極１への衝突力を液流緩衝部４により緩和され、衝突時の衝撃によるワイヤ電極１への振動の発生が抑制される。

液流緩衝部４は、冷却液導入口３とワイヤ電極１との間に設けられる緩衝体５として構成され、冷却液導入口３からワイヤ電極挿通部２内に向かって流れる噴流のワイヤ電極１への直射を防ぎ、冷却液導入口３からワイヤ電極挿通部２へと繋がる流路の断面積を拡大する流路拡大スペースとして構成される。この液流緩衝部４は、複数の冷却液導入口３、３・・からの噴流を相互に干渉させる合流流路として構成することが可能である。これにより、ワイヤガイド装置の大きさをより小さく抑えることができるとともに、既存のワイヤガイド装置に多少の改変を加えるだけで構成することができる。緩衝体５を構成する壁をワイヤ電極１周りに曲率面にすることにより液流をスムーズに迂回させることができる。

以上のワイヤガイド装置は、ダイヤモンド等からなるワイヤガイドが組み付けられる例えばステンレス鋼等の成形品あるいは削りだし品からなるホルダにおいて、ワイヤ電極挿通部２となる直線で貫通状の細穴等を設けるとともに、この細穴に対して交差する方向に冷却液導入口３を開設した上で、図２（ａ）に示すように液流緩衝部４としての壁や流路をホルダに一体成形したり、図３（ａ）に示すように上記壁等をワイヤガイドとともにホルダに対して個別に組み付けるようにしたり、あるいは図３（ｂ）に示すように上記壁等をワイヤガイドに一体成形してホルダに組み付けるようにして効率よく製造することができる。

したがって本発明によれば、冷却液の供給圧力が高められた場合でも、冷却液導入口３からのワイヤ電極挿通部２内への冷却液の導入に伴って生じる液流のワイヤ電極１への衝突力を緩和することができ、冷却に伴うワイヤ電極１への振動の発生や、振動の増大を防止することができる。また、より線径が小さく、走行速度が高速なワイヤ電極１に対しても、振動を生じにくくさせることができる。

また、ワイヤ電極１に向かう冷却液の液流をワイヤ電極１の長手方向に対して直交、あるいはほぼ直交させてワイヤ電極１周りの３６０度から、いわゆる向心力のように流れるようにすることによって、より振動の発生等を抑制することができる。このために、上述した緩衝体５をワイヤ電極１周りに円筒形状をなす壁にし、その端縁を利用してワイヤ電極１の全周方向から包囲するように冷却水を供給することにより、上述したワイヤガイド装置の小型化等と両立して簡易に構成することができる。
なお、本発明によれば、
ワイヤ電極１が挿通されるワイヤ電極挿通部２と、
ワイヤ電極１の挿通方向に対して交差する方向からワイヤ電極挿通部２内に冷却液を導入する冷却液導入口３と、
該冷却液導入口３から導入される液流のワイヤ電極１への衝突力を緩和させる液流緩衝部４とを有するワイヤガイド装置を提供することも可能である。

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ワイヤカット放電加工機の加工精度、加工速度を高めることが可能で、かつ、加工品質を改善することができるワイヤガイド装置を提供することができ、加工能力に優れたワイヤカット放電加工機を構成することができる。

ワイヤカット放電加工機は、図１（ａ）に示すようにワーク１１を挟んで一対のワイヤガイドユニットＡ、Ａ’を配置し、ワイヤガイドユニットＡ，Ａ’間でワイヤ電極１を直線状にガイドする。このワイヤ電極１は図示しないボビンから巻き解されて適宜にテンションを付与された状態で図１（ｂ）における矢印Ｄ方向に走行し、ワイヤガイドユニットＡ内に配置される超硬材料からなる電極ピン１２により給電を受ける。ワーク１１はワイヤ電極１と極性の異なる電位にされ、近接するワイヤ電極１からの放電により加熱されて加工される。なお、図１（ａ）において１３は上方のワイヤガイドユニットＡを支持する上ガイドユニット支持部、１４は下方のワイヤガイドユニットＡ’を支持する下ガイドユニット支持部、１５はワーク１１を載置するテーブルである。

ワイヤガイドユニットＡは、図１（ｂ）に示すように、ユニット本体１６に対してワイヤガイド装置１０とノズル１７とを組み付けて形成される。ユニット本体１６はワイヤ電極１を挿通させる直線状の細穴１８が貫通して穿孔されたブロック体であり、図示しない電源に接続された電極ピン１２がワイヤ電極１に接するように上記細穴１８内に露出して組み込まれる。また、細穴１８の一端部側にはワイヤガイド装置１０を組み付けるためのネジ１６ａが設けられ、反対端部側にはワイヤガイド装置１０とともにワイヤ電極１の走行方向をガイドするサブガイド１９が固定される。サブガイド１９は、例えばルビー等からなるサブダイスガイド１９ａをサブガイドホルダ１９ｂで保持して形成され、サブダイスガイド１９ａには、挿通されるワイヤ電極１の走行位置をガイドする上記ユニット本体１６の細穴１８よりも細径のサブガイド孔１９ｃが穿孔される。サブガイド１９はワイヤ電極１を電極ピン１２に押し付けるように位置合わせされて固定される。

さらに、上記ユニット本体１６には、図示しない加工液タンクから供給された加工液（冷却液）をワイヤガイドユニットＡ、Ａ’間のワイヤ電極１、すなわちワーク１１の加工部位へと導くための加工液供給路１６ｂが形成される。加工液供給路１６ｂは、上記細穴１８の周りを囲むように、より具体的には上記ネジ１６ａによりワイヤガイド装置１０を組み付けた状態でワイヤガイド装置１０の取り付け基端部の外周に対してその内周が接する円環状にされ、ユニット本体１６のネジ１６ａ側が配置される端面を凹状に彫り込んで形成されることによりワイヤガイド装置１０側に開放される。上述した加工液タンクからこの加工液供給路１６ｂ内に加工液を引き込むために、図１（ｂ）に示すようにユニット本体１６には加工液引き込み口１６ｃが開設される。

ワイヤガイド装置１０は、略円筒形状のホルダ２０に対してワイヤガイド２１を組み付けて形成される。ホルダ２０は、ステンレス鋼の一体成形品あるいは削りだし品であり、ワイヤ電極１を挿通させる直線で貫通状の細穴としてのワイヤ電極挿通部２を内部に有し、一端部にはユニット本体１６への固定手段としてユニット本体１６に設けられたものと噛み合うネジ２０ａが設けられる。上記ワイヤ電極挿通部２は上述したユニット本体１６に形成される細穴１８に続く適宜断面積の円形断面であり、ホルダ２０のユニット本体１６への固定状態でユニット本体１６の上記細穴１８と同心に連通する。このホルダ２０には上述した加工液供給路１６ｂからワーク１１の加工部位へと加工液をスムーズに導くために、ワーク１１側、すなわちネジ２０ａの反対端側に先端に行くに従って胴体部分の外形が漸次縮径する縮径部２０ｂが形成され、この縮径部２０ｂの先端には、ワイヤガイド２１を固定するガイド装着凹部２２がワイヤ電極挿通部２の一部を拡径するようにして形成される。

ワイヤガイド２１は、中心にワイヤ電極１を挿通させるガイド孔２３ａが穿孔されたダイヤモンドダイス２３にルビーやセラミックス等からなる支持ガイド２４を積層して形成される。ダイヤモンドダイス２３のガイド孔２３ａは上述したサブガイド孔１９ｃよりもさらに小径で、挿通されるワイヤ電極１とのクリアランスを０．００２ｍｍから０．０１ｍｍ程度にしてワイヤ電極１のワーク１１近傍における走行位置を精密にガイドする。支持ガイド２４はワイヤ電極１をクリアランスの小さいガイド孔２３ａ内に導くためものであり、上記ガイド孔２３ａへと近づくに従って漸次縮径する略漏斗形状で、ダイヤモンドダイス２３のワイヤ電極１挿通方向の両面に積層される。

以上のワイヤガイド装置１０は、ホルダ２０のガイド装着凹部２２内にワイヤガイド２１を接着固定して形成され、この固定状態においてワイヤ電極挿通部２とガイド孔２３ａが同心にされ、細穴１８内で電極ピン１２に当接した後サブガイド１９を経由してワイヤ電極挿通部２から支持ガイド２４の漏斗状内壁面を介してガイド孔２３ａ内にスムーズにワイヤ電極１が挿通できるようにされる。また、かかるワイヤガイド装置１０をユニット本体１６に組み付けた状態で、上ガイドユニット支持部１３に支持されたワイヤガイドユニットＡにおいては、加工液引き込み口１６ｃからユニット本体１６内に導入された加工液が加工液供給路１６ｂを経てワイヤガイド装置１０の外面、より正確にはホルダ２０の外面に沿ってワイヤガイドユニットＡ、Ａ’間に流れ込むようになるが、加工液の供給圧力をポンプ等により適宜高めたときにワイヤ電極１とワーク１１の加工部位との隙間に加工液を強制注入でき、また、下ガイドユニット支持部１４に支持されたワイヤガイドユニットＡ’側からも加工液を強制注入できるようにするために、ユニット本体１６には上述したノズル１７が組み付けられる。

ノズル１７は、先端部に漸次すぼまる漏斗形状の吐出部１７ａを備えた略円筒形状に形成され、後端部に形成されるフランジ部１７ｂによりユニット本体１６にネジ止め等によって適宜固定される。このノズル１７はワイヤガイド装置１０よりひとまわり大きく形成され、ユニット本体１６への固定によりワイヤガイド装置１０に被さり、その内壁面とワイヤガイド装置１０の外面との間に加工液ガイド路２５を形成する。

以上のワイヤガイドユニットＡは、例えば最大圧力を０．１ＭＰａから０．１５ＭＰａとする高圧の加工液を加工液引き込み口１６ｃから加工液供給路１６ｂへと供給されると、図１（ｂ）において矢印で示すように、加工液ガイド路２５を通り、ホルダ２０の縮径部２０ｂとノズル１７の吐出部１７ａによってワイヤ電極１近傍に集まるようにしてワイヤ電極１の長手方向に沿うようにワーク１１の加工部位に加工液を強制注入させる。成分調整により電気抵抗を調整された加工液のワーク１１の加工部位への強制注入は放電を良好に促し、これにより加工速度、加工精度が高められる。また、ワーク１１の表面とノズル１７の先端との間はこの実施の形態においては０．２ｍｍ以下の間隔で密着されるが、強制注入を続けることにより加工液はワーク１１の加工済みの部分などの隙間を流れ、同時に加工屑を加工部位から排出する。さらに、加工液が熱を奪うことにより、ワーク１１の加工部位やワイヤガイド２１外部ではワイヤ電極１の溶断が防止される。加えて、ワイヤ電極１が不測の切断を生じた場合には、供給圧力を適宜高めることによりガイド孔２３ａからワーク１１に向かって噴出する加工液によってワイヤ電極１をワイヤガイドユニットＡ、Ａ’間に結線させることも可能である。

また、この実施の形態において、ワイヤ電極１のワイヤ電極挿通部２内における冷却効果を実現するとともに、これに伴うワイヤ電極１の振動の発生を抑制するために、ワイヤガイド装置１０は、加工液をワイヤ電極挿通部２内に導入する冷却液導入口３と、ワイヤ電極挿通部２内に導入された加工液の液流のワイヤ電極１への衝突力を緩和する液流緩衝部４とを有する。冷却液導入口３は、ホルダ２０外部の加工液ガイド路２５を流れる加工液をワイヤ電極挿通部２内に導入させるためのもので、ホルダ２０外部からワイヤ電極挿通部２に向かって上述したいわゆる自動結線を考慮して直径０．３ｍｍ程度の小さな断面円形の直線状に穿孔して形成される。この冷却液導入口３は、図１（ｂ）および図２に示すように、加工液導入当初のワイヤ電極挿通部２内の空気の抜けを良くするためにホルダ２０の先端部、すなわちワイヤガイド２１側の端部寄りに配置されてこの実施の形態においては縮径部２０ｂに位置し、また、ワイヤ電極挿通部２の長手方向に対して直交あるいはほぼ直交する方向で、かつ、当該直交面内において均等な４方向に開口される。以上の冷却液導入口３は、ワイヤ電極挿通部２の手前まで、すなわちホルダ２０外部とワイヤ電極挿通部２を連通させない程度の長さに形成され、ワイヤ電極挿通部２への加工液の導入は液流緩衝部４を経てなされる。

液流緩衝部４は、上記冷却液導入口３からワイヤ電極挿通部２内に導入される加工液の液流のワイヤ電極１への衝突力を弱めるためのもので、この実施の形態においては図２に示すように、冷却液導入口３に正対する緩衝壁（緩衝体５）をホルダ２０に形成し、ワイヤ電極１の挿通方向に緩衝壁５を迂回する迂回流路６を通った加工液をワイヤ電極挿通部２内に導入する冷却液供給口７（包囲供給口）をホルダ２０に設けて形成される。緩衝壁５は、ワイヤ電極１周りに連続する円形壁面であり、ホルダ２０に形成されるワイヤ電極挿通部２をガイド装着凹部２２よりも小径にしたこの実施の形態において、ガイド装着凹部２２からワイヤ電極挿通部２周りに一定の間隔を隔てて沿うように円形の溝を掘り、該溝を冷却液導入口３に対して直交方向から連通させて形成される。

また、冷却液供給口７は、上述した緩衝壁５を形成する円筒状の溝の直径をガイド装着凹部２２の直径よりも小寸にしたこの実施の形態においては、緩衝壁５の頂部を少なくとも冷却液導入口３に正対しない程度まで、すなわちガイド装着凹部２２に接しないように低くし、ワイヤ電極１周りにワイヤ電極挿通部２を緩衝壁５を形成する溝によりやや拡径させるようにして形成される。また、冷却液の冷却液供給口７への迂回流路６からの流入や冷却液供給口７からのワイヤ電極挿通部２への流入はこれらの境界部分に施される面取りによってスムーズにされる。以上の緩衝壁５を形成する溝の幅や、冷却液供給口７を形成する緩衝壁５のガイド装着凹部２２の底面からの低さは、加工液の冷却液導入口３からワイヤ電極挿通部２への流路となり、したがってワイヤ電極１への液流の衝突力を考慮して実験的に適宜寸法に決定することができる。

したがってこの実施の形態において、ホルダ２０は一体成形品、削りだし品、あるいは一体成型品に対する機械加工により、冷却液導入口３および緩衝壁５を備えるとともに、冷却液供給口７となる空隙を備えて形成され、ガイド装着凹部２２にワイヤガイド２１を固定することにより冷却液供給口７を形成するために、一体成形品のように型の抜けにくさを考慮することなく製造効率をあまり損ねることはない。冷却液導入口３を介して外部からホルダ２０内に進入した供給圧力が高められている加工液は、図２（ａ）において矢印で示すように、緩衝壁５に衝突して勢いを弱められ、また緩衝壁５に沿ってワイヤ電極１の長手方向および周方向に迂回流路６により広がってさらに勢いを弱められ、さらに冷却液供給孔７によりワイヤ電極１の全周方向からワイヤ電極１の長手方向に対して直交あるいはほぼ直交してワイヤ電極１に接触することにより、接触時にワイヤ電極１に対して衝撃をあまり与えることはない。また、このようにワイヤ電極１への衝撃による振動の発生を防止できるため、振動によりワイヤ電極１周りに泡が生じることもなく、泡によるワイヤ電極１の冷却不良も生じることはない。

発明者の観察によれば、本実施の形態におけるワイヤガイド装置１０に改造を加えて上述した従来例の構成を再現した場合にはワイヤ電極挿通部２内でワイヤ電極１に３０ミクロン程度の振動幅を確認したが、この実施の形態においては、その振動幅は１０ミクロン程度に改善されていることが確認された。

また、このようにしてワイヤ電極挿通部２内に導入された加工液は、ワイヤ電極挿通部２内に位置するワイヤ電極１や電極ピン１２を冷却し、これらの溶断や溶解を防止すると、主にワイヤ電極１とサブダイスガイド１９ａとの隙間を通ってワイヤガイドユニットＡ外に流れ出し、このような循環により温度上昇が防止される。

図３（ａ）に液流緩衝部４の変形例を示す。なお、以下に示す変形例において上述した実施の形態と同一の要素には同一の符号を付して説明を省略する。この変形例において、ホルダ２０にはガイド装着凹部２２のホルダ２０内方側に緩衝部形成凹部３０が形成され、この緩衝部形成凹部３０には緩衝体５が装着される。この変形例における緩衝体５は、ステンレス鋼によりホルダ２０とは別体で一体成形され、緩衝部形成凹部３０の内壁面に外壁面をほぼ当接させた状態で内部にワイヤ電極挿通部２と同じ内径寸法の中空部を形成する円筒形状の太径部３２と、この太径部３２の一端から上述した実施の形態において緩衝壁５を形成する溝の幅に一致する程度の間隔を隔てて緩衝壁５と同様の外径寸法を有して内部にワイヤ電極挿通部２と同じ内径寸法の中空部を形成する円筒形状の細径部３３を延設して形成される。上記太径部３２は緩衝体５を太径部３２を先頭に緩衝部形成凹部３０内にその底面まで挿入したときに冷却液導入口３に正対しない程度の高さに形成され、上記細径部３３は、この緩衝体５の挿入状態において冷却液導入口３に正対するとともに、挿入後端がガイド装着凹部２２に達しない高さ、具体的には上述した上述した緩衝壁５のガイド装着凹部２２の底面との間隔に相当する高さだけガイド装着凹部２２から離れるように形成される。

したがって太径部３２を先頭にして緩衝部形成凹部３０内にその底面まで緩衝体５を挿入して太径部３２を緩衝部形成凹部３０に対して接着等により適宜固定した後、ガイド装着凹部２２内にワイヤガイド２１を装着すると、緩衝部形成凹部３０と緩衝体５により上述した実施の形態と同様の液流緩衝部４が形成される。この変形例においては上述した実施の形態に比べてホルダ２０の成形、加工をより簡単にすることができる。

図３（ｂ）は液流緩衝部４の他の変形例を示すもので、この変形例においてはワイヤガイド２１のホルダ２０内方側に配置される支持ガイド２４に対して上述した細径部３３が一体成形、あるいは削りだしにより設けられる。ガイド装着凹部２２内にワイヤガイド２１を装着すると、緩衝部形成凹部３０内に位置する細径部３３は冷却液導入口３に正対するとともに、ガイド装着凹部２２と細径部３３との間には上述した実施の形態における緩衝壁５を形成する溝と同じ寸法の隙間が形成され、かつ、その挿入先端と緩衝部形成凹部３０の底面との間には冷却液供給口７と同様の高さ寸法の隙間が形成されて液流緩衝部４が形成される。したがってこの変形例の場合においては、上述した変形例に比べて部品点数を少なくすることができる。

なお、以上の実施の形態などにおいては、冷却液導入口３をワイヤ電極１周りに９０度間隔で４個形成する場合を示したが、冷却液導入口３の断面積と大きさを調整して適宜決定することが可能で、数を増減すれば製造効率や流量等を調整することが可能である。また、自動結線のための噴流について、ワイヤ電極１とワーク１１の加工部位に加工液を供給するホルダ２０とノズル１７の隙間の加工液ガイド路２５により、供給圧力が高められた加工液を用いて生じさせる場合を示したが、別途自動結線のための流路を設けてもよく、この場合には例えばホルダ２０の外部にノズル１７を２重に被せてホルダ２０とノズル１７との間を自動結線のための流路とし、ノズル１７間のワーク１１の加工部位への供給のための加工液ガイド路２５とするなどすれば足りる。

本発明を示す図で、（ａ）はワイヤカット放電加工機の要部を説明する図、（ｂ）はワイヤガイドユニットを説明する図である。ワイヤガイドの要部拡大図で、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の２Ｂ-２Ｂ線断面図である。液流緩衝部の変形例等を示す図で、（ａ）は変形例を示すワイヤガイドの断面図、（ｂ）は他の変形例を示すワイヤガイドの断面図である。

符号の説明

１ワイヤ電極
２ワイヤ電極挿通部
３冷却液導入口
４液流緩衝部
５緩衝体
６迂回流路
７包囲供給口

Claims

ワイヤ電極が挿通されるワイヤ電極挿通部と、
ワイヤ電極の挿通方向に対して交差する方向からワイヤ電極挿通部内に冷却液を導入する冷却液導入口と、
該冷却液導入口から導入される液流のワイヤ電極への衝突力を緩和させる液流緩衝部とを有し、
前記ワイヤ電極挿通部は、略円筒形状のホルダの内部に形成され、
前記ホルダは、該ホルダの外面に対して隙間を隔てて被さるノズルの内壁面との間にノズル先端方に開放した加工液ガイド路を形成し、該加工液ガイド路によりワイヤ電極の長手方向に沿って流れる加工液を前記ノズルの先端部からワークの加工部位に供給し、
前記冷却液導入口は、前記ホルダに穿孔されて加工液ガイド路内の加工液をワイヤ電極挿通部内に導入し、
かつ、前記液流緩衝部は、ホルダ内部においてワイヤ電極周りに円筒形状に形成される緩衝壁を冷却液導入口に正対させ、緩衝壁の外周にワイヤ電極の挿通方向に沿って冷却液導入口に比して流路断面積を拡大して円筒状に形成される迂回流路を冷却液導入口との非正対位置で緩衝壁端縁においてワイヤ電極の全周方向に開放して形成されるワイヤガイド装置。
前記ホルダには冷却液導入口が複数形成され、
各冷却液導入口から導入された冷却液が前記迂回流路において合流する請求項１記載のワイヤガイド装置。